JP6520454B2 - 垂直共振器型面発光レーザの製造方法 - Google Patents
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Description
[VCSELの構成]
図1は、VCSELの構成を模式的に示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿った断面構造を模式的に示す図である。図3は、図2のうちレーザ光の生成に関係する部分を示した断面図である。なお、図2および図3に示す断面図は模式図である。図中の各層の厚みは実際のデバイスの厚みと比例関係になく、図2の厚みと図3の厚みも比例関係にない。
図4は、図3の各層のAl組成の分布図である。図4の縦軸はAlXGa(1-X)AsのAl組成(X)を示し、横軸はVCSELの深さ方向を任意単位(AU)で示す。X=0の場合はGaAsを意味し、X=1の場合はAlAsを意味する。
次にVCSELの作製プロセスについて説明する。
以下、加熱水蒸気酸化による電流狭窄層の形成方法(図7のステップS110)について詳細に説明する。
図8は、電流狭窄層の形成に用いる半導体酸化装置の構成を示す図である。図8を参照して、半導体酸化装置100は、酸化炉101と、半導体試料111を支持するための基台110と、回転昇降機構120と、マイクロスコープ130と、画像処理部131と、配管140,150,160と、電磁弁143,144,151,161と、窒素供給源145と、水蒸気供給源146と、真空装置152と、制御装置170とを含む。
次に、上記の半導体酸化装置100を用いた酸化方法の詳細について説明する。図7のステップS110で説明したように、メサポストパターンに加工されたエピタキシャル多層膜付きの基板を水蒸気雰囲気中で400〜500℃程度に加熱することによって、被酸化膜の外周部から酸化が進行する。
図8〜図10を参照して、最初に、半導体試料111が酸化炉101内の試料テーブル112上に固定される(ステップS200)。制御装置170は、昇降機構123を駆動することによって、基台110を酸化位置(下降位置)に移動する。この状態で、制御装置170は、ヒータ114によって半導体試料111を加熱することによって、半導体試料111の温度を待機温度TEMP1まで上昇させる(ステップS205)。待機温度TEMP1は、たとえば、200℃程度であり、水蒸気雰囲気中でも被酸化層(たとえば、AlAs層)の酸化がほとんど進行しない温度である。
次に、図9のステップS230における酸化時間の決定方法について説明する。
a=(W1−W2)/(Tox1−Tox2) …(1)
b=W1−a×Tox1=W2−a×Tox2 …(2)
に従って求めることができる。
W3=a×Tox3+b …(3)
の関係式を満たすことがわかる。すなわち、酸化時間Tox3は、
Tox3=(W3−b)/a …(4)
によって求めることができる。
以上のとおり、第1の実施形態によれば、第1回目と第2回目の酸化工程の各々における酸化時間と酸化量の測定値に基づいて、酸化時間と酸化量との関係を表す近似直線の傾きおよび切片が決定される。決定した傾きおよび切片を用いて第3回目の酸化工程における酸化時間を決定するので、制御性良く電流狭窄層を作製することができる。
第2の実施形態では、第1の実施形態における第1回目の酸化工程の前に予備的な酸化工程が追加される。すなわち、電流狭窄層の形成のために合計4回の酸化工程が実行される点に特徴がある。この場合、予備的な酸化工程は、第1回目の酸化工程による酸化量の測定の基準位置を決定するためだけに実行され、予備的な酸化工程による酸化幅の測定値は、酸化時間と酸化幅との関係を表す近似直線の係数(傾き)aおよび切片bを求めるためには用いられない。この理由は、メサポスト加工後(酸化前)の電流狭窄層の側面に存在する自然酸化膜の影響によって、最初の酸化工程による酸化の進行量が安定しない場合があるからである。以下、第2の実施形態の場合の電流狭窄層の形成方法(被酸化層の酸化方法)について詳細に説明する。なお、半導体酸化装置は、第1の実施形態と同じものが用いられる。
図16は、第2の実施形態による垂直共振器型面発光レーザの製造方法において、電流狭窄層の酸化手順を示すフローチャートである。図16のフローチャートは、予備的な酸化工程(酸化時間Tox0)の実行するステップS206と、予備的な酸化工程の終了後にマイクロスコープ130を用いて酸化幅W0を測定するステップS207とが追加された点で、第1の実施形態の場合の図9のフローチャートと異なる。以下では、図9のフローチャートと異なる点を主に説明し、共通する点については説明を繰り返さない。
次に、図16のステップS230における第3回目の酸化工程における酸化時間の決定方法について説明する。酸化時間の決定方法は、基本的には図13に関連して説明した方法と同じである。ただし、第3回目の酸化時間における追加の酸化幅W3は、酸化部17の設計寸法からW0+W1+W2を減算することによって求められる。酸化幅W3に対応する酸化時間Tox3が前述の式(4)に従って求められる点は、第1の実施形態の場合と同じである。
上記の実施形態では、DBR層11,15、クラッド層12,14、活性層13、および電流狭窄層16となるべき被酸化層を含む積層体をメサポスト状に加工した。これに代えてリセス構造に積層体を加工してもよい。リセス構造の場合も、電流狭窄層16となるべき被酸化層の側面から酸化が進行することによって、未酸化部を取り囲むように酸化部が形成される。
Claims (5)
- 垂直共振器型面発光レーザの製造方法であって、
第1および第2の反射鏡層、活性層、ならびに電流狭窄構造となる被酸化層を含む積層体を基板上に形成するステップと、
少なくとも前記被酸化層の側面が露出するように、前記積層体を加工するステップと、
前記積層体を加工した後に、電流狭窄構造の形成のために前記被酸化層を側面から酸化するステップとを備え、
前記酸化するステップは、少なくともN回(N≧3)実行され、
各回の前記酸化するステップは、
前記加工後の積層体を昇温する第1ステップと、
予め設定された酸化温度で予め設定された酸化時間の間、前記加工後の積層体の水蒸気酸化を行う第2ステップと、
水蒸気の供給を停止して前記加工後の積層体を降温する第3ステップとを含み、
前記製造方法は、さらに、
第1回目から第N−1回目までの各回の前記酸化するステップの終了後に、各回ごとの前記被酸化層の酸化量を測定するステップと、
第1回目から第N−1回目の各回ごとの前記酸化量の測定値および前記酸化時間の設定値に基づいて、第N回目の前記酸化するステップにおける前記第2ステップ以外での前記被酸化層の酸化量と、前記第2ステップでの前記被酸化層の酸化速度とを推定し、前記推定した酸化量および酸化速度に基づいて第N回目の前記酸化するステップでの酸化時間を決定するステップと、
第1回目の前記酸化するステップの前に前記被酸化層を側面から予備的に酸化するステップと、
前記予備的に酸化するステップの終了後に前記被酸化層の酸化量を測定することによって、第1回目の前記酸化するステップによる酸化量の測定の際の基準位置を決定するステップとを備える、垂直共振器型面発光レーザの製造方法。 - 前記酸化時間を決定するステップは、
第1回目から第N−1回目の各回の前記酸化量の測定値と前記酸化時間の設定値との関係を近似直線に当て嵌めるステップと、
前記酸化時間が0のときの前記近似直線の切片に基づいて、前記第2ステップ以外での前記被酸化層の酸化量を推定するステップと、
前記近似直線の傾きに基づいて、前記第2ステップでの前記被酸化層の酸化速度を推定するステップとを含む、請求項1に記載の垂直共振器型面発光レーザの製造方法。 - 前記第1ステップでは、水蒸気を供給しながら前記加工後の積層体を昇温する、請求項1または2に記載の垂直共振器型面発光レーザの製造方法。
- 第1回目から第N回目までの各回の前記第1ステップにおける水蒸気の供給量および温度上昇の条件は同一である、請求項3に記載の垂直共振器型面発光レーザの製造方法。
- 各前記酸化するステップは、密閉された酸化炉内で実行され、
前記第3ステップでは、前記酸化炉内を排気してから前記加工後の積層体が降温される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の垂直共振器型面発光レーザの製造方法。
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