JP6565601B2 - 画像補正装置 - Google Patents
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Description
a) 試料の測定対象領域を所定の速度で走査しつつ前記測定対象領域内の各測定点における所定の物理量を測定することにより得られた、前記測定対象領域における前記物理量の測定値の分布を表す主画像と、前記測定対象領域を前記所定の速度よりも高速で走査しつつ前記各測定点における前記物理量を測定することにより得られた前記物理量の測定値の分布を表す参照画像とが保存された記憶部と、
b) 前記参照画像と前記主画像の対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める差分算出部と、
c) 前記差分が予め決められた閾値以上である1乃至隣接する複数の測定点を含む補正対象領域を抽出する補正対象領域抽出部と、
d) 前記主画像の前記補正対象領域を1測定点ずつ面内で移動させ、各移動位置において前記主画像と前記参照画像の各対応測定点の測定値の差分の前記補正対象領域全体としての所定の統計量が最小となる移動量を決定する移動量決定部と、
e) 前記主画像の前記補正対象領域内の各測定点の測定値を前記移動量だけ移動して測定値を置き換える補正実行部と
を備えることを特徴とする。
前記主画像及び前記参照画像のうちの一方の画像を複数の分割画像に分割し、各分割画像の各測定点の測定値を他方の画像の測定点の測定値と比較して各分割画像のドリフト量を求めるドリフト量算出部と、
前記ドリフト量を相殺するように前記分割画像を移動させて前記一方の画像のドリフトを補正するドリフト補正部と、
を備え、
前記差分算出部が、前記ドリフト補正部によるドリフト補正後の前記参照画像又は前記主画像を用いて対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める
ことが望ましい。
a) 試料の測定対象領域を所定の速度で走査しつつ前記測定対象領域内の各測定点における所定の物理量を測定することにより得られた、前記測定対象領域における前記物理量の測定値の分布を表す主画像が保存された記憶部と、
b) 前記主画像を平滑化処理することにより参照画像を作成する参照画像作成部と、
c) 前記参照画像と前記主画像の対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める差分算出部と、
d) 前記差分が予め決められた閾値以上である1乃至隣接する複数の測定点を含む補正対象領域を抽出する補正対象領域抽出部と、
e) 前記主画像の前記補正対象領域を1測定点ずつ面内で移動させ、各移動位置において前記主画像と前記参照画像の各対応測定点の測定値の差分の前記補正対象領域全体としての所定の統計量が最小となる移動量を決定する移動量決定部と、
f) 前記主画像の前記補正対象領域内の各測定点の測定値を前記移動量だけ移動して測定値を置き換える補正実行部と
を備えることを特徴とする。
実施例1の画像補正装置1の要部構成を図2に示す。
画像補正装置1は、制御部10と、該制御部10に接続された入力部18と表示部19を備えている。制御部10は、記憶部11のほかに、機能ブロックとしてドリフト量算出部12、ドリフト補正部13、差分算出部14、補正対象領域抽出部15、移動量決定部16、及び補正実行部17を備えている。制御部10の実体は、所要のオペレーティングソフトウェア(OS)等がインストールされたパーソナルコンピュータである。
次に、実施例2に係る画像補正装置20について、図面を参照して説明する。実施例1と同じ構成要素については同一の符号を付して、適宜説明を省略する。
画像補正装置2は、制御部20と、該制御部20に接続された入力部18と表示部19を備えている。制御部20は、記憶部21のほかに、機能ブロックとして参照画像作成部22、差分算出部14、補正対象領域抽出部15、移動量決定部16、及び補正実行部17を備えている。制御部20の実体は、所要のオペレーティングソフトウェア(OS)等がインストールされたパーソナルコンピュータである。
例えば、上記実施例では、補正対象測定点に隣接する測定点を含めて補正対象領域としたが、補正対象測定点そのものを(隣接する測定点を含めず)補正対象領域としてもよい。
10、20…制御部
11、21…記憶部
12…ドリフト量算出部
13…ドリフト補正部
14…差分算出部
15…補正対象領域抽出部
16…移動量決定部
17…補正実行部
22…参照画像作成部
18…入力部
19…表示部
Claims (7)
- a) 試料の測定対象領域を所定の速度で走査しつつ前記測定対象領域内の各測定点における所定の物理量を測定することにより得られた、前記測定対象領域における前記物理量の測定値の分布を表す主画像と、前記測定対象領域を前記所定の速度よりも高速で走査しつつ前記各測定点における前記物理量を測定することにより得られた前記物理量の測定値の分布を表す参照画像とが保存された記憶部と、
b) 前記参照画像と前記主画像の対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める差分算出部と、
c) 前記差分が予め決められた閾値以上である1乃至隣接する複数の測定点を含む補正対象領域を抽出する補正対象領域抽出部と、
d) 前記主画像の前記補正対象領域を1測定点ずつ面内で移動させ、各移動位置において前記主画像と前記参照画像の各対応測定点の測定値の差分の前記補正対象領域全体としての所定の統計量が最小となる移動量を決定する移動量決定部と、
e) 前記主画像の前記補正対象領域内の各測定点の測定値を前記移動量だけ移動して測定値を置き換える補正実行部と
を備えることを特徴とする画像補正装置。 - 前記主画像及び前記参照画像のうちの一方の画像を複数の分割画像に分割し、各分割画像の各測定点の測定値を他方の画像の測定点の測定値と比較して各分割画像のドリフト量を求めるドリフト量算出部と、
前記ドリフト量を相殺するように前記分割画像を移動させて前記一方の画像のドリフトを補正するドリフト補正部と
を備え、
前記差分算出部が、前記ドリフト補正部によるドリフト補正後の前記参照画像又は前記主画像を用いて対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める
ことを特徴とする請求項1に記載の画像補正装置。 - 前記ドリフト補正部が、前記主画像及び前記参照画像のうちのいずれか一方における位置を表す座標を他方の位置を表す座標に変換するための関数を作成するものであることを特徴とする請求項2に記載の画像補正装置。
- 前記記憶部に、前記主画像を取得するための測定において前記所定の物理量と別の種類の物理量を測定することにより得られた、前記測定対象領域における前記別の種類の測定値の分布を表す対象画像が保存されており、
前記補正実行部が、前記主画像における補正対象領域及び移動量を用いて前記対象画像を補正する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の画像補正装置。 - a) 試料の測定対象領域を所定の速度で走査しつつ前記測定対象領域内の各測定点における所定の物理量を測定することにより得られた、前記測定対象領域における前記物理量の測定値の分布を表す主画像が保存された記憶部と、
b) 前記主画像を平滑化処理することにより参照画像を作成する参照画像作成部と、
c) 前記参照画像と前記主画像の対応する測定点における前記物理量の測定値の差分を求める差分算出部と、
d) 前記差分が予め決められた閾値以上である1乃至隣接する複数の測定点を含む補正対象領域を抽出する補正対象領域抽出部と、
e) 前記主画像の前記補正対象領域を1測定点ずつ面内で移動させ、各移動位置において前記主画像と前記参照画像の各対応測定点の測定値の差分の前記補正対象領域全体としての所定の統計量が最小となる移動量を決定する移動量決定部と、
f) 前記主画像の前記補正対象領域内の各測定点の測定値を前記移動量だけ移動して測定値を置き換える補正実行部と
を備えることを特徴とする画像補正装置。 - 前記閾値が、全ての測定点における前記測定値の差分を統計的に処理することにより求められることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の画像補正装置。
- 前記閾値が、全ての測定点における前記測定値の差分の標準偏差に所定の係数を乗じた値を、該全ての測定点における前記測定値の差分の平均値に加算することにより求められることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の画像補正装置。
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