JP6535959B2 - Tension adjustment device and web continuous processing method using the same - Google Patents

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Description

本発明は、張力調節装置及びこれを利用したウェブ連続処理方法に係り、より詳しくは、ウェブに超音波振動によって生成された反撥力を加えて、非接触でウェブの張力を調節する張力調節装置及びこれを利用したウェブ連続処理方法に関する。   The present invention relates to a tension adjusting device and a web continuous processing method using the same, and more particularly, to a tension adjusting device that applies a repulsion force generated by ultrasonic vibration to a web to adjust the tension of the web contactlessly. And a web continuous processing method using the same.

ウェブとは、柔軟で且つ長手方向に連続した素材のことを意味し、このようなウェブを連続して処理するための連続処理システムは、ワインダ(winder)、アンワインダ(unwinder)、複数の従動ローラ(driven roller)、及びアイドルローラ(idle roller)などを含んでいてよい。連続処理工程は、一般に、ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で進行される。ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で張力を制御する方法の一つとして、ダンサーメカニズムが用いられ、加圧装置としてのバネ、空気圧、錘などによって一定の方向に一定の大きさの力を加え、その位置の変動に係わらずウェブに一定の張力が印加されるように構成する装置である。   By web is meant flexible and longitudinally continuous material, and a continuous processing system for processing such web continuously includes a winder, an unwinder, a plurality of driven rollers (Driven roller), an idle roller (idle roller), etc. may be included. Continuous processing steps generally proceed in roll-to-roll or roll-to-sheet steps. A dancer mechanism is used as one of the methods of controlling tension in a roll-to-roll or roll-to-sheet process, and it has a certain size in a certain direction by means of a pressure device such as a spring, air pressure or weight. It is an apparatus that applies a force and is configured to apply a constant tension to the web regardless of variations in its position.

図1は、従来の張力調節装置を概略的に示す図である。   FIG. 1 is a schematic view of a conventional tension adjusting device.

同図に示すように、ダンサーローラ311がウェブWと機械的接触(摩擦)して張力調節を行う。支持ローラ312、313が固定位置でウェブWを支持する。   As shown in the figure, the dancer roller 311 makes mechanical contact (friction) with the web W to perform tension adjustment. Support rollers 312, 313 support the web W in a fixed position.

ウェブ、特に薄板ガラスウェブまたはこれより得られる薄板ガラスシートは、ディスプレイ、電子素材(太陽電池、タッチセンサー、ウエハなど)、建築、家電などの様々な分野で使用可能である。薄板ガラスウェブは、保護膜でコートされる前に機械的な接触によって損傷されやすい。そのため、保護膜のコーティング前の非コーティングガラスウェブは機械的接触を避ける必要がある。また、薄板ガラスウェブは、高硬度物質のガラスからなるものであって、ローラの表面を傷つけることがある。従来の張力調節装置の場合、ローラの損傷を抑えるために、高価のクロムコーティングなどの方法を用いていたが、これは設備コストの上昇要因になっていた。   Webs, in particular thin glass webs or thin glass sheets obtained therefrom, can be used in various fields such as displays, electronic materials (solar cells, touch sensors, wafers etc.), construction, home appliances and the like. Thin glass webs are susceptible to damage by mechanical contact before being coated with a protective film. Therefore, it is necessary to avoid mechanical contact of the non-coated glass web before coating of the protective film. In addition, the thin glass web is made of glass of a high hardness material, and may damage the surface of the roller. In the case of conventional tension control devices, methods such as expensive chrome coating have been used to reduce damage to the roller, but this has been a factor in increasing equipment costs.

従来、接触(摩擦)ダンサーローラによって支持し、または非接触技術でアーチ状のダンサーローラの外面に流体ベントを放出してウェブを支持する方式があった。しかし、前者は、機械的な接触によって薄型ガラスウェブの表面が損傷されやすく、後者は、圧縮空気の流速だけでウェブの均一な高さ調節が難しく且つウェブと非接触状態で維持する力(repelling force)が非常に弱いため、ウェブの不安定な状態(揺れなど)が生じた場合、接触しやすいという問題点がある。(非接触ダンサーメカニズム KR2011-0095191)   In the past, there has been a method of supporting a web by discharging a fluid vent on the outer surface of an arched dancer roller supported by a contact (friction) dancer roller or by non-contact technology. However, the former is likely to damage the surface of the thin glass web by mechanical contact, and the latter is a repelling force that makes it difficult to adjust the uniform height of the web only by the flow rate of compressed air and is not in contact with the web. (force) is very weak, and there is a problem that it is easy to touch when the web is unstable (such as shaking). (Non-contact dancer mechanism KR2011-0095191)

また、薄型ガラスウェブは、脆性材料特性を持ち、従来の伸び率(elongation)で制御する方式では割れやすいという特性を持っている。また、従来のウェブ搬送では、左右偏差が発生するとウェブ自体の伸び率(elongation)を用いて、ダンサーローラを上下だけに駆動してウェブ自体を延伸して張力の制御を行っているが、脆性材料の薄型ガラスウェブは、伸び率(elongation)が小さいことから、機械的接触や破損される可能性が高くなる。   In addition, thin glass webs have brittle material properties and have the property of being fragile in the conventional method of controlling by elongation. Also, in the conventional web conveyance, when the lateral deviation occurs, the tension is controlled by driving the dancer roller only up and down to stretch the web itself using the elongation rate of the web itself (elongation). The thin glass webs of the material have a high elongation, which increases the possibility of mechanical contact and breakage.

本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ウェブの搬送中に張力外乱を、機械的接触をすることなくウェブに均一な力(圧力)を加えて、ウェブを均一な張力に保持するダンサーメカニズムを提供することである   The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and its object is to carry out tension disturbance during transport of the web, uniform force on the web without mechanical contact. It is to provide a dancer mechanism that holds the web in uniform tension by applying (pressure)

前記した目的を達成するために、本発明は、ウェブに力を加えて、前記ウェブの張力を調節するダンサーを含み、前記ダンサーは、第1の超音波振動部を含み、前記第1の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による反撥力を前記ウェブに加えて、非接触状態で前記ウェブに前記力を加えることを特徴とする張力調節装置を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention includes a dancer that applies a force to a web to adjust the tension of the web, the dancer includes a first ultrasonic vibration unit, and the first A sonic vibration unit provides a tension adjusting device characterized by ultrasonic vibration and applying a repulsive force by the ultrasonic vibration to the web to apply the force to the web in a non-contact state.

また、本発明は、前記張力調節装置を利用して前記ウェブの張力を調節する段階と、張力が調節された前記ウェブを処理する段階と、を含むことを特徴とするウェブ連続処理方法を提供する。   The present invention also provides a web continuous processing method comprising: adjusting the tension of the web using the tension adjusting device; and processing the tension-adjusted web. Do.

前記のように構成される本発明は、ウェブを安定して搬送するための非接触ダンサーメカニズム(搬送中に発生する張力制御及び機械的接触の除去)を具備した装置及びこれを利用するための方法を提供することができる。   The present invention configured as described above is a device equipped with a non-contact dancer mechanism (a tension control and a mechanical contact removal that occurs during transport) for stably transporting a web, and for using the same We can provide a way.

したがって、本発明により薄型ガラスウェブのような脆性材料の機械的な接触による損傷を避けることができると共に、機械的なコーティングなどのような追加的なダンサーローラの処理を不要とし、且つウェブを均一な高さで搬送し張力調節が可能な方法を提供する。   Thus, the present invention avoids damage from mechanical contact of brittle materials such as thin glass webs and does not require additional dancer roller processing such as mechanical coating etc. and makes the web uniform. To provide a method capable of carrying at a desired height and adjusting the tension.

従来の張力調節装置を示す図である。It is a figure which shows the conventional tension adjustment apparatus. 本発明の張力調節の基本原理を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the basic principle of tension adjustment of the present invention. 本発明の第1の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 1st example of the present invention. 本発明の第2の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 2nd example of the present invention. 本発明の第3の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 3rd example of the present invention. 本発明の第4の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 4th example of the present invention. 本発明の第5の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 5th example of the present invention. 本発明の第6の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 16 schematically shows a tension adjusting device according to a sixth embodiment of the present invention. 本発明の第7の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。It is a figure showing roughly the tension adjustment device concerning the 7th example of the present invention. 本発明の第8の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 18 schematically shows a tension adjusting device according to an eighth embodiment of the present invention. 本発明の第9の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a ninth embodiment of the present invention. 本発明の第10の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 20 schematically shows a tension adjusting device according to a tenth embodiment of the present invention. 本発明の第11の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to an eleventh embodiment of the present invention. 本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a twelfth embodiment of the present invention. 本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a twelfth embodiment of the present invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a thirteenth embodiment of the present invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a thirteenth embodiment of the present invention. 本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。FIG. 21 schematically shows a tension adjusting device according to a thirteenth embodiment of the present invention. 本発明の第14の実施例に係るウェブ連続処理方法を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the web continuous processing method concerning the 14th Example of this invention.

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を詳しく説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

ウェブの連続処理のためのロール・ツー・ロール(Roll to Roll)またはロール・ツー・シート(Roll to sheet)工程において、ウェブの搬送中に発生する張力外乱を、非接触ダンサー(Dancer)を使用して制御する。   In the Roll to Roll or Roll to Sheet process for continuous processing of the web, use a non-contact dancer (Tancer) for tension disturbance generated during conveyance of the web To control.

本発明は、特に、薄型ガラスウェブのように脆性材料(brittle material)のウェブ(web)の処理に関するものであって、特に脆性材料のウェブを搬送するための非接触ダンサー320を具備した張力調節装置及びこれを利用するウェブWの連続処理方法に関するものである。   The invention relates in particular to the treatment of webs of brittle materials, such as thin glass webs, and in particular a tension adjustment comprising a non-contact dancer 320 for conveying the web of brittle materials. The present invention relates to an apparatus and a continuous processing method of a web W using the apparatus.

図2は、本発明の張力調節の基本原理を概略的に示す図である。   FIG. 2 is a diagram schematically showing the basic principle of tension adjustment of the present invention.

本発明の張力調節装置はダンサー320を含む。図2のダンサー320は、第1の超音波振動部321、超音波発生部322、振動吸収部324、及び固定フレーム325を含む。ダンサー320は、ウェブWに力を加えて、ウェブWの張力を調節する。ダンサー320は第1の超音波振動部321を含む。第1の超音波振動部321は超音波振動する。第1の超音波振動部321は、超音波振動によって発生した高圧の空気層の反撥力をウェブWに加えて、非接触状態でウェブWに力を加える。   The tensioning device of the present invention includes a dancer 320. The dancer 320 of FIG. 2 includes a first ultrasonic vibration unit 321, an ultrasonic wave generation unit 322, a vibration absorption unit 324, and a fixed frame 325. The dancer 320 applies a force to the web W to adjust the tension of the web W. The dancer 320 includes a first ultrasonic vibration unit 321. The first ultrasonic vibration unit 321 performs ultrasonic vibration. The first ultrasonic vibration unit 321 applies the repulsion force of the high pressure air layer generated by the ultrasonic vibration to the web W, and applies a force to the web W in a non-contact state.

また、ダンサー320は超音波発生部322を含む。超音波発生部322は、超音波を発生させ、第1の超音波振動部321を振動させる。また、ダンサー320は、第1の超音波振動部321の振動が張力発生装置の他の構成部に伝わることを防止するための振動吸収部324を含んでいてよい。   Also, the dancer 320 includes an ultrasonic wave generator 322. The ultrasonic wave generation unit 322 generates ultrasonic waves to vibrate the first ultrasonic vibration unit 321. Further, the dancer 320 may include a vibration absorbing unit 324 for preventing the vibration of the first ultrasonic vibration unit 321 from being transmitted to the other components of the tension generating device.

ダンサー320の外面から離隔するように超音波加振技術(韓国公開特許 KR2010−0057530)が適用される。超音波による周期的な空気圧縮現象によってウェブWを押し出す力がダンサー320の外面に発生して、脆性材料のウェブWとの機械的な接触及び損傷を防止する。   The ultrasonic vibration technology (Korean Patent KR2010-0057530) is applied to separate from the outer surface of the dancer 320. The force of pushing out the web W is generated on the outer surface of the dancer 320 by the periodic air compression phenomenon by the ultrasonic wave, and the mechanical contact with the web W of the brittle material and the damage are prevented.

従来の流体ベントを利用した非接触張力調節装置とは異なり、ウェブWの不安定な状態(振動、揺れなど)が発生すると、それに応じて力(Repelling force)の大きさが自動的に調節されるため、押し出す力が表面の全体に均一に発生して、薄型ガラスウェブWとの非接触状態が一定に保持可能になる。   Unlike the conventional non-contact tension adjustment device using fluid vent, when instability of the web W (vibration, shaking, etc.) occurs, the magnitude of Repelling force is automatically adjusted accordingly. Therefore, the pushing force is uniformly generated over the entire surface, and the non-contact state with the thin glass web W can be kept constant.

張力制御のためにウェブWに一定の力を外部から持続的に加えることで、ウェブWに一定の張力が保持されるようにする。速度制御のために、巻取りと巻出しのうちの一方がマスターで他方がスレーブであれば、ダンサー320の高さをリアルタイムで測定しフィードバックしてスレーブの巻き速度を加減することで、巻取り及び巻出し速度の差をリアルタイムで制御して同期化することができる。   A constant tension is maintained on the web W by continuously applying a constant force to the web W from the outside for tension control. For speed control, if one of the winding and unwinding is the master and the other is the slave, the height of the dancer 320 is measured in real time and fed back to adjust the winding speed of the slave to adjust the winding speed. And the difference in unwinding speed can be controlled and synchronized in real time.

ここで、ウェブWは、典型的に薄板ガラスであってよいが、本発明がこれに限定されるものではない。本発明のウェブWは、その他の種々の材質からなるものであってよい。   Here, the web W may be typically thin glass, but the present invention is not limited thereto. The web W of the present invention may be made of various other materials.

図3は、本発明の第1の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   FIG. 3 is a view schematically showing a tension adjusting device according to a first embodiment of the present invention.

図3の張力調節装置は、ダンサー320を支持するためのリンク331を含む。リンク331の一端はダンサー320にヒンジ結合され、他端は固定点にヒンジ結合される。これにより、ダンサー320は固定点を回転中心にして回転自在となり、ダンサー320は該ダンサー320重量に該当する均一な力をウェブWに加える。その結果、張力調節装置は、ウェブWの張力を能動的に調節することができる。   The tension adjustment device of FIG. 3 includes a link 331 for supporting the dancer 320. One end of the link 331 is hinged to the dancer 320 and the other end is hinged to a fixed point. As a result, the dancer 320 can rotate around the fixed point, and the dancer 320 applies a uniform force corresponding to the weight of the dancer 320 to the web W. As a result, the tension adjustment device can actively adjust the tension of the web W.

図4乃至図5は、本発明の第2の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   FIGS. 4 to 5 schematically show a tension adjusting device according to a second embodiment of the present invention.

第1の超音波振動部321の外面は、図4に示すように、ウェブWと対向する部位が前記ウェブWの長手方向に沿って開曲線をなすか、図5に示す円をなしていてよい。従来の接触ダンサー320では、ウェブWとの摩擦によってダンサーローラが回転しなければならないが、本発明のダンサー320は、圧縮された空気で押し出す非接触力で摩擦が発生しないことから、ウェブWと共に回転する必要がない。そのため、従来の円形のダンサーローラとは異なり、第1の超音波振動部321の外面が必ずしも円をなす必要はない。   On the outer surface of the first ultrasonic vibration unit 321, as shown in FIG. 4, a portion facing the web W has an open curve along the longitudinal direction of the web W or a circle shown in FIG. Good. In the conventional touch dancer 320, although the dancer roller must be rotated by the friction with the web W, the dancer 320 of the present invention does not generate friction by the non-contact force that is pushed out by the compressed air. There is no need to rotate. Therefore, unlike the conventional circular dancer roller, the outer surface of the first ultrasonic vibration unit 321 does not necessarily have to form a circle.

図4及び図5の張力調節装置は、固定位置でウェブWを支持する支持部を含む。支持部は、第2の超音波振動部341、342を含む。第2の超音波振動部は超音波振動する。第1の超音波振動部321はウェブWの第1の面に反撥力を加えるのに対し、第2の超音波振動部341、342はその超音波振動による反撥力を前記第1の面の裏面である第2の面に加えて、非接触状態で前記ウェブWを支持する。   The tension adjustment device of FIGS. 4 and 5 includes a support that supports the web W in a fixed position. The support unit includes second ultrasonic vibration units 341 and 342. The second ultrasonic vibration unit vibrates ultrasonically. While the first ultrasonic vibration unit 321 applies a repulsive force to the first surface of the web W, the second ultrasonic vibration units 341 and 342 have the repulsive force due to the ultrasonic vibration of the first surface. In addition to the second surface which is the back surface, the web W is supported in a non-contact manner.

図4及び図5に示すように、ダンサー320及びアーチ状支持部を利用して薄型ガラスウェブWを緩く拘束することで、脆性材料である薄型ガラスウェブWのストレスを最小化して破損されないように構成した。   As shown in FIG. 4 and FIG. 5, by using the dancer 320 and the arch-like support to gently restrain the thin glass web W, the stress on the thin glass web W, which is a brittle material, is minimized and not broken. Configured.

必要に応じて、前記固定位置支持部に代えて、ダンサー320を使用することも可能である。   It is also possible to use a dancer 320 instead of the fixed position support, if desired.

図6乃至図9は、本発明の第4の実施例乃至第7の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   6 to 9 schematically show tension adjusting devices according to fourth to seventh embodiments of the present invention.

図6乃至図9の張力調節装置はリンク332を含む。リンク332の一端はダンサー320に結合され、他端はシリンダー333(例えば、油圧シリンダー、空圧シリンダーなど)のピストンに結合される。シリンダー333の内部圧力は一定に保持され、その内部圧力と外部の大気圧との差圧がリンク332を介してダンサー320に加えられる。すなわち、ダンサー320は、シリンダー333に機械的に連結され、一定の圧力をウェブWに均一に加える。   The tensioning device of FIGS. 6-9 includes a link 332. One end of the link 332 is coupled to the dancer 320 and the other end is coupled to the piston of a cylinder 333 (eg, hydraulic cylinder, pneumatic cylinder, etc.). The internal pressure of the cylinder 333 is held constant, and a differential pressure between the internal pressure and the external atmospheric pressure is applied to the dancer 320 via the link 332. That is, the dancer 320 is mechanically coupled to the cylinder 333 and applies a constant pressure uniformly to the web W.

その他、種々の加圧手段が使用されていてよい。例えば、バネを具備し、該バネの一端がダンサー320に結合され、他端は固定点に結合された構造を有していてよい。すなわち、ダンサー320は、バネに機械的に連結され、一定の弾性力をウェブWに均一に加える。   Besides, various pressurizing means may be used. For example, a spring may be provided, with one end of the spring coupled to the dancer 320 and the other end having a structure coupled to a fixed point. That is, the dancer 320 is mechanically coupled to the spring and applies a constant elastic force to the web W uniformly.

図10及び図11は、本発明の第8の実施例及び第9の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   FIGS. 10 and 11 schematically show tension adjusting devices according to eighth and ninth embodiments of the present invention.

同図に示すように、ダウン水平または水平アップウェブ(Web)プロセスにおいてシリンダー333を利用した非接触上下ダンサー320メカニズムの実施例である。   As shown in the figure, this is an example of a non-contact up and down dancer 320 mechanism utilizing cylinder 333 in a down horizontal or horizontal up web (Web) process.

図12及び図13は、本発明の第10の実施例及び第11の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   12 and 13 schematically show a tension adjusting device according to the tenth and eleventh embodiments of the present invention.

同図では、シリンダー333T、333Bを上下に構成した非接触ダンサー320メカニズムを示す。ウェブWを緩く構成して脆性材料の反りストレスを最小化し、上下の張力調節を微細に調節することができる。   In the same figure, the non-contact dancer 320 mechanism which comprised cylinder 333T and 333B up and down is shown. The web W can be configured loosely to minimize warpage stress of the brittle material, and the upper and lower tension adjustment can be finely adjusted.

図12及び図13の張力調節装置は、ウェブWの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサー320に結合されるリンクT(332T)とリンクB(332B)をさらに含む。リンクT(332T)は、ダンサー320に一端が結合され、他端はシリンダーT(333T)のピストンに結合される。リンクB(332B)は、ダンサー320に一端が結合され、他端はシリンダーB(333B)のピストンに結合される。   The tension adjustment device of FIGS. 12 and 13 further includes a link T (332T) and a link B (332B) coupled to the dancer 320 from opposite directions toward both sides of the web W, respectively. The link T (332T) has one end coupled to the dancer 320 and the other end coupled to the piston of the cylinder T (333T). The link B (332B) has one end coupled to the dancer 320 and the other end coupled to the piston of the cylinder B (333B).

図14及び図15は、本発明の第12の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   14 and 15 schematically show a tension adjusting device according to a twelfth embodiment of the present invention.

同図に示すように、ウェブWを搬送する際に左右張力偏差が発生することによって非接触ダンサー320の左右位置が上下に変動する。そのため、薄板ガラスを延伸(elongation)することなく、左右張力偏差に個別に対応することができる。   As shown in the figure, when the web W is transported, a lateral tension deviation occurs, and the lateral position of the non-contact dancer 320 fluctuates up and down. Therefore, the lateral tension deviation can be individually dealt with without elongating the thin glass sheet.

図14及び図15の張力調節装置は、ダンサー320の左右位置を個別調節可能にするために、ウェブWの幅方向に沿った両側からそれぞれダンサー320に結合されるリンクL(332L)とチルトリンク334と、チルトリンク334に結合されるリンクR(332R)をさらに含む。リンクL(332L)はダンサー320に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーL(333L)のピストンに結合される。チルトリンク334は、ダンサー320に一端がヒンジ結合される。リンクR(332R)は、チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーR(333R)のピストンに結合される。   In the tension adjusting device of FIGS. 14 and 15, the link L (332L) and the tilt link are respectively coupled to the dancer 320 from both sides along the width direction of the web W so that the left and right positions of the dancer 320 can be adjusted individually. 334 and a link R (332R) coupled to the tilt link 334. The link L (332L) is hinged at one end to the dancer 320, and the other end is connected to the piston of the cylinder L (333L). The tilt link 334 is hinged at one end to the dancer 320. The link R (332R) is hinged at one end to the other end of the tilt link 334, and the other end is connected to the piston of the cylinder R (333R).

例えば、シリンダーL(333L)及びシリンダーR(333R)が、ウェブWに一定の下方力10を加えると仮定する。これに対応して、ウェブWは、その張力によって上方力10をシリンダー333L、333Rに加えて、力の均衡を合わせる。ここで、ウェブWの左側端の張力は変化がないが、右側端の張力が低下する場合を考える。この場合、ダンサー320の左側端の位置変動はないはずである。しかし、シリンダー333Rによってダンサー320の右側端に加えられる下方力とウェブWの張力によってダンサー320に加えられる上方力との均衡が崩れて、新しい力の均衡が成立するまでダンサー320は下方に位置移動するはずである。このため、ダンサー320は右側端が左側端よりも低い位置を有するようになるはずである。   For example, assume that cylinder L (333L) and cylinder R (333R) apply a constant downward force 10 to web W. Correspondingly, the web W applies an upward force 10 to the cylinders 333L, 333R by its tension to balance the forces. Here, it is assumed that the tension at the left end of the web W does not change, but the tension at the right end decreases. In this case, there should be no positional change of the left end of the dancer 320. However, the downward force applied to the right end of the dancer 320 by the cylinder 333R and the tension of the web W break the balance between the downward force applied to the dancer 320 and the dancer 320 moves downward until a new force equilibrium is established. It should. Thus, the dancer 320 should have a lower right end than the left end.

図16乃至図18は、本発明の第13の実施例に係る張力調節装置を概略的に示す図である。   16 to 18 schematically show a tension adjusting device according to a thirteenth embodiment of the present invention.

ダンサー320の両端にシリンダー333LT、333LB、333RT、333RBを左右、上下から結合して、ウェブWの左右張力偏差が発生しても、より微細に張力を調節することができる。   The cylinders 333LT, 333LB, 333RT, 333RB are connected to the both ends of the dancer 320 from the left, right, up and down, and even if the web W lateral tension deviation occurs, the tension can be adjusted more finely.

図16乃至図18の張力調節装置は、リンクLT(332LT)とリンクLB(332LB)と、チルトリンク334と、リンクRT(332RT)とリンクRB(332RB)を含む。   The tension adjusting device of FIGS. 16 to 18 includes a link LT (332 LT) and a link LB (332 LB), a tilt link 334, a link RT (332 RT) and a link RB (332 RB).

リンクLT(332LT)とリンクLB(332LB)は、ウェブWの幅方向に沿ったダンサー320の幅方向の一端にヒンジ結合され、前記ウェブWの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサー320の幅方向の一端にヒンジ結合される。前記リンクLT(332LT)は、前記ダンサー320の幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLT(333LT)のピストンに結合される。前記リンクLB(332LB)は、前記ダンサー320の幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLB(333LB)のピストンに結合される。   The link LT (332 LT) and the link LB (332 LB) are hingedly connected to one end of the width direction of the dancer 320 along the width direction of the web W, and the width of the dancer 320 from opposite directions toward both sides of the web W It is hinged to one end of the direction. The link LT (332LT) is hinged at one end to one end in the width direction of the dancer 320, and the other end is connected to the piston of the cylinder LT (333LT). The link LB (332LB) is hinged at one end to one end in the width direction of the dancer 320, and the other end is coupled to the piston of the cylinder LB (333LB).

チルトリンク334は、ウェブWの幅方向に沿った前記ダンサー320の幅方向の他端にヒンジ結合される。前記チルトリンク334は、前記ダンサー320の幅方向の他端に一端がヒンジ結合される。   The tilt link 334 is hinged to the other end of the dancer 320 in the width direction of the web W. One end of the tilt link 334 is hinged to the other end of the dancer 320 in the width direction.

リンクRT(332RT)とリンクRB(332RB)はチルトリンク334にそれぞれ結合される。前記リンクRT(332RT)は前記チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRT(333RT)のピストンに結合され、前記リンクRB(332RB)は前記チルトリンク334の他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRB(333RB)のピストンに結合される。   Link RT (332 RT) and link RB (332 RB) are respectively coupled to tilt link 334. The link RT (332RT) is hinged at one end to the other end of the tilt link 334, and the other end is coupled to the piston of the cylinder RT (333RT), and the link RB (332RB) is at the other end of the tilt link 334 One end is hinged and the other end is connected to the piston of the cylinder RB (333RB).

図19は、本発明の第14の実施例に係るウェブ連続処理方法を概略的に示す図である。   FIG. 19 schematically shows a web continuous processing method according to a fourteenth embodiment of the present invention.

本発明は、前記したような張力調節装置300を利用してウェブWの張力を調節しながら処理するウェブ連続処理方法を提供する。当該ウェブ連続処理方法は、張力調節装置300を利用してウェブWの張力を調節する段階と、張力が調節された前記ウェブWを処理する段階と、を含む。前記処理は、前記ウェブWの成形、カッティング、研磨、印刷、コーティング、洗浄、及び検査の少なくとも一つを含む。前記ウェブ連続処理方法は、好ましくは、ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で遂行される。図19は、ウェブWの連続洗浄及び検査方法を示している。ここで、ウェブWの処理とは、洗浄及び検査のことを意味する。   The present invention provides a continuous web processing method of processing while adjusting the tension of the web W using the tension adjustment device 300 as described above. The continuous web processing method includes the steps of adjusting the tension of the web W using a tension adjustment device 300, and processing the web W whose tension is adjusted. The processing includes at least one of shaping, cutting, polishing, printing, coating, cleaning, and inspection of the web W. The web continuous processing method is preferably performed in a roll-to-roll or roll-to-sheet process. FIG. 19 shows a method for continuous cleaning and inspection of the web W. Here, the processing of the web W means cleaning and inspection.

巻出しローラ715からウェブWと保護フィルムが巻き出される。保護フィルムは、保護フィルム巻取りローラ716に巻き取られる。ウェブWは張力調節装置300によって張力が調節され、搬送部100によって搬送される。ウェブWは、洗浄部800)で洗浄され、検査部900で検査される。その後、巻取りローラ717に巻き取られる。このとき、保護フィルム巻出しローラ718から供給される保護フィルムが一緒に巻き取られる。   The web W and the protective film are unwound from the unwinding roller 715. The protective film is taken up by a protective film take-up roller 716. The web W is adjusted in tension by the tension adjustment device 300 and conveyed by the conveyance unit 100. The web W is cleaned by the cleaning unit 800 and inspected by the inspection unit 900. Thereafter, it is taken up by the take-up roller 717. At this time, the protective film supplied from the protective film unwinding roller 718 is wound together.

Claims (7)

ウェブに力を加えて、前記ウェブの張力を調節するダンサーを含み、
前記ダンサーは、第1の超音波振動部を含み、
前記第1の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による高圧の空気層の反撥力を前記ウェブに加えて、非接触状態で前記ウェブに前記力を加え、
前記ウェブの搬送方向であって、前記ダンサーの上側の前方と後方に位置する固定位置で前記ウェブを支持する支持部を含み、
それぞれの前記支持部は第2の超音波振動部を含み、
前記ダンサーの幅方向の一端にヒンジ結合されるリンクLと、他端にヒンジ結合されるチルトリンクと、前記チルトリンクにヒンジ結合されるリンクRをさらに含み、
前記第1の超音波振動部は前記ウェブの第1の面に反撥力を加え、
前記第2の超音波振動部は、超音波振動し、その超音波振動による高圧の空気層の反撥力を前記第1の面の裏面である第2の面に加えて、非接触状態で前記ウェブを支持することを特徴とする張力調節装置。
Including a dancer that exerts a force on the web to adjust the tension of said web,
The dancer includes a first ultrasonic vibrator.
The first ultrasonic vibration unit ultrasonically vibrates, applies a repulsion force of a high pressure air layer by the ultrasonic vibration to the web, and applies the force to the web in a non-contact state;
A support portion for supporting the web at a fixed position located in the upper front and rear of the dancer in the transport direction of the web;
Each of the supports includes a second ultrasonic vibrator.
The dancer further includes a link L hinged to one end in the width direction of the dancer, a tilt link hinged to the other end, and a link R hinged to the tilt link,
The first ultrasonic vibration unit applies a repulsive force to the first surface of the web;
The second ultrasonic vibration unit ultrasonically vibrates, applies a repulsive force of a high pressure air layer due to the ultrasonic vibration to a second surface which is a back surface of the first surface, in a non-contact state. A tension adjusting device characterized by supporting a web.
前記ウェブは薄板ガラスであることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。   The tension adjusting device according to claim 1, wherein the web is a thin sheet glass. 前記リンクLは、前記ダンサーに一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLのピストンに結合され、
前記チルトリンクは、前記ダンサーに一端がヒンジ結合され、
前記リンクRは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
The link L is hinged at one end to the dancer and the other end is connected to a piston of the cylinder L,
The tilt link is hinged at one end to the dancer,
The tension adjusting device according to claim 1, wherein the link R has one end hingedly connected to the other end of the tilt link and the other end connected to a piston of the cylinder R.
前記張力調節装置において、
前記リンクLはリンクLTとリンクLBを含み、前記リンクRはリンクRTとリンクRBを含み、
前記リンクLTと前記リンクLBは、前記ウェブの幅方向に沿った前記ダンサーの幅方向の一端にヒンジ結合され、前記ウェブの両面に向かう互いに反対方向からそれぞれ前記ダンサーの幅方向の一端にヒンジ結合され、
前記ダンサーの幅方向の他端にヒンジ結合されるチルトリンクを含み、
前記リンクRTと前記リンクRBは、前記チルトリンクにヒンジ結合され、
前記リンクLTは、前記ダンサーの幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLTのピストンに結合され、
前記リンクLBは、前記ダンサーの幅方向の一端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーLBのピストンに結合され、
前記チルトリンクは、前記ダンサーの幅方向の他端に一端がヒンジ結合され、
前記リンクRTは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRTのピストンに結合され、
前記リンクRBは、前記チルトリンクの他端に一端がヒンジ結合され、他端はシリンダーRBのピストンに結合されることを特徴とする請求項1に記載の張力調節装置。
In the tension adjusting device,
The link L includes a link LT and a link LB, and the link R includes a link RT and a link RB,
The link LT and the link LB are hinged to one end in the width direction of the dancer along the width direction of the web, and are respectively hinged to the one end in the width direction of the dancer from opposite directions toward both surfaces of the web And
A tilt link hinged to the other end of the dancer in the width direction,
The link RT and the link RB are hinged to the tilt link,
The link LT is hinged at one end to one end in the width direction of the dancer, and the other end is connected to the piston of the cylinder LT.
The link LB is hinged at one end to one end in the width direction of the dancer, and the other end is connected to the piston of the cylinder LB.
The tilt link is hinged at one end to the other end in the width direction of the dancer,
The link RT has one end hinged to the other end of the tilt link and the other end coupled to the piston of the cylinder RT.
The tension adjusting device according to claim 1, wherein the link RB has one end hingedly connected to the other end of the tilt link and the other end connected to a piston of the cylinder RB.
請求項1に記載の張力調節装置を利用して前記ウェブの張力を調節する段階と、
張力が調節された前記ウェブを処理する段階と、を含むことを特徴とするウェブ連続処理方法。
Adjusting the tension of the web using the tension adjustment device according to claim 1;
And processing the tension-adjusted web.
前記処理は、前記ウェブの成形、カッティング、研磨、印刷、コーティング、洗浄、及び検査の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項に記載のウェブ連続処理方法。 The web continuous processing method according to claim 5 , wherein the processing includes at least one of shaping, cutting, polishing, printing, coating, cleaning, and inspection of the web. ロール・ツー・ロールまたはロール・ツー・シート工程で遂行されることを特徴とする請求項に記載のウェブ連続処理方法。 6. The web continuous processing method according to claim 5 , wherein the web continuous process is performed in a roll-to-roll or roll-to-sheet process.
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