JP6499381B2 - 蛍光体素子および照明装置 - Google Patents
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Description
蛍光体層、
前記蛍光体層上に設けられた反射膜、
前記反射膜上に設けられた反り抑制層、および
前記反り抑制層に直接接合されている支持基板を備えており、
前記蛍光体層に入射する励起光を蛍光に変換し、前記蛍光および前記励起光を前記反射膜で反射して前記蛍光体層から出射させ、
前記反射膜が誘電体多層膜であり、前記反り抑制層の材質の熱膨張係数が、前記誘電体多層膜の構成材料の中で熱膨張係数が最も大きい材料の熱膨張係数よりも大きいことを特徴とする。
蛍光体素子10においては、蛍光体層1の主面1bに誘電体多層膜2が設けられており、誘電体多層膜2の主面2bに反り抑制層3が設けられている。そして、反り抑制層3の主面3bが支持基板4の主面4aに対して直接接合されている。4bは支持基板4の底面である。なお、2aは誘電体多層膜2の主面であり、3aは反り抑制層3の主面である。
蛍光体素子9においては、蛍光体層1の主面1bに金属膜5が設けられており、金属膜5の主面5bに反り抑制層3が設けられている。そして、反り抑制層3の主面3bが支持基板4の主面4aに対して直接接合されている。4bは支持基板4の底面である。なお、5aは金属膜5の主面であり、3aは反り抑制層3の主面である。
本発明者は、例えば図3に示すように、蛍光体層1A上に誘電体多層膜2Aを形成し、この誘電体多層膜2Aを別体の支持基板4に対して直接接合してみた。そして、支持基板4の接合面4aにおいて気泡が発生したり、素子から反射される蛍光強度が低下する原因について検討し、次の知見を得た。
蛍光体層を構成する蛍光体は、励起光を蛍光に変換できるものであれば限定されないが、蛍光体ガラス、蛍光体単結晶または蛍光体多結晶であってよい。
ベースとなるガラスとしては、シリカ、酸化ホウ素、酸化カルシウム、酸化ランタン、酸化バリウム、酸化亜鉛、酸化リン、フッ化アルミニウム、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化ストロンチウム、塩化バリウムを含む酸化ガラスが例示できる。
蛍光体多結晶中にドープするドープ成分としては、希土類イオンが好ましく、Tb、Eu、Ce、Ndが特に好ましいが、La、Pr、Sc、Sm、Er、Tm、Dy、Gd、Luであってもよい。
蛍光体層の厚さとは、支持基板の接合面に垂直な方向に見た蛍光体層の寸法である。
反射膜を誘電体多層膜とした場合には、吸収がないため、入射した光は損失なく100%反射光とすることが可能である。
(1) Al、Ag、Auなどの単層膜
(2) Al、Ag、Auなどの多層膜
反射膜と蛍光体基板との密着性、剥がれ防止、イオンマイグレーション防止のために、Cr、Ni、Ti、Ptなどからなるバッファ層を金属膜と蛍光体層の間に設けても良い。
この場合、誘電体多層膜の構成材料の中で熱膨張係数が最も大きい材料の熱膨張係数を100としたとき、反り抑制層の材質の熱膨張係数は、150〜600とすることが好ましく、250〜500とすることが更に好ましい。
この場合、金属膜の材質の熱膨張係数を100としたとき、反り抑制層の材質の熱膨張係数は、25〜70とすることが好ましく、30〜50とすることが更に好ましい。 なお、本明細書における熱膨張係数は、25℃における基板面方向の線熱膨張係数とする。
さらに、反り抑制層の材質の熱膨張係数は、蛍光体層の材質の熱膨張係数よりも小さいことにより、反り抑制の効果は大きくなる。
また、好適な実施形態においては、蛍光体層の材質の熱膨張係数を100としたとき、反り抑制層の熱膨張係数が50〜150である。これによって、蛍光体層の反りを抑制し易い。この観点からは、蛍光体層の材質の熱膨張係数を100としたとき、反り抑制層の熱膨張係数が75〜125であることが更に好ましい。
直接接合は、一般的に金属/共有結合と拡散結合に分別されるが、高真空中での表面活性化処理を行う金属/共有結合を対象とする。さらに、本願では、接合界面にクラッド層の構成原子と支持基板の構成原子と異なる原子の混入を抑制するという観点から、表面活性化接合が好ましい。
また、アルゴンイオンの照射時間を制御することにより、アモルファス層の厚みを制御することが可能である。
青色レーザと蛍光体により黄色の蛍光を発生し、白色光を得る方法
青色レーザと蛍光体により赤色と緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
また青色レーザや紫外レーザから蛍光体により赤色、青色、緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
青色レーザや紫外レーザから蛍光体により青色と黄色の蛍光を発生し白色光を得る方法
図1に示すような蛍光体素子10を、図5に示す手順で作製した。
具体的には、単結晶CeドープYAG(イットリウム−アルミニウムガーネット)からなる蛍光体層1Aに、イオンアシスト蒸着装置にて誘電体多層膜2Bを形成した。誘電体多層膜2Bは、低屈折率層と高屈折率層とが交互に積層されて構成されている。低屈折率層はSiO2からなり、高屈折率層はTiO2からなり、低屈折率層と高屈折率層の合計は69層である。また、低屈折率層の総厚が3.3μm、高屈折率層の総厚が1.8μm、誘電体多層膜全体の厚みが5μmである。このような誘電体多層膜においては、励起光の入射角度45°の時、波長450nmにて反射率が99.5%以上で、波長580nmにて反射率は98%であった。
図3に示すプロセスに従い、蛍光体素子を作製した。
実施例1と同様に、単結晶CeドープYAG蛍光体層に、イオンアシスト蒸着装置にて誘電体多層膜2Bを形成した。蒸着後の蛍光体層は圧縮応力を受け、φ3インチの蛍光体層で100μm以上の反りが発生した。
図2に示すような蛍光体素子9を、図6に示す手順で作製した。
具体的には、単結晶CeドープYAG蛍光体層にスパッタ装置にて金属膜(アルミニウム膜)5Bを厚み2μmで形成した。アルミニウム膜においては、波長450nmにて反射率が91%で、波長580nmにて反射率は91%であった。上記の場合、単結晶YAG蛍光体層の熱膨張係数が8×10-6/K、アルミニウム膜の熱膨張係数が23.2×10-6/Kとなるため、スパッタ後の基板は引っ張り応力を受け、φ3インチの蛍光体層で100μm以上の反りが発生した。
図4に示すプロセスに従って蛍光体素子を作製した。
実施例2と同様に、単結晶CeドープYAG蛍光体層にイオンアシスト蒸着装置にて金属膜を形成した。蒸着後の基板は引っ張り応力を受け、φ3インチの蛍光体基板で100μm以上の反りが発生した。
図7に示すような蛍光体素子20を、実施例1と同様にして作製した。
Claims (5)
- 蛍光体層、
前記蛍光体層上に設けられた反射膜、
前記反射膜上に設けられた反り抑制層、および
前記反り抑制層に直接接合されている支持基板を備えており、
前記蛍光体層に入射する励起光を蛍光に変換し、前記蛍光および前記励起光を前記反射膜で反射して前記蛍光体層から出射させ、
前記反射膜が誘電体多層膜であり、前記反り抑制層の材質の熱膨張係数が、前記誘電体多層膜の構成材料の中で熱膨張係数が最も大きい材料の熱膨張係数よりも大きいことを特徴とする、蛍光体素子。 - 前記蛍光体層が蛍光体ガラスまたは蛍光体単結晶からなることを特徴とする、請求項1記載の素子。
- 前記蛍光体層の前記反射膜とは反対側に、前記励起光を部分的に透過する部分透過膜を備えており、前記励起光が前記部分透過膜を透過した後に前記蛍光体層に入射することを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記蛍光体層の材質の熱膨張係数を100としたとき、前記反り抑制層の熱膨張係数が50〜150であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 励起光を発振する光源および蛍光体素子を備える照明装置であって、
前記蛍光体素子が、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の蛍光体素子であることを特徴とする、照明装置。
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