JP6565964B2

JP6565964B2 - Piezoelectric actuator

Info

Publication number: JP6565964B2
Application number: JP2017075272A
Authority: JP
Inventors: 恵治小口; 里志小澤; 宏治谷脇; 田村　淳; 淳田村
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2017-04-05
Filing date: 2017-04-05
Publication date: 2019-08-28
Anticipated expiration: 2037-04-05
Also published as: JP2018181935A

Description

本発明は、対象部材を駆動する圧電アクチュエータに関する。 The present invention relates to a piezoelectric actuator that drives a target member.

圧電アクチュエータは、圧電素子の圧電効果および逆圧電効果を利用し、機械的な変位と電気的な変位とを相互に変換するアクチュエータであり、対象物に直線的な変位を与えるリニアアクチュエータ等として様々な分野で利用されている。 Piezoelectric actuators are actuators that mutually convert mechanical displacement and electrical displacement using the piezoelectric effect and inverse piezoelectric effect of piezoelectric elements, and are various as linear actuators that give linear displacement to objects. It is used in various fields.

圧電アクチュエータにより得られる機械的変位は比較的微小であるため、アクチュエータは、たとえばカメラ等のレンズ駆動用等として、精密かつ正確な制御が要求される用途に対して好適に利用される。たとえば、このような圧電アクチュエータとして、圧電素子部の一方の端面に可動部であるシャフトを接続し、他方の端面に慣性部である錘を接続したものが提案されている（特許文献１参照）。 Since the mechanical displacement obtained by the piezoelectric actuator is relatively small, the actuator is suitably used for applications that require precise and accurate control, for example, for driving a lens of a camera or the like. For example, such a piezoelectric actuator has been proposed in which a shaft that is a movable portion is connected to one end face of a piezoelectric element portion and a weight that is an inertia portion is connected to the other end face (see Patent Document 1). .

特開２００７−２７４７７７号JP 2007-274777 A

しかしながら、近年、アクチュエータの小型化に伴い、シャフトが圧電素子部に対して相対的に長尺化し、また、圧電素子部の断面積も縮小傾向にある。これにより、アクチュエータの圧電素子部に対して、従来に比べて大きな応力が加えられる状況が生じ、圧電素子部の損傷や折れを防止するための対策が求められている。 However, in recent years, with the miniaturization of the actuator, the shaft becomes relatively long with respect to the piezoelectric element portion, and the cross-sectional area of the piezoelectric element portion tends to be reduced. As a result, a situation occurs in which a greater stress is applied to the piezoelectric element portion of the actuator than in the past, and a countermeasure for preventing damage and breakage of the piezoelectric element portion is required.

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、小型でありながら、圧電素子部の損傷や折れを防止することができ、耐久性に優れた圧電アクチュエータを提供することである。 The present invention has been made in view of such a situation, and is to provide a piezoelectric actuator that can prevent damage and breakage of a piezoelectric element portion and is excellent in durability while being small in size.

上記目的を達成するために、本発明に係る圧電アクチュエータは、
可動部であるシャフトと、
慣性部である錘と、
前記シャフトが接続される第１端面と、前記第１端面に対向しており前記錘が接続される第２端面と、互いに対向する２つの外部電極形成面と２つの前記外部電極形成面を接続しており互いに対向する２つの外部電極非形成面とを含み前記第１端面と前記第２端面とを接続する４つの側面と、を有する略直方体の圧電素子部と、
前記シャフトと前記圧電素子部とを連結する接着樹脂部と、
前記錘と前記圧電素子部とを連結する連結部と、
前記外部電極形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第１境界部と前記外部電極形成面との間に挟まれるように、前記外部電極形成面に設けられる第１素子保護層と、
前記外部電極非形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第２境界部と前記外部電極非形成面との間に挟まれるように、前記外部電極非形成面に設けられる第２素子保護層と、を有し、
前記第１素子保護層の面積は、前記第２素子保護層の面積より狭いことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a piezoelectric actuator according to the present invention comprises:
A shaft that is a moving part;
A weight that is an inertial part;
A first end face to which the shaft is connected, a second end face facing the first end face and to which the weight is connected, two external electrode forming faces facing each other, and two external electrode forming faces are connected to each other. A piezoelectric element portion having a substantially rectangular parallelepiped shape having two external electrode non-formation surfaces facing each other and having four side surfaces connecting the first end surface and the second end surface;
An adhesive resin portion connecting the shaft and the piezoelectric element portion;
A connecting portion for connecting the weight and the piezoelectric element portion;
In the cross section perpendicular to the external electrode formation surface, the external electrode formation surface is sandwiched between a first boundary portion which is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode formation surface. A first element protective layer provided on
In the cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface, the external electrode is sandwiched between a second boundary portion that is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode non-formation surface. A second element protective layer provided on the non-formed surface,
The area of the first element protective layer is smaller than the area of the second element protective layer.

本発明に係る圧電アクチュエータは、シャフトと圧電素子部とを連結する接着樹脂部の第１境界部と外部電極形成面との間に第１素子保護層が設けられており、接着樹脂部の第２境界部と外部電極非形成面との間に第２素子保護層が設けられている。接着樹脂部の第１境界部及び第２境界部周辺の圧電素子部には、冷熱サイクルなどの経た後にクラックなどの損傷が発生しやすいという問題があるが、本発明に係る圧電アクチュエータは、第１素子保護層と第２保護層とを有するため、圧電素子部にクラックなどの損傷が発生する問題を防止できる。このような圧電アクチュエータでは、第１及び第２境界部が、第１及び第２保護層を介して外部電極形成面及び外部電極非形成面に接続しているため、接着樹脂部と圧電素子部との線膨張係数の違いから圧電素子部に生じる応力を、緩和することができると考えられる。また、第１素子保護層の面積が、第２素子保護層の面積より狭いため、第１素子保護層から露出する外部電極形成面に対して、圧電素子部に電圧を印加するための配線部等を、容易に接続することが可能である。 In the piezoelectric actuator according to the present invention, the first element protective layer is provided between the first boundary portion of the adhesive resin portion connecting the shaft and the piezoelectric element portion and the external electrode forming surface, The 2nd element protective layer is provided between 2 boundary part and an external electrode non-formation surface. Although there is a problem that the piezoelectric element portions around the first boundary portion and the second boundary portion of the adhesive resin portion are likely to be damaged such as cracks after being subjected to a thermal cycle or the like, the piezoelectric actuator according to the present invention is Since the one-element protective layer and the second protective layer are provided, it is possible to prevent problems such as cracks in the piezoelectric element portion. In such a piezoelectric actuator, since the first and second boundary portions are connected to the external electrode forming surface and the external electrode non-forming surface via the first and second protective layers, the adhesive resin portion and the piezoelectric element portion It is considered that the stress generated in the piezoelectric element portion can be relaxed due to the difference in the linear expansion coefficient. Further, since the area of the first element protective layer is smaller than the area of the second element protective layer, a wiring portion for applying a voltage to the piezoelectric element portion with respect to the external electrode formation surface exposed from the first element protective layer Etc. can be easily connected.

また、たとえば、前記接着樹脂部は、前記外部電極形成面に垂直な断面において、前記第１境界部から前記シャフトに近い側に向かって徐々に厚みが増す第１厚み変化部を有してもよく、
前記第１素子保護層は、前記第１厚み変化部と前記外部電極形成面との間に挟まれるように設けられていてもよく、
前記接着樹脂部は、前記外部電極非形成面に垂直な断面において、前記第２境界部から前記シャフトに近い側に向かって徐々に厚みが増す第２厚み変化部を有してもよく、
前記第２素子保護層は、前記第２厚み変化部と前記外部電極非形成面との間に挟まれるように設けられていてもよい。 Further, for example, the adhesive resin portion may have a first thickness changing portion whose thickness gradually increases from the first boundary portion toward the side closer to the shaft in a cross section perpendicular to the external electrode formation surface. Often,
The first element protective layer may be provided so as to be sandwiched between the first thickness changing portion and the external electrode forming surface,
The adhesive resin portion may have a second thickness changing portion that gradually increases in thickness from the second boundary portion toward the side closer to the shaft in a cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface,
The second element protective layer may be provided so as to be sandwiched between the second thickness changing portion and the external electrode non-formation surface.

第１及び第２厚み変化部を有する接着樹脂部は、第１および第２境界部近傍および第１及び第２厚み変化部に対向する圧電素子部に、応力が集中する傾向がある。しかし、第１及び第２素子保護層を、第１及び第２厚み変化部と外部電極形成面及び外部電極非形成面との間に配置することにより、圧電素子部における第１及び第２厚み変化部に対向する部分に、応力が集中する問題を防止できる。 In the adhesive resin portion having the first and second thickness changing portions, stress tends to concentrate on the vicinity of the first and second boundary portions and on the piezoelectric element portion facing the first and second thickness changing portions. However, the first and second element protective layers are disposed between the first and second thickness changing portions and the external electrode forming surface and the external electrode non-forming surface, so that the first and second thicknesses in the piezoelectric element portion are obtained. It is possible to prevent a problem that stress is concentrated on a portion facing the changing portion.

また、例えば、前記第１素子保護層および前記第２素子保護層の弾性率は、前記接着樹脂部の弾性率より低くてもよい。 For example, the elastic modulus of the first element protective layer and the second element protective layer may be lower than the elastic modulus of the adhesive resin portion.

弾性率の低い第１及び第２素子保護層は、第１及び第２素子保護層が容易に変形することができるため、接着樹脂部が温度変化により膨張又は収縮した場合に、接着樹脂部の変形に伴う力が圧電素子部に伝わることを防止し、圧電素子部に応力が生じる問題を防止できる。 Since the first and second element protective layers having a low elastic modulus can be easily deformed, when the adhesive resin part expands or contracts due to temperature change, the adhesive resin part It is possible to prevent the force accompanying the deformation from being transmitted to the piezoelectric element portion, and to prevent a problem that stress is generated in the piezoelectric element portion.

また、例えば、前記外部電極形成面に垂直な断面における前記第１素子保護層の厚みは、前記外部電極非形成面に垂直な断面における前記第２素子保護層の厚みより薄くてもよい。 For example, the thickness of the first element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode formation surface may be smaller than the thickness of the second element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface.

外部電極形成面に形成された外部電極は、圧電素子部の素子本体と接着樹脂部との間に配置されることにより、第１素子保護層と同様に、接着樹脂部の変形に伴う力が圧電素子部に伝わることを防止する効果を奏する。したがって、第１素子保護層を薄くし、第２素子保護層を厚くすることにより、圧電素子部の外部電極形成面側と、外部電極非形成面側とを、同様に保護することができる。 The external electrode formed on the external electrode forming surface is arranged between the element body of the piezoelectric element portion and the adhesive resin portion, so that the force accompanying the deformation of the adhesive resin portion is the same as that of the first element protective layer. There is an effect of preventing transmission to the piezoelectric element portion. Therefore, by reducing the thickness of the first element protection layer and increasing the thickness of the second element protection layer, the external electrode formation surface side and the external electrode non-formation surface side of the piezoelectric element portion can be similarly protected.

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator according to a first embodiment of the present invention. 図２は、図１に示す圧電アクチュエータに含まれる圧電素子部、第１素子保護層及び第２素子保護層を表す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a piezoelectric element portion, a first element protective layer, and a second element protective layer included in the piezoelectric actuator shown in FIG. 図３は、図１に示す圧電アクチュエータの外部電極形成面に垂直な部分断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode formation surface of the piezoelectric actuator shown in FIG. 図４は、図１に示す圧電アクチュエータの外部電極非形成面に垂直な部分断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode non-formation surface of the piezoelectric actuator shown in FIG. 図５は、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータを示す概略斜視図である。FIG. 5 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator according to a second embodiment of the present invention. 図６は、図５に示す圧電アクチュエータの外部電極形成面に垂直な部分断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode formation surface of the piezoelectric actuator shown in FIG. 図７は、図５に示す圧電アクチュエータの外部電極非形成面に垂直な部分断面図である。7 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode non-formation surface of the piezoelectric actuator shown in FIG. 図８は、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータを示す概略斜視図である。FIG. 8 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator according to a third embodiment of the present invention. 図９は、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエータを示す概略斜視図である。FIG. 9 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator according to a fourth embodiment of the present invention.

以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０を示す概略斜視図である。図１に示すように、圧電アクチュエータ１０は、シャフト１２、圧電素子部２０、配線部３０、錘４０、接着樹脂部５０、連結部５６、第１素子保護層６１、第２素子保護層６２等を有する。 First Embodiment FIG. 1 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator 10 according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the piezoelectric actuator 10 includes a shaft 12, a piezoelectric element portion 20, a wiring portion 30, a weight 40, an adhesive resin portion 50, a connecting portion 56, a first element protective layer 61, a second element protective layer 62, and the like. Have

圧電アクチュエータ１０のシャフト１２は、圧電素子部２０におけるＺ軸正方向の端面である第１端面２０ａに接続されている。シャフト１２は、圧電素子部２０の変形に伴い変位する可動部である。例えば、圧電アクチュエータ１０がレンズ駆動モジュールとして使用される場合、シャフト１２には、図示しない移動部材が、移動自在に係合される。移動部材は光学系等を保持しており、移動部材及びこれに保持される光学系は、圧電アクチュエータ１０の駆動力により、シャフト１２に沿ってＺ軸方向に変位することができる。 The shaft 12 of the piezoelectric actuator 10 is connected to a first end face 20 a that is an end face in the positive direction of the Z axis in the piezoelectric element portion 20. The shaft 12 is a movable part that is displaced with the deformation of the piezoelectric element part 20. For example, when the piezoelectric actuator 10 is used as a lens driving module, a moving member (not shown) is movably engaged with the shaft 12. The moving member holds an optical system or the like, and the moving member and the optical system held by the moving member can be displaced in the Z-axis direction along the shaft 12 by the driving force of the piezoelectric actuator 10.

圧電アクチュエータ１０のシャフト１２は、円柱状であり、シャフト１２において圧電素子部２０の第１端面２０ａに対向するシャフト対向面１２ａの面積は、第１端面２０ａの面積より広い。また、シャフト１２のＺ軸方向の長さは、圧電素子部２０のＺ軸方向の長さより長く、これにより移動部材の移動距離を長くすることが可能である。ただし、シャフト１２の形状及び大きさは特に限定されず、シャフト１２は円柱状以外の柱状又は棒状であってもよく、シャフト対向面１２ａの面積は第１端面２０ａの面積より狭くてもよい。 The shaft 12 of the piezoelectric actuator 10 has a cylindrical shape, and the area of the shaft facing surface 12a facing the first end surface 20a of the piezoelectric element portion 20 in the shaft 12 is wider than the area of the first end surface 20a. Further, the length of the shaft 12 in the Z-axis direction is longer than the length of the piezoelectric element portion 20 in the Z-axis direction, and thus the moving distance of the moving member can be increased. However, the shape and size of the shaft 12 are not particularly limited, and the shaft 12 may be a columnar shape or a rod shape other than the columnar shape, and the area of the shaft facing surface 12a may be narrower than the area of the first end surface 20a.

シャフト１２の材質は特に限定されないが、例えば金属やカーボン若しくは樹脂等を採用することができる。 Although the material of the shaft 12 is not particularly limited, for example, metal, carbon, resin, or the like can be used.

図１に示すように、接着樹脂部５０は、シャフト１２と圧電素子部２０とを連結する。接着樹脂部５０は、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等の樹脂で構成されており、たとえば、シャフト１２と圧電素子部２０とを固定するエポキシ樹脂系接着剤等が硬化した接着剤硬化部で構成される。接着樹脂部５０は、圧電素子部２０の第１端面２０ａの外周を取り囲むように形成されている。 As shown in FIG. 1, the adhesive resin portion 50 connects the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20. The adhesive resin part 50 is made of a resin such as an epoxy resin or an acrylic resin. For example, the adhesive resin part 50 is made of an adhesive cured part obtained by curing an epoxy resin adhesive or the like that fixes the shaft 12 and the piezoelectric element part 20. . The adhesive resin part 50 is formed so as to surround the outer periphery of the first end face 20 a of the piezoelectric element part 20.

なお、図１等に示す圧電アクチュエータ１０の説明では、圧電素子部２０の第１及び第２端面２０ａ、２０ｂ（図２参照）の法線方向をＺ軸方向、圧電素子部２０の外部電極形成面２０ｃの法線方向をＹ軸方向、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅの法線方向をＸ軸方向として説明を行う。 In the description of the piezoelectric actuator 10 shown in FIG. 1 and the like, the normal direction of the first and second end faces 20a and 20b (see FIG. 2) of the piezoelectric element unit 20 is the Z-axis direction, and external electrode formation of the piezoelectric element unit 20 is performed. Description will be made assuming that the normal direction of the surface 20c is the Y-axis direction and the normal direction of the external electrode non-formation surface 20e of the piezoelectric element portion 20 is the X-axis direction.

図１に示すように、圧電素子部５０におけるＺ軸負方向の端面である第２端面２０ｂには、錘４０が接続されている。圧電素子部２０において、第２端面２０ｂは、シャフト１２が接続されている第１端面２０ａに対向する。 As shown in FIG. 1, a weight 40 is connected to the second end face 20 b which is the end face in the Z-axis negative direction in the piezoelectric element portion 50. In the piezoelectric element portion 20, the second end surface 20 b faces the first end surface 20 a to which the shaft 12 is connected.

錘４０は慣性部であり、第１端面２０ａに接続されるシャフト１２に変位を与えるための慣性体として機能する。錘４０は、例えば、圧電素子部２０及びシャフト１２より比重の大きい材料で構成される。錘４０の材質は特に限定されないが、例えば、タングステン等の比重の大きい金属又はそのような金属を含む合金等を採用することができる。 The weight 40 is an inertia part and functions as an inertia body for giving displacement to the shaft 12 connected to the first end face 20a. The weight 40 is made of, for example, a material having a specific gravity greater than that of the piezoelectric element portion 20 and the shaft 12. The material of the weight 40 is not particularly limited. For example, a metal having a large specific gravity such as tungsten or an alloy containing such a metal can be used.

錘４０は、直方体の外形状を有しており、錘４０において圧電素子部２０の第２端面２０ｂに対向する対向面の面積は、第２端面２０ｂの面積より広い。ただし、錘４０の形状は直方体に限定されず、平板状、円柱状等の他の形状であってもよい。 The weight 40 has a rectangular parallelepiped outer shape, and the area of the opposing surface of the weight 40 that faces the second end face 20b of the piezoelectric element portion 20 is larger than the area of the second end face 20b. However, the shape of the weight 40 is not limited to a rectangular parallelepiped, and may be another shape such as a flat plate shape or a cylindrical shape.

図１に示すように、連結部５６は、錘４０と圧電素子部２０とを連結する。連結部５６は、樹脂等で構成されており、たとえば、接着樹脂部と同様に、接着剤硬化部で構成される。連結部５６は、圧電素子部２０の第２端面２０ｂの外周を取り囲むように形成されている。 As shown in FIG. 1, the connecting portion 56 connects the weight 40 and the piezoelectric element portion 20. The connection part 56 is comprised by resin etc., for example, is comprised by the adhesive agent hardening part similarly to the adhesive resin part. The connecting portion 56 is formed so as to surround the outer periphery of the second end surface 20 b of the piezoelectric element portion 20.

連結部５６は、外部電極２４と配線部３０との接続部分を被覆しており、外力等により配線部３０と外部電極２４との電気的な接続が解除されてしまう問題を防止している。図１に示すように、圧電素子部２０の２つの外部電極２４には、それぞれ配線部３０が接続されている。圧電素子部２０には、配線部３０を介して電圧を印加することができ、圧電素子部２０は、印加された電圧に応じた変形を生じる。配線部３０は、例えば、被覆電線やリードフレーム等で構成されるが、圧電素子部２０に電圧を印加できるものであれば、どのようなものであってもよい。 The connecting portion 56 covers the connection portion between the external electrode 24 and the wiring portion 30, and prevents the problem that the electrical connection between the wiring portion 30 and the external electrode 24 is released due to an external force or the like. As shown in FIG. 1, wiring portions 30 are connected to the two external electrodes 24 of the piezoelectric element portion 20. A voltage can be applied to the piezoelectric element portion 20 via the wiring portion 30, and the piezoelectric element portion 20 is deformed according to the applied voltage. The wiring portion 30 is configured by, for example, a covered electric wire, a lead frame, or the like, but may be anything as long as a voltage can be applied to the piezoelectric element portion 20.

図２は、圧電素子部２０と、圧電素子部２０の表面に設けられた第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２を表す斜視図である。図２に示すように、圧電素子部２０は、略矩形の外形状を有しており、２つの端面と４つの側面とを有している。圧電素子部２０が有する２つの端面のうち、Ｚ軸正方向側を向く第１端面２０ａには、図１に示すシャフト１２が接続される。図１に示すように、シャフト１２と圧電素子部２０とは、接着樹脂部５０によって連結されている。 FIG. 2 is a perspective view showing the piezoelectric element portion 20 and the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 provided on the surface of the piezoelectric element portion 20. As shown in FIG. 2, the piezoelectric element portion 20 has a substantially rectangular outer shape, and has two end faces and four side faces. The shaft 12 shown in FIG. 1 is connected to the first end face 20a facing the Z-axis positive direction side, out of the two end faces of the piezoelectric element portion 20. As shown in FIG. 1, the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20 are connected by an adhesive resin portion 50.

圧電素子部２０が有する２つの端面のうち、Ｚ軸負方向側を向く第２端面２０ｂには、錘４０が接続されている。第１端面２０ａと第２端面２０ｂとは互いに対向しており、圧電素子部２０は、シャフト１２と錘４０とによって、Ｚ方向の両側を挟まれている。 The weight 40 is connected to the 2nd end surface 20b which faces the Z-axis negative direction side among the two end surfaces which the piezoelectric element part 20 has. The first end face 20a and the second end face 20b are opposed to each other, and the piezoelectric element portion 20 is sandwiched between the shaft 12 and the weight 40 on both sides in the Z direction.

圧電素子部２０が有する４つの側面は、いずれも第１端面２０ａと第２端面２０ｂとを接続している。圧電素子部２０が有する４つの側面は、互いに対向する２つの外部電極形成面２０ｃと、互いに対向する２つの外部電極非形成面２０ｅとで構成される。外部電極形成面２０ｃには、配線部３０に電気的に接続される外部電極２４が層状に形成されているのに対して、外部電極非形成面２０ｅには、外部電極２４が形成されていない。また、外部電極形成面２０ｃは、２つの外部電極非形成面２０ｅを接続しており、外部電極非形成面２０ｅは、２つの外部電極形成面２０ｃを接続している。 The four side surfaces of the piezoelectric element portion 20 all connect the first end surface 20a and the second end surface 20b. The four side surfaces of the piezoelectric element portion 20 are composed of two external electrode forming surfaces 20c facing each other and two external electrode non-forming surfaces 20e facing each other. The external electrode 24 that is electrically connected to the wiring portion 30 is formed in a layer on the external electrode formation surface 20c, whereas the external electrode 24 is not formed on the external electrode non-formation surface 20e. . The external electrode formation surface 20c connects the two external electrode non-formation surfaces 20e, and the external electrode non-formation surface 20e connects the two external electrode formation surfaces 20c.

図３は、図１に示す圧電アクチュエータ１０の外部電極形成面２０ｃに垂直な部分断面図である。圧電素子部２０は、内部電極層２２と圧電体層２３とがＺ軸方向に交互に積層された積層体である素子本体２１と、素子本体２１の表面に形成された外部電極２４とを有する。素子本体２１は、圧電素子部２０全体より僅かに小さい直方体形状であり、外部電極２４の厚みは特に限定されないが、０．１〜２０ｍ程度である。 FIG. 3 is a partial sectional view perpendicular to the external electrode forming surface 20c of the piezoelectric actuator 10 shown in FIG. The piezoelectric element unit 20 includes an element body 21 that is a laminated body in which internal electrode layers 22 and piezoelectric layers 23 are alternately stacked in the Z-axis direction, and an external electrode 24 formed on the surface of the element body 21. . The element body 21 has a rectangular parallelepiped shape slightly smaller than the entire piezoelectric element portion 20, and the thickness of the external electrode 24 is not particularly limited, but is about 0.1 to 20 m.

図３に示すように、圧電素子部２０の外部電極形成面２０ｃは、外部電極２４で構成されている。外部電極２４は、Ｙ軸正方向側を向く素子本体２１の側面を覆うように形成されている。Ｙ軸正方向側を向く素子本体２１の側面に形成される外部電極２４には、素子本体２１に含まれる内部電極層２２のうち半分が接続している。なお、図３では示していないが、Ｙ軸負方向を向く素子本体２１の側面にも、Ｙ軸正方向側と同様に、外部電極形成面２０ｃを構成する外部電極２４が形成されている。Ｙ軸負方向側を向く外部電極２４には、素子本体２１に含まれる内部電極層２２のうち残りの半分が接続している。 As shown in FIG. 3, the external electrode forming surface 20 c of the piezoelectric element portion 20 is composed of external electrodes 24. The external electrode 24 is formed so as to cover the side surface of the element body 21 facing the Y axis positive direction. Half of the internal electrode layer 22 included in the element body 21 is connected to the external electrode 24 formed on the side surface of the element body 21 facing the Y axis positive direction. Although not shown in FIG. 3, external electrodes 24 that form the external electrode formation surface 20c are also formed on the side surface of the element body 21 facing the negative Y-axis direction, similarly to the positive Y-axis side. The other half of the internal electrode layer 22 included in the element body 21 is connected to the external electrode 24 facing the Y-axis negative direction side.

圧電素子部２０における圧電体層２３の厚みは、特に制限されないが、好ましくは５〜５０μｍ程度である。また、圧電体層２３の材質は、圧電効果あるいは逆圧電効果を示す材料であれば、特に制限されず、たとえば、ＰｂＺｒ_ｘＴｉ_１−ｘＯ_３、ＢａＴｉＯ_３などが挙げられる。また、特性向上等のための成分が含有されていてもよく、その含有量は、所望の特性に応じて適宜決定すればよい。 The thickness of the piezoelectric layer 23 in the piezoelectric element portion 20 is not particularly limited, but is preferably about 5 to 50 μm. The material of the piezoelectric layer 23 is not particularly limited as long as the material exhibits a piezoelectric effect or an inverse piezoelectric effect, and examples thereof include PbZr _x Ti _1-x O ₃ and BaTiO ₃ . Moreover, the component for characteristic improvement etc. may contain, The content should just determine suitably according to a desired characteristic.

内部電極層２２を構成する導電材としては、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ等の貴金属およびこれらの合金（Ａｇ−Ｐｄなど）、あるいはＣｕ、Ｎｉ等の卑金属およびこれらの合金などが挙げられるが、特に限定されない。外部電極２４を構成する導電材料も特に限定されず、内部電極を構成する導電材と同様の材料を用いることができる。なお、さらに、外部電極２４の外側には、上記各種金属のメッキ層やスパッタ層が形成してあってもよい。 Examples of the conductive material constituting the internal electrode layer 22 include noble metals such as Ag, Pd, Au, and Pt and alloys thereof (Ag—Pd, etc.), or base metals such as Cu and Ni, and alloys thereof. However, it is not particularly limited. The conductive material constituting the external electrode 24 is not particularly limited, and the same material as the conductive material constituting the internal electrode can be used. Furthermore, a plating layer or a sputter layer of the above various metals may be formed outside the external electrode 24.

図２及び図３に示すように、圧電素子部２０の外部電極形成面２０ｃには、第１素子保護層６１が設けられている。第１素子保護層６１は、外部電極形成面２０ｃに垂直な断面（図３に示す断面）において、接着樹脂部５０の第１境界部５１と外部電極形成面２０ｃとの間に挟まれるように配置されている。なお、第１境界部５１は、図１に示すように、シャフト１２と圧電素子部２０とを連結する接着樹脂部５０における錘４０に近い側の端部のうち、外部電極形成面２０ｃに垂直な断面に現れる部分である。 As shown in FIGS. 2 and 3, the first element protective layer 61 is provided on the external electrode forming surface 20 c of the piezoelectric element portion 20. The first element protection layer 61 is sandwiched between the first boundary portion 51 of the adhesive resin portion 50 and the external electrode formation surface 20c in a cross section perpendicular to the external electrode formation surface 20c (the cross section shown in FIG. 3). Has been placed. As shown in FIG. 1, the first boundary portion 51 is perpendicular to the external electrode forming surface 20 c in the end portion on the side close to the weight 40 in the adhesive resin portion 50 that connects the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20. This is the part that appears in the cross section.

図２および図３に示すように、第１素子保護層６１は、外部電極形成面２０ｃに形成される外部電極２４の上に重ねて設けられており、外部電極２４の一部を被覆する。ただし、第１素子保護層６１は、外部電極非形成面２０ｅに設けられる第２素子保護層６２や、第１素子保護層６１の下層に形成された外部電極２４より面積が狭いため、外部電極２４の一部、特に錘４０に近い側の一部は、第１素子保護層６１に覆われておらず、図１に示す配線部３０は、外部電極２４における第１素子保護層６１に覆われていない部分に接続されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the first element protection layer 61 is provided on the external electrode 24 formed on the external electrode formation surface 20 c so as to cover a part of the external electrode 24. However, since the first element protective layer 61 has a smaller area than the second element protective layer 62 provided on the external electrode non-formation surface 20e and the external electrode 24 formed below the first element protective layer 61, the external electrode 1, particularly a part near the weight 40, is not covered with the first element protection layer 61, and the wiring portion 30 shown in FIG. 1 covers the first element protection layer 61 in the external electrode 24. It is connected to an unoccupied part.

図２及び図３に示すように、第１素子保護層６１は、外部電極形成面２０ｃのうち、Ｚ軸方向に関してシャフト１２に近い側に設けられている。図３に示すように、外部電極形成面２０ｃにおけるシャフト１２に近い側の部分は、シャフト１２に接続する接着樹脂部５０に覆われており、この部分の接着樹脂部５０は、図３に示すような外部電極形成面２０ｃに垂直な断面において、第１境界部５１からシャフト１２に近い側に向かって徐々に厚みが増す第１厚み変化部５０ａとなっている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the first element protective layer 61 is provided on the outer electrode forming surface 20 c on the side closer to the shaft 12 in the Z-axis direction. As shown in FIG. 3, a portion of the external electrode forming surface 20c on the side close to the shaft 12 is covered with an adhesive resin portion 50 connected to the shaft 12, and this portion of the adhesive resin portion 50 is shown in FIG. In such a cross section perpendicular to the external electrode forming surface 20c, a first thickness changing portion 50a is formed in which the thickness gradually increases from the first boundary portion 51 toward the side closer to the shaft 12.

図３に示すように、第１素子保護層６１は、第１厚み変化部５０ａと外部電極形成面２０ｃとの間に挟まれるように設けられており、第１厚み変化部５０ａ及び第１境界部５１は、外部電極形成面２０ｃに対して直接対向せず、かつ、直接接続しないようになっている。なお、接着樹脂部５０は、第１素子保護層６１が配置されていることにより、外部電極形成面２０ｃには直接対向していないが、圧電素子部２０の第１端面２０ａに対しては、直接対向及び接続している。なお、図２及び図３には示されていないが、Ｙ軸負方向側を向く外部電極形成面２０ｃにも、Ｙ軸正方向側を向く外部電極形成面２０ｃと同様に、第１素子保護層６１が設けられている。 As shown in FIG. 3, the first element protective layer 61 is provided so as to be sandwiched between the first thickness changing portion 50a and the external electrode forming surface 20c, and the first thickness changing portion 50a and the first boundary are provided. The portion 51 does not directly face the external electrode forming surface 20c and is not directly connected. The adhesive resin portion 50 is not directly opposed to the external electrode forming surface 20c because the first element protective layer 61 is disposed, but the first end surface 20a of the piezoelectric element portion 20 is not Directly facing and connecting. Although not shown in FIGS. 2 and 3, the first element protection is also applied to the external electrode forming surface 20 c facing the Y-axis negative direction side, similarly to the external electrode forming surface 20 c facing the Y-axis positive direction side. A layer 61 is provided.

図４は、図１に示す圧電アクチュエータ１０の外部電極非形成面２０ｅに垂直な部分断面図である。図４に示すように、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅには外部電極２４が形成されていない。すなわち、Ｘ軸負方向を向く外部電極非形成面２０ｅは、素子本体２１における内部電極層２２と圧電体層２３とで構成される。図４に示す外部電極非形成面２０ｅを構成する内部電極層２２には、一方の外部電極２４（Ｙ軸正方向側）に接続する内部電極層２２と、他方の外部電極２４（Ｙ軸負方向側）に接続する内部電極層２２の両方が含まれる。なお、図４では示されていないが、Ｘ軸正方向を向く外部電極非形成面２０ｅも、内部電極層２２と圧電体層２３とで構成される。 4 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode non-formation surface 20e of the piezoelectric actuator 10 shown in FIG. As shown in FIG. 4, the external electrode 24 is not formed on the external electrode non-formation surface 20 e of the piezoelectric element portion 20. That is, the external electrode non-formation surface 20 e facing the negative X-axis direction is configured by the internal electrode layer 22 and the piezoelectric layer 23 in the element body 21. The internal electrode layer 22 constituting the external electrode non-formation surface 20e shown in FIG. 4 includes the internal electrode layer 22 connected to one external electrode 24 (Y-axis positive direction side) and the other external electrode 24 (Y-axis negative). Both internal electrode layers 22 connected to the direction side) are included. Although not shown in FIG. 4, the external electrode non-formation surface 20 e facing the positive direction of the X axis is also composed of the internal electrode layer 22 and the piezoelectric layer 23.

図２及び図４に示すように、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅには、第２素子保護層６２が設けられている。第２素子保護層６２は、外部電極非形成面２０ｅに垂直な断面（図４に示す断面）において、接着樹脂部５０の第２境界部５２と外部電極非形成面２０ｅとの間に挟まれるように配置されている。なお、第２境界部５２は、図１に示すように、シャフト１２と圧電素子部２０とを連結する接着樹脂部５０における錘４０に近い側の端部のうち、外部電極非形成面２０ｅに垂直な断面に現れる部分である。 As shown in FIGS. 2 and 4, a second element protection layer 62 is provided on the external electrode non-formation surface 20 e of the piezoelectric element portion 20. The second element protective layer 62 is sandwiched between the second boundary portion 52 of the adhesive resin portion 50 and the external electrode non-formation surface 20e in a cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface 20e (the cross section shown in FIG. 4). Are arranged as follows. As shown in FIG. 1, the second boundary portion 52 is formed on the external electrode non-formation surface 20 e in the end portion near the weight 40 in the adhesive resin portion 50 that connects the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20. It is the part that appears in the vertical section.

図２および図４に示すように、第２素子保護層６２は、外部電極非形成面２０ｅを覆うように設けられており、外部電極非形成面２０ｅの全体を被覆する。ただし、第２素子保護層６２は、外部電極非形成面２０ｅの一部を覆うものであってもよい。 As shown in FIGS. 2 and 4, the second element protection layer 62 is provided so as to cover the external electrode non-formation surface 20e, and covers the entire external electrode non-formation surface 20e. However, the second element protection layer 62 may cover a part of the external electrode non-formation surface 20e.

図２及び図４に示すように、第２素子保護層６２は、外部電極非形成面２０ｅにおいて、Ｚ軸方向に連続するように設けられている。図４に示すように、外部電極非形成面２０ｅにおけるシャフト１２に近い側の部分は、図３に示す電極形成面２０ｃと同様に、シャフト１２に接続する接着樹脂部５０に覆われている。そして、この部分の接着樹脂部５０は、図４に示すような外部電極形成面２０ｃに垂直な断面において、第２境界部５２からシャフト１２に近い側に向かって徐々に厚みが増す第２厚み変化部となっている。 As shown in FIGS. 2 and 4, the second element protective layer 62 is provided so as to be continuous in the Z-axis direction on the external electrode non-formation surface 20 e. As shown in FIG. 4, the portion near the shaft 12 in the external electrode non-formation surface 20 e is covered with the adhesive resin portion 50 connected to the shaft 12, similarly to the electrode formation surface 20 c shown in FIG. 3. The adhesive resin portion 50 of this portion has a second thickness that gradually increases from the second boundary portion 52 toward the side closer to the shaft 12 in a cross section perpendicular to the external electrode forming surface 20c as shown in FIG. It is a changing part.

図４に示すように、第２素子保護層６２におけるシャフト１２に近い側の部分は、第２厚み変化部５０ｂと外部電極非形成面２０ｅとの間に挟まれるように設けられている。したがって、接着樹脂部５０の第２厚み変化部５０ｂ及び第２境界部５２は、外部電極非形成面２０ｅに対して直接対向せず、かつ、直接接続しないようになっている。なお、図２及び図４には示されていないが、Ｘ軸正方向側を向く外部電極非形成面２０ｅにも、Ｘ軸負方向側を向く外部電極非形成面２０ｅと同様に、第２素子保護層６２が設けられている。 As shown in FIG. 4, a portion of the second element protection layer 62 near the shaft 12 is provided so as to be sandwiched between the second thickness changing portion 50b and the external electrode non-formation surface 20e. Accordingly, the second thickness changing portion 50b and the second boundary portion 52 of the adhesive resin portion 50 are not directly opposed to the external electrode non-formation surface 20e and are not directly connected. Although not shown in FIGS. 2 and 4, the external electrode non-formation surface 20 e facing the X-axis positive direction side is also similar to the external electrode non-formation surface 20 e facing the X-axis negative direction side. An element protection layer 62 is provided.

第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２は、ウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂で構成することができるが、第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２は、圧電素子部２０に生じる応力を緩和できるものであれば、構成材料は特に限定されない。ここで、第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２の弾性率は、接着樹脂部５０の弾性率より低いことが好ましい。弾性率の低い第１及び第２素子保護層６１、６２は、外力および応力によって容易に変形することができるため、接着樹脂部５０が温度変化により膨張又は収縮した場合に、接着樹脂部５０の変形に伴う力が圧電素子部２０に伝わることを防止し、圧電素子部２０に応力が生じる問題を防止できる。 The first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 can be made of a resin such as urethane resin, vinyl chloride resin, acrylic resin, or epoxy resin. As long as 62 can relieve the stress generated in the piezoelectric element portion 20, the constituent material is not particularly limited. Here, the elastic modulus of the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 is preferably lower than the elastic modulus of the adhesive resin portion 50. Since the first and second element protection layers 61 and 62 having a low elastic modulus can be easily deformed by an external force and stress, when the adhesive resin portion 50 expands or contracts due to a temperature change, the adhesive resin portion 50 It is possible to prevent the force accompanying the deformation from being transmitted to the piezoelectric element portion 20 and to prevent a problem that stress is generated in the piezoelectric element portion 20.

たとえば、第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２の弾性率は、２．０〜５．０ＧＰａ程度とすることができ、接着樹脂部５０の弾性率は、４．０〜７．０ＧＰａ程度とすることができる。これにより、接着樹脂部５０によって圧電素子部２０とシャフト１２とを確実に連結しつつ、圧電素子部２０における応力の集中やそれに伴うクラック等の発生を好適に防止できる。 For example, the elastic modulus of the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 can be about 2.0 to 5.0 GPa, and the elastic modulus of the adhesive resin portion 50 is 4.0 to 7.0 GPa. Can be about. Thereby, while the piezoelectric resin part 20 and the shaft 12 are reliably connected by the adhesive resin part 50, the stress concentration in the piezoelectric element part 20 and the occurrence of cracks associated therewith can be suitably prevented.

第１素子保護層６１の厚みは、たとえば、５〜２０μｍとすることができ、第２素子保護層６２の厚みは、たとえば、１０〜３０μｍとすることができる。ここで、図３に示す第１素子保護層６１の厚みは、図４に示す第２素子保護層６２の厚みより薄いことが好ましい。外部電極２４は、圧電素子部２０の素子本体２１と接着樹脂部５０との間に配置されることにより、第１素子保護層６１と同様に、接着樹脂部５０の変形に伴う力が圧電素子部２０に伝わることを防止する効果を奏する。したがって、外部電極非形成面２０ｅに設けられる第２素子保護層６２を厚くすることにより、圧電素子部２０の外部電極形成面２０ｃ側と、外部電極非形成面２０ｅ側とを、同様に保護することができる。 The thickness of the 1st element protective layer 61 can be 5-20 micrometers, for example, and the thickness of the 2nd element protective layer 62 can be 10-30 micrometers, for example. Here, the thickness of the first element protective layer 61 shown in FIG. 3 is preferably thinner than the thickness of the second element protective layer 62 shown in FIG. The external electrode 24 is disposed between the element main body 21 of the piezoelectric element portion 20 and the adhesive resin portion 50, so that the force accompanying the deformation of the adhesive resin portion 50 is applied to the piezoelectric element as in the first element protective layer 61. There is an effect of preventing transmission to the part 20. Therefore, by thickening the second element protective layer 62 provided on the external electrode non-formation surface 20e, the external electrode formation surface 20c side and the external electrode non-formation surface 20e side of the piezoelectric element portion 20 are similarly protected. be able to.

図１に示す圧電アクチュエータ１０は、たとえば以下のような工程により製造される。まず、図２に示す圧電素子部２０を製造し、その後、圧電素子部２０における外部電極形成面２０ｃに第１素子保護層６１を形成し、外部電極非形成面２０ｄに第２素子保護層６２を形成する。圧電素子部２０の製造は、内部電極層２２および圧電体層２３の原材料で構成されるグリーンシートを積層してグリーンシート積層体を製造し、そのグリーンシート積層体を焼成して素子本体２１を製造し、素子本体２１における１対の対向する側面に外部電極２４を形成することにより行われる。外部電極２４の形成は、メッキ等により行うことができる。 The piezoelectric actuator 10 shown in FIG. 1 is manufactured by the following processes, for example. First, the piezoelectric element portion 20 shown in FIG. 2 is manufactured, and then the first element protective layer 61 is formed on the external electrode forming surface 20c of the piezoelectric element portion 20, and the second element protective layer 62 is formed on the external electrode non-forming surface 20d. Form. The piezoelectric element unit 20 is manufactured by stacking green sheets made of the raw materials of the internal electrode layer 22 and the piezoelectric layer 23 to manufacture a green sheet laminate, and firing the green sheet laminate to form the element body 21. It is manufactured by forming the external electrodes 24 on a pair of opposing side surfaces of the element body 21. The external electrode 24 can be formed by plating or the like.

また、外部電極形成面２０ｃに第１素子保護層６１を形成し、外部電極非形成面２０ｅに第２素子保護層６２を形成する工程は、第１素子保護層６１および第２素子保護層６２の原材料となる樹脂ペーストを外部電極形成面２０ｃおよび外部電極非形成面２０ｅに塗布し、乾燥等させることにより行われる。なお、第１素子保護層６１と第２素子保護層６２とは、どちらを先に形成してもよく、また、第１素子保護層６１の材質と第２素子保護層６２の材質とは、同じであってもよく、異なっていてもよい。また、図３および図４に示す実施形態では、圧電素子部２０の第１端面２０ａ及び第２端面２０ｂには、第１素子保護層６１又は第２素子保護層６２のような樹脂層を設けていないが、第１素子保護層６１と第２素子保護層６２の材料が、第１端面２０ａ及び第２端面２０ｂにまで広がっていてもかまわない。 The step of forming the first element protection layer 61 on the external electrode formation surface 20c and forming the second element protection layer 62 on the external electrode non-formation surface 20e includes the first element protection layer 61 and the second element protection layer 62. This is performed by applying a resin paste as a raw material to the external electrode formation surface 20c and the external electrode non-formation surface 20e, followed by drying. The first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 may be formed first, and the material of the first element protective layer 61 and the material of the second element protective layer 62 are: It may be the same or different. In the embodiment shown in FIGS. 3 and 4, a resin layer such as the first element protection layer 61 or the second element protection layer 62 is provided on the first end face 20a and the second end face 20b of the piezoelectric element portion 20. However, the material of the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 may extend to the first end face 20a and the second end face 20b.

さらに、図２に示すような側面に第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２が設けられた圧電素子部２０に対して、配線部３０を各外部電極２４に接続した後、シャフト１２及び錘４０を、第１端面２０ａと第２端面２０ｂとに接合することにより、図１に示すような圧電アクチュエータ１０を得る。シャフト１２と圧電素子部２０との接合および錘４０と圧電素子部２０との接合は、たとえば接合面に接着剤を塗布した後に各部材を接合し、塗布した接着剤を硬化させることにより行うことができる。この場合、シャフト１２と圧電素子部２０とを接合する接着剤が硬化したものが接着樹脂部５０となり、錘４０と圧電素子部２０とを接合する接着剤が硬化したものが連結部５６となる。 Further, after connecting the wiring portion 30 to each external electrode 24 with respect to the piezoelectric element portion 20 provided with the first element protection layer 61 and the second element protection layer 62 on the side surface as shown in FIG. And the weight 40 is joined to the 1st end surface 20a and the 2nd end surface 20b, and the piezoelectric actuator 10 as shown in FIG. 1 is obtained. The joint between the shaft 12 and the piezoelectric element part 20 and the joint between the weight 40 and the piezoelectric element part 20 are performed by, for example, applying the adhesive to the joint surface, then joining each member, and curing the applied adhesive. Can do. In this case, the cured adhesive that bonds the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20 becomes the adhesive resin portion 50, and the cured adhesive that bonds the weight 40 and the piezoelectric element portion 20 becomes the connecting portion 56. .

以上のように、図１から図４に示す圧電アクチュエータ１０では、シャフト１２と圧電素子部２０とを連結する接着樹脂部５０の第１境界部５１及び第２境界部５２が、直接圧電素子部２０における素子本体２１表面や外部電極２４表面に接続しておらず、第１素子保護層６１や第２素子保護層６２を介して接続している。第１素子保護層６１や第２素子保護層６２は、接着樹脂部５０と圧電素子部２０との線膨張係数の違いなどから圧電素子部２０に生じる応力を緩和することにより、温度環境の変動等に起因して、圧電素子部２０にクラックが発生したり、圧電素子部２０が損傷したりする問題を防止できる。 As described above, in the piezoelectric actuator 10 shown in FIGS. 1 to 4, the first boundary portion 51 and the second boundary portion 52 of the adhesive resin portion 50 connecting the shaft 12 and the piezoelectric element portion 20 are directly connected to the piezoelectric element portion. 20 is not connected to the surface of the element main body 21 or the surface of the external electrode 24, but is connected via the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62. The first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 can change the temperature environment by relaxing the stress generated in the piezoelectric element part 20 due to the difference in the linear expansion coefficient between the adhesive resin part 50 and the piezoelectric element part 20. Due to the above, it is possible to prevent a problem that the piezoelectric element portion 20 is cracked or the piezoelectric element portion 20 is damaged.

また、圧電アクチュエータ１０では、接着樹脂部５０が第１厚み変化部５０ａおよび第２厚み変化部５０ｂを有するため、圧電素子部２０とシャフト１２とを強固に接合することが可能である。また、第１厚み変化部５０ａ及び第２厚み変化部５０ｂを有する構造では、冷熱サイクルなどの経た後に、第１境界部５１及び第２境界部５２周辺の圧電素子部２０に応力が集中する問題が発生し得るが、本実施形態に係る圧電アクチュエータ１０では、圧電素子部２０と第１境界部５１及び第２境界部５２との間に第１及び第２素子保護層６１、６２が設けられるため、このような問題を好適に防止できる。 Moreover, in the piezoelectric actuator 10, since the adhesive resin part 50 has the 1st thickness change part 50a and the 2nd thickness change part 50b, it is possible to join the piezoelectric element part 20 and the shaft 12 firmly. Also, in the structure having the first thickness changing portion 50a and the second thickness changing portion 50b, there is a problem that stress concentrates on the piezoelectric element portion 20 around the first boundary portion 51 and the second boundary portion 52 after a cooling cycle or the like. However, in the piezoelectric actuator 10 according to this embodiment, the first and second element protective layers 61 and 62 are provided between the piezoelectric element portion 20 and the first boundary portion 51 and the second boundary portion 52. Therefore, such a problem can be suitably prevented.

また、圧電アクチュエータ１０では、第１素子保護層６１の面積が、第２素子保護層６２の面積および外部電極２４の面積より狭いため、外部電極２４の一部が第１素子保護層６１に被覆されない。そのため、外部電極形成面２０ｃに第１素子保護層６１を設けた後であっても、外部電極２４に対して、配線部３０を容易に接続することが可能であり、組み立てが容易である。 In the piezoelectric actuator 10, since the area of the first element protection layer 61 is smaller than the area of the second element protection layer 62 and the area of the external electrode 24, a part of the external electrode 24 covers the first element protection layer 61. Not. Therefore, even after the first element protection layer 61 is provided on the external electrode formation surface 20c, the wiring part 30 can be easily connected to the external electrode 24, and assembly is easy.

第２実施形態
図５は、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０を示す概略斜視図である。第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０は、可動部であるシャフト１１２の太さと、シャフト１１２と圧電素子部２０とを連結する接着樹脂部１５０の形状が異なることを除き、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０と同様である。したがって、圧電アクチュエータ１１０の説明では、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０との相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。 Second Embodiment FIG. 5 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator 110 according to a second embodiment of the present invention. The piezoelectric actuator 110 according to the second embodiment is related to the first embodiment except that the thickness of the shaft 112 that is a movable part and the shape of the adhesive resin part 150 that connects the shaft 112 and the piezoelectric element part 20 are different. Similar to the piezoelectric actuator 10. Therefore, in the description of the piezoelectric actuator 110, only differences from the piezoelectric actuator 10 according to the first embodiment will be described, and description of common points will be omitted.

図５に示すように、圧電アクチュエータ１１０のシャフト１１２において圧電素子部２０の第１端面２０ａに対向するシャフト対向面１１２ａ（図６及び図７参照）の面積は、第１端面２０ａの面積より狭い。 As shown in FIG. 5, in the shaft 112 of the piezoelectric actuator 110, the area of the shaft facing surface 112a (see FIGS. 6 and 7) facing the first end surface 20a of the piezoelectric element portion 20 is narrower than the area of the first end surface 20a. .

図６は、図５に示す圧電アクチュエータ１１０の外部電極形成面２０ｃに垂直な部分断面図である。図６に示すように、シャフト１１２と圧電素子部２０とを接続する接着樹脂部１５０は、第１実施形態に係る接着樹脂部５０とは異なり、圧電素子部２０の第１端面２０ａよりＺ軸正方向側（シャフト１１２側）に位置する部分が大きい。しかし、接着樹脂部１５０の一部は、第１端面２０ａよりＺ軸負方向側（錘４０側）に広がっており、さらにその一部が、図６に示すような外部電極形成面２０ｃに垂直な断面において、第１境界部１５１からシャフト１２に近い側に向かって徐々に厚みが増す第１厚み変化部１５０ａとなっている。 6 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode forming surface 20c of the piezoelectric actuator 110 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the adhesive resin portion 150 that connects the shaft 112 and the piezoelectric element portion 20 is different from the adhesive resin portion 50 according to the first embodiment in that the first end face 20a of the piezoelectric element portion 20 is Z-axis. The portion located on the positive direction side (shaft 112 side) is large. However, a part of the adhesive resin portion 150 extends from the first end face 20a to the negative Z-axis direction (weight 40 side), and a part thereof is perpendicular to the external electrode forming surface 20c as shown in FIG. In a simple cross section, the first thickness changing portion 150a gradually increases in thickness from the first boundary portion 151 toward the side closer to the shaft 12.

また、図６に示す接着樹脂部１５０の第１境界部１５１も、図３に示す第１境界部５１と同様に、圧電素子部２０の外部電極形成面２０ｃに対して、第１素子保護層６１を介して対向している。すなわち、第１素子保護層６１は、外部電極形成面２０ｃに垂直な断面（図６に示す断面）において、接着樹脂部１５０の第１境界部１５１と外部電極形成面２０ｃとの間に挟まれるように配置されている。 Moreover, the 1st boundary part 151 of the adhesive resin part 150 shown in FIG. 6 is also 1st element protective layer with respect to the external electrode formation surface 20c of the piezoelectric element part 20, similarly to the 1st boundary part 51 shown in FIG. It faces through 61. That is, the first element protective layer 61 is sandwiched between the first boundary portion 151 of the adhesive resin portion 150 and the external electrode forming surface 20c in a cross section perpendicular to the external electrode forming surface 20c (the cross section shown in FIG. 6). Are arranged as follows.

さらに、接着樹脂部１５０の第１厚み変化部１５０ａは、図３に示す第１厚み変化部５０ａに比べて小さいが、図３に示す第１厚み変化部５０ａと同様に、中間に第１素子保護層６１が挟まれていることにより、外部電極形成面２０ｃに対して直接対向せず、かつ、直接接続しないようになっている。 Further, the first thickness changing portion 150a of the adhesive resin portion 150 is smaller than the first thickness changing portion 50a shown in FIG. 3, but in the same way as the first thickness changing portion 50a shown in FIG. Since the protective layer 61 is sandwiched, it is not directly opposed to the external electrode forming surface 20c and is not directly connected.

図７は、図５に示す圧電アクチュエータ１１０の外部電極非形成面２０ｅに垂直な部分断面図である。接着樹脂部１５０は、図７に示すような外部電極非形成面２０ｅに垂直な断面において、第２境界部１５２からシャフト１２に近い側に向かって徐々に厚みが増す第２厚み変化部１５０ｂを有している。接着樹脂部１５０の第２厚み変化部１５０ｂは、図４に示す第２厚み変化部５０ｂに比べて小さいが、図４に示す第２厚み変化部５０ｂと同様に、中間に第２素子保護層６２が挟まれていることにより、外部電極非形成面２０ｅに対して直接対向せず、かつ、直接接続しないようになっている。 FIG. 7 is a partial cross-sectional view perpendicular to the external electrode non-formation surface 20e of the piezoelectric actuator 110 shown in FIG. In the cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface 20e as shown in FIG. 7, the adhesive resin portion 150 includes a second thickness changing portion 150b that gradually increases in thickness from the second boundary portion 152 toward the side closer to the shaft 12. Have. The second thickness changing portion 150b of the adhesive resin portion 150 is smaller than the second thickness changing portion 50b shown in FIG. 4, but in the same way as the second thickness changing portion 50b shown in FIG. By sandwiching 62, the external electrode non-formation surface 20e is not directly opposed and is not directly connected.

また、図７に示す接着樹脂部１５０の第２境界部１５２も、図４に示す第２境界部５２と同様に、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅに対して、第２素子保護層６２を介して対向している。すなわち、第２素子保護層６２は、外部電極非形成面２０ｅに垂直な断面（図７に示す断面）において、接着樹脂部１５０の第２境界部１５２と外部電極非形成面２０ｅとの間に挟まれるように配置されている。 Further, the second boundary portion 152 of the adhesive resin portion 150 shown in FIG. 7 also protects the second element against the external electrode non-formation surface 20e of the piezoelectric element portion 20, similarly to the second boundary portion 52 shown in FIG. Opposing via layer 62. That is, the second element protective layer 62 is between the second boundary portion 152 of the adhesive resin portion 150 and the external electrode non-formation surface 20e in a cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface 20e (the cross section shown in FIG. 7). It is arranged to be sandwiched.

第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０でも、圧電アクチュエータ１０と同様に、第１素子保護層６１や第２素子保護層６２は、接着樹脂部１５０と圧電素子部２０との線膨張係数の違いなどから圧電素子部２０に生じる応力を緩和することができ、温度環境の変動等に起因して、圧電素子部２０にクラックが発生したり、圧電素子部２０が損傷したりする問題を防止できる。また、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０は、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０と同様の効果を奏する。 Also in the piezoelectric actuator 110 according to the second embodiment, like the piezoelectric actuator 10, the first element protective layer 61 and the second element protective layer 62 are different in the linear expansion coefficient between the adhesive resin portion 150 and the piezoelectric element portion 20, and the like. Thus, the stress generated in the piezoelectric element portion 20 can be relaxed, and problems such as cracks in the piezoelectric element portion 20 or damage to the piezoelectric element portion 20 due to changes in temperature environment or the like can be prevented. In addition, the piezoelectric actuator 110 according to the second embodiment has the same effects as the piezoelectric actuator 10 according to the first embodiment.

第３実施形態
図８は、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータ２１０を示す概略斜視図である。第３実施形態に係る圧電アクチュエータ２１０は、第２素子保護層６２の上に抵抗層２６４が設けられていることを除き、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０と同様である。したがって、圧電アクチュエータ２１０の説明では、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０との相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。 Third Embodiment FIG. 8 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator 210 according to a third embodiment of the present invention. The piezoelectric actuator 210 according to the third embodiment is the same as the piezoelectric actuator 10 according to the first embodiment, except that the resistance layer 264 is provided on the second element protection layer 62. Therefore, in the description of the piezoelectric actuator 210, only differences from the piezoelectric actuator 10 according to the first embodiment will be described, and description of common points will be omitted.

図８に示すように、圧電アクチュエータ２１０において、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅは第２素子保護層６２で被覆されており、さらに第２素子保護層６２の上には、抵抗層２６４が重ねて設けられている。抵抗層２６４は、Ｙ軸方向に沿って第２素子保護層６２を横断する帯状の形状を有しており、対向する２つの外部電極形成面２０ｃに形成される２つの外部電極２４を、互いに接続している。 As shown in FIG. 8, in the piezoelectric actuator 210, the external electrode non-formation surface 20 e of the piezoelectric element portion 20 is covered with the second element protection layer 62, and the resistance layer is further formed on the second element protection layer 62. H.264 is provided in an overlapping manner. The resistance layer 264 has a belt-like shape that crosses the second element protection layer 62 along the Y-axis direction, and the two external electrodes 24 formed on the two opposing external electrode formation surfaces 20c are connected to each other. Connected.

抵抗層２６４は、第２素子保護層６２より低く、外部電極２４及び内部電極層２２より高い電気抵抗を有しており、圧電素子部２０における焦電効果により発生する電荷が移動できるようになっている。これにより、圧電アクチュエータ２１０は、焦電効果による圧電素子部２０の分極度低下を防止することができる。また、抵抗層２６４は、第２素子保護層６２の上に設けられているため、素子本体２１の内部電極層２２に直接接触しない。このような抵抗層２６４の抵抗値は、抵抗層２６４の断面積と、外部電極２４間を抵抗層２６４により接続する接続長さにより正確に制御することができるため、製造誤差が少ない。なお、抵抗層２６４を形成する数は２つに限られず、１つまたは３つ以上であってもかまわない。 The resistance layer 264 is lower than the second element protection layer 62 and has an electric resistance higher than that of the external electrode 24 and the internal electrode layer 22, so that charges generated by the pyroelectric effect in the piezoelectric element portion 20 can move. ing. Thereby, the piezoelectric actuator 210 can prevent the degree of polarization of the piezoelectric element portion 20 from being lowered due to the pyroelectric effect. Further, since the resistance layer 264 is provided on the second element protective layer 62, it does not directly contact the internal electrode layer 22 of the element body 21. Such a resistance value of the resistance layer 264 can be accurately controlled by a cross-sectional area of the resistance layer 264 and a connection length in which the external electrodes 24 are connected by the resistance layer 264, so that a manufacturing error is small. Note that the number of the resistance layers 264 formed is not limited to two, and may be one or three or more.

抵抗層２６４は、たとえば導電性のフィラーを含む樹脂等で構成される。その他、第３実施形態に係る圧電アクチュエータ２１０は、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ１０と同様の効果を奏する。 The resistance layer 264 is made of, for example, a resin containing a conductive filler. In addition, the piezoelectric actuator 210 according to the third embodiment has the same effects as the piezoelectric actuator 10 according to the first embodiment.

第４実施形態
図９は、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエータ３１０を示す概略斜視図である。第４実施形態に係る圧電アクチュエータ３１０は、第２素子保護層６２の上に抵抗層２６４が設けられていることを除き、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０と同様である。したがって、圧電アクチュエータ３１０の説明では、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１１０との相違点のみを説明し、共通点については説明を省略する。 Fourth Embodiment FIG. 9 is a schematic perspective view showing a piezoelectric actuator 310 according to a fourth embodiment of the present invention. The piezoelectric actuator 310 according to the fourth embodiment is the same as the piezoelectric actuator 110 according to the second embodiment, except that the resistance layer 264 is provided on the second element protection layer 62. Therefore, in the description of the piezoelectric actuator 310, only differences from the piezoelectric actuator 110 according to the second embodiment will be described, and description of common points will be omitted.

図９に示すように、圧電アクチュエータ３１０において、圧電素子部２０の外部電極非形成面２０ｅは第２素子保護層６２で被覆されており、さらに第２素子保護層６２の上には、抵抗層２６４が重ねて設けられている。なお、抵抗層２６４は、図８に示す圧電アクチュエータ２１０が有する抵抗層２６４と同様である。 As shown in FIG. 9, in the piezoelectric actuator 310, the external electrode non-formation surface 20 e of the piezoelectric element portion 20 is covered with the second element protection layer 62, and the resistance layer is further formed on the second element protection layer 62. H.264 is provided in an overlapping manner. Note that the resistance layer 264 is similar to the resistance layer 264 included in the piezoelectric actuator 210 illustrated in FIG.

圧電アクチュエータ３１０も、第３実施形態に係る圧電アクチュエータ２１０と同様に、焦電効果による圧電素子部２０の分極度低下を防止することができる。その他、第４実施形態に係る圧電アクチュエータ３１０は、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２１０及び第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３１０と同様の効果を奏する。 Similarly to the piezoelectric actuator 210 according to the third embodiment, the piezoelectric actuator 310 can also prevent a decrease in the degree of polarization of the piezoelectric element portion 20 due to the pyroelectric effect. In addition, the piezoelectric actuator 310 according to the fourth embodiment has the same effects as the piezoelectric actuator 210 according to the second embodiment and the piezoelectric actuator 310 according to the third embodiment.

以上、実施形態を挙げて本発明に係る圧電アクチュエータ３１０を説明してきたが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、他の多くの実施形態や変形例を有することは言うまでもない。たとえば、第１素子保護層６１及び第２素子保護層６２は、圧電素子部２０の側面と接着樹脂部１５０との間に挟まれるように設けられていればどのような形状であってもよく、実施形態に示される以外の形状を有していてもよい。 As described above, the piezoelectric actuator 310 according to the present invention has been described with reference to the embodiment. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention has many other embodiments and modifications. Yes. For example, the first element protection layer 61 and the second element protection layer 62 may have any shape as long as the first element protection layer 61 and the second element protection layer 62 are provided so as to be sandwiched between the side surface of the piezoelectric element portion 20 and the adhesive resin portion 150. It may have a shape other than that shown in the embodiment.

１０、１１０、２１０、３１０…圧電アクチュエータ
１２、１１２…シャフト
１２ａ、１１２ａ…シャフト対向面
２０…圧電素子部
２０ａ…第１端面
２０ｂ…第２端面
２０ｃ…外部電極形成面
２０ｅ…外部電極非形成面
２１…素子本体
２２…内部電極層
２３…圧電体層
２４…外部電極
３０…配線部
４０…錘
５０、１５０…接着樹脂部
５０ａ、１５０ａ…第１厚み変化部
５０ｂ、１５０ｂ…第２厚み変化部
５１、１５１…第１境界部
５２、１５２…第２境界部
５６…連結部
６１…第１素子保護層
６２…第２素子保護層
２６４…抵抗層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 110, 210, 310 ... Piezoelectric actuator 12, 112 ... Shaft 12a, 112a ... Shaft opposing surface 20 ... Piezoelectric element part 20a ... 1st end surface 20b ... 2nd end surface 20c ... External electrode formation surface 20e ... External electrode non-formation surface DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Element main body 22 ... Internal electrode layer 23 ... Piezoelectric layer 24 ... External electrode 30 ... Wiring part 40 ... Weight 50, 150 ... Adhesive resin part 50a, 150a ... 1st thickness change part 50b, 150b ... 2nd thickness change part DESCRIPTION OF SYMBOLS 51,151 ... 1st boundary part 52, 152 ... 2nd boundary part 56 ... Connection part 61 ... 1st element protective layer 62 ... 2nd element protective layer 264 ... Resistance layer

Claims

可動部であるシャフトと、
慣性部である錘と、
前記シャフトが接続される第１端面と、前記第１端面に対向しており前記錘が接続される第２端面と、互いに対向する２つの外部電極形成面と２つの前記外部電極形成面を接続しており互いに対向する２つの外部電極非形成面とを含み前記第１端面と前記第２端面とを接続する４つの側面と、を有する略直方体の圧電素子部と、
前記シャフトと前記圧電素子部とを連結する接着樹脂部と、
前記錘と前記圧電素子部とを連結する連結部と、
前記外部電極形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第１境界部と前記外部電極形成面との間に挟まれるように、前記外部電極形成面に設けられる第１素子保護層と、
前記外部電極非形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第２境界部と前記外部電極非形成面との間に挟まれるように、前記外部電極非形成面に設けられる第２素子保護層と、を有し、
前記第１素子保護層の面積は、前記第２素子保護層の面積より狭く、
前記第１素子保護層および前記第２素子保護層の弾性率は、前記接着樹脂部の弾性率より低いことを特徴とする圧電アクチュエータ。 A shaft that is a moving part;
A weight that is an inertial part;
A first end face to which the shaft is connected, a second end face facing the first end face and to which the weight is connected, two external electrode forming faces facing each other, and two external electrode forming faces are connected to each other. A piezoelectric element portion having a substantially rectangular parallelepiped shape having two external electrode non-formation surfaces facing each other and having four side surfaces connecting the first end surface and the second end surface;
An adhesive resin portion connecting the shaft and the piezoelectric element portion;
A connecting portion for connecting the weight and the piezoelectric element portion;
In the cross section perpendicular to the external electrode formation surface, the external electrode formation surface is sandwiched between a first boundary portion which is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode formation surface. A first element protective layer provided on
In the cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface, the external electrode is sandwiched between a second boundary portion that is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode non-formation surface. A second element protective layer provided on the non-formed surface,
Area of the first element protective layer is rather narrow than the area of the second element protective layer,
The elastic modulus of the first element protective layer and the second element protective layer, a piezoelectric actuator, characterized in than the low Ikoto elastic modulus of the adhesive resin portion.

前記外部電極形成面に垂直な断面における前記第１素子保護層の厚みは、前記外部電極非形成面に垂直な断面における前記第２素子保護層の厚みより薄いことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。 When the thickness of the first element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode forming surface, to claim 1, wherein a thinner than the thickness of the second element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode-forming surface The piezoelectric actuator as described.

可動部であるシャフトと、  A shaft that is a moving part;
慣性部である錘と、  A weight that is an inertial part;
前記シャフトが接続される第１端面と、前記第１端面に対向しており前記錘が接続される第２端面と、互いに対向する２つの外部電極形成面と２つの前記外部電極形成面を接続しており互いに対向する２つの外部電極非形成面とを含み前記第１端面と前記第２端面とを接続する４つの側面と、を有する略直方体の圧電素子部と、  A first end face to which the shaft is connected, a second end face facing the first end face and to which the weight is connected, two external electrode forming faces facing each other, and two external electrode forming faces are connected to each other. A piezoelectric element portion having a substantially rectangular parallelepiped shape having two external electrode non-formation surfaces facing each other and having four side surfaces connecting the first end surface and the second end surface;
前記シャフトと前記圧電素子部とを連結する接着樹脂部と、  An adhesive resin portion connecting the shaft and the piezoelectric element portion;
前記錘と前記圧電素子部とを連結する連結部と、  A connecting portion for connecting the weight and the piezoelectric element portion;
前記外部電極形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第１境界部と前記外部電極形成面との間に挟まれるように、前記外部電極形成面に設けられる第１素子保護層と、  In the cross section perpendicular to the external electrode formation surface, the external electrode formation surface is sandwiched between a first boundary portion which is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode formation surface. A first element protective layer provided on
前記外部電極非形成面に垂直な断面において、前記接着樹脂部における前記錘に近い側の端部である第２境界部と前記外部電極非形成面との間に挟まれるように、前記外部電極非形成面に設けられる第２素子保護層と、を有し、  In the cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface, the external electrode is sandwiched between a second boundary portion that is an end portion on the side close to the weight in the adhesive resin portion and the external electrode non-formation surface. A second element protective layer provided on the non-formed surface,
前記第１素子保護層の面積は、前記第２素子保護層の面積より狭く、  The area of the first element protective layer is narrower than the area of the second element protective layer,
前記外部電極形成面に垂直な断面における前記第１素子保護層の厚みは、前記外部電極非形成面に垂直な断面における前記第２素子保護層の厚みより薄いことを特徴とする圧電アクチュエータ。  The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein a thickness of the first element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode forming surface is smaller than a thickness of the second element protective layer in a cross section perpendicular to the external electrode non-forming surface.

前記接着樹脂部は、前記外部電極形成面に垂直な断面において、前記第１境界部から前記シャフトに近い側に向かって徐々に厚みが増す第１厚み変化部を有し、
前記第１素子保護層は、前記第１厚み変化部と前記外部電極形成面との間に挟まれるように設けられており、
前記接着樹脂部は、前記外部電極非形成面に垂直な断面において、前記第２境界部から前記シャフトに近い側に向かって徐々に厚みが増す第２厚み変化部を有し、
前記第２素子保護層は、前記第２厚み変化部と前記外部電極非形成面との間に挟まれるように設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 The adhesive resin portion has a first thickness change portion that gradually increases in thickness from the first boundary portion toward the side closer to the shaft in a cross section perpendicular to the external electrode formation surface,
The first element protective layer is provided so as to be sandwiched between the first thickness changing portion and the external electrode forming surface,
The adhesive resin part has a second thickness changing part that gradually increases in thickness from the second boundary part toward the side closer to the shaft in a cross section perpendicular to the external electrode non-formation surface,
The said 2nd element protective layer is provided so that it may be pinched | interposed between the said 2nd thickness change part and the said external electrode non-formation surface, In any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned. The piezoelectric actuator as described.