JP6507502B2 - ダイレクトドライブモータ、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1の一例を示す平面図である。図2は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1の一例を示す断面図である。図3は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1のステータ21の一例を示す平面図である。図4は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ1のステータ21の一例を示す平面図である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。
2 モータ部
3 回転検出器
4 ハウジング
5 軸受
5A 内輪
5B 外輪
5C 転動体
6 第1カバー部材
8 第2カバー部材
9 制御装置
10 リード線
21 ステータ
22 ロータ
23 ティース
24 ヨーク
25 ステータコア
26 コイル
27 スロット
28 ボビン
30 コネクタ
31 電力供給部
32 中性点
41 第1ハウジング
42 第2ハウジング
200 搬送装置
251 内周コア
252 外周コア
300 検査装置
301 検査部
400 工作機械
401 加工部
500 半導体製造装置
501 処理部
AX 回転軸
Claims (7)
- 3相交流により作動するダイレクトドライブモータであって、
複数のティースを有するステータコアと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第1相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第2相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第3相コイルと、を有するステータと、
前記ステータに対して回転軸を中心に回転可能なロータと、
コネクタを介して電力供給部と接続され、前記第1相コイルに電力を供給するための第1リード線と、
前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第2相コイルに電力を供給するための第2リード線と、
前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第3相コイルに電力を供給するための第3リード線と、
を備え、
直列に接続された複数の前記第1相コイルの一端と、直列に接続された複数の前記第2相コイルの一端と、直列に接続された複数の前記第3相コイルの一端とがスター結線され、
前記第1リード線が直列に接続された複数の前記第1相コイルの他端と電気的に接続され、
前記第2リード線が直列に接続された複数の前記第2相コイルの他端と電気的に接続され、
前記第3リード線が直列に接続された複数の前記第3相コイルの他端と電気的に接続され、
前記第1リード線が、前記第2リード線及び前記第3リード線とは重ならずに、前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルのうちの1つ以上のコイルの上を通り、コネクタに引き出され、
前記第2リード線が、前記第1リード線及び前記第3リード線とは重ならずに前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルのうちの1つ以上のコイルの上を通り、前記コネクタに引き出され、
前記第3リード線が、前記第1リード線及び前記第2リード線とは重ならずに、前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルのうちの1つ以上のコイルの上を通り、前記コネクタに引き出され、
前記第2リード線は、前記第1リード線を挟んで、前記第3リード線とは、反対側に配置され、 前記第1相コイル、前記第2相コイル、及び前記第3相コイルはそれぞれボビンに巻かれ、
前記ボビンが前記ティースに支持され、
前記第1リード線、前記第2リード線及び前記第3リード線には、樹脂にインサート成形されているバスバーを除く、ダイレクトドライブモータ。 - 前記ティースの間のスロットの数は偶数であり、
前記ステータは、分数スロット巻線を含む請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。 - 前記ロータの回転を検出するアブソリュート方式のレゾルバを含む請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、
を備える搬送装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、
を備える検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、
を備える工作機械。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のダイレクトドライブモータと、
前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、
を備える半導体製造装置。
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