JP6523838B2 - Probe card transfer apparatus, probe card transfer method and probe apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、例えば半導体ウエハなどの基板上に形成されたデバイスの検査を行う際に用いるプローブカードを搬送するプローブカード搬送装置、プローブカード搬送方法及びプローブ装置に関する。   The present invention relates to a probe card transfer apparatus, a probe card transfer method, and a probe apparatus for transferring a probe card used when inspecting a device formed on a substrate such as a semiconductor wafer, for example.

半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの電気的特性を評価するためのプローブ検査が行われる。プローブ検査は、半導体基板に形成されている半導体デバイスの電極にプローブ針を接触させ、個々の半導体デバイス毎に電気信号を入力し、これに対して出力される電気信号を観測することによって電気的特性評価を行うものである。   In the semiconductor device manufacturing process, a probe test is performed to evaluate the electrical characteristics of the semiconductor device. In the probe test, the probe needle is brought into contact with the electrode of the semiconductor device formed on the semiconductor substrate, an electrical signal is input for each semiconductor device, and the electrical signal is output by observing the electrical signal. It is for characterization.

プローブ検査に用いるプローブ装置は、検査対象となる半導体デバイスが形成された被検査基板を保持するとともに、水平方向、垂直方向及び回転が可能なステージ（載置台）と、被検査基板に形成されている半導体デバイスの電極にプローブ針を正確に接触させるためのアライメント装置を備えている。そして、被検査基板を載置したステージをＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動させることによってアライメントを行い、アライメント後にはステージを利用して半導体ウエハとプローブカードのプローブ針とを正確に接触させ、電気的特性検査を行う。   The probe apparatus used for the probe inspection is formed on the inspection substrate, which holds the inspection substrate on which the semiconductor device to be inspected is formed, and which can be rotated in the horizontal direction, the vertical direction, and the rotation. An alignment device is provided for accurately contacting the probe needle with the electrode of the semiconductor device. Then, alignment is performed by moving the stage on which the inspection substrate is mounted in the X, Y, Z, and θ directions, and after alignment, the semiconductor wafer is accurately brought into contact with the probe needles of the probe card using the stage. Conduct electrical property inspection.

プローブカードは、半導体ウエハの種類に応じて適宜交換する必要がある。そのため、プローブ装置には、該装置の外部と、検査室内に設けられたプローブカードの固定部（インサートリング）との間でプローブカードを搬送する機構が設けられている。この種のプローブカードの搬送機構として、例えば以下のものが提案されている。   The probe card needs to be replaced appropriately according to the type of semiconductor wafer. Therefore, the probe device is provided with a mechanism for transporting the probe card between the outside of the device and the fixing portion (insert ring) of the probe card provided in the inspection chamber. As the transport mechanism of this type of probe card, for example, the following has been proposed.

特許文献１は、プローブカードを装着したプローブカードホルダをプローブ装置の外側から内側へトレイで搬入した後、ステージの周囲に設けられた支持体に受渡し、次に、ステージをプローブカードホルダの取付位置の真下まで移動させた後、上昇させて取付位置まで移送する機構を開示している。   In Patent Document 1, after a probe card holder on which a probe card is mounted is carried in by a tray from the outside to the inside of the probe device, it is delivered to a support provided around the stage, and then the stage is attached to the probe card holder The mechanism for raising and transferring to the mounting position is disclosed.

特許文献２は、プローブカードホルダをプローブ装置の外側に水平移動させるための第一駆動部と、プローブ装置の内側に水平移動させるための第二駆動部を有する搬送機構を開示している。この特許文献２の搬送機構は、プローブカードホルダを移送するために、二つの駆動部を必要とするため、構造が複雑であり、部品点数が多くなるという欠点がある。また、プローブカードホルダを支持する支持部を、水平状態と傾斜状態の間で旋回させる機構も必要であるため、小型化が難しく、プローブ装置の内部に搬送機構を収容できない、という問題があった。   Patent Document 2 discloses a transport mechanism having a first drive unit for horizontally moving the probe card holder to the outside of the probe device and a second drive unit for horizontally moving the probe card holder to the inside of the probe device. Since the transport mechanism of Patent Document 2 requires two driving units to transport the probe card holder, the structure is complicated and the number of parts is increased. In addition, since a mechanism for pivoting the support portion for supporting the probe card holder between the horizontal state and the inclined state is also required, miniaturization is difficult and there is a problem that the transport mechanism can not be accommodated inside the probe device. .

特許文献３は、スライド移送機構によってプローブカードホルダをステージの周囲の支持部に搬送した後、支持部を上昇させることにより、プローブカードホルダを取付位置に移送する機構が開示されている。この特許文献３の搬送機構も、スライド移送機構に加えて、プローブカードホルダを支持する支持部を水平状態と傾斜状態の間で旋回させる機構が必要であるため、構造が複雑であり、小型化が難しく、省スペース化が図れないという問題があった。   Patent Document 3 discloses a mechanism for transporting a probe card holder to a mounting position by transporting the probe card holder to a support portion around the stage by a slide transfer mechanism and then raising the support portion. The transport mechanism of Patent Document 3 also has a complicated structure because it has a mechanism for pivoting the support portion for supporting the probe card holder between the horizontal state and the inclined state in addition to the slide transport mechanism. It is difficult to save space.

特許文献４は、多段で直進運動する複数のプレートの最上部にプローブカードホルダを支持する搬送機構であって、複数のプレートを直進駆動させる複数の直進駆動部と、複数のプレートを回転させる回転駆動部を含む搬送機構を開示している。この特許文献４の搬送機構は、複数のプレートを伸縮させる駆動部と、回転させる駆動部の２つが必要であり、構造が複雑であり、部品点数が多くなるという欠点がある。また、搬送途中で回転動作を伴うため、他の部材との干渉による破損などが生じやすい。また、搬送機構にプローブカードを供給する際に、プローブカードの向きを検査時の向きと１８０度反転させた状態で配置する必要があり、作業上のミスが発生しやすい、という問題もあった。   Patent document 4 is a conveyance mechanism which supports a probe card holder on the top of a plurality of plates which are moved linearly in multiple stages, and which rotates a plurality of rectilinear drive units which drive a plurality of plates rectilinearly and a plurality of plates. A transport mechanism is disclosed that includes a drive. The transport mechanism of Patent Document 4 requires two driving units for expanding and contracting a plurality of plates and a driving unit for rotating the plate. The structure is complicated and the number of parts is increased. In addition, since the rotation operation is accompanied in the middle of conveyance, damage due to interference with other members is likely to occur. In addition, when the probe card is supplied to the transport mechanism, it is necessary to arrange the direction of the probe card in a state of being inverted 180 degrees with the direction at the time of inspection, which causes a problem that an operation error easily occurs. .

特開２００１−２４０３９号公報（図１など）Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2001-24039 (FIG. 1, etc.) 大韓民国特許１０／８４７５７７号（図５など）Korean Patent No. 10/847577 (Fig. 5 etc.) 大韓民国特許１０／８７８２１１号（特許請求の範囲など）Republic of Korea Patent No. 10 / 878,211 (Patent claims, etc.) 大韓民国特許１０／１５０３１４３号（特許請求の範囲など）Republic of Korea Patent 10/1503143 (Patent claims, etc.)

本発明の目的は、簡易な構成で、省スペース化が可能であるとともに、他の部材との干渉が生じにくい構造のプローブカードの搬送装置を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a probe card transport apparatus having a simple configuration, which can save space, and is unlikely to cause interference with other members.

本発明のプローブカード搬送装置は、プローブ装置の検査室に対し、プローブカードホルダに装着したプローブカードの搬入及び搬出を行うものである。
このプローブカード搬送装置は、
上下に積層され、水平方向にスライド可能な複数のプレートと、
直線往復運動が可能な可動体を有し、前記複数のプレートをスライドさせる単一の駆動部と、を備えている。
そして、本発明のプローブカード搬送装置において、
前記複数のプレートは、少なくとも、
最上段に位置し、前記プローブカードホルダに装着した前記プローブカードを保持する保持部を有する保持プレートと、
前記駆動部が装着される駆動源プレートと、
を有し、
前記駆動部は、前記保持プレートを、前記検査室へ近づく方向と、前記検査室から離れる方向にスライドさせることを特徴とする。 The probe card transport apparatus according to the present invention carries in and out of the probe card mounted on the probe card holder from the inspection room of the probe device.
This probe card carrier is
Multiple plates stacked vertically and slidable horizontally,
A movable body capable of linear reciprocation, and a single drive for sliding the plurality of plates.
And, in the probe card carrier of the present invention,
The plurality of plates are at least
A holding plate located at the top and having a holding portion for holding the probe card mounted on the probe card holder;
A drive source plate on which the drive unit is mounted;
Have
The drive unit is characterized in that the holding plate is slid in a direction approaching the examination room and in a direction away from the examination room.

本発明のプローブカード搬送装置において、前記複数のプレートは、前記駆動源プレートより下方に配置された第１の従動プレートを含んでいてもよい。
この場合、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させる連結状態と、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させない非連結状態と、を切り替える連結手段を備えていてもよい。また、前記駆動部からの駆動力を、前記第１の従動プレートからさらに下方のプレートに伝達する第１の駆動力伝達手段を有していてもよい。さらに、前記第１の駆動力伝達手段は、前記第１の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有していてもよく、前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記下方のプレートに連結されていてもよい。 In the probe card carrier of the present invention, the plurality of plates may include a first driven plate disposed below the drive source plate.
In this case, the movable body may be provided with coupling means for switching between a coupled state in which the first driven plate is interlocked with the movable body and a non-coupled state in which the movable body is not interlocked with the first driven plate. Further, it may have a first driving force transmitting means for transmitting the driving force from the driving unit from the first driven plate to the plate further below. Furthermore, the first driving force transmitting means may have a pair of pulleys disposed on the first driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys, The belt may be connected in part to the drive source plate and in part to the lower plate.

また、本発明のプローブカード搬送装置において、前記複数のプレートは、前記駆動源プレートより上方であって前記保持プレートの下方に配置された第２の従動プレートを含んでいてもよい。
この場合、前記可動体に前記第２の従動プレートを連動させる連結状態と、前記可動体に前記第２の従動プレートを連動させない非連結状態と、を切り替える連結手段を備えていてもよい。また、前記駆動部からの駆動力を、前記第２の従動プレートから前記保持プレートに伝達する第２の駆動力伝達手段を有していてもよい。さらに、前記第２の駆動力伝達手段は、前記第２の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有していてもよく、前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記保持プレートに連結されていてもよい。 Further, in the probe card transport apparatus of the present invention, the plurality of plates may include a second driven plate disposed above the drive source plate and below the holding plate.
In this case, the movable body may be provided with coupling means for switching between a coupled state in which the second driven plate is interlocked with the movable body and a non-coupled state in which the movable plate is not interlocked with the second driven plate. Further, a second driving force transmission unit may be provided to transmit the driving force from the driving unit from the second driven plate to the holding plate. Furthermore, the second driving force transmitting means may have a pair of pulleys disposed on the second driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys, A portion of the belt may be connected to the drive source plate and another portion may be connected to the retaining plate.

また、本発明のプローブカード搬送装置において、前記複数のプレートは、
前記駆動源プレートより下方に配置された第１の従動プレートと、
前記駆動源プレートより上方であって前記保持プレートの下方に配置された第２の従動プレートと、を含んでいてもよい。
この場合、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させ、かつ前記第２の従動プレートを連動させない第１の連結状態と、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させず、前記第２の従動プレートを連動させる第２の連結状態と、を切り替える連結手段を備えていてもよい。
また、前記駆動部からの駆動力を、前記第１の従動プレートからさらに下方のプレートに伝達する第１の駆動力伝達手段と、
前記第２の従動プレートから前記保持プレートに伝達する第２の駆動力伝達手段と、
を有していてもよい。この場合、前記第１の駆動力伝達手段は、前記第１の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有していてもよく、該ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記下方のプレートに連結されていてもよい。また、前記第２の駆動力伝達手段は、前記第２の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有していてもよく、該ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記保持プレートに連結されていてもよい。
さらに、前記第１の連結状態において、前記駆動源プレートに前記第２の従動プレートを固定する固定手段を有していてもよく、さらに、前記第２の連結状態において、前記駆動源プレートに前記第１の従動プレートを固定する固定手段を有していてもよい。 Further, in the probe card transfer apparatus of the present invention, the plurality of plates are:
A first driven plate disposed below the drive source plate;
And a second driven plate disposed above the drive source plate and below the holding plate.
In this case, the first driven state in which the first driven plate is interlocked with the movable body and the second driven plate is not interlocked, and the first driven plate is not interlocked with the movable body; A connection means may be provided for switching between the second connection state in which the second driven plate is interlocked.
First driving force transmitting means for transmitting the driving force from the driving portion from the first driven plate to the lower plate;
Second driving force transmitting means for transmitting the second driven plate to the holding plate;
May be included. In this case, the first driving force transmission means may have a pair of pulleys disposed on the first driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys. The belt may be connected in part to the drive source plate and in part to the lower plate. The second driving force transmission means may have a pair of pulleys disposed on the second driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys. A portion of the belt may be connected to the drive source plate and another portion may be connected to the retaining plate.
Furthermore, in the first connection state, the drive source plate may have fixing means for fixing the second driven plate, and in the second connection state, the drive source plate may further include the fixing means. It may have fixing means for fixing the first driven plate.

本発明のプローブ装置は、上記いずれかのプローブカード搬送装置を備えている。   The probe apparatus of the present invention includes any one of the above-described probe card transport apparatuses.

本発明のプローブカード搬送方法は、上記いずれかのプローブカード搬送装置によってプローブカードの搬送を行うものである。   The probe card transfer method of the present invention is to transfer a probe card by any of the above-described probe card transfer devices.

本発明のプローブカード搬送装置は、単一の駆動部によって複数のプレートをスライドさせることが可能なため、装置構成の簡素化と省スペース化が可能である。また、搬送途中で旋回動作や回転動作を伴わないため、他の部材との干渉が生じにくく、プローブカードの向きの誤認による設置ミスなども起こり得ない。従って、本発明のプローブカード搬送装置を用いることによって、信頼性の高いプローブ検査が可能になる。   The probe card transfer apparatus of the present invention can slide a plurality of plates by a single drive unit, so that the apparatus configuration can be simplified and the space can be saved. In addition, since it does not involve a turning operation or a rotating operation during conveyance, interference with other members is unlikely to occur, and installation errors due to misidentification of the orientation of the probe card can not occur. Therefore, highly reliable probe inspection can be performed by using the probe card carrier of the present invention.

本発明の一実施の形態に係るプローブ装置の概略構成を示す断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows schematic structure of the probe apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 図１のプローブ装置における検査室の平面図である。It is a top view of the inspection room in the probe apparatus of FIG. 図１のプローブ装置における検査室の側面図である。It is a side view of the inspection room in the probe apparatus of FIG. 搬送装置の一状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one state of a conveying apparatus. 搬送装置の別の状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows another state of a conveying apparatus. 駆動部とプレートを連結する連結手段（ジョイント）の一例を示す図面である。It is drawing which shows an example of the connection means (joint) which connects a drive part and a plate. ジョイントの動作を説明する図面である。It is drawing explaining operation of a joint. ジョイントの動作を説明する図面である。It is drawing explaining operation of a joint. ジョイントの別の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows another example of a joint. ジョイントのさらに別の例を示す説明図である。It is an explanatory view showing another example of a joint. 制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of a control part. 搬送装置の初期状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the initial state of a conveying apparatus. 搬送装置の保持部材を装置の外部に突出させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the holding member of a conveying apparatus project outside of an apparatus. 搬送装置の保持部材を検査室の内部に進出させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which advanced the holding member of the conveyance apparatus inside the test | inspection chamber.

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係るプローブ装置１００の概略構成を示す断面図である。本実施の形態のプローブ装置１００は、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と記すことがある）Ｗに形成された半導体デバイス等のデバイス（図示せず）の電気的特性の検査を行うものである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a probe apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. The probe apparatus 100 according to the present embodiment is for inspecting the electrical characteristics of a device (not shown) such as a semiconductor device formed on a semiconductor wafer (hereinafter may be simply referred to as “wafer”) W. is there.

プローブ装置１００は、ウエハＷを搬送する搬送領域を形成するローダー室１と、ウエハＷを収容する検査室２と、検査室２を上から覆うように配置され、ウエハＷ上の各デバイスに電気信号を送るとともに、デバイスからの応答信号を受信するテストヘッド３と、これら検査装置１００の各構成部を制御する制御部４を備えている。   The probe apparatus 100 is disposed to cover the inspection chamber 2 from above, the loader chamber 1 forming a transfer area for transferring the wafer W, the inspection chamber 2 accommodating the wafer W, and the devices on the wafer W The test head 3 includes a test head 3 that sends a signal and receives a response signal from the device, and a control unit 4 that controls each component of the inspection apparatus 100.

検査室２は、ウエハＷを載置した状態でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能なステージ１１と、ステージ１１の上方でヘッドプレート１３の略中央に形成された開口１３ａに固定されたインサートリング１５と、このインサートリング１５に対してプローブカードホルダ２１を介して着脱可能に保持されたプローブカード２３と、を備えている。プローブカード２３は複数のプローブ（接触子）２３ａを有している。インサートリング１５に保持された状態で、プローブカード２３は、テストヘッド３と電気的に接続される。   The inspection chamber 2 is fixed to a stage 11 movable in the X, Y, Z, and θ directions with the wafer W mounted thereon, and an opening 13 a formed substantially at the center of the head plate 13 above the stage 11. An insert ring 15 and a probe card 23 detachably held on the insert ring 15 via a probe card holder 21 are provided. The probe card 23 has a plurality of probes (contactors) 23a. The probe card 23 is electrically connected to the test head 3 while being held by the insert ring 15.

また、図示は省略するが、検査室２は、複数のプローブ２３ａとウエハＷに形成された複数のデバイスの電極パッドとの位置合わせを行うアライメント機構などを備えている。   Although not shown, the inspection chamber 2 is provided with an alignment mechanism and the like for aligning the plurality of probes 23 a with the electrode pads of a plurality of devices formed on the wafer W.

また、ステージ１１には、外部から、後述する搬送装置を介してプローブカードホルダ２１に装着したプローブカード２３を受け取り、インサートリング１５に装着するための内部受渡機構３０が併設されている。   The stage 11 also has an internal delivery mechanism 30 for receiving the probe card 23 mounted on the probe card holder 21 from the outside via a transport device described later and mounting it on the insert ring 15.

図２は、図１のプローブ装置１００における検査室２の平面図であり、図３は、その側面図である。なお、図２及び図３はテストヘッド３（図１参照）を取り除いた状態を示している。検査室２の側部には、テストヘッド３を旋回させるための駆動軸３１と、この駆動軸３１を回転駆動させる図示しない駆動モータを内蔵したテストヘッド駆動部３２が設けられている。この駆動軸３１とテストヘッド駆動部３２の下方のハウジング３３内には、プローブカードホルダ２１に装着したプローブカード２３を搬送する搬送装置５０が収納されている。   FIG. 2 is a plan view of the inspection chamber 2 in the probe apparatus 100 of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view thereof. 2 and 3 show a state in which the test head 3 (see FIG. 1) is removed. A drive shaft 31 for turning the test head 3 and a test head drive unit 32 incorporating a drive motor (not shown) for rotating the drive shaft 31 are provided on the side of the inspection chamber 2. In the housing 33 below the drive shaft 31 and the test head drive unit 32, a transport device 50 for transporting the probe card 23 mounted on the probe card holder 21 is accommodated.

本実施の搬送装置５０は、図３に示すように、テストヘッド駆動部３２の駆動軸３１の下方に固定された基台５１上に設けられている。この搬送装置５０は、制御部４の制御下でプローブカード２３を搬送する。プローブカード２３をインサートリング１５へ取り付ける時には、搬送装置５０がプローブカード２３を検査室２の外側から内部へ搬送し、内部受渡機構３０が搬送装置５０からプローブカード２３を受け取ってインサートリング１５の装着部位まで搬送する。インサートリング１５は、内部受渡機構３０によって搬送されたプローブカード２３を固定する。プローブカード２３をインサートリング１５から取り外す時にはプローブカード２３を装着する時と逆の手順で、インサートリング１５から内部受渡機構３０によって搬送装置５０に受け渡され、搬送装置５０はプローブカード２３を検査室２の外部へ搬出する。   The transport device 50 of the present embodiment is provided on a base 51 fixed below the drive shaft 31 of the test head drive unit 32, as shown in FIG. The transfer device 50 transfers the probe card 23 under the control of the control unit 4. When attaching the probe card 23 to the insert ring 15, the transfer device 50 transfers the probe card 23 from the outside of the inspection chamber 2 to the inside, and the internal delivery mechanism 30 receives the probe card 23 from the transfer device 50 and mounts the insert ring 15. Transport to the site. The insert ring 15 fixes the probe card 23 transported by the internal delivery mechanism 30. When the probe card 23 is removed from the insert ring 15, the inner delivery mechanism 30 delivers the probe card 23 to the transfer device 50 from the insert ring 15 in the reverse procedure of mounting the probe card 23, and the transfer device 50 Take it out of 2.

図４は、搬送装置５０の一状態を示す斜視図であり、図５は別の状態を示す斜視図である。搬送装置５０は、主要な構成として、水平方向にスライド移動可能な５枚のプレート６０と、これらプレート６０を駆動する駆動源としての駆動部７０と、駆動部にプレート６０を連動させるための連結手段と、駆動部７０からの駆動力を離れたプレート６０に伝達する伝達手段と、各プレートの直進運動を案内するガイド手段と、を備えている。   FIG. 4 is a perspective view showing one state of the transport device 50, and FIG. 5 is a perspective view showing another state. The conveyance device 50 has, as main components, five horizontally movable plates 60, a drive unit 70 as a drive source for driving the plates 60, and a connection for interlocking the plate 60 with the drive unit. And means for transmitting the driving force from the drive unit 70 to the separated plate 60, and guide means for guiding the linear movement of each plate.

＜プレート＞
搬送装置５０は、基台５１の上に５枚のプレート６０を積層した構造を有している。すなわち、搬送装置５０は、基台５１に支持されたベースプレート６１と、ベースプレート６１上を水平方向にスライド可能に設けられた第１プレート６３と、第１プレート６３上を水平方向にスライド可能に設けられた第２プレート６５と、第２プレート６５上を水平方向にスライド可能に設けられた第３プレート６７と、第３プレート６７上を水平方向にスライド可能に設けられた第４プレート６９と、を備えている。ここで、第２プレート６５は、プレート６０を駆動する駆動源としての駆動部７０を有する駆動源プレートである。また、第１プレート６３、第３プレート６７及び第４プレート６９は、駆動部７０の駆動によってスライド移動する従動プレートである。また、第４プレート６９は、プローブカード２３が装着されたプローブカードホルダ２１を保持する保持プレート（保持部材）である。 <Plate>
The transfer device 50 has a structure in which five plates 60 are stacked on a base 51. That is, the transfer device 50 is provided with the base plate 61 supported by the base 51, the first plate 63 slidably provided in the horizontal direction on the base plate 61, and the slide in the horizontal direction on the first plate 63. A second plate 65, a third plate 67 slidably provided in the horizontal direction on the second plate 65, and a fourth plate 69 slidably provided in the horizontal direction on the third plate 67; Is equipped. Here, the second plate 65 is a drive source plate having a drive unit 70 as a drive source for driving the plate 60. Further, the first plate 63, the third plate 67, and the fourth plate 69 are driven plates which slide as they are driven by the drive unit 70. The fourth plate 69 is a holding plate (holding member) for holding the probe card holder 21 on which the probe card 23 is mounted.

＜駆動部＞
搬送装置５０は、第１プレート６３、第２プレート６５、第３プレート６７及び第４プレート６９をスライド移動させるための駆動部７０を備えている。駆動部７０は、長尺な中空部材７０Ａと、この中空部材７０Ａに案内されて往復直線運動をする可動体７０Ｂとを含む。駆動部７０としては、例えばロッドレスシリンダなどを用いることができる。本実施の形態の搬送装置５０は、第１プレート６３〜第４プレート６９のスライド移動を単一の駆動源である駆動部７０によって行う。そして、単一の駆動源によって、プローブカード２３が装着されたプローブカードホルダ２１を支持する第４プレート６９を正反対の方向に進出及び退避させることが可能であり、駆動機構の簡素化が図られている。すなわち、搬送装置５０は、単一の駆動源である駆動部７０によって、基台５１を基準にして、第４プレート６９を検査室２側へ進出・退避させるスライド動作と、検査室２とは反対側（外部側）に向けて進出・退避させるスライド動作を行うことができる。なお、以下の搬送装置の説明では、プローブカード２３が装着されたプローブカードホルダ２１を単に「プローブカードホルダ２１」と表現することがある。 <Drive part>
The transfer device 50 includes a drive unit 70 for sliding the first plate 63, the second plate 65, the third plate 67, and the fourth plate 69. The drive unit 70 includes an elongated hollow member 70A, and a movable body 70B guided by the hollow member 70A to reciprocate linearly. For example, a rodless cylinder can be used as the drive unit 70. The transport device 50 of the present embodiment performs the slide movement of the first plate 63 to the fourth plate 69 by the drive unit 70 which is a single drive source. Then, the fourth plate 69 supporting the probe card holder 21 with the probe card 23 mounted can be advanced and retracted in opposite directions by a single drive source, and the drive mechanism can be simplified. ing. That is, the transport device 50 causes the fourth plate 69 to move toward and away from the examination room 2 with the drive unit 70 which is a single drive source with reference to the base 51, and the examination room 2 It is possible to perform a slide operation for advancing and retracting toward the opposite side (external side). In the following description of the transfer device, the probe card holder 21 on which the probe card 23 is mounted may be simply expressed as "probe card holder 21".

駆動部７０は、上下方向に積層された５枚のプレート６０の中央に位置する第２プレート６５に設けられている。駆動部７０の可動体７０Ｂは、制御部４の制御の下で、図４及び図５中、矢印で示す方向に直線的に往復する。この方向は、搬送装置５０によってプローブカードホルダ２１を検査室２に搬入し、又は、検査室２から搬出する搬送方向である。図４及び図５では、搬送方向において、第４プレート６９が検査室２側へ進出するときの移動方向を符号Ｆで示し、第４プレート６９が検査室２から退避するときの移動方向を符号Ｂで示している。可動体７０Ｂの移動距離は、例えば図示しないストッパによって調整することができる。   The driving unit 70 is provided on a second plate 65 positioned at the center of the five plates 60 stacked in the vertical direction. The movable body 70B of the drive unit 70 linearly reciprocates in the direction indicated by the arrow in FIGS. 4 and 5 under the control of the control unit 4. This direction is a conveyance direction in which the probe card holder 21 is carried into the inspection chamber 2 by the conveyance device 50 or taken out of the inspection chamber 2. In FIG. 4 and FIG. 5, in the transport direction, the movement direction when the fourth plate 69 advances to the examination room 2 side is indicated by a symbol F, and the movement direction when the fourth plate 69 retracts from the examination chamber 2 is indicated It is indicated by B. The moving distance of the movable body 70B can be adjusted, for example, by a stopper (not shown).

＜連結手段＞
駆動部７０の可動体７０Ｂは、上下に位置する第１プレート６３及び第３プレート６７に対し、交互に連結した状態と、非連結の状態を切り替える連結手段として、ジョイント７１を備えている。 <Connection means>
The movable body 70B of the drive unit 70 is provided with a joint 71 as a connecting means for switching between a state of alternately connecting the first plate 63 and the third plate 67 positioned above and below and a non-connected state.

ジョイント７１によって、可動体７０Ｂと第１プレート６３を連結した状態では、可動体７０Ｂと第１プレート６３の相対位置は固定され、可動体７０Ｂに第１プレート６３が連動する。すなわち、ジョイント７１によって、可動体７０Ｂを第１プレート６３に連結させた状態で、可動体７０ＢをＦ方向に移動させると、第１プレート６３は、同方向に可動体７０Ｂの移動量と同じ移動量で第２プレート６５に対して相対移動する。   In the state where the movable body 70B and the first plate 63 are connected by the joint 71, the relative position of the movable body 70B and the first plate 63 is fixed, and the first plate 63 interlocks with the movable body 70B. That is, in a state where the movable body 70B is connected to the first plate 63 by the joint 71, when the movable body 70B is moved in the F direction, the first plate 63 moves by the same amount as the movable body 70B in the same direction. It moves relative to the second plate 65 by an amount.

ジョイント７１によって、可動体７０Ｂと第３プレート６７を連結した状態では、可動体７０Ｂと第３プレート６７の相対位置は固定され、可動体７０Ｂに第３プレート６７が連動する。すなわち、ジョイント７１によって、可動体７０Ｂを第３プレート６７に連結させた状態で、可動体７０ＢをＦ方向に移動させると、第３プレート６７は、同方向に可動体７０Ｂの移動量と同じ移動量で第２プレート６５に対して相対移動する。   In the state where the movable body 70B and the third plate 67 are connected by the joint 71, the relative position of the movable body 70B and the third plate 67 is fixed, and the third plate 67 interlocks with the movable body 70B. That is, in a state where the movable body 70B is connected to the third plate 67 by the joint 71, when the movable body 70B is moved in the F direction, the third plate 67 moves in the same direction as the movement amount of the movable body 70B. It moves relative to the second plate 65 by an amount.

ジョイント７１は、例えば図６〜図８に示すように、上下方向に変位し、第１プレート６３の孔部６３ａ及び第３プレート６７の孔部６７ａに交互に挿入可能な挿入部材（可動ピン）７１Ａを備えている。挿入部材（可動ピン）７１Ａは、第２プレート６５において可動体７０Ｂの移動方向に形成された長尺な開口６５ａを介して、下方の第１プレート６３へ向けて突没可能に構成されている。図７は、可動体７０Ｂと第１プレート６３を連結した状態を示し、図８は、ジョイント７１によって、可動体７０Ｂと第３プレート６７を連結した状態を示している。   The joint 71 is vertically displaced, for example, as shown in FIGS. 6 to 8, and can be inserted alternately into the hole 63 a of the first plate 63 and the hole 67 a of the third plate 67. It is equipped with 71A. The insertion member (movable pin) 71A is configured to be able to protrude and retract toward the lower first plate 63 via the long opening 65a formed in the moving direction of the movable body 70B in the second plate 65. . FIG. 7 shows a state in which the movable body 70B and the first plate 63 are connected, and FIG. 8 shows a state in which the movable body 70B and the third plate 67 are connected by the joint 71.

ジョイント７１の別の例を図９に示す。図９に示すジョイント７１は、挿入部材（可動ピン）７１Ａの代わりに、上下方向に変位し、第１プレート６３の上面及び第３プレート６７の下面にそれぞれ形成された、テーパー状の凹部６３ｂ及び６７ｂに嵌合可能な嵌合部材７１Ｂを有している。   Another example of the joint 71 is shown in FIG. The joint 71 shown in FIG. 9 is displaced in the vertical direction instead of the insertion member (movable pin) 71A, and formed in the upper surface of the first plate 63 and the lower surface of the third plate 67, respectively. It has the fitting member 71B which can be fitted to 67b.

ジョイント７１のさらに別の例を図１０に示す。図１０に示すジョイント７１は、互いに同期して回転する２つの扇状の回転部材７１Ｃ１，７１Ｃ２を有する。回転部材７１Ｃ１は、回転によって、その一部分が第１プレート６３の孔部（又は凹部）６３ｃに挿入された状態と、非挿入の状態に切り換えられる。同様に、回転部材７１Ｃ２は、回転によって、その一部分が第３プレート６７の孔部（又は凹部）６７ｃに挿入された状態と、非挿入の状態に切り換えられる。   Yet another example of the joint 71 is shown in FIG. The joint 71 shown in FIG. 10 has two fan-shaped rotating members 71C1 and 71C2 rotating in synchronization with each other. The rotation member 71C1 is switched between a state in which a portion thereof is inserted into the hole (or recess) 63c of the first plate 63 and a state in which the rotation member 71C1 is not inserted. Similarly, the rotation member 71C2 is switched between a state in which a portion thereof is inserted into the hole (or recess) 67c of the third plate 67 and a state in which the rotation member 71C2 is not inserted.

以上のような構成のジョイント７１の駆動は、図示は省略するが、例えばシリンダ、モータなどを用いることができる。なお、一つのジョイント７１の代わりに、第１プレート６３及び第３プレート６７に対して別々に独立してジョイント７１を設けてもよい。つまり、第１プレート６３に対し、連結した状態と、非連結の状態を切り替えるジョイントを設け、第３プレート６７に対し、連結した状態と、非連結の状態を切り替えるジョイントを設けてもよい。   Although illustration is abbreviate | omitted, the drive of the joint 71 of the above structures can use a cylinder, a motor, etc., for example. Instead of one joint 71, the joints 71 may be provided independently to the first plate 63 and the third plate 67 separately. That is, the first plate 63 may be provided with joints for switching between the connected state and the non-connected state, and the third plate 67 may be provided with joints for switching between the connected state and the non-connected state.

＜伝達手段＞
第１プレート６３には、駆動部７０からの駆動力を、第１プレート６３を介してベースプレート６１に伝達する駆動力伝達手段としての下部伝達手段７３が設けられている。下部伝達手段７３は、一対のプーリー７４及びベルト７５を含んでいる。下部伝達手段７３のベルト７５の一部分と、ベースプレート６１は、連結部材７５ａによって固定されている。また、下部伝達手段７３のベルト７５の他の一部分と、第２プレート６５は、連結部材７５ｂによって固定されている。 <Transmission means>
The first plate 63 is provided with a lower transmission means 73 as a driving force transmission means for transmitting the driving force from the driving unit 70 to the base plate 61 via the first plate 63. The lower transmission means 73 includes a pair of pulleys 74 and a belt 75. A portion of the belt 75 of the lower transmission means 73 and the base plate 61 are fixed by a connecting member 75a. The other part of the belt 75 of the lower transmission means 73 and the second plate 65 are fixed by the connecting member 75 b.

第３プレート６７には、駆動部７０からの駆動力を、第３プレート６７を介して第４プレート６９に伝達する駆動力伝達手段としての上部伝達手段７６が設けられている。上部伝達手段７６は、一対のプーリー７７及びベルト７８を含んでいる。これら一対のプーリー７７及びベルト７８は、第３プレート６７の左右の端部にそれぞれ設けられている。上部伝達手段７６のベルト７８の一部分と、第４プレート６９は、連結部材７８ａによって固定されている。また、上部伝達手段７６のベルト７８の他の一部分と、第２プレート６５は、連結部材７８ｂによって固定されている。   The third plate 67 is provided with an upper transmission means 76 as a driving force transmission means for transmitting the driving force from the driving unit 70 to the fourth plate 69 via the third plate 67. The upper transmission means 76 includes a pair of pulleys 77 and a belt 78. The pair of pulleys 77 and the belt 78 are respectively provided at the left and right ends of the third plate 67. A portion of the belt 78 of the upper transmission means 76 and the fourth plate 69 are fixed by a connecting member 78a. Also, the other part of the belt 78 of the upper transmission means 76 and the second plate 65 are fixed by the connecting member 78 b.

＜ガイド手段＞
ベースプレート６１の上面には、一対のガイドレール８０Ａ，８０Ｂが凸状に設けられており、各ガイドレール８０Ａ，８０Ｂは、第１プレート６３の下面に設けられた凹状のガイド部材（図示省略）と係合している。ガイドレール８０Ａ，８０Ｂとガイド部材を用いることによって、ベースプレート６１と第１プレート６３との相対的なスライドの直線性を確保し、かつ摩擦抵抗を低減できる。なお、ガイド部材に替えて第１プレート６３の下面に溝を形成してもよい。 <Guide means>
A pair of guide rails 80A and 80B are provided in a convex shape on the upper surface of the base plate 61, and each of the guide rails 80A and 80B is provided with a concave guide member (not shown) provided on the lower surface of the first plate 63. It is engaged. By using the guide rails 80A and 80B and the guide members, it is possible to ensure relative linearity of the slide between the base plate 61 and the first plate 63, and to reduce the frictional resistance. It should be noted that a groove may be formed on the lower surface of the first plate 63 instead of the guide member.

また、第１プレート６３の上面には、一対のガイドレール８１Ａ，８１Ｂが凸状に設けられており、各ガイドレール８１Ａ，８１Ｂは、第２プレート６５の下面に設けられた凹状のガイド部材（図示省略）と係合している。ガイドレール８１Ａ，８１Ｂとガイド部材を用いることによって、第１プレート６３と第２プレート６５の相対的なスライドの直線性を確保し、かつ摩擦抵抗を低減できる。なお、ガイド部材に替えて第２プレート６５の下面に溝を形成してもよい。   Further, a pair of guide rails 81A and 81B are provided in a convex shape on the upper surface of the first plate 63, and each of the guide rails 81A and 81B is a concave guide member provided on the lower surface of the second plate 65 ( (Not shown). By using the guide rails 81A and 81B and the guide member, it is possible to ensure the relative slide linearity of the first plate 63 and the second plate 65, and to reduce the frictional resistance. It should be noted that a groove may be formed on the lower surface of the second plate 65 instead of the guide member.

また、第２プレート６５の上面には、一対のガイドレール８２Ａ，８２Ｂが凸状に設けられており、各ガイドレール８２Ａ，８２Ｂは、第３プレート６７の下面に設けられた凹状のガイド部材（図示省略）と係合している。ガイドレール８２Ａ，８２Ｂとガイド部材を用いることによって、第２プレート６５と第３プレート６７の相対的なスライドの直線性を確保し、かつ摩擦抵抗を低減できる。なお、ガイド部材に替えて第３プレート６７の下面に溝を形成してもよい。   In addition, a pair of guide rails 82A and 82B are provided in a convex shape on the upper surface of the second plate 65, and each of the guide rails 82A and 82B is a concave guide member provided on the lower surface of the third plate 67 ( (Not shown). By using the guide rails 82A and 82B and the guide member, it is possible to ensure the relative slide linearity of the second plate 65 and the third plate 67 and to reduce the frictional resistance. It should be noted that a groove may be formed on the lower surface of the third plate 67 instead of the guide member.

また、第３プレート６７の上面には、一対のガイドレール８３Ａ，８３Ｂが凸状に設けられており、各ガイドレール８３Ａ，８３Ｂは、第４プレート６９の下面に設けられた凹状のガイド部材（図示省略）と係合している。ガイドレール８３Ａ，８３Ｂとガイド部材を用いることによって、第３プレート６５と第４プレート６７の相対的なスライドの直線性を確保し、かつ摩擦抵抗を低減できる。なお、ガイド部材に替えて第４プレート６９の下面に溝を形成してもよい。   In addition, a pair of guide rails 83A and 83B are provided in a convex shape on the upper surface of the third plate 67, and each of the guide rails 83A and 83B is a concave guide member provided on the lower surface of the fourth plate 69 ( (Not shown). By using the guide rails 83A and 83B and the guide member, it is possible to ensure the relative slide linearity of the third plate 65 and the fourth plate 67 and to reduce the frictional resistance. A groove may be formed on the lower surface of the fourth plate 69 instead of the guide member.

＜ロック機構＞
搬送装置５０は、スライド動作を行わず、上下に重なった状態のプレートが動かないように固定する固定手段として、複数のロック機構を備えている。第１プレート６３及び第２プレート６５は、下部ロック機構８４によって固定される。第２プレート６５及び第３プレート６７は、上部ロック機構８５によって固定される。これらのロック機構としては、例えばジョイント７１の説明で例示した挿入部材（可動ピン）７１Ａなどと同様の構成のものを利用できる。 <Lock mechanism>
The transport device 50 is provided with a plurality of locking mechanisms as fixing means for fixing the plates so as not to move so as not to slide and to prevent the plates overlapping in the vertical direction. The first plate 63 and the second plate 65 are fixed by the lower locking mechanism 84. The second plate 65 and the third plate 67 are fixed by the upper locking mechanism 85. As these lock mechanisms, for example, one having a configuration similar to that of the insertion member (movable pin) 71A exemplified in the description of the joint 71 can be used.

図４の状態において、第２プレート６５及び第３プレート６７は、互いに相対移動しないように、上部ロック機構８５によってロックされている。なお、図４の状態において、第１プレート６３と駆動部７０の可動体７０Ｂ（第２プレート６５に装着されている）は、ジョイント７１によって連結されている。   In the state of FIG. 4, the second plate 65 and the third plate 67 are locked by the upper locking mechanism 85 so as not to move relative to each other. In the state shown in FIG. 4, the first plate 63 and the movable body 70 B (mounted to the second plate 65) of the drive unit 70 are connected by the joint 71.

図５の状態において、第１プレート６３及び第２プレート６５は、互いに相対移動しないように、下部ロック機構８４によってロックされている。なお、図５の状態において、駆動部７０の可動体７０Ｂ（第２プレート６５に装着されている）と第３プレート６７は、ジョイント７１によって連結されている。   In the state of FIG. 5, the first plate 63 and the second plate 65 are locked by the lower locking mechanism 84 so as not to move relative to each other. In the state of FIG. 5, the movable body 70B (mounted to the second plate 65) of the drive unit 70 and the third plate 67 are connected by the joint 71.

＜衝撃吸収部材＞
ベースプレート６１、第１プレート６３〜第３プレート６７の上面には、スライド移動する直上のプレートの停止時の衝撃を吸収するための衝撃吸収部材８６が複数箇所に設けられている。 <Shock absorbing member>
On the upper surfaces of the base plate 61 and the first plate 63 to the third plate 67, impact absorbing members 86 for absorbing an impact at the time of stopping of the plate which slides immediately above are provided at a plurality of places.

＜スライド動作＞
次に、図４及び図５を参照しながら、搬送装置５０におけるスライド動作について詳細に説明する。 <Slide operation>
Next, the sliding operation of the transfer device 50 will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5.

（Ｂ方向へのスライドと復帰）
５枚のプレート６０が上下に重なり合った初期状態（図１２を参照）から、ジョイント７１によって、可動体７０Ｂと第１プレート６３を連結する。なお、このとき、第２プレート６５及び第３プレート６７は、互いに相対移動しないように上部ロック機構８５によってロックしておく。この状態で、可動体７０ＢをＦ方向に動かすと、第１プレート６３は、可動体７０Ｂとともに第２プレート６５に対して相対移動する。第１プレート６３に設けられた下部伝達手段７３のベルト７５は、連結部材７５ａによってベースプレート６１に、連結部材７５ｂによって第２プレート６５に、それぞれ連結されているため、ベルト７５を介してベースプレート６１をＦ方向に押し出すような駆動力が伝達される。この場合、ベースプレート６１の相対移動距離は、図示しないストッパ（図示省略）に当接する位置まででもよいし、可動体７０Ｂの移動距離と同じでもよい。 (Slide and return in direction B)
The movable body 70B and the first plate 63 are connected by the joint 71 from the initial state (see FIG. 12) in which the five plates 60 overlap vertically. At this time, the second plate 65 and the third plate 67 are locked by the upper locking mechanism 85 so as not to move relative to each other. In this state, when the movable body 70B is moved in the F direction, the first plate 63 moves relative to the second plate 65 together with the movable body 70B. The belt 75 of the lower transmission means 73 provided on the first plate 63 is connected to the base plate 61 by the connecting member 75a and to the second plate 65 by the connecting member 75b. A driving force to be pushed out in the F direction is transmitted. In this case, the relative movement distance of the base plate 61 may be up to a position in contact with a stopper (not shown) (not shown), or may be the same as the movement distance of the movable body 70B.

以上の動作において、ベースプレート６１は基台５１に固定されており不動であるため、第１プレート６３及び第２プレート６５は、可動体７０Ｂの移動方向であるＦ方向とは逆方向に移動する。つまり、基台５１に固定されているベースプレート６１を基準にすると、第１プレート６３及び第２プレート６５は、Ｂ方向にスライド移動する。図４は、第１プレート６３、第２プレート６５、第３プレート６７及び第４プレート６９をＢ方向に進出させた状態を示している。   In the above operation, since the base plate 61 is fixed to the base 51 and immovable, the first plate 63 and the second plate 65 move in the direction opposite to the F direction which is the moving direction of the movable body 70B. That is, with reference to the base plate 61 fixed to the base 51, the first plate 63 and the second plate 65 slide in the B direction. FIG. 4 shows a state in which the first plate 63, the second plate 65, the third plate 67, and the fourth plate 69 are advanced in the B direction.

図４の状態から、可動体７０Ｂと第１プレート６３を連結した状態で、可動体７０ＢをＢ方向に動かすと、第１プレート６３は、可動体７０Ｂとともに第２プレート６５に対して相対移動する。そして、第１プレート６３に設けられた下部伝達手段７３のベルト７５は、連結部材７５ａ，７５ｂによって、ベースプレート６１及び第２プレート６５にそれぞれ連結されているため、ベルト７５を介してベースプレート６１をＢ方向に相対移動させる。この場合、ベースプレート６１の相対移動距離は、図示しないストッパ（図示省略）に当接する位置まででもよいし、可動体７０Ｂの移動距離と同じでもよい。   When the movable body 70B is moved in the B direction in a state where the movable body 70B and the first plate 63 are connected from the state of FIG. 4, the first plate 63 moves relative to the second plate 65 together with the movable body 70B. . The belt 75 of the lower transmission means 73 provided on the first plate 63 is connected to the base plate 61 and the second plate 65 by the connecting members 75a and 75b. Move relative to direction. In this case, the relative movement distance of the base plate 61 may be up to a position in contact with a stopper (not shown) (not shown), or may be the same as the movement distance of the movable body 70B.

以上の動作において、ベースプレート６１は基台５１に固定されており不動であるため、第１プレート６３及び第２プレート６５は、可動体７０Ｂの移動方向であるＢ方向とは逆方向に移動する。つまり、基台５１に固定されているベースプレート６１を基準にすると、第１プレート６３及び第２プレート６５は、Ｆ方向にスライド移動する。このようにして、５枚のプレート６０が上下に重なり合った初期状態（図１２を参照）に復帰させることができる。   In the above operation, since the base plate 61 is fixed to the base 51 and immovable, the first plate 63 and the second plate 65 move in the direction opposite to the B direction which is the moving direction of the movable body 70B. That is, with reference to the base plate 61 fixed to the base 51, the first plate 63 and the second plate 65 slide in the F direction. In this way, it is possible to return to the initial state (see FIG. 12) in which the five plates 60 overlap vertically.

（Ｆ方向へのスライドと復帰）
５枚のプレート６０が上下に重なり合った初期状態（図１２を参照）から、ジョイント７１によって、可動体７０Ｂと第３プレート６７を連結する。なお、このとき、第１プレート６３及び第２プレート６５は、互いに相対移動しないように下部ロック機構８４によってロックしておく。この状態で、可動体７０ＢをＦ方向に動かすと、第３プレート６７は、可動体７０Ｂとともに第２プレート６５に対してＦ方向にスライド移動する。第３プレート６７に設けられた上部伝達手段７６のベルト７８は、連結部材７８ａによって第４プレート６９に、連結部材７８ｂによって第２プレート６５に、それぞれ連結されているため、第４プレート６９をＦ方向に押し出すように駆動力が伝達され、第４プレート６９をＦ方向にスライドさせる。ここで、ベースプレート６１は基台５１に固定され、第１プレート６３及び第２プレート６５はロックされているため、第３プレート６７及び第４プレート６９のみが移動する。図５は、以上のような動作によって、第３プレート６７及び第４プレート６９をＦ方向に進出させた状態を示している。 (Slide and return in the F direction)
The movable body 70B and the third plate 67 are connected by the joint 71 from the initial state (see FIG. 12) in which the five plates 60 overlap vertically. At this time, the first plate 63 and the second plate 65 are locked by the lower locking mechanism 84 so as not to move relative to each other. In this state, when the movable body 70B is moved in the F direction, the third plate 67 slides in the F direction with respect to the second plate 65 together with the movable body 70B. The belt 78 of the upper transmission means 76 provided on the third plate 67 is connected to the fourth plate 69 by the connecting member 78a and to the second plate 65 by the connecting member 78b. The driving force is transmitted to push in the direction, and the fourth plate 69 is slid in the F direction. Here, since the base plate 61 is fixed to the base 51 and the first plate 63 and the second plate 65 are locked, only the third plate 67 and the fourth plate 69 move. FIG. 5 shows a state in which the third plate 67 and the fourth plate 69 are advanced in the F direction by the operation as described above.

図５の状態から、可動体７０Ｂと第３プレート６７を連結した状態で、可動体７０ＢをＢ方向に動かすと、第３プレート６７は、可動体７０Ｂとともに第２プレート６５に対してＢ方向にスライド移動する。そして、第３プレート６７に設けられた上部伝達手段７６のベルト７８は、連結部材７８ａ，７８ｂによって第４プレート６９及び第２プレート６５にそれぞれ連結されているため、ベルト７８を介して第４プレート６９をＢ方向に相対移動させる。この場合、第４プレート６９の相対移動は、ストッパ（図示省略）に当接する位置まででもよいし、可動体７０Ｂの移動距離と同じでもよい。このようにして、５枚のプレート６０が上下に重なり合った初期状態（図１２を参照）に復帰させることができる。   When the movable body 70B is moved in the B direction in a state where the movable body 70B and the third plate 67 are connected from the state of FIG. 5, the third plate 67 and the movable body 70B move in the B direction with respect to the second plate 65. Slide to move. The belt 78 of the upper transmission means 76 provided on the third plate 67 is connected to the fourth plate 69 and the second plate 65 by the connecting members 78a and 78b. Move 69 relative to direction B. In this case, the relative movement of the fourth plate 69 may be up to a position in contact with a stopper (not shown) or may be the same as the movement distance of the movable body 70B. In this way, it is possible to return to the initial state (see FIG. 12) in which the five plates 60 overlap vertically.

＜制御部＞
制御部４は、プローブ装置１００の各構成部の動作を制御する。制御部４は、典型的にはコンピュータである。図１１は、制御部４のハードウェア構成の一例を示している。制御部４は、主制御部２０１と、キーボード、マウス等の入力装置２０２と、プリンタ等の出力装置２０３と、表示装置２０４と、記憶装置２０５と、外部インターフェース２０６と、これらを互いに接続するバス２０７とを備えている。主制御部２０１は、ＣＰＵ（中央処理装置）２１１、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）２１２およびＲＯＭ（リードオンリメモリ）２１３を有している。記憶装置２０５は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置２０５は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体２１５に対して情報を記録し、また記録媒体２１５より情報を読み取るようになっている。記録媒体２１５は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリなどである。記録媒体２１５は、本実施の形態のプローブ装置１００において行われるプローブ方法のレシピを記録した記録媒体であってもよい。 <Control unit>
The control unit 4 controls the operation of each component of the probe device 100. The control unit 4 is typically a computer. FIG. 11 shows an example of the hardware configuration of the control unit 4. The control unit 4 includes a main control unit 201, an input device 202 such as a keyboard and a mouse, an output device 203 such as a printer, a display device 204, a storage device 205, an external interface 206, and a bus connecting them to one another. And 207. The main control unit 201 includes a CPU (central processing unit) 211, a RAM (random access memory) 212, and a ROM (read only memory) 213. The storage device 205 may be of any form as long as it can store information, and is, for example, a hard disk device or an optical disk device. Further, the storage device 205 records information on a computer readable recording medium 215 and reads information from the recording medium 215. The recording medium 215 may have any form as long as it can store information, and is, for example, a hard disk, an optical disk, a flash memory, or the like. The recording medium 215 may be a recording medium recording a recipe of the probe method performed in the probe apparatus 100 of the present embodiment.

制御部４は、本実施の形態のプローブ装置１００において、プローブカードホルダ２１の搬入出や、複数のウエハＷに対するデバイス検査を実行できるように制御する。具体的には、制御部４は、プローブ装置１００において、各構成部（例えば、テストヘッド３、ステージ１１、駆動部７０、ジョイント７１、下部ロック機構８４、上部ロック機構８５等）を制御する。これらは、ＣＰＵ２１１が、ＲＡＭ２１２を作業領域として用いて、ＲＯＭ２１３または記憶装置２０５に格納されたソフトウエア（プログラム）を実行することによって実現される。   The control unit 4 controls the probe apparatus 100 according to the present embodiment so that loading and unloading of the probe card holder 21 and device inspection on a plurality of wafers W can be performed. Specifically, the control unit 4 controls each component (for example, the test head 3, the stage 11, the drive unit 70, the joint 71, the lower lock mechanism 84, the upper lock mechanism 85, and the like) in the probe apparatus 100. These are realized by the CPU 211 executing software (program) stored in the ROM 213 or the storage device 205 using the RAM 212 as a work area.

［搬送方法］
次に、図１２〜図１４を参照しながら、搬送装置５０による搬送方法について説明する。図１２は、搬送装置５０の５枚のプレート６０が上下に重なり、筐体内に収容された初期状態を示している。図１３は、図１２の初期状態から、プレート６０をＢ方向にスライドさせ、第４プレート６９を装置外部に突出させた状態を示している。図１４は、初期状態から、第３プレート６７及び第４プレート６９をＦ方向にスライドさせ、第４プレート６９を検査室２の内部に進出させた状態を示している。以下の説明では、検査室２を基準にして、図１３を「退避状態」、図１４を「進出状態」と表現する。 [Transport method]
Next, the conveyance method by the conveyance apparatus 50 will be described with reference to FIGS. 12 to 14. FIG. 12 shows an initial state in which the five plates 60 of the transfer device 50 are vertically stacked and accommodated in the housing. FIG. 13 shows a state in which the plate 60 is slid in the B direction from the initial state of FIG. 12 and the fourth plate 69 is protruded to the outside of the apparatus. FIG. 14 shows a state in which the third plate 67 and the fourth plate 69 are slid in the F direction from the initial state, and the fourth plate 69 is advanced into the inspection room 2. In the following description, with reference to the examination room 2, FIG. 13 is expressed as the “evacuation state” and FIG. 14 is expressed as the “advanced state”.

図１２に示す初期状態では、下部ロック機構８４によって第１プレート６３及び第２プレート６５が、また、上部ロック機構８５によって第２プレート６５及び第３プレート６７が、それぞれロックされている。   In the initial state shown in FIG. 12, the lower locking mechanism 84 locks the first plate 63 and the second plate 65, and the upper locking mechanism 85 locks the second plate 65 and the third plate 67, respectively.

まず、ジョイント７１により、駆動部７０の可動体７０Ｂと第１プレート６３を連結する。   First, the movable body 70B of the drive unit 70 and the first plate 63 are connected by the joint 71.

次に、下部ロック機構８４による第１プレート６３及び第２プレート６５のロックを解除する。   Next, the locking of the first plate 63 and the second plate 65 by the lower locking mechanism 84 is released.

次に、可動体７０ＢをＦ方向に駆動させ、第１プレート６３及び第２プレート６５をＢ方向にスライド移動させて図１３の退避状態にする。この退避状態において、第３プレート６７及び第４プレート６９は、例えばハウジング３３の開口部付近に設置したセンサ（図示省略）によって検出される。   Next, the movable body 70B is driven in the F direction, and the first plate 63 and the second plate 65 are slid in the B direction to be in the retracted state shown in FIG. In this retracted state, the third plate 67 and the fourth plate 69 are detected by, for example, a sensor (not shown) installed near the opening of the housing 33.

次に、第４プレート６９の保持部にプローブカードホルダ２１を載置する。この作業は外部の装置又は作業者による手動で行われる。   Next, the probe card holder 21 is placed on the holding portion of the fourth plate 69. This work is manually performed by an external device or worker.

次に、可動体７０ＢをＢ方向に駆動させ、第１プレート６３及び第２プレート６５をＦ方向にスライドさせることによって、初期状態まで復帰させる。   Next, the movable body 70B is driven in the B direction, and the first plate 63 and the second plate 65 are slid in the F direction to return to the initial state.

次に、下部ロック機構８４によって第１プレート６３及び第２プレート６５をロックする。   Next, the lower locking mechanism 84 locks the first plate 63 and the second plate 65.

次に、ジョイント７１を切替え、可動体７０Ｂと第３プレート６７を連結する。   Next, the joint 71 is switched to connect the movable body 70B and the third plate 67.

次に、上部ロック機構８５による第２プレート６５及び第３プレート６７のロックを解除する。   Next, the locking of the second plate 65 and the third plate 67 by the upper locking mechanism 85 is released.

次に、可動体７０ＢをＦ方向に駆動させ、第３プレート６７及び第４プレート６９をＦ方向にスライド移動させて、図１４の進出状態にする。この状態では第４プレート６９に保持されたプローブカードホルダ２１は検査室２の内部に搬入されている。   Next, the movable body 70B is driven in the F direction, and the third plate 67 and the fourth plate 69 are slidingly moved in the F direction to make the state shown in FIG. In this state, the probe card holder 21 held by the fourth plate 69 is carried into the inspection chamber 2.

以上の手順によって、プローブ装置１００の外部から、プローブカードホルダ２１を検査室２の内部に搬入することができる。この進出状態において、第４プレート６９（及び第３プレート６７）は、検査室２の側壁部に設置したセンサ（図示省略）によって検出される。   According to the above procedure, the probe card holder 21 can be carried into the inspection chamber 2 from the outside of the probe apparatus 100. In this advanced state, the fourth plate 69 (and the third plate 67) is detected by a sensor (not shown) installed on the side wall of the inspection chamber 2.

また、以上の搬送動作において、搬送装置５０の検査室２側とその反対側(外部側)の両側に、例えばエリアセンサなどを有するセンサ部（図示省略）を設け、第１プレート６３〜第４プレート６９が、Ｆ方向又はＢ方向のどちらにスライドしているかを検知するようにしてもよい。上記のとおり、本実施の形態の搬送装置５０は、ジョイント７１の切替によって、可動体７０Ｂを一つの方向（Ｆ方向）に駆動させるだけで、第１プレート６３〜第４プレート６９をＦ方向とＢ方向のどちらへもスライド延伸させることができる。そのため、可動体７０Ｂの制御上の位置情報からは、初期状態に対し、第１プレート６３〜第４プレート６９がどちらの方向にスライドしているかを把握することができない。そのため、例えばプローブ装置１００の電源が切れてしまった後の復帰時に、延伸途中の状態も含めて、第１プレート６３〜第４プレート６９がどちらの方向にスライドしているかを、上記センサ部によって検出することが好ましい。   Further, in the above-described transport operation, sensor units (not shown) having, for example, an area sensor etc. are provided on both sides of the inspection chamber 2 side and the opposite side (outside side) of the transport device 50. It may be detected whether the plate 69 is sliding in the F direction or the B direction. As described above, the transfer device 50 according to the present embodiment moves the first plate 63 to the fourth plate 69 in the F direction only by driving the movable body 70B in one direction (F direction) by switching the joint 71. It can slide and extend in either of the B directions. Therefore, it can not be grasped in which direction the first plate 63 to the fourth plate 69 slide in the initial state from the control position information of the movable body 70B. Therefore, for example, at the time of restoration after the power of the probe device 100 has been cut off, the above-described sensor unit determines in which direction the first plate 63 to the fourth plate 69 are sliding, including the state in the middle of stretching. It is preferable to detect.

以後の操作は任意であるが、一例を示すと、以下のとおりである。第４プレート６９の保持部に保持されたプローブカードホルダ２１を内部受渡機構３０に受け渡すことによって、内部受渡機構３０がプローブカードホルダ２１を移送し、インサートリング１５に装着する。次に、ステージ７を水平方向（Ｘ方向，Ｙ方向，θ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動させることによって、プローブカード２３とステージ１１上に保持されたウエハＷとの相対位置を調整し、デバイスの電極とプローブ針とを当接させる。テストヘッド３は、プローブカード２３の各プローブ針２３ａを介してデバイスに検査電流を流す。プローブカード２３は、デバイスの電気的特性を示す電気信号をテストヘッド３に伝送する。テストヘッド３は、伝送された電気信号を測定データとして記憶し、検査対象のデバイスの電気的な欠陥の有無を判定する。   The subsequent operation is optional, but an example is as follows. By delivering the probe card holder 21 held by the holding portion of the fourth plate 69 to the internal delivery mechanism 30, the internal delivery mechanism 30 transports the probe card holder 21 and attaches it to the insert ring 15. Next, the relative position between the probe card 23 and the wafer W held on the stage 11 is adjusted by moving the stage 7 in the horizontal direction (X direction, Y direction, θ direction) and in the vertical direction (Z direction) And the electrode of the device and the probe needle are abutted. The test head 3 applies an inspection current to the device through each probe needle 23 a of the probe card 23. The probe card 23 transmits to the test head 3 an electrical signal indicating the electrical characteristics of the device. The test head 3 stores the transmitted electrical signal as measurement data, and determines the presence or absence of the electrical defect of the device to be inspected.

搬送装置５０による検査室２からのプローブカードホルダ２１の搬出は、上記と逆の手順によって行うことができるので、説明を省略する。   The unloading of the probe card holder 21 from the inspection chamber 2 by the transfer device 50 can be performed in the reverse procedure to the above, and thus the description thereof is omitted.

本実施の形態の搬送装置５０は、単一の駆動部７０によって複数のプレート６０をスライドさせることが可能なため、装置構成の簡素化と省スペース化が可能である。具体的には、搬送装置５０は、ジョイント７１の切替によって、単一の駆動部７０で、保持部材である第４プレート６９を、Ｆ方向とＢ方向の両方にそれぞれ進出・退避させるスライド動作を行うことができる。また、搬送装置５０は、搬送途中で旋回動作や回転動作を伴わないため、他の部材との干渉が生じにくく、プローブカード２３の向きの誤認による設置ミスなども起こり得ない。従って、本実施の形態のプローブ装置１００を用いることによって、信頼性の高いプローブ検査が可能になる。   The transport device 50 according to the present embodiment can slide the plurality of plates 60 by the single drive unit 70, so the device configuration can be simplified and the space can be saved. Specifically, the transport device 50 causes the single drive unit 70 to advance and retract the fourth plate 69 as the holding member in both the F direction and the B direction by switching the joint 71. It can be carried out. In addition, since the transport device 50 does not involve a turning operation or a rotation operation during transport, interference with other members is unlikely to occur, and installation errors due to misidentification of the orientation of the probe card 23 can not occur. Therefore, highly reliable probe inspection becomes possible by using the probe apparatus 100 of the present embodiment.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。例えば基板としては、半導体ウエハに限らず、例えば、液晶表示装置に用いるガラス基板に代表されるフラットパネルディスプレイ用基板や、多数のＩＣ（半導体集積回路）チップを実装した樹脂基板、ガラス基板などの実装検査用基板でもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described in detail for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible. For example, the substrate is not limited to a semiconductor wafer, and for example, a flat panel display substrate represented by a glass substrate used for a liquid crystal display device, a resin substrate on which a large number of IC (semiconductor integrated circuit) chips are mounted, a glass substrate It may be a mounting inspection board.

また、搬送装置５０を構成するプレート６０は、５枚に限らず、２枚以上、好ましくは３枚以上で構成することができる。   Moreover, the plate 60 which comprises the conveying apparatus 50 can be comprised not only with five sheets but with two or more sheets, preferably three or more sheets.

５０…搬送装置、５１…基台、６０…プレート、６１…ベースプレート、６３…第１プレート、６５…第２プレート、６７…第３プレート、６９…第４プレート、７０…駆動部、７０Ａ…中空部材、７０Ｂ…可動体、７１…ジョイント、７３…下部伝達手段、７４…プーリー、７５…ベルト、７５ａ，７５ｂ…連結部材、７６…上部伝達手段、７７…プーリー、７８…ベルト、７８ａ，７８ｂ…連結部材、８１Ａ，８１Ｂ,８２Ａ，８２Ｂ，８３Ａ，８３Ｂ…ガイドレール、８４…下部ロック機構、８５…上部ロック機構、８６…衝撃吸収部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 ... Transport apparatus, 51 ... Base, 60 ... Plate, 61 ... Base plate, 63 ... 1st plate, 65 ... 2nd plate, 67 ... 3rd plate, 69 ... 4th plate, 70 ... Drive part, 70A ... Hollow Members, 70B: movable body, 71: joint, 73: lower transmission means, 74: pulley, 75: belt, 75a, 75b: coupling member, 76: upper transmission means, 77: pulley, 78: belt, 78a, 78b, ... Coupling member 81A, 81B, 82A, 82B, 83A, 83B ... Guide rail, 84 ... lower locking mechanism, 85 ... upper locking mechanism, 86 ... shock absorbing member

Claims (14)

プローブ装置の検査室に対し、プローブカードホルダに装着したプローブカードの搬入及び搬出を行うプローブカード搬送装置であって、
上下に積層され、水平方向にスライド可能な複数のプレートと、
直線往復運動が可能な可動体を有し、前記複数のプレートをスライドさせる単一の駆動部と、
前記可動体に前記プレートを連動させる連結状態と、連動させない非連結状態を切り替える連結手段と、
を備え、
前記複数のプレートは、少なくとも、
最上段に位置し、前記プローブカードホルダに装着した前記プローブカードを保持する保持部を有する保持プレートと、
前記駆動部が装着される駆動源プレートと、
前記駆動源プレートより下方に配置された第１の従動プレートと、
を有し、
前記連結手段は、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させる連結状態と、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させない非連結状態と、を切り替えるものであり、
前記駆動部は、前記保持プレートを、前記検査室へ近づく方向と、前記検査室から離れる方向にスライドさせることを特徴とするプローブカード搬送装置。 A probe card transfer device for carrying in and out a probe card mounted on a probe card holder to an inspection room of a probe device, comprising:
Multiple plates stacked vertically and slidable horizontally,
A single drive having a movable body capable of linear reciprocation and sliding the plurality of plates;
Connection means for switching between the connection state in which the plate is interlocked with the movable body and the disconnection state in which the plate is not interlocked;
Equipped with
The plurality of plates are at least
A holding plate located at the top and having a holding portion for holding the probe card mounted on the probe card holder;
A drive source plate on which the drive unit is mounted;
A first driven plate disposed below the drive source plate;
Have
The connection means switches between a connection state in which the first driven plate is interlocked with the movable body, and a non-connected state in which the first driven plate is not interlocked with the movable body.
The probe card transfer apparatus according to claim 1, wherein the drive unit slides the holding plate in a direction toward the inspection chamber and in a direction away from the inspection chamber. 前記駆動部からの駆動力を、前記第１の従動プレートからさらに下方のプレートに伝達する第１の駆動力伝達手段を有する請求項１に記載のプローブカード搬送装置。 2. The probe card carrier according to claim 1 , further comprising: first driving force transmitting means for transmitting the driving force from the driving unit from the first driven plate to the lower plate. 前記第１の駆動力伝達手段は、前記第１の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有しており、
前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記下方のプレートに連結されている請求項２に記載のプローブカード搬送装置。 The first driving force transmitting means includes a pair of pulleys disposed on the first driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys.
3. The probe card carrier according to claim 2 , wherein the belt is connected in part to the drive source plate and in part to the lower plate. プローブ装置の検査室に対し、プローブカードホルダに装着したプローブカードの搬入及び搬出を行うプローブカード搬送装置であって、
上下に積層され、水平方向にスライド可能な複数のプレートと、
直線往復運動が可能な可動体を有し、前記複数のプレートをスライドさせる単一の駆動部と、
前記可動体に前記プレートを連動させる連結状態と、連動させない非連結状態を切り替える連結手段と、
を備え、
前記複数のプレートは、少なくとも、
最上段に位置し、前記プローブカードホルダに装着した前記プローブカードを保持する保持部を有する保持プレートと、
前記駆動部が装着される駆動源プレートと、
前記駆動源プレートより上方であって前記保持プレートの下方に配置された第２の従動プレートと、
を有し、
前記連結手段は、前記可動体に前記第２の従動プレートを連動させる連結状態と、前記可動体に前記第２の従動プレートを連動させない非連結状態と、を切り替えるものであり、
前記駆動部は、前記保持プレートを、前記検査室へ近づく方向と、前記検査室から離れる方向にスライドさせることを特徴とするプローブカード搬送装置。 A probe card transfer device for carrying in and out a probe card mounted on a probe card holder to an inspection room of a probe device, comprising:
Multiple plates stacked vertically and slidable horizontally,
A single drive having a movable body capable of linear reciprocation and sliding the plurality of plates;
Connection means for switching between the connection state in which the plate is interlocked with the movable body and the disconnection state in which the plate is not interlocked;
Equipped with
The plurality of plates are at least
A holding plate located at the top and having a holding portion for holding the probe card mounted on the probe card holder;
A drive source plate on which the drive unit is mounted;
A second driven plate disposed above the drive source plate and below the holding plate;
Have
The connection means switches between a connected state in which the second driven plate is interlocked with the movable body, and a non-connected state in which the second driven plate is not interlocked with the movable body.
The probe card transfer apparatus according to claim 1, wherein the drive unit slides the holding plate in a direction toward the inspection chamber and in a direction away from the inspection chamber. 前記駆動部からの駆動力を、前記第２の従動プレートから前記保持プレートに伝達する第２の駆動力伝達手段を有する請求項４に記載のプローブカード搬送装置。 5. The probe card transfer apparatus according to claim 4 , further comprising second drive power transmission means for transmitting drive power from the drive unit from the second driven plate to the holding plate. 前記第２の駆動力伝達手段は、前記第２の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有しており、
前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記保持プレートに連結されている請求項５に記載のプローブカード搬送装置。 The second driving force transmitting means includes a pair of pulleys disposed on the second driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys.
The probe card carrier according to claim 5 , wherein the belt is connected in part to the drive source plate and in part to the holding plate. プローブ装置の検査室に対し、プローブカードホルダに装着したプローブカードの搬入及び搬出を行うプローブカード搬送装置であって、
上下に積層され、水平方向にスライド可能な複数のプレートと、
直線往復運動が可能な可動体を有し、前記複数のプレートをスライドさせる単一の駆動部と、
前記可動体に前記プレートを連動させる連結状態と、連動させない非連結状態を切り替える連結手段と、
を備え、
前記複数のプレートは、少なくとも、
最上段に位置し、前記プローブカードホルダに装着した前記プローブカードを保持する保持部を有する保持プレートと、
前記駆動部が装着される駆動源プレートと、
前記駆動源プレートより下方に配置された第１の従動プレートと、
前記駆動源プレートより上方であって前記保持プレートの下方に配置された第２の従動プレートと、
を有し、
前記連結手段は、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させ、かつ前記第２の従動プレートを連動させない第１の連結状態と、前記可動体に前記第１の従動プレートを連動させず、前記第２の従動プレートを連動させる第２の連結状態と、を切り替えるものであり、
前記駆動部は、前記保持プレートを、前記検査室へ近づく方向と、前記検査室から離れる方向にスライドさせることを特徴とするプローブカード搬送装置。 A probe card transfer device for carrying in and out a probe card mounted on a probe card holder to an inspection room of a probe device, comprising:
Multiple plates stacked vertically and slidable horizontally,
A single drive having a movable body capable of linear reciprocation and sliding the plurality of plates;
Connection means for switching between the connection state in which the plate is interlocked with the movable body and the disconnection state in which the plate is not interlocked;
Equipped with
The plurality of plates are at least
A holding plate located at the top and having a holding portion for holding the probe card mounted on the probe card holder;
A drive source plate on which the drive unit is mounted;
A first driven plate disposed below the drive source plate;
A second driven plate disposed above the drive source plate and below the holding plate;
Have
The connection means does not interlock the first driven plate with the movable body, and does not interlock the first driven plate with the movable body in a first connection state in which the second driven plate is not interlocked with the movable body. Switching between a second connection state in which the second driven plate is interlocked,
The probe card transfer apparatus according to claim 1, wherein the drive unit slides the holding plate in a direction toward the inspection chamber and in a direction away from the inspection chamber. 前記駆動部からの駆動力を、前記第１の従動プレートからさらに下方のプレートに伝達する第１の駆動力伝達手段と、前記第２の従動プレートから前記保持プレートに伝達する第２の駆動力伝達手段と、を有する請求項７に記載のプローブカード搬送装置。 First driving force transmitting means for transmitting the driving force from the driving unit from the first driven plate to the lower plate, and second driving force for transmitting the second driven plate to the holding plate The probe card carrier according to claim 7 , further comprising: 前記第１の駆動力伝達手段は、前記第１の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有しており、
前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記下方のプレートに連結されている請求項８に記載のプローブカード搬送装置。 The first driving force transmitting means includes a pair of pulleys disposed on the first driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys.
The probe card carrier according to claim 8 , wherein a part of the belt is connected to the drive source plate and another part is connected to the lower plate. 前記第２の駆動力伝達手段は、前記第２の従動プレートに配設された一対のプーリーと、該一対のプーリーに回転可能に架け渡されたベルトを有しており、
前記ベルトは、その一部分が前記駆動源プレートに連結され、他の一部分が前記保持プレートに連結されている請求項８に記載のプローブカード搬送装置。 The second driving force transmitting means includes a pair of pulleys disposed on the second driven plate, and a belt rotatably mounted on the pair of pulleys.
The probe card carrier according to claim 8 , wherein a part of the belt is connected to the drive source plate and another part is connected to the holding plate. 前記第１の連結状態において、前記駆動源プレートに前記第２の従動プレートを固定する固定手段を有する請求項７に記載のプローブカード搬送装置。 8. The probe card carrier according to claim 7 , further comprising a fixing means for fixing the second driven plate to the drive source plate in the first connection state. 前記第２の連結状態において、前記駆動源プレートに前記第１の従動プレートを固定する固定手段を有する請求項７に記載のプローブカード搬送装置。 8. The probe card carrier according to claim 7 , further comprising a fixing means for fixing the first driven plate to the drive source plate in the second connection state. 請求項１から１２のいずれか１項に記載のプローブカード搬送装置を備えたプローブ装置。 Probe device including a probe card conveying apparatus according to any one of claims 1 to 12. 請求項１から１２のいずれか１項に記載のプローブカード搬送装置によってプローブカードの搬送を行うプローブカード搬送方法。 Probe card transfer method for transferring the probe card by the probe card conveying apparatus claimed in any one of 12.
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