JP6506797B2 - 研削装置および研削方法 - Google Patents
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Description
まず、図7に示すように、研削装置のファインバブル水供給部12のファインバブル水供給部取り付け部12aを研削部11の周りを取り囲むカバー21に固定し、ステージ2上に研削対象物3を設置した。ここで、研削対象物3としては、支持部材3a上にフィラーとしてシリカが混入された樹脂からなる封止樹脂3bを備えた研削対象物を用いた。
砥石摩耗率[%]={100×(砥石5の摩耗量)}/(送り量) …(I)
また、表面粗さRaは、JIS B0601:2013(ISO 4287:1997)に記載の方法で算出した。
実施例2においては、ファインバブル水生成器14として、有限会社OKエンジニアリング製のファインバブル発生ノズルが装着された給水装置に代えて、株式会社岡本工作機械製作所製のファインバブル発生ノズル(製品名:GRIND−BIX)を装着した給水器を用いたこと以外は実施例1と同一の研削方法および同一の研削条件で研削対象物3を研削した。
比較例1においては、ファインバブル水生成器14によってファインバブルを発生させなかったこと以外は実施例1および実施例2と同一の方法および同一の条件で研削対象物3を研削した。
以下の表2に、実施例1、実施例2および比較例1の砥石5の砥石摩耗率[%]と研削対象物3の研削面の表面粗さRa[μm]とをファインバブルの有無、ファインバブル水生成器14の種類、送り量[μm]、および送り速度[μm/分]とともに示す。
Claims (8)
- 環状に砥石が配置された回転可能な研削部を備えた研削装置であって、
前記砥石は、研削対象物の研削中に前記研削対象物を研削する研削領域と前記研削対象物を研削しない非研削領域とが共存するように配置されており、
前記研削装置は、さらに、
ファインバブル水を生成するように構成されるファインバブル水生成器と、
前記非研削領域の前記砥石に前記ファインバブル水を供給可能なように構成されるファインバブル水供給部と、を備え、
前記ファインバブル水供給部は、前記ファインバブル水生成器から供給された前記ファインバブル水を収容し、前記非研削領域の前記砥石を浸漬するように構成される、研削装置。 - 前記研削装置は、さらに、ベースと、前記ベース上に配置されて、前記研削対象物が研削される際に設置されるステージとを備え、
前記ファインバブル水供給部は、前記ファインバブル水を排出可能に構成されるファインバブル水排出部を備え、
前記ファインバブル水排出部は、前記研削対象物の設置箇所に対応する領域以外の領域の前記ベース上方に位置する、請求項1に記載の研削装置。 - 前記研削対象物の研削面に研削液を供給するように構成される研削液供給部をさらに備える、請求項1または請求項2に記載の研削装置。
- 前記研削対象物は、支持部材と、前記支持部材上の封止樹脂とを備え、
前記研削装置は、前記研削対象物の厚さを低減するように少なくとも前記封止樹脂の一部を研削するように構成される、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の研削装置。 - 環状に砥石が配置された研削部を回転させ、前記砥石によって研削対象物を研削する工程を含む研削方法であって、
前記砥石は、前記研削対象物の研削中に前記研削対象物を研削する研削領域と前記研削対象物を研削しない非研削領域とが共存するように配置されており、
ファインバブル水生成器によりファインバブル水を生成し、ファインバブル水供給部に供給する工程と、
前記非研削領域の前記砥石に前記ファインバブル水を供給する工程と、を含み、
前記ファインバブル水を供給する工程は、前記ファインバブル水に前記非研削領域の前記砥石を浸漬させる工程を含む、研削方法。 - 前記研削方法に用いられる研削装置は、ベースと、前記ベース上に配置されて、前記研削対象物が研削される際に設置されるステージとを備え、
前記研削対象物の設置箇所に対応する領域以外の領域の前記ベース上方から前記ファインバブル水を排出する工程をさらに含む、請求項5に記載の研削方法。 - 前記研削対象物の研削面に研削液を供給する工程をさらに含む、請求項5または請求項6に記載の研削方法。
- 前記研削対象物は、支持部材と、前記支持部材上の封止樹脂とを備え、
前記研削対象物を研削する工程は、前記研削対象物の厚さを低減するように少なくとも前記封止樹脂の一部を研削する工程を含む、請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の研削方法。
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