JP6515543B2 - タッチパネル一体型カラーフィルタ基板、それを用いた表示装置、及びそれを用いた情報入力画像表示装置 - Google Patents
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Description
るとともに、透過率が高く視認性が良いタッチパネル一体型カラーフィルタ基板、それを用いた液晶表示装置、有機EL表示装置、及びそれらを用いた情報入力画像表示装置を提供することを目的とする。
前記透明基板の第2の面に複数の第2金属配線を備え、
前記第1金属配線及び前記第2金属配線は、タッチパネルの電極としての機能を有するとともに、前記第1金属配線及び前記第2金属配線のそれぞれの線幅は1μm〜10μmの範囲内にあり、
前記第1金属配線と前記第2金属配線は、いずれも前記透明基板と接触する層を酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫との複合金属酸化物層とし、前記複合金属酸化物層上に銅あるいは銅合金からなる層を積層した構造とし、
前記ブラックマトリクスの前記開口部に、赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層をそれぞれ具備することを特徴とするタッチパネル一体型カラーフィルタ基板としたものである。
前記透明基板の第2の面に複数の第2金属配線を備え、
前記第1金属配線及び前記第2金属配線は、タッチパネルの電極としての機能を有するとともに、前記第1金属配線及び前記第2金属配線のそれぞれの線幅は1μm〜10μmの範囲内にあり、
前記第1金属配線と前記第2金属配線は、いずれも前記透明基板と接触する層を酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫との複合金属酸化物層とし、前記複合金属酸化物層上に銅あるいは銅合金からなる層を積層した構造の上に、さらに酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫
の複合金属酸化物層を積層し、
前記ブラックマトリクスの前記開口部に、赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層をそれぞれ具備することを特徴とするタッチパネル一体型カラーフィルタ基板としたものである。
(Zn)/(Zn+In+Sn)が、0.1〜0.6の範囲内にあり、かつ、
(Sn)/(Zn+In+Sn)が、0.005〜0.1の範囲内にあることを特徴とする請求項1、または2に記載のタッチパネル一体型カラーフィルタ基板としたものである。
が挙げられる。尚、酸化インジウムあるいは上記複合金属酸化物とアルミニウムとは、オーミックコンタクトを得ることが困難である。また、銅はアルミニウムよりも導電性が良好なため、第1金属配線と第2金属配線の線幅を細くすることが許容されるので、画素の開口部に占める割合を小さくすることができ、金属配線による透過率の低下が抑えられ、視認性を良好に維持することができる。
Pynを、タッチパネルとしての検出精度や、表示装置としての画像性能に影響を与えない範囲で、適宜変化させてもよい。
(Zn)/(Zn+In+Sn)=0.3
(Sn)/(Zn+In+Sn)=0.007
となるようなZnとInとSnの合金ターゲットを使い、Arに酸素を添加してキャリアガスとするスパッタリング法により複合金属酸化物層を成膜(膜厚:20nm)した。さらに、複合金属酸化物層上に、Cuからなる金属層を、Cuをターゲット、Arをキャリアガスとするスパッタリング法により成膜(膜厚:150nm)した。さらに前記金属層上に、前記複合金属酸化物層と同じ方法、材料で、2層目の複合金属酸化物層を成膜し(膜厚:20nm)、3層の積層構造(3層合計膜厚:190nm)を形成した。尚、1層目の前記複合金属酸化物層と2層目の複合金属酸化物層は、たとえば1層目と2層目のサイドエッチング量(線幅)を調整するため、Znの原子比あるは膜厚を異ったものとしても良い。
2・・・ 第2金属配線
3・・・ 透明基板
4(R)・・・ 着色層(赤)
4(G)・・・ 着色層(緑)
4(B)・・・ 着色層(青)
5・・・ ブラックマトリクス
6・・・ オーバーコート層
10・・・ タッチパネル一体型カラーフィルタ基板
13、14・・・ 配向膜
15・・・ 液晶層
20・・・ TFTアレイ基板
21・・・ TFTアレイ部
22・・・ 基板
25、27・・・ 接着層
26、28・・・ 偏光板
50・・・ 情報入力画像表示装置(液晶型)
30・・・ 有機EL素子基板
31・・・ 有機EL素子
33・・・ 隔壁
34・・・ 裏面側電極層
35・・・ 有機EL層
36・・・ 透明導電層
37・・・ 接着層
40・・・ TFTアレイ基板
41・・・ TFTアレイ部
42・・・ 基板
43・・・ 接着層
44・・・ カバーガラス
60・・・ 情報入力画像表示装置(有機EL型)
Claims (6)
- 無アルカリガラスである透明基板の第1の面に複数の第1金属配線と、複数の開口部を具備するブラックマトリクスとをこの順で備え、
前記透明基板の第2の面に複数の第2金属配線を備え、
前記第1金属配線及び前記第2金属配線は、タッチパネルの電極としての機能を有するとともに、前記第1金属配線及び前記第2金属配線のそれぞれの線幅は1μm〜10μmの範囲内にあり、
前記第1金属配線と前記第2金属配線は、いずれも前記透明基板と接触する層を酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫との複合金属酸化物層とし、前記複合金属酸化物層上に銅あるいは銅合金からなる層を積層した構造とし、
前記ブラックマトリクスの前記開口部に、赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層をそれぞれ具備することを特徴とするタッチパネル一体型カラーフィルタ基板。 - 無アルカリガラスである透明基板の第1の面に複数の第1金属配線と、複数の開口部を具備するブラックマトリクスとをこの順で備え、
前記透明基板の第2の面に複数の第2金属配線を備え、
前記第1金属配線及び前記第2金属配線は、タッチパネルの電極としての機能を有するとともに、前記第1金属配線及び前記第2金属配線のそれぞれの線幅は1μm〜10μmの範囲内にあり、
前記第1金属配線と前記第2金属配線は、いずれも前記透明基板と接触する層を酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫との複合金属酸化物層とし、前記複合金属酸化物層上に銅あるいは銅合金からなる層を積層した構造の上に、さらに酸化亜鉛と酸化インジウムと酸化錫の複合金属酸化物層を積層し、
前記ブラックマトリクスの前記開口部に、赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層をそれぞれ具備することを特徴とするタッチパネル一体型カラーフィルタ基板。 - 前記複合金属酸化物層は、酸素を除く亜鉛(Zn)とインジウム(In)と錫(Sn)
を母数とする下記金属の原子比において、
(Zn)/(Zn+In+Sn)が、0.1〜0.6の範囲内にあり、かつ、
(Sn)/(Zn+In+Sn)が、0.005〜0.1の範囲内にあることを特徴と
する請求項1、または2に記載のタッチパネル一体型カラーフィルタ基板。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のタッチパネル一体型カラーフィルタ基板を具備する液晶表示装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のタッチパネル一体型カラーフィルタ基板を具備する有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- 請求項4、または5に記載の表示装置を具備し、前記第1金属配線と前記第2金属配線の間の静電容量変化で、前記第2の面側の表面に接触するポインターの位置を検出することを特徴とする情報入力画像表示装置。
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