JP6552072B2 - Chip electronic component and method of manufacturing chip electronic component - Google Patents
Chip electronic component and method of manufacturing chip electronic component Download PDFInfo
- Publication number
- JP6552072B2 JP6552072B2 JP2018022181A JP2018022181A JP6552072B2 JP 6552072 B2 JP6552072 B2 JP 6552072B2 JP 2018022181 A JP2018022181 A JP 2018022181A JP 2018022181 A JP2018022181 A JP 2018022181A JP 6552072 B2 JP6552072 B2 JP 6552072B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- internal coil
- electronic component
- coil portion
- bridge pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/26—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers
- H01F10/28—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers characterised by the composition of the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
- H01F27/292—Surface mounted devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
Description
本発明は、チップ電子部品及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a chip electronic component and a method of manufacturing the same.
チップ電子部品の一つであるインダクタ(inductor)は、抵抗、キャパシタと共に電子回路をなしてノイズ(Noise)を除去する代表的な受動素子であり、電磁気的特性を用いてキャパシタと組み合わせて特定周波数帯域の信号を増幅させる共振回路、フィルター(Filter)回路等の構成に用いられる。 An inductor, which is one of the chip electronic components, is a typical passive element that makes up an electronic circuit together with a resistor and a capacitor to remove noise, and has a specific frequency in combination with a capacitor using electromagnetic characteristics. It is used for the configuration of a resonance circuit, a filter circuit, etc. that amplifies a signal in a band.
最近では、各種の通信デバイス又はディスプレーデバイス等のITデバイスの小型化及び薄膜化が加速化しており、このようなITデバイスに用いられるインダクタ、キャパシタ、トランジスタ等の各種の素子も小型化及び薄型化するための研究が行われている。 Recently, miniaturization and thinning of IT devices such as various communication devices or display devices have been accelerated, and various elements such as inductors, capacitors and transistors used for such IT devices have also been miniaturized and thinned Research is underway to do this.
また、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、消費電力が増加している。このような消費電力の増加に伴い、電子機器の電源回路に用いられるPMIC(Power Management Integrated Circuit)又はDC‐DCコンバーター(DC‐DC Converter)のスイッチング周波数(Switching Frequency)が高周波化され、出力電流が増加している。よって、PMIC又はDC‐DCコンバーターの出力電流の安定化に用いられるパワーインダクタ(Power Inductor)の使用が増加している。 In addition, power consumption is increasing as electronic devices become smaller and higher performance. With such an increase in power consumption, the switching frequency of the PMIC (Power Management Integrated Circuit) or DC-DC converter (DC-DC Converter) used in the power supply circuit of the electronic device is increased in frequency and the output current Has increased. Thus, the use of Power Inductors used to stabilize the output current of PMICs or DC-DC converters is increasing.
パワーインダクタの開発は小型化、高電流化及び低直流抵抗を目標としているが、従来の積層型パワーインダクタとしてはこれを具現するのに限界があるため、薄膜の絶縁基板の上下面にメッキで形成されるコイルパターンの上に磁性粉末を樹脂と混合して形成させた薄膜型インダクタの開発が行われている。 Development of power inductors is aimed at downsizing, high current and low DC resistance, but there is a limit in realizing this as a conventional multilayer power inductor, so plating on the upper and lower surfaces of thin film insulating substrate Development of a thin film type inductor formed by mixing magnetic powder with resin on a coil pattern to be formed has been conducted.
薄膜型インダクタの場合、メッキでコイルパターンを形成した後、インダクタンスを最大限確保するためにコイルパターンが形成された部位を除いた領域の絶縁基板を除去する。しかしながら、コイルパターンが形成された部位を除いた全ての領域が除去された絶縁基板はコイルを支持する力が足りないため、磁性体層を積層して圧着する過程でコイルの変形が発生し、コイルの変形による露出不良が発生するという問題がある。 In the case of a thin film type inductor, after forming a coil pattern by plating, the insulating substrate in the region excluding the portion where the coil pattern is formed is removed in order to ensure the maximum inductance. However, since the insulating substrate from which all regions except the portion where the coil pattern is formed is removed has insufficient force to support the coil, deformation of the coil occurs in the process of laminating and pressing the magnetic layers, There is a problem that an exposure failure occurs due to deformation of the coil.
本発明の目的は、内部コイル部を支持する力を増加させることにより、磁性体層を積層し圧着する過程での内部コイル部の変形を防止し、内部コイル部の変形による露出不良を改善することができるチップ電子部品及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to prevent deformation of the inner coil portion in the process of laminating and pressing magnetic layers by increasing the force for supporting the inner coil portion, and to improve the exposure failure due to the deformation of the inner coil portion. It is an object of the present invention to provide a chip electronic component that can be
本発明の一実施形態によれば、絶縁基板を含む磁性体本体と、上記絶縁基板の少なくとも一面に形成される内部コイル部と、上記磁性体本体の端面に形成され、上記内部コイル部と接続する外部電極と、を含み、上記絶縁基板は上記内部コイル部が形成されていないブリッジパターン部を含むチップ電子部品が提供される。 According to one embodiment of the present invention, a magnetic body main body including an insulating substrate, an internal coil portion formed on at least one surface of the insulating substrate, and an end surface of the magnetic body main body are connected to the internal coil portion A chip electronic component including a bridge pattern portion in which the internal coil portion is not formed.
上記ブリッジパターン部は上記磁性体本体の対向する両端面に露出することができる。 The bridge pattern portion may be exposed at opposite end surfaces of the magnetic body.
上記ブリッジパターン部は上記内部コイル部の引出部が露出する上記磁性体本体の両端面と直交する方向の対向する両端面に露出することができる。 The bridge pattern portion can be exposed at opposite end surfaces in a direction orthogonal to both end surfaces of the magnetic body main body where the lead-out portion of the internal coil portion is exposed.
上記ブリッジパターン部は上記絶縁基板上に形成された内部コイル部の変形を防止することができる。 The bridge pattern part can prevent deformation of the internal coil part formed on the insulating substrate.
上記絶縁基板の厚さをt、上記ブリッジパターン部が露出する磁性体本体の一端面の長さをlとしたとき、t×lの断面積に対する上記ブリッジパターン部の断面積の比は0.02〜0.88であれば良い。 Assuming that the thickness of the insulating substrate is t and the length of one end face of the magnetic body to which the bridge pattern portion is exposed is l, the ratio of the cross sectional area of the bridge pattern portion to the cross sectional area of t × l is 0. It may be 02 to 0.88.
上記絶縁基板の中央部は貫通ホールを形成し、上記貫通ホールは磁性体で充填されてコア部を形成することができる。 The central portion of the insulating substrate may form a through hole, and the through hole may be filled with a magnetic material to form a core portion.
上記絶縁基板はポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板及び金属系軟磁性基板からなる群から選択されたいずれか一つ以上であれば良い。 The insulating substrate may be at least one selected from the group consisting of a polypropylene glycol (PPG) substrate, a ferrite substrate, and a metallic soft magnetic substrate.
本発明の他の実施形態によれば、中央部に貫通ホールが形成された絶縁基板を含む磁性体本体と、上記絶縁基板の両面に形成され、上記磁性体本体の対向する両端面に第1の引出部及び第2の引出部が露出する内部コイル部と、上記磁性体本体の両端面に形成され、上記内部コイル部の第1の引出部及び第2の引出部とそれぞれ接続する第1の外部電極及び第2の外部電極と、を含み、上記絶縁基板は上記内部コイル部の第1の引出部及び第2の引出部が露出する磁性体本体の両端面と直交する方向の対向する両端面に露出して上記内部コイル部の変形を防止するブリッジパターン部を含むチップ電子部品が提供される。 According to another embodiment of the present invention, a magnetic body including an insulating substrate having a through hole in a central portion, and both surfaces of the insulating substrate formed on both sides of the insulating substrate are opposed to each other. And an inner coil portion to which the second lead portion is exposed, and first end portions formed on both end surfaces of the magnetic body main body and respectively connected to the first lead portion and the second lead portion of the inner coil portion. And the insulating substrate is opposed in a direction orthogonal to both end faces of the magnetic body to which the first lead-out portion and the second lead-out portion of the inner coil portion are exposed. There is provided a chip electronic component including a bridge pattern portion exposed at both end surfaces to prevent deformation of the internal coil portion.
上記絶縁基板の厚さをt、上記ブリッジパターン部が露出する磁性体本体の一端面の長さをlとしたとき、t×lの断面積に対する上記ブリッジパターン部の断面積の比は0.02〜0.88であれば良い。 Assuming that the thickness of the insulating substrate is t and the length of one end face of the magnetic body to which the bridge pattern portion is exposed is l, the ratio of the cross sectional area of the bridge pattern portion to the cross sectional area of t × l is 0. It may be 02 to 0.88.
上記貫通ホールは磁性体で充填されてコア部を形成することができる。 The through hole may be filled with a magnetic material to form a core part.
上記絶縁基板はポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板及び金属系軟磁性基板からなる群から選択されたいずれか一つ以上であれば良い。 The insulating substrate may be at least one selected from the group consisting of a polypropylene glycol (PPG) substrate, a ferrite substrate, and a metallic soft magnetic substrate.
本発明の他の実施形態によれば、絶縁基板の少なくとも一面に内部コイル部を形成する段階と、上記絶縁基板から上記内部コイル部が形成されていない部分を除去する段階と、上記内部コイル部が形成された絶縁基板の上部及び下部に磁性体層を積層して磁性体本体を形成する段階と、上記磁性体本体の端面に上記内部コイル部と接続されるように外部電極を形成する段階と、を含み、上記内部コイル部が形成されていない部分の絶縁基板を除去する段階で上記内部コイル部が形成されていない部分の一部を除いて絶縁基板を除去してブリッジパターン部を形成するチップ電子部品の製造方法が提供される。 According to another embodiment of the present invention, the step of forming an internal coil portion on at least one surface of an insulating substrate, the step of removing a portion where the internal coil portion is not formed from the insulating substrate, and the internal coil portion Forming a magnetic body by laminating a magnetic layer on the upper and lower portions of the insulating substrate on which is formed, and forming an external electrode on the end face of the magnetic body so as to be connected to the internal coil portion And removing the insulating substrate except for a part of the portion where the internal coil portion is not formed in the step of removing the insulating substrate of the portion in which the internal coil portion is not formed. A method of manufacturing a chip electronic component is provided.
上記ブリッジパターン部は上記磁性体本体の対向する両端面に露出するように形成されることができる。 The bridge pattern portion may be formed so as to be exposed at opposite end surfaces of the magnetic body.
上記ブリッジパターン部は上記内部コイル部の引出部が露出する上記磁性体本体の両端面と直交する方向の対向する両端面に露出するように形成されることができる。 The bridge pattern portion may be exposed at opposite end surfaces in a direction orthogonal to both end surfaces of the magnetic body to which the lead-out portion of the internal coil portion is exposed.
上記ブリッジパターン部は上記磁性体層を積層して磁性体本体を形成するときに上記絶縁基板上に形成された内部コイル部の変形を防止することができる。 The bridge pattern portion can prevent deformation of the internal coil portion formed on the insulating substrate when the magnetic body layer is formed by laminating the magnetic layer.
上記絶縁基板の厚さをt、上記ブリッジパターン部が露出する磁性体本体の一端面の長さをlとしたとき、t×lの断面積に対する上記ブリッジパターン部の断面積の比は0.02〜0.88であれば良い。 Assuming that the thickness of the insulating substrate is t and the length of one end face of the magnetic body to which the bridge pattern portion is exposed is l, the ratio of the cross sectional area of the bridge pattern portion to the cross sectional area of t × l is 0. It may be 02 to 0.88.
上記絶縁基板の中央部は貫通ホールを形成し、上記磁性体層を積層する段階で上記貫通ホールに磁性体が充填されてコア部を形成することができる。 A central portion of the insulating substrate may form a through hole, and the magnetic material may be filled in the through hole at the stage of laminating the magnetic layer to form a core portion.
本発明は、内部コイル部を支持する力を増加させることにより、磁性体層を積層し圧着する過程での内部コイル部の変形を防止し、内部コイル部の変形による露出不良を改善することができる。 The present invention prevents deformation of the inner coil portion in the process of laminating and pressing magnetic layers by increasing the force for supporting the inner coil portion, and improves the exposure failure due to the deformation of the inner coil portion. it can.
また、コイルの周辺に流れる磁束を遮断することにより、コイルの周辺が磁化されることを防止して電流の印加によるインダクタンス(L)値の変化特性を改善し且つ充填される磁性体の体積を十分に確保して高い最大インダクタンス値を具現することができる。 Further, by blocking the magnetic flux flowing around the coil, it is possible to prevent the magnetization of the coil periphery from being magnetized, improve the change characteristic of the inductance (L) value by the application of the current, and reduce the volume of the magnetic material to be filled. It is possible to realize a high maximum inductance value with sufficient securing.
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Also, embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to one of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes, sizes, etc. of the elements in the drawings may be exaggerated for a clearer explanation.
[チップ電子部品]
以下では、本発明の一実施形態によるチップ電子部品を説明するにあたり、特に、薄膜型インダクタを例に挙げて説明するが、これに制限されない。
[Chip electronic components]
Hereinafter, a thin film type inductor will be described as an example in describing a chip electronic component according to an embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto.
図1は、本発明の一実施形態によるチップ電子部品の内部コイル部を示す概略斜視図である。 FIG. 1 is a schematic perspective view showing an internal coil portion of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention.
図1を参照すると、チップ電子部品の一例として、電源供給回路の電源ラインに用いられる薄膜型チップインダクタ100が示されている。上記チップ電子部品は、チップインダクタ以外にもチップビーズ(chip beads)、チップフィルター(chip filter)等に適宜応用されることができる。
Referring to FIG. 1, a thin
上記薄膜型インダクタ100は、磁性体本体50と、絶縁基板20と、内部コイル部40と、外部電極81、82と、を含む。
The
磁性体本体50は、薄膜型インダクタ100の外観をなし、磁気特性を示す材料であれば特に制限されず、例えば、フェライト又は金属系軟磁性材料が充填されて形成されることができる。
The
上記フェライトとしては、Mn‐Zn系フェライト、Ni‐Zn系フェライト、Ni‐Zn‐Cu系フェライト、Mn‐Mg系フェライト、Ba系フェライト又はLi系フェライト等の公知のフェライトを含むことができる。 The ferrite may include known ferrites such as Mn-Zn ferrite, Ni-Zn ferrite, Ni-Zn-Cu ferrite, Mn-Mg ferrite, Ba ferrite or Li ferrite.
上記金属系軟磁性材料は、Fe、Si、Cr、Al及びNiからなる群から選択されたいずれか一つ以上を含む合金であれば良く、例えば、Fe‐Si‐B‐Cr系非晶質金属粒子を含むことができるが、これに制限されない。 The metallic soft magnetic material may be an alloy containing any one or more selected from the group consisting of Fe, Si, Cr, Al and Ni, for example, Fe-Si-B-Cr amorphous. Metal particles can be included but are not limited thereto.
上記金属系軟磁性材料は、粒子直径が0.1μm〜30μmであり、エポキシ(epoxy)樹脂又はポリイミド(polyimide)等の高分子上に分散された形で含まれることができる。 The metallic soft magnetic material may have a particle diameter of 0.1 μm to 30 μm, and may be contained in a form dispersed on a polymer such as epoxy resin or polyimide.
磁性体本体50は、六面体の形状を有することができる。なお、本発明の実施形態を明確に説明するために六面体の方向を定義すると、図1に表示されたL、W及びTはそれぞれ長さ方向、幅方向及び厚さ方向を示す。上記磁性体本体50は、長さ方向の長さが幅方向の長さより大きい直六面体の形状を有することができる。
The
上記磁性体本体50の内部に形成される絶縁基板20は、例えば、ポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板又は金属系軟磁性基板等であれば良い。
The insulating
上記絶縁基板20の一面にはコイル状のパターンを有する内部コイル部40が形成され、上記絶縁基板20の反対面にもコイル状のパターンを有する内部コイル部40が形成されることができる。
An
上記内部コイル部40は、コイルパターンがスパイラル(spiral)状に形成されることができる。上記絶縁基板20の一面と反対面に形成される内部コイル部40は、上記絶縁基板20に形成されるビア電極45を介して電気的に接続されることができる。
The
上記内部コイル部40は、磁性体本体50の対向する両端面にそれぞれ露出する第1の引出部41と、第2の引出部42と、を含むことができる。
The
上記絶縁基板20の一面に形成された内部コイル部40は磁性体本体50の一端面に露出する第1の引出部41を含み、上記絶縁基板20の反対面に形成された内部コイル部40は第1の引出部41が露出する磁性体本体50の一端面と対向する他端面に露出する第2の引出部42を含むことができる。
The
上記内部コイル部40及びビア電極45は、電気伝導性に優れた金属を含んで形成され、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタニウム(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、白金(Pt)又はこれらの合金等で形成されることができる。
The
上記内部コイル部40が形成されていない絶縁基板20の中央部には貫通ホールが形成され、上記貫通ホールはフェライト又は金属系軟磁性材料等の磁性体で充填されてコア部55を形成することができる。磁性体で充填されるコア部55を形成することにより、インダクタンス(L)を向上させることができる。
A through hole is formed in the central portion of the insulating
上記絶縁基板20は、内部コイル部40が形成されていない領域のブリッジパターン部25を含むことができる。
The insulating
従来では、内部コイル部40が形成された部位を除いた全ての領域の絶縁基板20を除去したが、本発明の一実施形態では、内部コイル部40が形成されていない一部領域の絶縁基板20を除去せずにブリッジパターン部25を形成することにより、内部コイル部40を支持する力を増加させ、磁性体層の積層及び圧着時の内部コイル部40の変形を防止することができる。例えば、ブリッジパターン部25を形成したことにより内部コイル部40の変形が防止されてコイルの変形による露出不良率が9.2%から0.34%に顕著に減少した。
Conventionally, the insulating
図2及び図3は、本発明の一実施形態によるチップ電子部品の概略平面図である。 2 and 3 are schematic plan views of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention.
図2及び図3を参照すると、上記ブリッジパターン部25は、磁性体本体50の対向する両端面に露出することができる。
Referring to FIGS. 2 and 3, the
例えば、上記ブリッジパターン部25は、上記内部コイル部40の第1の引出部41及び第2の引出部42が露出する磁性体本体50の両端面と直交する方向の対向する両端面に露出することができる。
For example, the
一方、ブリッジパターン部25は、図2及び図3に示されている別々の実施形態のようにその体積が異なっても良い。
On the other hand, the
但し、ブリッジパターン部25の位置及び形状は、図2及び図3に限定されず、内部コイル部40が形成されていない絶縁基板20の一部領域及び内部コイル部40の変形が防止できる形状であればいずれのものでも良い。
However, the position and the shape of the
図4は、本発明の一実施形態によるチップ電子部品のブリッジパターン部の断面積を示すための概略斜視図である。 FIG. 4 is a schematic perspective view showing a cross-sectional area of a bridge pattern portion of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention.
図4を参照すると、絶縁基板20の厚さをt、ブリッジパターン部25が露出する磁性体本体50の一端面の長さをlとしたとき、t×lの断面積に対する上記ブリッジパターン部25の断面積の比は0.02〜0.88であれば良い。
Referring to FIG. 4, when the thickness of the insulating
ブリッジパターン部25の断面積比が上記範囲を満たす場合、内部コイル部40の変形を効果的に防止することができる上、非磁性体である絶縁基板20が磁束の流れを遮断して電流の印加によるインダクタンスの変化が減少する効果が向上し、且つ磁性体本体50に充填される磁性体の体積を十分に確保して高いインダクタンス値を具現することができる。
When the cross-sectional area ratio of the
ブリッジパターン部25の断面積比が0.02未満の場合は、内部コイル部40を支持する力が足りないため、磁性体層の積層及び圧着過程で内部コイル部40の変形による露出不良が発生し、0.88を超える場合は、磁性体の体積減少によってインダクタンス値が大きく減少する可能性がある。
When the cross-sectional area ratio of the
一方、上記内部コイル部40は、絶縁層で被覆されることができる。
Meanwhile, the
絶縁層は、スクリーン印刷法、フォトレジスト(photo resist、PR)の露光及び現像による工程、スプレー(spray)塗布工程等の公知の方法で形成されることができ、真空ディッピング(Dipping)工程、CVD(気相蒸着法)等で形成されることもできる。内部コイル部40は、絶縁層で被覆されるため、磁性体本体50をなす磁性体材料と直接接触しないことができる。
The insulating layer may be formed by a known method such as a screen printing method, a process of exposing and developing a photoresist (PR), a spray application process, a vacuum dipping process, a CVD process, and the like. It can also be formed by a vapor deposition method or the like. Since the
上記磁性体本体50の両端面に露出する上記内部コイル部40の第1の引出部41及び第2の引出部42とそれぞれ接続するよう、磁性体本体50の両端面には第1の外部電極及び第2の外部電極81、82が形成されることができる。
First external electrodes are provided on both end faces of the
上記第1の外部電極及び第2の外部電極81、82は、磁性体本体50の長さ方向の両端面に形成され、且つ磁性体本体50の厚さ方向の両端面及び/又は幅方向の両端面に伸びて形成されることができる。
The first external electrode and the second
上記第1及び第2の外部電極81、82は、電気伝導性に優れた金属を含んで形成され、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)又は銀(Ag)等の単独又はこれらの合金等で形成されることができる。
The first and second
[チップ電子部品の製造方法]
図5は本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造方法を示す工程図であり、図6〜図8は本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造方法を順に示す図である。
[Method of manufacturing chip electronic components]
FIG. 5 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a chip electronic component according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 6 to 8 are diagrams sequentially illustrating a method for manufacturing a chip electronic component according to an embodiment of the present invention.
図6を参照すると、まず、絶縁基板20の少なくとも一面に内部コイル部40を形成することができる。
Referring to FIG. 6, first, the
上記絶縁基板20としては、特に制限されず、例えば、ポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板又は金属系軟磁性基板等を用い、40〜100μmの厚さを有することができる。
The insulating
上記内部コイル部40の形成方法としては、例えば、電気メッキ法が挙げられるが、これに制限されない。内部コイル部40は、電気伝導性に優れた金属を含んで形成され、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタニウム(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、白金(Pt)又はこれらの合金等で形成されることができる。
As a method of forming the
上記絶縁基板20の一部にホールを形成し伝導性物質を充填してビア電極45を形成し、上記ビア電極45を介して絶縁基板20の一面と反対面に形成される内部コイル部40を電気的に接続させることができる。
A hole is formed in a part of the insulating
上記内部コイル部40は、両端面にそれぞれ露出する第1の引出部41と第2の引出部42とを含むことができる。
The
上記絶縁基板20の一面に形成された内部コイル部40は一端面に露出する第1の引出部41を含み、上記絶縁基板20の反対面に形成された内部コイル部40は第1の引出部41が露出する一端面と対向する他端面に露出する第2の引出部42を含むことができる。
The
図7を参照すると、上記絶縁基板20から内部コイル部40が形成されていない部分を除去することができる。
Referring to FIG. 7, the portion where the
絶縁基板20の除去は、ドリル、レーザー、サンドブラスト、パンチング加工等を用いて行われることができる。例えば、絶縁基板20は、CO2レーザーを用いて除去されることができる。
The removal of the insulating
上記内部コイル部40が形成されていない絶縁基板20の中央部を除去して、絶縁基板20を貫通する貫通ホールを形成することができる。
The central portion of the insulating
この際、上記絶縁基板20から内部コイル部40が形成されていない部分の一部を除いて除去して、ブリッジパターン部25を形成することができる。
At this time, the
従来では、内部コイル部40が形成された部位を除いた全ての領域の絶縁基板20を除去したが、本発明の一実施形態では、内部コイル部40が形成されていない一部領域の絶縁基板20を除去せずにブリッジパターン部25を形成することにより、内部コイル部40を支持する力を増加させ、磁性体層の積層及び圧着時の内部コイル部40の変形を防止することができる。
Conventionally, the insulating
上記ブリッジパターン部25は、上記内部コイル部40の第1の引出部41及び第2の引出部42が露出する両端面と直交する方向の対向する両端面に露出することができる。
The
上記絶縁基板20の厚さをt、ブリッジパターン部25が露出する磁性体本体50の一端面の長さをlとしたとき、t×lの断面積に対する上記ブリッジパターン部25の断面積の比は0.02〜0.88であれば良い。
Assuming that the thickness of the insulating
ブリッジパターン部25の断面積比が上記範囲を満たす場合、内部コイル部40の変形を効果的に防止することができる上、非磁性体である絶縁基板20が磁束の流れを遮断して電流の印加によるインダクタンスの変化が減少する効果が向上し、且つ磁性体本体50に充填される磁性体の体積を十分に確保して高いインダクタンス値を具現することができる。
When the cross-sectional area ratio of the
ブリッジパターン部25の断面積比が0.02未満の場合は、内部コイル部40を支持する力が足りないため、磁性体層の積層及び圧着過程で内部コイル部40の変形による露出不良が発生し、0.88を超える場合は、磁性体の体積減少によってインダクタンス値が大きく減少する可能性がある。
When the cross-sectional area ratio of the
上記内部コイル部40の表面には、内部コイル部40を被覆する絶縁層を形成することができる。絶縁層は、スクリーン印刷法、フォトレジスト(photo resist、PR)の露光及び現像による工程、スプレー(spray)塗布工程、真空ディッピング(Dipping)工程、CVD(気相蒸着法)等の方法で形成されることができるが、これに制限されない。
An insulating layer that covers the
図8を参照すると、内部コイル部40が形成された絶縁基板20の上部及び下部に磁性体層51を積層して磁性体本体50を形成することができる。
Referring to FIG. 8, the
磁性体層51を絶縁基板20の両面に積層し、ラミネート法や静水圧プレス法により圧着して磁性体本体50を形成することができる。
The
この際、上記絶縁基板20の中央部に形成された貫通ホールが磁性体で充填されてコア部55を形成することができる。
At this time, the through holes formed in the central portion of the insulating
次に、上記磁性体本体50の両端面に露出する上記内部コイル部40の第1の引出部41及び第2の引出部42とそれぞれ接続するよう、磁性体本体50の両端面に第1の外部電極及び第2の外部電極81、82を形成することができる。
Next, the first and second end surfaces of the
上記第1及び第2の外部電極81、82は、電気伝導性に優れた金属を含むペースト、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)又は銀(Ag)等の単独又はこれらの合金等を含む伝導性ペーストを用いて形成されることができる。
The first and second
第1及び第2の外部電極81、82は、その形成方法に特別な制限はなく、外部電極81、82の形状によってプリンティングのみならずディッピング(dipping)法等を行って形成されることができる。
The first and second
その他、上述した本発明の一実施形態によるチップ電子部品の特徴と同じ部分については、その詳細な説明を省略する。 In addition, the detailed description of the same portions as the features of the chip electronic component according to the embodiment of the present invention described above will be omitted.
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。 Although the embodiment of the present invention has been described in detail above, the scope of the right of the present invention is not limited to this, and various modifications and modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention described in the claims. It will be apparent to those skilled in the art that variations are possible.
100 薄膜型インダクタ
45 ビア電極
20 絶縁基板
50 磁性体本体
25 ブリッジパターン部
51 磁性体層
55 コア部
40 内部コイル部
81、82 第1及び第2の外部電極
41 第1の引出部
42 第2の引出部
DESCRIPTION OF
Claims (20)
前記絶縁基板から前記内部コイル部が形成されていない部分を除去する段階と、
前記内部コイル部が形成された絶縁基板の上部及び下部に磁性体層を積層して磁性体本体を形成する段階と、
前記磁性体本体の端面に前記内部コイル部と接続されるように外部電極を形成する段階と、
を含み、
前記内部コイル部が形成されていない部分の絶縁基板を除去する段階で、前記内部コイル部が形成されていない部分の一部を除いて絶縁基板を除去してブリッジパターン部を形成し、
前記内部コイル部が形成されていない部分の絶縁基板を除去して前記ブリッジパターン部を形成した後において、前記絶縁基板の面に直交する方向から見た場合に、前記内部コイル部と重なる前記絶縁基板の外周の少なくとも一部は、前記内部コイル部の外周の少なくとも一部と重なる、チップ電子部品の製造方法。 Forming an inner coil portion on at least one surface of the insulating substrate;
Removing the portion where the internal coil portion is not formed from the insulating substrate;
Forming a magnetic body by laminating a magnetic layer on the upper and lower portions of the insulating substrate on which the internal coil portion is formed;
Forming an external electrode on the end face of the magnetic body so as to be connected to the internal coil portion;
Including
In the step of removing the portion of the insulating substrate where the internal coil portion is not formed, the insulating substrate is removed except for a portion of the portion where the internal coil portion is not formed to form a bridge pattern portion ,
The insulation that overlaps the internal coil portion when viewed from a direction orthogonal to the surface of the insulating substrate after the insulating substrate in a portion where the internal coil portion is not formed is removed to form the bridge pattern portion. At least a portion of the periphery of the substrate, wherein the that heavy Do inner coil portion at least part of the outer periphery of the manufacturing method of the chip electronic component.
前記絶縁基板から複数の前記内部コイル部が形成されていない部分を除去する段階と、 Removing a portion where the plurality of internal coil portions are not formed from the insulating substrate;
複数の前記内部コイル部が形成された絶縁基板の上部及び下部に磁性体層を積層して磁性体本体を形成する段階と、 Forming a magnetic body by laminating a magnetic layer on the upper and lower portions of the insulating substrate on which the plurality of internal coil portions are formed;
前記磁性体本体の端面に複数の前記内部コイル部と接続されるように外部電極を形成する段階と、 Forming an external electrode on an end face of the magnetic body so as to be connected to the plurality of internal coil portions;
を含み、 Including
前記ブリッジパターン部は、一の前記内部コイル部が形成されている部分の絶縁基板と、前記一の内部コイル部と隣り合う他の前記内部コイル部が形成されている部分の絶縁基板とを接続する、請求項1に記載のチップ電子部品の製造方法。 The bridge pattern portion connects a portion of the insulating substrate where the one internal coil portion is formed and a portion of the insulating substrate adjacent to the one internal coil portion where the internal coil portion is formed. The manufacturing method of the chip electronic component according to claim 1.
前記絶縁基板の少なくとも一面に形成された内部コイル部と、 An internal coil portion formed on at least one surface of the insulating substrate;
前記磁性体本体の端面に形成され、前記内部コイル部と接続する外部電極と、 An external electrode formed on an end surface of the magnetic body and connected to the internal coil portion;
を含み、 Including
前記絶縁基板は、前記内部コイル部が形成されていないブリッジパターン部を含み、 The insulating substrate includes a bridge pattern part in which the internal coil part is not formed,
前記絶縁基板の面に直交する方向から見た場合に、前記内部コイル部と重なる前記絶縁基板の外周の少なくとも一部は、前記内部コイル部の外周の少なくとも一部と重なる、チップ電子部品。 A chip electronic component, wherein at least a part of the outer periphery of the insulating substrate overlapping the inner coil portion overlaps at least a portion of the outer periphery of the inner coil portion when viewed in a direction orthogonal to the surface of the insulating substrate.
前記磁性体本体の端面に形成され、複数の前記内部コイル部と接続する外部電極と、 An external electrode formed on an end surface of the magnetic body and connected to the plurality of internal coil portions;
を含み、 Including
前記ブリッジパターン部は、一の前記内部コイル部が形成されている部分の絶縁基板と、前記一の内部コイル部と隣り合う他の前記内部コイル部が形成されている部分の絶縁基板とを接続する、請求項11に記載のチップ電子部品。 The bridge pattern portion connects the insulating substrate of the portion where the one internal coil portion is formed and the insulating substrate of the portion where the other internal coil portion adjacent to the one internal coil portion is formed The chip electronic component according to claim 11.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140001659A KR102004238B1 (en) | 2014-01-07 | 2014-01-07 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
KR10-2014-0001659 | 2014-01-07 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014050380A Division JP6351155B2 (en) | 2014-01-07 | 2014-03-13 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018101797A JP2018101797A (en) | 2018-06-28 |
JP6552072B2 true JP6552072B2 (en) | 2019-07-31 |
Family
ID=53648465
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014050380A Active JP6351155B2 (en) | 2014-01-07 | 2014-03-13 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
JP2018022181A Active JP6552072B2 (en) | 2014-01-07 | 2018-02-09 | Chip electronic component and method of manufacturing chip electronic component |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014050380A Active JP6351155B2 (en) | 2014-01-07 | 2014-03-13 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6351155B2 (en) |
KR (1) | KR102004238B1 (en) |
CN (1) | CN104766691B (en) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101719914B1 (en) * | 2015-07-31 | 2017-03-24 | 삼성전기주식회사 | Coil electronic component and manufacturing method thereof |
KR101792365B1 (en) * | 2015-12-18 | 2017-11-01 | 삼성전기주식회사 | Coil component and manufacturing method for the same |
KR102419961B1 (en) * | 2016-02-18 | 2022-07-13 | 삼성전기주식회사 | Inductor |
KR101883081B1 (en) * | 2016-12-21 | 2018-07-27 | 삼성전기주식회사 | Inductor |
US10755847B2 (en) * | 2017-03-07 | 2020-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil electronic component |
KR102148831B1 (en) * | 2018-10-02 | 2020-08-27 | 삼성전기주식회사 | Coil component |
KR102100347B1 (en) * | 2018-10-30 | 2020-04-13 | 주식회사 코엠고 | A manufacturing method of power inductor and power inductor |
KR20200048972A (en) | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 삼성전기주식회사 | Coil component and manufacturing method of coil component |
KR102120198B1 (en) * | 2019-02-28 | 2020-06-08 | 삼성전기주식회사 | Coil component |
KR20200117700A (en) | 2019-04-05 | 2020-10-14 | 삼성전기주식회사 | Coil component |
ES2946042T3 (en) * | 2019-07-25 | 2023-07-12 | Wuerth Elektronik Eisos Gmbh & Co Kg | Electronic component and method for manufacturing an electronic component |
JP2021064669A (en) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 株式会社村田製作所 | Coil and inductor including coil |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5538005A (en) * | 1978-09-08 | 1980-03-17 | Nippon Kokuen Kogyo Kk | Method of fabricating copperrcoated insulated board |
JPH08167522A (en) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Tdk Corp | Lc composite component and manufacture thereof |
JPH11116659A (en) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Ultraviolet-hardening type liquid resin composition for sealing device |
AU3055599A (en) * | 1998-04-01 | 1999-10-25 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing interconnection structural body |
JP2001323099A (en) * | 2000-05-15 | 2001-11-20 | Nitto Denko Corp | Photosensitive resin composition, porous resin, circuit substrate and circuit-printed suspension substrate |
JP2003203813A (en) * | 2001-08-29 | 2003-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic element, its manufacturing method and power source module provided therewith |
JP2004094194A (en) * | 2002-07-10 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | Spacer arranging method and manufacturing method of electrooptical device |
JP2004146655A (en) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Taiyo Yuden Co Ltd | Coil component and circuit device using the same |
JP2006037060A (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Hitachi Chem Co Ltd | Printing ink composition, method for letterpress reversed offset, method for forming resist pattern, method for producing electronic component and electronic component |
JP2006278479A (en) | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Tdk Corp | Coil component |
JP5370981B2 (en) * | 2008-03-19 | 2013-12-18 | 日産自動車株式会社 | Porous membrane laminate |
CN101409145A (en) * | 2008-07-25 | 2009-04-15 | 华中科技大学 | Inductor capable of bearing great current |
CN101789294B (en) * | 2009-12-16 | 2012-03-07 | 深圳顺络电子股份有限公司 | Electronic component and manufacturing method thereof |
JP5583467B2 (en) * | 2010-04-30 | 2014-09-03 | パナソニック株式会社 | Metal-clad laminate, photoelectric composite wiring board, method for producing metal-clad laminate, and method for producing photoelectric composite wiring board |
JP5381956B2 (en) * | 2010-10-21 | 2014-01-08 | Tdk株式会社 | Coil parts |
US9236171B2 (en) * | 2010-10-21 | 2016-01-12 | Tdk Corporation | Coil component and method for producing same |
JP5810274B2 (en) * | 2010-12-06 | 2015-11-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Induction heating coil and induction heating cooker using the same |
JP5375878B2 (en) * | 2011-05-26 | 2013-12-25 | Tdk株式会社 | Coil component manufacturing method and coil component |
JP5382064B2 (en) * | 2011-05-26 | 2014-01-08 | Tdk株式会社 | Coil component and manufacturing method thereof |
JP6215518B2 (en) * | 2011-08-26 | 2017-10-18 | ローム株式会社 | Magnetic metal substrate and inductance element |
EP2606821A1 (en) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | Marc Rocklinger | Inductive pressure sensor |
US9009951B2 (en) * | 2012-04-24 | 2015-04-21 | Cyntec Co., Ltd. | Method of fabricating an electromagnetic component |
CN103377811B (en) * | 2012-04-24 | 2016-08-10 | 乾坤科技股份有限公司 | Electromagnetic device and loop construction thereof |
-
2014
- 2014-01-07 KR KR1020140001659A patent/KR102004238B1/en active IP Right Grant
- 2014-03-13 JP JP2014050380A patent/JP6351155B2/en active Active
- 2014-04-02 CN CN201410131854.3A patent/CN104766691B/en active Active
-
2018
- 2018-02-09 JP JP2018022181A patent/JP6552072B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102004238B1 (en) | 2019-07-26 |
JP2018101797A (en) | 2018-06-28 |
CN104766691A (en) | 2015-07-08 |
JP2015130469A (en) | 2015-07-16 |
CN104766691B (en) | 2018-10-02 |
KR20150081802A (en) | 2015-07-15 |
JP6351155B2 (en) | 2018-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6552072B2 (en) | Chip electronic component and method of manufacturing chip electronic component | |
KR102080660B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
KR101525703B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
KR101983146B1 (en) | Chip electronic component | |
JP6213996B2 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
JP6863553B2 (en) | Coil electronic components and their manufacturing methods | |
KR102145317B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
JP2015079958A (en) | Chip electronic component, and mounting board and packaging unit of chip electronic component | |
KR101883043B1 (en) | Coil electronic component | |
KR101994729B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
JP2015026812A (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
KR102069629B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
JP2004274004A (en) | Microminiature power converter | |
US20180061561A1 (en) | Inductor array component and board for mounting the same | |
US10804021B2 (en) | Chip electronic component and method of manufacturing the same | |
KR102118489B1 (en) | Manufacturing method of chip electronic component | |
KR102198529B1 (en) | Chip electronic component and manufacturing method thereof | |
KR20220023199A (en) | Chip electronic component and method of manufacturing chip electronic component | |
KR20170090737A (en) | Coil component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6552072 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |