JP5114061B2 - 投影露光装置 - Google Patents
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Description
このほか、非テレセントリックな投影光学系を光軸が垂直になるように設けた投影露光装置も知られている。
図4に示すような特許文献1の露光装置1は、帯状基板3が装置右方に設置された繰り出し用リール7から繰り出され、装置左方に設置された巻き取り用リール8に巻き取られるので、搬送機構の構成において、水平方向の距離を大きく取っており、装置全体として大きな設置面積を必要としている。
また、投影露光装置は、露光ステージを挟んで投影光学機構と反対側に配置されたときに供給リールから第1搬送ローラまでの距離と、第2搬送ローラから巻取リールまでの距離と、を小さくでき、かつ、供給リールと巻取リールとの距離を小さくすることができる。
ワークの厚さに応じてダイソン光学系の焦点位置が変わる。この焦点ずれ量を補正するために、露光ステージを光軸方向に移動させることで焦点位置が合った状態でワークを露光することができる。
このように構成した投影露光装置は、送られてきたワークの焦点合わせ及びワークとマスクとの位置合わせのためにワーク表面位置測定手段及びマーク取得手段がダイソン光学系と露光ステージとの間の露光領域に挿入される。その際に、光軸方向及びこれに直交する方向のワークの位置を確認することができる。これに応じて露光ステージが光軸方向に移動するとともにマスクが移動するので、正確な露光を行うことができる。
(1)投影露光機構にレンズ、プリズム、ミラー等の数が少なくて極めて小形であるダイソン光学系と、フィルムテープ状のワークを露光ステージ側で鉛直方向に搬送する搬送機構を採用しているため、装置の高さ及び幅方向の寸法を従来の投影露光装置より小さく構成できるので、クリーンルーム内の設置スペースを小さく抑えることができる。
(2)投影露光装置は、高さを抑え設置面積を小さくできるので、クリーンルーム内における大気の滞留の妨げとなることを最小限にして、またクリーンルーム内の作業スペースにおける視野を遮ることを最小限に抑え、設置環境を良好にすることができる。
<投影露光装置20の構成>
図1は、投影露光装置を模式的に示す全体斜視図である。
投影露光装置20は、光源機構21(投影光学機構)と、マスク保持枠22と、このマスク保持枠22から所定距離をあけて光路上に設置したダイソン光学系23(投影光学機構)と、露光ステージ24と、搬送機構25とを有している。マスク保持枠22は、光源機構21の光軸上に配置したマスクMを保持する。露光ステージ24は、ダイソン光学系23から送られてくる照射光の光路上に配置されている。搬送機構25は、露光ステージ24の垂直面に近接してフィルムテープ状のワークFを鉛直方向に1コマずつ間欠送りする。投影露光装置20は、露光に先行してワークFとマスクMとの整合マーク(図示せず)の位置を合わせる位置合わせ制御手段26を備えている。
従って、ダイソン光学系23は、照射光が入射すると、はじめに入射側凸レンズ23aを透過し、プリズム反射体23bで反射され、反射側凸レンズ23dを透過して凹面反射ミラー23eで反射する。照射光は、反射側凸レンズ23dを透過して、プリズム反射体23bで反射して、出射側凸レンズ23cから照射光を出射して、ワークFに照射光を照射する。このダイソン光学系23は、設置スペースが他の光学系と比較して小さくて済むため、装置全体を小さく抑えることができる。
また、露光ステージ24は、真空ポンプの配管と接続されて、ワークFを吸着して固定するように構成されている。この露光ステージ24上にワークFの露光範囲である1コマが搬送されると、後述するマーク取得手段26a,26bによりワークFの位置決めマークとマスクMの位置決めマークとの位置関係を取得する。そして、ワークFの位置決めマークとマスクMの位置決めマークとの位置ずれをゼロにするように、マスクMの位置を移動させる。ワークFとマスクMとの位置合わせが終了すると露光が行われる。
搬送機構25は、搬送径路中にワークFのテンションを調整する第1及び第2テンション調整手段として第1エアダンサ25D及び第2エアダンサ25Jとを用いるとともに、露光ステージ24のステージ面24aに近接してフィルムテープ状のワークFを鉛直方向に1コマずつ間欠送りする構成としている。この搬送機構25の供給側は、ここでは、ワークFを送り出す供給リール25aと、この供給リール25aから送り出すワークFをガイドする第1ガイドローラ25b及び第2ガイドローラ25cと、この第1ガイドローラ25b及び第2ガイドローラ25c間でガイドされるワークFのテンションを調整する第1エアダンサ25D(ボックス25d)とを有している。この搬送機構25の巻取側は、ワークFをガイドする第3ガイドローラ25h及び第4ガイドローラ25iと、この第3ガイドローラ25h及び第4ガイドローラ25i間のワークFのテンションを調整する第2エアダンサ25J(ボックス25j)と、第4ガイドローラ25iからのワークFを巻き取る巻取リール25mと、を有している。
さらに、搬送機構25の供給側において、露光ステージ24の上方に、第2ガイドローラ25cから送り出されるワークFを露光ステージ24のステージ面24aに送る第1搬送ローラ25fが配置される。また、搬送機構25の巻取側において、露光ステージ24の下方に、ステージ面24aからワークFを送る第2搬送ローラ25gが配置される。なお、第1エアダンサ25D及び第2エアダンサ25Jは、ワークFを外乱の影響がないようにボックス25d,25jに収納する。そして、第1エアダンサ25D及び第2エアダンサ25Jは、1コマずつ送る送り量に影響しないように一時的にワークFの強制送りをワークFの自重による制振作用で緩衝するようにしてワークFのテンションを調整する。
この制御手段26は、ワークFとマスクMとの位置決めマークをハーフミラ(図示せず)及びCCDカメラ等を有するマーク取得手段26a,26bと、このマーク取得手段26a,26bからの画像信号を入力して画像処理して画像信号を出力する画像処理装置26cとを有する。画像処理装置26cは、ワークFとマスクMとの位置決めマークを画像処理する。画像処理した結果、位置決めマークの位置ずれ量を算出する。その位置決めマークとの位置ずれ量をマスクMを移動させることにより、ワークFとマスクMとの位置ずれ量をほぼゼロにする。さらに、制御手段26は、搬送機構25の第2ガイドローラ25cと第1搬送ローラ25fと第2搬送ローラ25gと第3ガイドローラ25hとの間で制御信号を送受信する装置制御装置26dとを備えている。装置制御装置26dは、位置決めマークの位置ずれ量がしきい値より大きいときに、次の1コマ分のワークの送り量及び1コマの傾き(姿勢)を補正するように、第2ガイドローラ25c又は第3ガイドローラ25hをローラの軸方向に移動させたり、第1搬送ローラ25f及び第2搬送ローラ25gの送り量を制御したりする。
なお、マーク取得手段26a,26b及びワーク表面位置測定手段26eは、露光前に露光領域まで移動して位置決めマークを撮像し、露光時には退避して光路から外れた位置に移動するように構成されている。また、制御手段26は、必要があれば、ダイソン光学系23で投影されるマスクMのマスク像に対する微小な投影倍率の調整制御、シャッタ機構(図示せず)の開閉制御等も行っている。
図3に示すように、第1搬送ローラ25fは、それぞれ、全周面に小孔25f1が整列状に開孔されている。そして、第1搬送ローラ25fの軸部の一端は、制御用モータ25f2と連結し、他端は真空ポンプ(図示しない)の真空パイプ25f3と回転ジョイント25f4を介して接続している。そのため、第1搬送ローラ25fは、制御用モータ25f2で間欠回転すると、ワーク巻付角に対応する箇所にてワークFに滑りを与えることなく吸引しながら一コマが所定位置に来るように送ることができる。なお、第2搬送ローラ25gも、第1搬送ローラ25fと同様に構成される。さらに、好ましくは、第1ガイドローラ25bから第4ガイドローラ25iのすべてのローラが第1搬送ローラ25fと同様に構成される。
つぎに、投影露光装置20の動作について説明する。
投影露光装置20は、ワークFの露光単位である一コマを露光ステージ24で送り出すときには、第1搬送ローラ25f、第2搬送ローラ25g、第2ガイドローラ25c、第3ガイドローラ25hを駆動制御することで行っている。このとき、第1ガイドローラ25b及び第2ガイドローラ25cにガイドされるワークFは、第1エアダンサ25Dによりテンションを維持された状態で、かつ、第1ガイドローラ25b及び第2ガイドローラ25c間において巻き出された状態となる。このため、巻き出され量が露光ステージ24側に一コマ分送り出されることになり、常にワークFのテンションが調整された状態で維持される。同様に、第3ガイドローラ25h及び第4ガイドローラ25iにガイドされたワークFは、第2エアダンサ25Jによりテンションを維持された状態で、かつ、第3ガイドローラ25h及び第4ガイドローラ25i間において巻き出された状態となる。このため、巻き出され量が露光ステージ24側から一コマ分送り出されることになり、常にワークFのテンションが調整された状態で維持される。
マーク取得手段26a,26bは、撮像終了後に、ダイソン光学系23と露光ステージ24との間から退避する。そして、光源機構21からの紫外光がマスクMに照射され、マスクMの回路パターンがダイソン光学系23を介してワークFの1コマに露光される。そしてワークFは、露光ステージ24の真空吸着が開放され、新たにワークFの1コマが露光ステージ24に送られる。このような作業が1コマ毎に繰り返し行われる。
なお、搬送機構25は、ワークFの搬送を適切に行うことができ、かつ、設置スペースを小さくすることができる。また、投影光学機構であるダイソン光学系23及び光源機構21を用いることで高さ方向の寸法を抑制した構成になるため、投影露光装置20は、クリーンルーム内に設置したときに、設置スペースを従来のものより小さくできるものである。
また上記実施形態では、パーフォレイションを有しないワークFで説明してきたが、両側に所定間隔で長手方向に形成された穴であるパーフォレイションホールfが形成されたテープも流用できる。このようなワークFを使用する場合には、ワークFの送り量をパーフォレイションを利用してフォトインタラプタでカウントして計測しても良い。また、位置決めの際にはパーフォレイションホールのエッジを検出してワークFの位置を検出することもできる。
21 光源機構(投影光学機構)
22 マスク保持枠
23 ダイソン光学系(投影光学機構)
24 露光ステージ
F フィルムテープ状のワーク
M マスク
25 搬送機構
25a 供給リール
25b 第1ガイドローラ(供給側第1ガイドローラ)
25c 第2ガイドローラ(供給側第2ガイドローラ)
25D 第1エアダンサ(第1テンション調整手段)
25d ボックス(第1エアダンサ)
25f 第1搬送ローラ
25g 第2搬送ローラ
25h 第3ガイドローラ(巻取側第1ガイドローラ)
25i 第4ガイドローラ(巻取側第2ガイドローラ)
25J 第2エアダンサ(第2テンション調整手段)
25j ボックス(第2エアダンサ)
25m 巻取リール
26 制御手段
26a,26b マーク取得手段
26c 画像処理装置
26d 装置制御装置
26e ワーク表面位置測定手段
Claims (4)
- 鉛直方向に配置した露光ステージを用いて、フィルムテープ状のワークにマスクのパターンを照射光により投影して露光する投影露光装置において、
前記露光ステージへの前記ワークの移動を鉛直方向に行う搬送機構と、この搬送機構とは前記露光ステージを境に隣り合う位置に配置されるダイソン光学系を有する投影光学機構と、を備え、前記ダイソン光学系は、当該ダイソン光学系に入射する照射光の光軸、及び、当該ダイソン光学系から出射する照射光の光軸が、前記露光ステージのワークに対して直交するように配置され、
前記搬送機構は、前記ワークを送り出す供給リールと、前記供給リールから送り出された前記ワークをガイドする供給側第1ガイドローラ及び供給側第2ガイドローラと、前記供給側第1ガイドローラ及び前記供給側第2ガイドローラ間にガイドされる前記ワークにテンションを与えるべく前記ワークの自重若しくはエアー付勢にて前記ワークを下方に弛ませる第1テンション調整手段と、前記供給側第2ガイドローラからの前記ワークを前記露光ステージに沿って送り当該露光ステージの上方及び下方に配置される第1搬送ローラ及び第2搬送ローラと、前記第2搬送ローラからの前記ワークをガイドする巻取側第1ガイドローラ及び巻取側第2ガイドローラと、前記巻取側第1ガイドローラ及び前記巻取側第2ガイドローラ間によりガイドされる前記ワークにテンションを与えるべく前記ワークの自重若しくはエアー付勢にて前記ワークを下方に弛ませる第2テンション調整手段と、前記巻取側第2ガイドローラからの前記ワークを巻き取る巻取リールと、を備え、
前記供給リール、前記供給側第1ガイドローラ、前記供給側第2ガイドローラ、前記第1テンション調整手段、及び、前記第1搬送ローラを有するワーク供給側搬送経路が、前記第2搬送ローラ、前記巻取側第1ガイドローラ、前記巻取側第2ガイドローラ、前記第2テンション調整手段、及び、前記巻取リールを有するワーク巻き取り側搬送経路より上方に配置されると共に、
前記ワーク供給側搬送経路を構成する前記供給リールから前記第1搬送ローラまでがワーク搬送方向に向かって下り勾配に配置され、且つ、前記ワーク巻き取り側搬送経路を構成する前記第2搬送ローラから前記巻取リールまでが昇り勾配になるように配置されて両搬送路がほぼ平行に構成され、更に、前記第1テンション調整手段と前記第2テンション調整手段が上下に並ぶ位置に配置されたことを特徴とする投影露光装置。 - 前記露光ステージは、前記ダイソン光学系から出射する照射光の光軸方向に移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の投影露光装置。
- 前記ダイソン光学系と前記露光ステージとの間の露光領域に挿入及び退避可能に配置され、前記光軸方向の前記ワーク表面の位置を測定するワーク表面位置測定手段と、
前記ダイソン光学系と前記露光ステージとの間の露光領域に挿入及び退避可能に配置され、前記光軸方向に直交する方向の前記ワークの位置ずれ量を確認するために画像を取得するマーク取得手段とを備え、
前記ワーク表面位置測定手段による表面の位置情報に基づいて前記露光ステージが光軸方向に移動するとともに、前記マーク取得手段による位置ずれ量の情報に基づいて、前記マスクが移動することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の投影露光装置。 - 前記搬送機構は、前記ワークを挟持しない状態にて搬送し、前記第1搬送ローラおよび前記第2搬送ローラにより前記ワークの上下方向の位置調整がされ、前記供給側第2ガイドローラおよび前記巻取側第1ガイドローラのガイドローラ軸方向の移動により前記ワークの搬送方向に対する傾斜位置調整を行うように構成されことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の投影露光装置。
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