JP6539995B2 - カバー部材及び固体撮像装置 - Google Patents
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Description
従来、カバー部材としては、より多くの光を固体撮像素子に取り込むために、反射防止膜が形成された透明基板が使用されている。
特許文献2には、レンズから入射した光が、ボンディングパッドに接続されているワイヤ表面に反射し、その反射光がイメージセンサ上の受光面に入り込むことにより発生するフレアやゴーストを抑制するために、固体撮像素子と、レンズから固体撮像素子に入射する光の一部を遮光する遮光部材とを備え、遮光部材の縁面の、レンズの光軸方向に対してなす角度は、遮光部材の縁部に入射する光の入射角より大きい固体撮像装置が開示されている。
また、特許文献2に記載の固体撮像装置は、遮光部材により光がボンディングパッドに接続されているワイヤの表面で反射したことに起因するフレアやゴーストの発生は抑制できるが、斜入射光に起因するフレアやゴーストの発生については考慮されていない。
従って、この構成であれば、フレアやゴーストの発生を更に抑制することができる。
また、高屈折率膜と低屈折率膜以外にも、屈折率が高屈折率膜よりも小さく、かつ、低屈折率膜より大きい中屈折率膜を設けてもよい。
なお、透明基板5aの両面に形成される一方の反射防止膜5bと他方の反射防止膜5bは、同種の膜であっても異なる膜であってもよい。
透明基板として、縦20mm、横20mm、厚さ0.7mmの低α線ホウケイ酸ガラス BDA(日本電気硝子株式会社製)を準備した。
高屈折率膜の材質として酸化ニオブ(波長500nmの光の屈折率2.33)、低屈折率膜の材質としてシリカ(波長500nmの光の屈折率1.46)を準備し、スパッタリング法により、透明基板の両面に4層の多層膜を形成し、カバー部材を作製した。
なお、透明基板と酸化ニオブ膜の間及び酸化ニオブ膜とシリカ膜の間には漸移層を形成した。膜の厚みは表1に示す通りである。そして、カバー部材の周縁部に、遮光膜を設けた。遮光膜としては、エポキシ/フェノール硬化系の熱硬化性樹脂膜を用いている。遮光膜の色は黒色である。カーボンブラックを含有した熱硬化性樹脂を透明基板の周縁部に塗布し、150℃で20分間加熱することにより遮光膜を形成した。遮光膜の膜厚は25μmであった。なお、遮光膜の波長400〜700nmの光の平均透過率は0.01%であった。
スパッタリング法により、透明基板の両面に6層の多層膜を形成し、カバー部材を作製したこと以外は、実施例1と同様の方法でカバー部材を作製した。
なお、膜の厚み及び入射角60°における波長400〜700nmの光の平均反射率は4.3%、最大反射率は4.9%であった。
真空蒸着法により、透明基板の片面に1層のフッ化マグネシウム層を形成し、カバー部材を作成した。なお、膜の厚みは57nmであり、入射角60°における波長400〜700nmの光の平均反射率は7.5%、最大反射率は8.1%であった。
Claims (6)
- 波長400〜700nmの光を透過させることが可能な透明基板と、前記透明基板の少なくとも一方の面に設けられた反射防止膜と、前記透明基板の周縁部に設けられ、波長400〜700nmの光を遮蔽可能な遮光膜と、を備え、少なくとも一方の面において入射角60°における波長400〜700nmの光の平均反射率が6%以下である、カバー部材と、
受光部を有し、該受光部で受光した光の光電変換を行う固体撮像素子と、
前記固体撮像素子を収納するパッケージと、
前記固体撮像素子と前記パッケージとを電気的に接続するボンディングワイヤと、
を備え、
前記遮光膜は、少なくとも前記ボンディングワイヤの直上に位置する部位に設けられており、
前記カバー部材における、入射角60°において波長400〜700nmの光の平均反射率が6%以下である面が、前記固体撮像素子側に面することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記カバー部材における、少なくとも一方の面において入射角60°における波長400〜700nmの光の最大反射率が8.5%以下である、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記反射防止膜は、高屈折率膜と、屈折率が前記高屈折率膜よりも低い低屈折率膜とを交互に積層させた多層膜を含み、前記高屈折率膜と前記低屈折率膜の総層数が4層以上である、ことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記遮光膜は、前記ボンディングワイヤよりも前記固体撮像素子側に亘って設けられている、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記遮光膜は、波長400〜700nmの光の平均透過率が0.1%以下である、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記カバー部材における、前記遮光膜が形成されてなる面を前記受光部側に配置してなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の固体撮像装置。
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