JP6517656B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
2 成膜チャンバ
2a 端面
3 ロードロックチャンバ
6 ゲートバルブ
10 移動機構
11 支持ユニット(容器支持手段)
14 容器支持台
18 Oリング(シール部材)
Claims (3)
- 容器の表面に真空状態で成膜するための成膜チャンバと、
前記成膜チャンバと接続され、前記容器を前記成膜チャンバに対して真空状態で出し入れするためのロードロックチャンバと、
前記成膜チャンバと前記ロードロックチャンバとを隔離する閉位置と前記成膜チャンバと前記ロードロックチャンバとを連通する開位置との間で動作する真空隔離手段と、
前記真空隔離手段が前記開位置の状態で、前記ロードロックチャンバ内の前記容器を前記成膜チャンバ内へ移動可能な移動機構と、を備え、
前記移動機構は、前記容器を支持し、かつ前記容器が前記成膜チャンバ内へ移動した状態で前記成膜チャンバを密封する容器支持手段を有する成膜装置。 - 前記成膜チャンバは、前記真空隔離手段が前記開位置の状態で前記ロードロックチャンバ側に露出する端面を有し、
前記容器支持手段は、前記容器を支持するとともに、前記容器が前記成膜チャンバ内へ移動した状態で前記成膜チャンバの前記端面と突き当たることにより前記成膜チャンバを密封する容器支持台を含む請求項1に記載の成膜装置。 - 前記成膜チャンバの前記端面と前記容器支持台とが突き当たった際に前記端面と前記容器支持台とのシール性を高めるためのシール部材を更に備える請求項2に記載の成膜装置。
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