JP6516030B2 - パターン形成方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態の基板(被照射体、被露光体)Pに露光処理を施す露光装置EXを含むデバイス製造システム10の概略構成を示す図である。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、図に示す矢印にしたがって、X方向、Y方向、およびZ方向を説明する。
ΔT≒−E×Tα×L’/L×Δt …(1)
ΔT=(ΔLto−ΔLtt)・E/Lo−ΔLto・E/Lo …(2)
ΔT=−To・L’・Tα・Δt/ΔLto …(3)
ΔT≒−To・L’・Tα・Δt/(L・To/E)
=−To・L’・Tα・Δt・E/L
=−L’/L・Δt・Tα・E …(4)
上記第1の実施の形態は、以下のように変形してもよい。
上記第1の実施の形態およびその各変形例では、張力分布調整部60は、温度調整部62、64を備えるようにしたが、第2の実施の形態では、温度調整部62に代えて、基板Pを撓ませる外力を、幅方向に関して変化させて基板Pに非接触状態で付与する外力付与部90を備える。なお、本第2の実施の形態においては、上記第1の実施の形態と同一の構成について同様の符号を付したり、図示を省略したりして、異なる部分のみ説明する。
ΔT≒E・(1/cos(α)−1) …(5)
ΔLα=L・(1/cos(α)−1) …(6)
ΔT=To・〔L・(1/cos(α)−1)〕/〔Lo・To/E〕
=〔L・(1/cos(α)−1)〕/〔Lo/E〕
=(L/Lo)・E・(1/cos(α)−1) …(7)
上記第2の実施の形態は、以下のように変形してもよい。
上記第1、第2の実施の形態およびその各変形例で説明したエッジポジションコントローラEPCを搭載した露光装置EXを用いることで、フレキシブルな表示パネル(例えば、有機ELディスプレイ)、タッチパネル、カラーフィルタ等の種々の電子デバイスを製造することができる。第3の実施の形態では、図15のフローチャートを用いて、表示パネルに用いられる電子デバイスの一種である薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)を製造する製造工程を説明する。なお、ここでは、ボトムゲート型のTFTを例にとって説明するが、トップゲート型のTFTであっても、工程は概ね同じである。
14…光源装置 16…露光ヘッド
18…制御部 20…回転ドラム
60…張力分布調整部 62、64…温度調整部
66、66A…発熱体 68、96…駆動部
70…温調ローラ 90…外力付与部
92…気体供給部 94…ノズル
AM、AM1〜AM3…アライメント顕微鏡
DR1、DR2、R1、R2…駆動ローラ EPC…エッジポジションコントローラ
EX…露光装置 GR1、GR2…ガイドローラ
Ks、Ks1〜Ks3…アライメントマーク
L、L1〜L5…走査ライン P…基板
PR1、PR2…プロセス装置 U、U1〜U5…走査ユニット
Claims (4)
- 長尺の可撓性のシート基板を長尺方向に搬送しつつ、シート基板の表面にパターニング装置によって電子デバイス用のパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記パターニング装置に搬入される前に、前記シート基板の長尺方向と交差する幅方向の位置誤差、または前記シート基板の搬送方向の傾き誤差を計測する計測工程と、
前記パターニング装置の上流側で前記シート基板の搬送経路上の離れた2ヶ所に配置されて前記長尺方向に所定の張力を作用させた状態で前記シート基板の搬送経路を摩擦接触により折り曲げる一対のガイドローラを含む搬送装置を用い、前記一対のガイドローラの間で前記シート基板に作用する張力の大きさの幅方向に関する分布が、前記計測された位置誤差または傾き誤差に基づいて、前記シート基板の搬送中に調整されるように、前記一対のガイドローラの間に前記シート基板と非接触な状態で設けられる温度調整部によって、前記シート基板に前記幅方向に関して温度分布を与える調整工程と、
を含む、パターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法であって、
前記温度調整部は、前記一対のガイドローラの間の前記シート基板に前記幅方向の曲げモーメントを発生させて、前記シート基板の位置を前記幅方向に沿ってシフトさせるように、前記シート基板のシフトさせる側とは反対側の温度を、シフトさせる側の温度よりも高く設定する、パターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法であって、
前記温度調整部は、前記シート基板の前記幅方向の中央側の温度を前記幅方向の両端側の温度よりも高くするように設定する、パターン形成方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のパターン形成方法であって、
前記温度調整部は、前記シート基板の幅方向に沿って配置される複数のノズルの各々から前記シート基板の表面に向けて気体を吹き付ける噴出部を備え、前記気体の温度を前記シート基板の幅方向に変化させる、パターン形成方法。
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