JP6496535B2 - Holding device - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、保持装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to a holding device.

例えば搬送や、加工や、検査のため、対象物（ワーク）を保持する保持装置が知られる。保持装置は、例えば、爪を有するアームで対象物を把持したり、磁石や圧力によって対象物を吸着したりすることで、対象物を保持する。   For example, a holding device that holds an object (work) for conveyance, processing, or inspection is known. The holding device holds the object by, for example, holding the object with an arm having a claw or attracting the object with a magnet or pressure.

保持装置は、複数種類の対象物を保持可能に構成される場合がある。このような保持装置は、例えば、複数の爪を有するアームや、揺動可能な複数の吸着部材を有することで、複数種類の対象物を保持することができる。   The holding device may be configured to hold a plurality of types of objects. Such a holding device can hold a plurality of types of objects by having, for example, an arm having a plurality of claws and a plurality of swingable suction members.

特開２０１０−２４０７４９号公報JP 2010-240749 A 特開２０１２−２４０７７０号公報JP 2012-240770 A

複数種類の対象物を保持可能な保持装置であっても、形状が大きく異なる複数種類の対象物を保持することは難しい場合がある。対象物の形状に応じて保持装置を交換することが行われる場合があるが、この場合、作業時間が増大する。   Even in a holding device that can hold a plurality of types of objects, it may be difficult to hold a plurality of types of objects that have greatly different shapes. In some cases, the holding device is exchanged depending on the shape of the object. In this case, the work time increases.

本発明が解決する課題の一例は、より多くの種類の物体を保持できる保持装置を提供することである。   An example of the problem to be solved by the present invention is to provide a holding device that can hold more types of objects.

一つの実施の形態に係る保持装置は、複数の吸着部と、シリンダと、保持部と、を備える。前記複数の吸着部は、一方の端部から他方の端部に向かってそれぞれ延びるとともに、前記一方の端部に物体を吸着可能である。前記シリンダは、前記複数の吸着部を、それぞれ、前記吸着部が延びる方向に往復移動可能に支持する支持部を有し、内部に部屋が形成される。前記保持部は、前記支持部に対する前記複数の吸着部の移動を制限することにより複数の吸着部を保持可能である。前記吸着部は、前記一方の端部と前記部屋とに開口された通路が設けられ、当該通路から気体を吸引することで当該吸着部の前記一方の端部に物体を吸着する。前記吸着部に、前記通路の前記一方の端部側からの気体の流れを許容し、前記通路の前記一方の端部側への気体の流れを制限する逆止弁が設けられる。前記吸着部は、前記部屋から前記通路に流入するとともに前記逆止弁により流れを制限された前記気体により、前記支持部から突出する方向に移動させられることが可能である。 A holding device according to one embodiment includes a plurality of suction units, a cylinder, and a holding unit. The plurality of suction portions extend from one end portion toward the other end portion, and can suck an object to the one end portion. The cylinder includes a support portion that supports the plurality of suction portions so that the suction portions can reciprocate in a direction in which the suction portions extend , and a chamber is formed therein . The holder is capable of holding the plurality of suction portion by limiting the movement of the plurality of suction portion to the support portion. The suction part is provided with a passage opened to the one end and the room, and sucks gas from the passage to suck the object to the one end of the suction part. The adsorbing portion is provided with a check valve that allows a gas flow from the one end side of the passage and restricts a gas flow to the one end side of the passage. The adsorbing part may be moved in a direction protruding from the support part by the gas flowing into the passage from the room and restricted in flow by the check valve.

本発明によれば、例えば、より多くの種類の物体を保持できる。   According to the present invention, for example, more types of objects can be held.

図１は、第１の実施の形態に係るチャックとワークとを示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a chuck and a workpiece according to the first embodiment. 図２は、第１の実施形態のシャフトと、ロック機構と、支持壁とを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating the shaft, the lock mechanism, and the support wall according to the first embodiment. 図３は、第１の実施形態のチャックを示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing the chuck according to the first embodiment. 図４は、第１の実施形態のシャフトがワークに接触した状態のチャックを示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the chuck in a state where the shaft of the first embodiment is in contact with the workpiece. 図５は、第２の実施の形態に係るシャフトの一部を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a part of the shaft according to the second embodiment. 図６は、第３の実施の形態に係るチャックとワークとを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a chuck and a workpiece according to the third embodiment. 図７は、第３の実施形態のシャフトの一部を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a part of the shaft of the third embodiment.

以下に、第１の実施の形態について、図１乃至図４を参照して説明する。なお、本明細書においては基本的に、鉛直上方を上方向、鉛直下方を下方向と定義する。また、実施形態に係る構成要素や、当該要素の説明について、複数の表現を併記することがある。当該構成要素及び説明について、記載されていない他の表現がされることは妨げられない。さらに、複数の表現が記載されない構成要素及び説明について、他の表現がされることは妨げられない。   The first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 4. In the present specification, basically, a vertically upward direction is defined as an upward direction and a vertically downward direction is defined as a downward direction. In addition, a plurality of expressions may be written together for the constituent elements according to the embodiment and the description of the elements. It is not precluded that other expressions not described in the component and description are made. Furthermore, it is not prevented that other expressions are given for the components and descriptions in which a plurality of expressions are not described.

図１は、第１の実施の形態に係るチャック１とワーク２とを示す断面図である。チャック１は、保持装置の一例であり、例えば、ハンド及びハンドチャックとも称され得る。ワーク２は、物体の一例であり、例えば、対象物及び被保持物とも称され得る。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a chuck 1 and a workpiece 2 according to the first embodiment. The chuck 1 is an example of a holding device, and may be referred to as a hand and a hand chuck, for example. The workpiece 2 is an example of an object, and may be referred to as an object and a held object, for example.

図面に示されるように、本明細書において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が定義される。Ｘ軸とＹ軸とＺ軸とは、互いに直交する。以下の説明は、Ｚ軸が鉛直方向に沿うものとして記載される。なお、Ｚ軸は鉛直方向に対して傾斜しても良い。   As shown in the drawings, in this specification, an X axis, a Y axis, and a Z axis are defined. The X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other. In the following description, the Z-axis is described as being along the vertical direction. The Z axis may be inclined with respect to the vertical direction.

図１に示すように、チャック１は、ベース１１と、複数のシャフト１２と、ロック機構１３と、ポンプ１４とを有する。シャフト１２は、吸着部の一例であり、ノズルとも称され得る。ロック機構１３は、保持部の一例である。ポンプ１４は、吸引部及び送出部の一例である。   As shown in FIG. 1, the chuck 1 includes a base 11, a plurality of shafts 12, a lock mechanism 13, and a pump 14. The shaft 12 is an example of an adsorption portion and can also be referred to as a nozzle. The lock mechanism 13 is an example of a holding unit. The pump 14 is an example of a suction unit and a delivery unit.

ベース１１は、支持壁２１と、取付壁２２と、複数の接続柱２３とを有する。支持壁２１は、支持部の一例であり、略四角形の板状の部材である。なお、支持壁２１はこれに限らず、円形のような他の形状であっても良い。   The base 11 includes a support wall 21, a mounting wall 22, and a plurality of connection columns 23. The support wall 21 is an example of a support part, and is a substantially rectangular plate-shaped member. The support wall 21 is not limited to this, and may have another shape such as a circle.

支持壁２１は、外面３１と、内面３２と、複数の挿通孔３３とを有する。外面３１は、Ｚ軸に沿う方向（図１における下方）に向く略平坦な面である。内面３２は、外面３１の反対側に位置し、Ｚ軸に沿う方向（図１における上方）に向く略平坦な面である。   The support wall 21 has an outer surface 31, an inner surface 32, and a plurality of insertion holes 33. The outer surface 31 is a substantially flat surface facing in the direction along the Z axis (downward in FIG. 1). The inner surface 32 is a substantially flat surface located on the opposite side of the outer surface 31 and facing in the direction along the Z axis (upward in FIG. 1).

複数の挿通孔３３は、Ｚ軸に沿う方向に延び、外面３１から内面３２に亘って設けられた円形の孔である。複数の挿通孔３３は、格子点状（マトリクス状）に配置される。なお、挿通孔３３の形状及び配置はこれに限らず、例えば、複数の挿通孔３３は同心円状に配置されても良い。   The plurality of insertion holes 33 are circular holes extending in the direction along the Z axis and provided from the outer surface 31 to the inner surface 32. The plurality of insertion holes 33 are arranged in a lattice point shape (matrix shape). In addition, the shape and arrangement | positioning of the penetration hole 33 are not restricted to this, For example, the some penetration hole 33 may be arrange | positioned concentrically.

取付壁２２は、支持壁２１からＺ軸に沿う方向（図１における上方）に離間して配置される。取付壁２２は、支持壁２１の内面３２と向かい合う。複数の接続柱２３は、支持壁２１を取付壁２２に取り付ける。接続柱２３は、支持壁２１と取付壁２２との間の距離を保つ。   The mounting wall 22 is spaced from the support wall 21 in the direction along the Z axis (upward in FIG. 1). The mounting wall 22 faces the inner surface 32 of the support wall 21. The plurality of connecting columns 23 attach the support wall 21 to the attachment wall 22. The connecting column 23 keeps a distance between the support wall 21 and the mounting wall 22.

取付壁２２に、接続管３５が取り付けられる。接続管３５は、例えば可撓性の管であり、ポンプ１４に接続される。言い換えると、ポンプ１４は、接続管３５を介して、ベース１１の取付壁２２に接続される。   A connecting pipe 35 is attached to the attachment wall 22. The connection pipe 35 is, for example, a flexible pipe and is connected to the pump 14. In other words, the pump 14 is connected to the mounting wall 22 of the base 11 via the connection pipe 35.

複数のシャフト１２は、互いに同一形状に形成された、略円柱状の部材である。なお、シャフト１２はこれに限らず、他の形状であっても良く、互いに異なる形状を有しても良い。シャフト１２は、先端部４１と、基端部４２と、第１の管部４３とを有する。先端部４１は、一方の端部の一例である。基端部４２は、他方の端部の一例である。第１の管部４３は、通路の一例である。   The plurality of shafts 12 are substantially cylindrical members formed in the same shape. The shaft 12 is not limited to this, and may have other shapes or may have different shapes. The shaft 12 includes a distal end portion 41, a proximal end portion 42, and a first tube portion 43. The tip portion 41 is an example of one end portion. The base end portion 42 is an example of the other end portion. The first pipe portion 43 is an example of a passage.

先端部４１は、Ｚ軸に沿う方向（図１における下方）に向くとともに、先細るように形成される。なお、先端部４１はこれに限らない。先端部４１は、シャフト１２の最も端に位置する部分（端面）のみならず、当該端面を含むシャフト１２の一部である。   The distal end portion 41 is formed to taper while facing the direction along the Z axis (downward in FIG. 1). The tip portion 41 is not limited to this. The tip portion 41 is not only a portion (end surface) positioned at the end of the shaft 12 but also a part of the shaft 12 including the end surface.

複数のシャフト１２は、それぞれの先端部４１から基端部４２に向かって延びる。言い換えると、シャフト１２は、先端部４１及び基端部４２が向く方向（Ｚ軸に沿う方向）に延びる。   The plurality of shafts 12 extend from the respective distal end portions 41 toward the proximal end portion 42. In other words, the shaft 12 extends in a direction (a direction along the Z axis) in which the distal end portion 41 and the proximal end portion 42 face.

基端部４２は、先端部４１の反対側に位置する。基端部４２は、シャフト１２が延びる方向（Ｚ軸に沿う方向）に対して直交する方向に張り出したフランジ状に形成される。なお、基端部４２はこれに限らない。   The proximal end portion 42 is located on the opposite side of the distal end portion 41. The base end portion 42 is formed in a flange shape projecting in a direction orthogonal to the direction in which the shaft 12 extends (the direction along the Z axis). In addition, the base end part 42 is not restricted to this.

第１の管部４３は、シャフト１２の内部に設けられ、シャフト１２が延びる方向（Ｚ軸に沿う方向）に延びる孔である。第１の管部４３は、第１の開口部４３ａと、第２の開口部４３ｂとを有する。第１の開口部４３ａは、第１の管部４３の一方の端部であり、シャフト１２の先端部４１に開口する。第２の開口部４３ｂは、第１の管部４３の他方の端部であり、シャフト１２の基端部４２に開口する。すなわち、第２の開口部４３ｂは、第１の開口部４３ａに通じている。   The first pipe portion 43 is a hole provided in the shaft 12 and extending in the direction in which the shaft 12 extends (direction along the Z axis). The 1st pipe part 43 has the 1st opening part 43a and the 2nd opening part 43b. The first opening portion 43 a is one end portion of the first tube portion 43 and opens to the distal end portion 41 of the shaft 12. The second opening 43 b is the other end of the first pipe 43 and opens to the base end 42 of the shaft 12. That is, the second opening 43b communicates with the first opening 43a.

複数のシャフト１２は、支持壁２１の対応する挿通孔３３にそれぞれ通される。これにより、支持壁２１は、複数のシャフト１２を、それぞれのシャフト１２が延びる方向へ個別に移動可能に支持する。言い換えると、シャフト１２は、他のシャフト１２に対して独立してＺ軸に沿う方向に移動可能である。支持壁２１は、複数のシャフト１２を、平行に移動可能に支持する。なお、支持壁２１はこれに限らず、例えば、複数のシャフト１２を放射状のような、互いに異なる方向に移動可能に支持しても良い。   The plurality of shafts 12 are respectively passed through the corresponding insertion holes 33 of the support wall 21. Thus, the support wall 21 supports the plurality of shafts 12 so as to be individually movable in the direction in which each shaft 12 extends. In other words, the shaft 12 can move in the direction along the Z axis independently of the other shafts 12. The support wall 21 supports the plurality of shafts 12 so as to be movable in parallel. The support wall 21 is not limited to this, and for example, the plurality of shafts 12 may be supported so as to be movable in different directions such as radial shapes.

シャフト１２が挿通孔３３に通されることで、複数のシャフト１２は、格子点状に配置される。言い換えると、シャフト１２は、シャフト１２が延びる方向（Ｚ軸に沿う方向）に対して交差する方向（Ｘ軸及びＹ軸に沿う方向）に並べて配置される。   By allowing the shaft 12 to pass through the insertion hole 33, the plurality of shafts 12 are arranged in a lattice point shape. In other words, the shaft 12 is arranged side by side in a direction (a direction along the X axis and the Y axis) intersecting a direction (a direction along the Z axis) in which the shaft 12 extends.

挿通孔３３に通されたシャフト１２は、支持壁２１の外面３１から突出する。言い換えると、シャフト１２は、ベース１１から外部に向かって突出する。基端部４２のようなシャフト１２の一部は、支持壁２１の内面３２からも突出する。   The shaft 12 passed through the insertion hole 33 protrudes from the outer surface 31 of the support wall 21. In other words, the shaft 12 protrudes outward from the base 11. A part of the shaft 12 such as the base end portion 42 also protrudes from the inner surface 32 of the support wall 21.

シャフト１２の先端部４１は、支持壁２１よりも、外面３１が向く方向（図１における下方）に位置する。シャフト１２の基端部４２は、支持壁２１よりも、内面３２が向く方向（図１における上方）に位置する。   The distal end portion 41 of the shaft 12 is located in a direction (downward in FIG. 1) in which the outer surface 31 faces the support wall 21. The base end portion 42 of the shaft 12 is located in a direction (upward in FIG. 1) in which the inner surface 32 faces the support wall 21.

シャフト１２が支持壁２１の外面３１から最大限突出すると、シャフト１２の基端部４２は、支持壁２１の内面３２に当接する（引っかかる）。このため、基端部４２は、シャフト１２が支持壁２１から脱落することを抑制する。   When the shaft 12 protrudes as much as possible from the outer surface 31 of the support wall 21, the base end portion 42 of the shaft 12 abuts (hooks) on the inner surface 32 of the support wall 21. For this reason, the base end portion 42 suppresses the shaft 12 from falling off the support wall 21.

図２は、第１の実施形態のチャック１の一部である複数のシャフト１２と、ロック機構１３と、支持壁２１とを示す斜視図である。図３は、第１の実施形態のチャック１を示す平面図である。   FIG. 2 is a perspective view showing a plurality of shafts 12, a lock mechanism 13, and a support wall 21 that are a part of the chuck 1 of the first embodiment. FIG. 3 is a plan view showing the chuck 1 of the first embodiment.

図２に示すように、ロック機構１３は、支持壁２１の外面３１に面して配置される。言い換えると、ロック機構１３は、支持壁２１の外側に配置される。なお、ロック機構１３の位置はこれに限らず、支持壁２１の内面３２に面して配置されても良い。   As shown in FIG. 2, the lock mechanism 13 is disposed facing the outer surface 31 of the support wall 21. In other words, the lock mechanism 13 is disposed outside the support wall 21. The position of the lock mechanism 13 is not limited to this, and the lock mechanism 13 may be disposed so as to face the inner surface 32 of the support wall 21.

ロック機構１３は、複数のブロック５１と、複数のバネ５２と、複数のプレート５３と、二つのスライドバー５４とを有する。ブロック５１及びバネ５２は、制動部の一例である。バネ５２は、弾性部の一例である。プレート５３及びスライドバー５４は、移動部の一例である。   The lock mechanism 13 includes a plurality of blocks 51, a plurality of springs 52, a plurality of plates 53, and two slide bars 54. The block 51 and the spring 52 are an example of a braking unit. The spring 52 is an example of an elastic part. The plate 53 and the slide bar 54 are an example of a moving part.

ブロック５１は、例えば合成ゴムによって作られ、略直方体状に形成される。なお、ブロック５１の材料及び形状はこれに限らない。複数のブロック５１は、対応するシャフト１２の外周面１２ａに、例えばＸ軸に沿う方向から面するように配置される。   The block 51 is made of synthetic rubber, for example, and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The material and shape of the block 51 are not limited to this. The plurality of blocks 51 are arranged to face the outer peripheral surface 12a of the corresponding shaft 12 from, for example, the direction along the X axis.

ブロック５１は、溝５１ａをそれぞれ有する。溝５１ａは、例えば略Ｖ字型の切欠きである。なお、溝５１ａの形状はこれに限らない。溝５１ａは、シャフト１２の外周面１２ａに面する位置に設けられ、シャフト１２が延びる方向（Ｚ軸に沿う方向）に沿って延びる。   Each of the blocks 51 has a groove 51a. The groove 51a is, for example, a substantially V-shaped notch. The shape of the groove 51a is not limited to this. The groove 51a is provided at a position facing the outer peripheral surface 12a of the shaft 12, and extends along a direction in which the shaft 12 extends (a direction along the Z axis).

バネ５２は、例えば圧縮バネである。なお、弾性部はこのようなバネ５２に限らず、例えば弾性変形可能なブロック５１の一部が弾性部の一例であっても良い。バネ５２は、ブロック５１の、溝５１ａが設けられた面の反対側の面に取り付けられる。   The spring 52 is a compression spring, for example. The elastic part is not limited to such a spring 52, and for example, a part of the elastically deformable block 51 may be an example of the elastic part. The spring 52 is attached to the surface of the block 51 opposite to the surface provided with the groove 51a.

複数のプレート５３は、Ｙ軸に沿う方向にそれぞれ延びる。プレート５３は、Ｙ軸に沿う方向に並ぶ複数のシャフト１２の列の、各シャフト１２の外周面１２ａに面するように配置される。言い換えると、プレート５３は、Ｙ軸に沿う方向に並ぶ複数のシャフト１２の二つの列の間に配置される。なお、このように配置された複数のプレート５３はＸ軸に沿う方向に並べられるが、端に位置するプレート５３は、Ｙ軸に沿う方向に並ぶ複数のシャフト１２の一つの列に面する。   The plurality of plates 53 extend in the direction along the Y axis. The plate 53 is disposed so as to face the outer peripheral surface 12a of each shaft 12 in a row of the plurality of shafts 12 arranged in the direction along the Y axis. In other words, the plate 53 is disposed between two rows of the plurality of shafts 12 arranged in the direction along the Y axis. The plurality of plates 53 arranged in this way are arranged in the direction along the X axis, but the plate 53 located at the end faces one row of the plurality of shafts 12 arranged in the direction along the Y axis.

プレート５３は、第１の支持壁５３ａと、第２の支持壁５３ｂとを有する。第２の支持壁５３ｂは、Ｚ軸に沿う方向に延びる。第１の支持壁５３ａは、Ｚ軸に沿う方向における第２の支持壁５３ｂの中央部分から、対応する複数のシャフト１２の列に向かって、Ｘ軸に沿う方向に延びる。第１及び第２の支持壁５３ａ，５３ｂにより、プレート５３の断面は略Ｔ字形状を呈する。なお、プレート５３の形状はこれに限らない。   The plate 53 has a first support wall 53a and a second support wall 53b. The second support wall 53b extends in the direction along the Z axis. The first support wall 53a extends in the direction along the X axis from the central portion of the second support wall 53b in the direction along the Z axis toward the corresponding row of the shafts 12. Due to the first and second support walls 53a and 53b, the cross section of the plate 53 is substantially T-shaped. The shape of the plate 53 is not limited to this.

プレート５３の第１の支持壁５３ａに、複数のブロック５１がＸ軸に沿う方向に移動可能に取り付けられる。例えば、ブロック５１に設けられた溝に、第１の支持壁５３ａが嵌め込まれる。   A plurality of blocks 51 are attached to the first support wall 53a of the plate 53 so as to be movable in the direction along the X axis. For example, the first support wall 53 a is fitted into a groove provided in the block 51.

バネ５２は、プレート５３の第２の支持壁５３ｂと、対応するブロック５１との間に配置される。上述のように、バネ５２の一方の端部はブロック５１の、溝５１ａが設けられた面の反対側の面に取り付けられる。バネ５２の他方の端部は、第２の支持壁５３ｂに支持される。これにより、バネ５２は、ブロック５１を対応するシャフト１２に向かって押す。   The spring 52 is disposed between the second support wall 53 b of the plate 53 and the corresponding block 51. As described above, one end of the spring 52 is attached to the surface of the block 51 opposite to the surface provided with the groove 51a. The other end of the spring 52 is supported by the second support wall 53b. Thereby, the spring 52 pushes the block 51 toward the corresponding shaft 12.

二つのスライドバー５４は、Ｘ軸に沿う方向に並べられた複数のプレート５３の端部にそれぞれ接続される。言い換えると、二つのスライドバー５４の間に、複数のプレート５３が配置される。   The two slide bars 54 are respectively connected to end portions of a plurality of plates 53 arranged in the direction along the X axis. In other words, a plurality of plates 53 are arranged between the two slide bars 54.

スライドバー５４は、ベース１１に対して、Ｘ軸に沿う方向に移動可能に支持される。スライドバー５４が移動することにより、プレート５３に取り付けられた複数のブロック５１及びバネ５２も、スライドバー５４とともに移動する。   The slide bar 54 is supported so as to be movable in the direction along the X axis with respect to the base 11. As the slide bar 54 moves, the plurality of blocks 51 and springs 52 attached to the plate 53 also move together with the slide bar 54.

スライドバー５４は、プレート５３に取り付けられた複数のブロック５１を、Ｘ軸に沿って制動位置と解除位置とに移動させることが可能である。制動位置は、第１の位置の一例である。解除位置は、第２の位置の一例である。   The slide bar 54 can move the plurality of blocks 51 attached to the plate 53 to the braking position and the release position along the X axis. The braking position is an example of a first position. The release position is an example of a second position.

制動位置において、複数のブロック５１の溝５１ａが、対応するシャフト１２に接触する。バネ５２は、ブロック５１を対応するシャフト１２に押し付ける。これにより、ブロック５１とシャフト１２との間で摩擦が生じる。ブロック５１に溝５１ａが設けられることで、ブロック５１とシャフト１２との接触面積が大きくなり、ブロック５１とシャフト１２との間の摩擦力も大きくなる。   In the braking position, the grooves 51 a of the plurality of blocks 51 come into contact with the corresponding shafts 12. The spring 52 presses the block 51 against the corresponding shaft 12. As a result, friction occurs between the block 51 and the shaft 12. By providing the groove 51a in the block 51, the contact area between the block 51 and the shaft 12 is increased, and the frictional force between the block 51 and the shaft 12 is also increased.

さらにバネ５２は、ブロック５１を介して、シャフト１２を、当該シャフト１２が挿入された支持壁２１の挿通孔３３の内面に弾性的に押し付ける。これにより、シャフト１２が、ブロック５１と支持壁２１の挿通孔３３の内面とによって挟持される。言い換えると、Ｘ軸に沿う方向において、シャフト１２の一方の側端部がブロック５１に支持され、シャフト１２の他方の側端部が支持壁２１に支持される。スライドバー５４が制動位置に移動すると、ブロック５１が、支持壁２１のシャフト１２を支持する部分に向かって移動させられる。   Furthermore, the spring 52 elastically presses the shaft 12 against the inner surface of the insertion hole 33 of the support wall 21 in which the shaft 12 is inserted via the block 51. As a result, the shaft 12 is sandwiched between the block 51 and the inner surface of the insertion hole 33 of the support wall 21. In other words, in the direction along the X axis, one side end of the shaft 12 is supported by the block 51, and the other side end of the shaft 12 is supported by the support wall 21. When the slide bar 54 moves to the braking position, the block 51 is moved toward the portion of the support wall 21 that supports the shaft 12.

上記のようにバネ５２がブロック５１をシャフト１２に押し付けることで、ベース１１に対するシャフト１２の相対的な移動が制限される。すなわち、スライドバー５４が制動位置に移動することで、ロック機構１３は複数のシャフト１２を保持する。   As described above, the spring 52 presses the block 51 against the shaft 12, so that the relative movement of the shaft 12 with respect to the base 11 is limited. That is, when the slide bar 54 moves to the braking position, the lock mechanism 13 holds the plurality of shafts 12.

複数のバネ５２が、ブロック５１を対応するシャフト１２にそれぞれ押し付ける。すなわち、複数のブロック５１は、それぞれのシャフト１２のベース１１に対する移動を制限する。   A plurality of springs 52 press the blocks 51 against the corresponding shafts 12 respectively. That is, the plurality of blocks 51 restrict the movement of each shaft 12 with respect to the base 11.

一方、解除位置において、複数のブロック５１が対応するシャフト１２から離間する。このため、ブロック５１による、ベース１１に対するシャフト１２の移動の制限が解除される。言い換えると、ロック機構１３によるシャフト１２の保持が解除される。すなわち、複数のブロック５１が解除位置にある状態において、複数のシャフト１２は、ベース１１に対して相対的に移動可能である。なお、シャフト１２がベース１１に対して相対的に移動可能であれば、解除位置にあるブロック５１がシャフト１２に接触しても良い。   On the other hand, at the release position, the plurality of blocks 51 are separated from the corresponding shafts 12. For this reason, the restriction | limiting of the movement of the shaft 12 with respect to the base 11 by the block 51 is cancelled | released. In other words, the holding of the shaft 12 by the lock mechanism 13 is released. That is, the plurality of shafts 12 can move relative to the base 11 in a state where the plurality of blocks 51 are in the release position. If the shaft 12 is movable relative to the base 11, the block 51 at the release position may contact the shaft 12.

図１に示すように、複数のシャフト１２の基端部４２に、チューブ６１がそれぞれ接続される。チューブ６１は、例えば合成ゴムによって作られた可撓性の管である。なお、チューブ６１の材料はこれに限らない。チューブ６１は、対応するシャフト１２がベース１１に対して移動する場合に、シャフト１２の移動に追従して撓むことができる。   As shown in FIG. 1, tubes 61 are connected to the base end portions 42 of the plurality of shafts 12, respectively. The tube 61 is a flexible tube made of, for example, synthetic rubber. The material of the tube 61 is not limited to this. The tube 61 can bend following the movement of the shaft 12 when the corresponding shaft 12 moves relative to the base 11.

複数のチューブ６１は、ベース１１の取付壁２２を介して、接続管３５に接続される。すなわち、複数のシャフト１２は、チューブ６１及び接続管３５を介して、ポンプ１４に接続される。   The plurality of tubes 61 are connected to the connection pipe 35 via the mounting wall 22 of the base 11. That is, the plurality of shafts 12 are connected to the pump 14 via the tube 61 and the connection pipe 35.

ポンプ１４は、空気のような気体の吸引及び送出が可能である。例えば、ポンプ１４は、接続管３５及び複数のチューブ６１を介して、シャフト１２の第１の管部４３から空気を吸引する。このとき、シャフト１２の先端部４１がワーク２のような物体に接触し、第１の開口部４３ａが当該物体に塞がれると、第１の管部４３が減圧される。これにより、シャフト１２の先端部４１にワーク２のような物体が吸着する。   The pump 14 can suck and discharge a gas such as air. For example, the pump 14 sucks air from the first pipe portion 43 of the shaft 12 through the connection pipe 35 and the plurality of tubes 61. At this time, when the distal end portion 41 of the shaft 12 comes into contact with an object such as the workpiece 2 and the first opening 43a is blocked by the object, the first tube portion 43 is decompressed. As a result, an object such as the workpiece 2 is adsorbed to the tip 41 of the shaft 12.

ポンプ１４が気体を送出し、又は減圧状態を解除すると、第１の管部４３の圧力が上昇する。これにより、シャフト１２の先端部４１によるワーク２のような物体の吸着が解除され、当該物体がシャフト１２の先端部４１から取り外し可能となる。   When the pump 14 sends out gas or releases the reduced pressure state, the pressure in the first pipe portion 43 increases. Thereby, the adsorption of the object such as the workpiece 2 by the tip portion 41 of the shaft 12 is released, and the object can be detached from the tip portion 41 of the shaft 12.

以下に、本実施形態のチャック１の作用の一例を説明する。チャック１の作用は、以下に説明される物に限らない。まず、スライドバー５４が移動させられることで、複数のブロック５１が解除位置に移動させられる。これにより、複数のシャフト１２の保持が解除され、複数のシャフト１２がベース１１に対して移動可能となる。   Below, an example of an effect | action of the chuck | zipper 1 of this embodiment is demonstrated. The effect | action of the chuck | zipper 1 is not restricted to the thing demonstrated below. First, when the slide bar 54 is moved, the plurality of blocks 51 are moved to the release position. Accordingly, the holding of the plurality of shafts 12 is released, and the plurality of shafts 12 can move with respect to the base 11.

次に、複数のシャフト１２が、支持壁２１の外面３１から最大限突出させられる。支持壁２１は、シャフト１２が重力により移動可能なように、シャフト１２を支持する。このため、シャフト１２の先端部４１が下方に向くようにチャック１が配置されることで、シャフト１２は重力によって移動する。なお、シャフト１２は、チャック１のユーザによって手で移動させられても良い。また、シャフト１２をベース１１から突出する方向に押すバネが、ベース１１に設けられても良い。   Next, the plurality of shafts 12 are projected from the outer surface 31 of the support wall 21 to the maximum extent. The support wall 21 supports the shaft 12 so that the shaft 12 can move by gravity. For this reason, the shaft 12 is moved by gravity by arranging the chuck 1 so that the tip portion 41 of the shaft 12 faces downward. The shaft 12 may be moved manually by the user of the chuck 1. Further, a spring that pushes the shaft 12 in a direction protruding from the base 11 may be provided on the base 11.

次に、ワーク２の保持される面２ａに、複数のシャフト１２の先端部４１が面するように、チャック１が移動させられる。チャック１は、例えばロボットアームに取り付けられ、当該ロボットアームによって移動させられる。なお、チャック１はこれに限らず、例えば、チャック１のユーザによって移動させられても良い。   Next, the chuck 1 is moved so that the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 face the surface 2 a on which the workpiece 2 is held. The chuck 1 is attached to, for example, a robot arm and is moved by the robot arm. The chuck 1 is not limited to this, and may be moved by the user of the chuck 1, for example.

図１に示すように、本実施形態のチャック１は、例えばシャフト１２の先端部４１が下方に向く状態で移動させられる。これにより、例えば重力によって、シャフト１２がベース１１に対してさらに移動することが抑制される。なお、チャック１の姿勢はこれに限らない。例えば、チャック１の移動中に、ロック機構１３のブロック５１がシャフト１２の移動を制限する場合、チャック１はどのような姿勢で移動しても良い。   As shown in FIG. 1, the chuck 1 according to the present embodiment is moved, for example, with the tip 41 of the shaft 12 facing downward. Thereby, it is suppressed that the shaft 12 moves further with respect to the base 11 by gravity, for example. The posture of the chuck 1 is not limited to this. For example, when the block 51 of the lock mechanism 13 restricts the movement of the shaft 12 during the movement of the chuck 1, the chuck 1 may move in any posture.

ワーク２の面２ａは、例えば、複雑な自由曲面のような曲率変化を有している。本実施形態において、ワーク２は、面２ａが上方に向く状態で配置される。なお、ワーク２はこれに限らず、例えば平坦な面２ａを有しても良い。   The surface 2a of the workpiece 2 has a curvature change like a complicated free-form surface, for example. In the present embodiment, the workpiece 2 is arranged with the surface 2a facing upward. In addition, the workpiece | work 2 is not restricted to this, For example, you may have the flat surface 2a.

図４は、第１の実施形態の複数のシャフト１２がワーク２に接触した状態のチャック１を示す断面図である。シャフト１２の先端部４１がワーク２の面２ａに面したチャック１は、ワーク２に向かって、例えば下方に移動させられる。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing the chuck 1 in a state in which the plurality of shafts 12 according to the first embodiment are in contact with the workpiece 2. The chuck 1 whose tip portion 41 of the shaft 12 faces the surface 2 a of the workpiece 2 is moved downward, for example, toward the workpiece 2.

チャック１が移動すると、複数のシャフト１２の先端部４１が、ワーク２の面２ａにそれぞれ接触する。ブロック５１が解除位置にあるため、シャフト１２はベース１１に対して移動可能である。このため、チャック１が移動するに従って、先端部４１がワーク２の面２ａに接触したシャフト１２は、ベース１１に対して図４における上方へ移動する。   When the chuck 1 moves, the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 come into contact with the surface 2a of the workpiece 2, respectively. Since the block 51 is in the release position, the shaft 12 is movable with respect to the base 11. For this reason, as the chuck 1 moves, the shaft 12 whose tip 41 contacts the surface 2a of the work 2 moves upward in FIG.

チャック１が所定の距離だけ下方に移動すると、全てのシャフト１２の先端部４１がワーク２の面２ａに接触し、全てのシャフト１２がベース１１に対して移動する。この状態で、チャック１の移動が停止する。なお、先端部４１がワーク２の面２ａに接触しないシャフト１２があっても良い。   When the chuck 1 moves downward by a predetermined distance, the tip portions 41 of all the shafts 12 come into contact with the surface 2a of the workpiece 2, and all the shafts 12 move with respect to the base 11. In this state, the movement of the chuck 1 is stopped. There may be a shaft 12 in which the tip 41 does not contact the surface 2a of the workpiece 2.

次に、スライドバー５４が移動させられることで、複数のブロック５１が制動位置に移動させられる。これにより、複数のブロック５１が対応するシャフト１２に押し付けられ、ベース１１に対するシャフト１２の移動が制限される。複数のシャフト１２は、ワーク２の面２ａの形状に応じた位置で固定される。言い換えると、複数のシャフト１２の先端部４１が、ワーク２の面２ａに倣った形状を形成する。   Next, the plurality of blocks 51 are moved to the braking position by moving the slide bar 54. As a result, the plurality of blocks 51 are pressed against the corresponding shaft 12, and the movement of the shaft 12 relative to the base 11 is limited. The plurality of shafts 12 are fixed at positions corresponding to the shape of the surface 2 a of the workpiece 2. In other words, the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 form a shape that follows the surface 2 a of the workpiece 2.

次に、ポンプ１４が空気を吸引する。複数のシャフト１２の第１の開口部４３ａは、ワーク２の面２ａによって塞がれる。このため、ポンプ１４が空気を吸引することで、第１の管部４３が減圧され、ワーク２が複数のシャフト１２の先端部４１に吸着する。これにより、ワーク２がチャック１に保持される。   Next, the pump 14 sucks air. The first openings 43 a of the plurality of shafts 12 are closed by the surface 2 a of the workpiece 2. For this reason, when the pump 14 sucks air, the first pipe portion 43 is depressurized, and the workpiece 2 is adsorbed to the tip portions 41 of the plurality of shafts 12. Thereby, the workpiece 2 is held by the chuck 1.

ワーク２を保持したチャック１が移動し、例えばワーク２が載置された台から上方に離れたとしても、ワーク２は複数のシャフト１２の先端部４１に吸着されたままである。さらに、ブロック５１がシャフト１２のベース１１に対する移動を制限しているため、ベース１１に対するシャフト１２の位置も固定されたままである。   Even if the chuck 1 holding the workpiece 2 moves and moves away from the stage on which the workpiece 2 is placed, for example, the workpiece 2 remains adsorbed on the tip portions 41 of the plurality of shafts 12. Furthermore, since the block 51 restricts the movement of the shaft 12 relative to the base 11, the position of the shaft 12 relative to the base 11 remains fixed.

上述の説明において、シャフト１２は、ワーク２に接触させられることでベース１１に対して移動し、ブロック５１によってベース１１に対する位置を固定される。しかし、これに限らず、シャフト１２は最初からワーク２の面２ａに対応する位置に配置されても良い。   In the above description, the shaft 12 moves with respect to the base 11 by being brought into contact with the workpiece 2, and the position with respect to the base 11 is fixed by the block 51. However, the present invention is not limited to this, and the shaft 12 may be disposed at a position corresponding to the surface 2a of the workpiece 2 from the beginning.

例えば、ワーク２を保持する前に、チャック１は、ワーク２の面２ａと同一形状の面を有するマスターワークに向かって移動させられる。複数のシャフト１２がマスターワークの面（２ａ）に対応する位置に移動した状態で、複数のブロック５１がベース１１に対するシャフト１２の移動を制限する。これにより、複数のシャフト１２はワーク２の面２ａに対応する位置に配置される。   For example, before holding the workpiece 2, the chuck 1 is moved toward the master workpiece having the same shape as the surface 2 a of the workpiece 2. With the plurality of shafts 12 moved to positions corresponding to the surface (2a) of the master work, the plurality of blocks 51 restrict the movement of the shaft 12 with respect to the base 11. As a result, the plurality of shafts 12 are arranged at positions corresponding to the surface 2 a of the workpiece 2.

このように、複数のシャフト１２がワーク２の面２ａに対応する位置に配置されたチャック１は、同一種類のワーク２を保持する場合、シャフト１２の位置を固定したままで良い。言い換えると、複数のシャフト１２がワーク２の面２ａに対応する位置に配置されたチャック１は、ワーク２を保持する度にブロック５１を解除位置に移動させなくて良い。   Thus, the chuck 1 in which the plurality of shafts 12 are arranged at positions corresponding to the surface 2a of the work 2 may keep the position of the shaft 12 fixed when holding the work 2 of the same type. In other words, the chuck 1 in which the plurality of shafts 12 are arranged at positions corresponding to the surface 2a of the workpiece 2 does not have to move the block 51 to the release position every time the workpiece 2 is held.

第１の実施の形態に係るチャック１において、支持壁２１は、複数のシャフト１２を、それぞれのシャフト１２が延びる方向へ個別に移動可能に支持する。ロック機構１３は、支持壁２１に対する複数のシャフト１２の移動を制限する。ロック機構１３は、シャフト１２を支持壁２１に対して移動可能にする状態と、シャフト１２の支持壁２１に対する移動を制限する状態と、に切り替え可能である。各シャフト１２の先端部４１がワーク２に接触するように移動させられることで、複数のシャフト１２はワーク２の形状に応じた位置に配置される。この状態で、ロック機構１３が複数のシャフト１２の移動を制限することで、ワーク２を吸着可能なシャフト１２の先端部４１の位置が、ワーク２の形状に応じた位置に固定される。複数のシャフト１２がこのように配置されることで、全てのシャフト１２が先端部４１にワーク２を吸着できる。これにより、チャック１は、例えば爪によりワーク２を把持する場合に比べて、形状や大きさが異なるより多くの種類のワーク２を保持できる。   In the chuck 1 according to the first embodiment, the support wall 21 supports the plurality of shafts 12 so as to be individually movable in the direction in which each shaft 12 extends. The lock mechanism 13 limits the movement of the plurality of shafts 12 with respect to the support wall 21. The lock mechanism 13 can be switched between a state in which the shaft 12 is movable with respect to the support wall 21 and a state in which the movement of the shaft 12 with respect to the support wall 21 is restricted. The plurality of shafts 12 are arranged at positions corresponding to the shape of the work 2 by moving the tip portions 41 of the shafts 12 so as to contact the work 2. In this state, the lock mechanism 13 restricts the movement of the plurality of shafts 12, so that the position of the distal end portion 41 of the shaft 12 that can attract the workpiece 2 is fixed at a position corresponding to the shape of the workpiece 2. By arranging the plurality of shafts 12 in this way, all the shafts 12 can adsorb the workpiece 2 to the tip portion 41. As a result, the chuck 1 can hold more types of workpieces 2 having different shapes and sizes as compared with the case where the workpiece 2 is gripped by a claw, for example.

このようなチャック１によれば、例えば複数のシャフト１２の先端部４１をワーク２に押し付けることで、複数のシャフト１２の先端部４１がワーク２の形状に応じた位置に容易に配置される。例えば、ワーク２の形状が複雑な自由曲面のような曲率変化を有していたとしても、シャフト１２の先端部４１の位置がワーク２の形状に応じた位置に容易に配置される。これにより、保持対象であるワーク２に応じてチャック１を交換する必要が無くなり、ワーク２に応じて保持装置を交換する場合に比べ、作業時間が短縮される。さらに、シャフト１２の先端部４１の位置がワーク２の形状に応じた位置に配置されるため、シャフト１２がワーク２を歪ませることが抑制される。   According to such a chuck 1, for example, by pressing the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 against the workpiece 2, the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 are easily arranged at positions corresponding to the shape of the workpiece 2. For example, even if the shape of the work 2 has a curvature change like a complicated free-form surface, the position of the tip 41 of the shaft 12 is easily arranged at a position corresponding to the shape of the work 2. Thereby, it is not necessary to replace the chuck 1 according to the workpiece 2 to be held, and the working time is shortened compared to the case where the holding device is replaced according to the workpiece 2. Furthermore, since the position of the tip portion 41 of the shaft 12 is arranged at a position corresponding to the shape of the work 2, the shaft 12 is suppressed from distorting the work 2.

さらに、複数のシャフト１２の先端部４１が一つのワーク２（マスターワーク）に対応した位置に固定されるため、チャック１が複数回に亘ってワーク２の保持を行ったとしても、チャック１はワーク２（ワーク）をほぼ同一の位置で保持できる。これにより、例えば、保持されたワーク２が搬送される間に障害物に接触することが抑制されたり、目視検査時に位置が変わることが抑制されてより正確な検査が可能となったりする。   Furthermore, since the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 are fixed at positions corresponding to one workpiece 2 (master workpiece), even if the chuck 1 holds the workpiece 2 multiple times, the chuck 1 Work 2 (work) can be held at substantially the same position. Thereby, for example, contact with an obstacle while the held work 2 is conveyed is suppressed, or change in position during visual inspection is suppressed, and more accurate inspection is possible.

支持壁２１は、複数のシャフト１２を平行に移動可能に支持する。これにより、複数のシャフト１２の移動方向が異なる場合に比べ、チャック１が小型化されやすい。さらに、例えば複数のシャフト１２の先端部４１をワーク２に押し付けることで、複数のシャフト１２が滑らかに移動可能となる。したがって、複数のシャフト１２の先端部４１がワーク２の形状に応じた位置により容易に配置される。   The support wall 21 supports the plurality of shafts 12 so as to be movable in parallel. Thereby, compared with the case where the moving directions of the plurality of shafts 12 are different, the chuck 1 is easily downsized. Furthermore, for example, the plurality of shafts 12 can move smoothly by pressing the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 against the workpiece 2. Therefore, the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 are easily arranged at positions corresponding to the shape of the workpiece 2.

ロック機構１３は、それぞれのシャフト１２の支持壁２１に対する移動を制限する複数のブロック５１及びバネ５２を有する。これにより、例えばシャフト１２の寸法にばらつきがあったとしても、ロック機構１３がシャフト１２の支持壁２１に対する位置をより確実に固定できる。   The lock mechanism 13 includes a plurality of blocks 51 and springs 52 that restrict the movement of each shaft 12 relative to the support wall 21. Thereby, even if the dimension of the shaft 12 varies, for example, the lock mechanism 13 can more reliably fix the position of the shaft 12 with respect to the support wall 21.

バネ５２は、シャフト１２を支持壁２１の挿通孔３３の内面に弾性的に押し付ける。シャフト１２がブロック５１と支持壁２１とに挟持されることで、シャフト１２の支持壁２１に対する相対的な移動が制限される。これにより、シャフト１２及びブロック５１に、寸法のばらつきや摩耗が生じたとしても、ロック機構１３がシャフト１２の支持壁２１に対する位置をより確実に固定できる。   The spring 52 elastically presses the shaft 12 against the inner surface of the insertion hole 33 of the support wall 21. Since the shaft 12 is sandwiched between the block 51 and the support wall 21, the relative movement of the shaft 12 with respect to the support wall 21 is limited. Thereby, even if dimensional dispersion or wear occurs in the shaft 12 and the block 51, the lock mechanism 13 can more reliably fix the position of the shaft 12 with respect to the support wall 21.

プレート５３に複数のブロック５１が取り付けられ、当該プレート５３が取り付けられたスライドバー５４は、支持壁２１に対して相対的に移動可能に設けられる。スライドバー５４は、複数のブロック５１によりシャフト１２を保持する制動位置と、シャフト１２の保持を解除する解除位置と、の間で移動可能である。これにより、容易且つ一時に、ロック機構１３がシャフト１２を保持する状態と、シャフト１２の保持が解除された状態との間の切り替えが可能となる。   A plurality of blocks 51 are attached to the plate 53, and the slide bar 54 to which the plate 53 is attached is provided to be movable relative to the support wall 21. The slide bar 54 is movable between a braking position where the shaft 12 is held by the plurality of blocks 51 and a release position where the holding of the shaft 12 is released. Thereby, switching between the state in which the lock mechanism 13 holds the shaft 12 and the state in which the holding of the shaft 12 is released can be easily and temporarily performed.

シャフト１２は、先端部４１に開口された第１の管部４３から気体を吸引することで、当該先端部４１にワーク２を吸着させることが可能である。これにより、例えば磁性のようなワーク２の性質にかかわらず、チャック１がワーク２を保持することができる。   The shaft 12 can adsorb the workpiece 2 to the tip 41 by sucking gas from the first tube portion 43 opened at the tip 41. Thereby, the chuck 1 can hold the workpiece 2 regardless of the property of the workpiece 2 such as magnetism.

支持壁２１は、シャフト１２が重力により移動可能なように複数のシャフト１２を支持する。これにより、チャック１の構造が簡単になり、例えばチャック１の製造コストが低減される。   The support wall 21 supports the plurality of shafts 12 so that the shafts 12 can move by gravity. Thereby, the structure of the chuck 1 is simplified, and for example, the manufacturing cost of the chuck 1 is reduced.

複数のシャフト１２が格子点状に配置される。これにより、例えばシャフト１２が一列に配置される場合に比べ、複数のシャフト１２の先端部４１の位置が、よりワーク２の形状に応じた位置に配置され得る。   A plurality of shafts 12 are arranged in a lattice point shape. Thereby, the position of the front-end | tip part 41 of the some shaft 12 can be arrange | positioned in the position according to the shape of the workpiece | work 2 more compared with the case where the shaft 12 is arrange | positioned in a line, for example.

本実施形態において、ロック機構１３は、それぞれのシャフト１２の支持壁２１に対する移動を制限する複数のブロック５１及び複数のバネ５２を有する。しかし、ロック機構１３は、複数のシャフト１２の支持壁２１に対する移動を制限する、例えばゴムのような部材を有しても良い。   In the present embodiment, the lock mechanism 13 includes a plurality of blocks 51 and a plurality of springs 52 that restrict the movement of each shaft 12 relative to the support wall 21. However, the lock mechanism 13 may include a member such as rubber that restricts movement of the plurality of shafts 12 with respect to the support wall 21.

以下に、第２の実施の形態について、図５を参照して説明する。なお、以下の複数の実施形態の説明において、既に説明された構成要素と同様の機能を持つ構成要素は、当該既述の構成要素と同じ符号が付され、さらに説明が省略される場合がある。また、同じ符号が付された複数の構成要素は、全ての機能及び性質が共通するとは限らず、各実施形態に応じた異なる機能及び性質を有していても良い。   The second embodiment will be described below with reference to FIG. In the following description of the plurality of embodiments, components having the same functions as the components already described are denoted by the same reference numerals as those described above, and further description may be omitted. . In addition, a plurality of components to which the same reference numerals are attached do not necessarily have the same functions and properties, and may have different functions and properties according to each embodiment.

図５は、第２の実施の形態に係るシャフト１２の一部を示す断面図である。図５に示すように、第２の実施形態のシャフト１２の先端部４１は、取付部７１と、可動部材７２とを有する。取付部７１は、ベース部の一例である。可動部材７２は、先端部の一例である。   FIG. 5 is a cross-sectional view showing a part of the shaft 12 according to the second embodiment. As shown in FIG. 5, the distal end portion 41 of the shaft 12 of the second embodiment has an attachment portion 71 and a movable member 72. The attachment portion 71 is an example of a base portion. The movable member 72 is an example of a tip portion.

取付部７１は、シャフト１２の端部に設けられた略球状の部分である。取付部７１に、第１の管部４３が開口された部分である第３の開口部７１ａが設けられる。第３の開口部７１ａは、第２の開口部４３ｂに通じる。第３の開口部７１ａは、図５のように下方に向いて開口しても良いし、他の方向に向いて開口しても良い。   The attachment portion 71 is a substantially spherical portion provided at the end of the shaft 12. The attachment portion 71 is provided with a third opening portion 71a that is a portion where the first tube portion 43 is opened. The third opening 71a communicates with the second opening 43b. The third opening 71a may open downward as shown in FIG. 5 or may open in another direction.

可動部材７２は、嵌合部７２ａと、第２の管部７２ｂとを有する。第２の管部７２ｂは、第１の管部４３とともに通路の一例を形成する。嵌合部７２ａは、略球状の凹部である。嵌合部７２ａに、取付部７１が嵌め込まれる。これにより、可動部材７２は、取付部７１に揺動可能（移動可能）に支持される。   The movable member 72 has a fitting portion 72a and a second tube portion 72b. The second pipe part 72 b forms an example of a passage together with the first pipe part 43. The fitting part 72a is a substantially spherical recessed part. The attachment portion 71 is fitted into the fitting portion 72a. Thereby, the movable member 72 is supported by the attachment portion 71 so as to be swingable (movable).

第２の管部７２ｂは、第１の管部４３よりも径が大きい孔である。第２の管部７２ｂの一方の端部は、嵌合部７２ａに接続される。これにより、第２の管部７２ｂは、嵌合部７２ａに嵌め込まれた取付部７１の第３の開口部７１ａに連通する。第２の管部７２ｂの他方の端部は、第１の開口部４３ａを形成する。このため、第２の管部７２ｂは、取付部７１の第３の開口部７１ａと、第１の開口部４３ａとを接続する。これにより、第１の開口部４３ａは、第２の管部７２ｂ及び第３の開口部７１ａを介して、第２の開口部４３ｂに通じる。   The second pipe part 72 b is a hole having a larger diameter than the first pipe part 43. One end of the second pipe portion 72b is connected to the fitting portion 72a. Thereby, the 2nd pipe part 72b is connected to the 3rd opening part 71a of the attaching part 71 fitted by the fitting part 72a. The other end of the second tube portion 72b forms a first opening 43a. For this reason, the 2nd pipe part 72b connects the 3rd opening part 71a of the attaching part 71, and the 1st opening part 43a. Thereby, the 1st opening part 43a leads to the 2nd opening part 43b via the 2nd pipe part 72b and the 3rd opening part 71a.

可動部材７２が取付部７１に対して揺動することで、第１の開口部４３ａの向きが変化する。可動部材７２が取付部７１に対して揺動しても、第２の管部７２ｂは、取付部７１の第３の開口部７１ａに連通したままである。このため、可動部材７２が取付部７１に対して揺動しても、第１の開口部４３ａは第２の開口部４３ｂに通じたままであり、ポンプ１４は第１の開口部４３ａから空気を吸引できる。   As the movable member 72 swings with respect to the attachment portion 71, the direction of the first opening 43a changes. Even when the movable member 72 swings with respect to the attachment portion 71, the second pipe portion 72 b remains in communication with the third opening 71 a of the attachment portion 71. Therefore, even if the movable member 72 swings with respect to the mounting portion 71, the first opening 43a remains in communication with the second opening 43b, and the pump 14 draws air from the first opening 43a. Can suck.

第２の実施形態のチャック１において、第１の管部４３が開口された可動部材７２が、取付部７１に移動可能に支持される。これにより、シャフト１２は、第１の開口部４３ａの向きを変化させることが可能である。例えば、シャフト１２の先端部４１がワーク２に接触することで、ワーク２の面２ａの形状に応じて第１の開口部４３ａの向きが変化する。第１の開口部４３ａの向きがワーク２に応じて変化することで、シャフト１２は、先端部４１に、より確実にワーク２を吸着することができる。   In the chuck 1 of the second embodiment, the movable member 72 having the first tube portion 43 opened is supported by the attachment portion 71 so as to be movable. Thereby, the shaft 12 can change the direction of the 1st opening part 43a. For example, when the tip portion 41 of the shaft 12 contacts the workpiece 2, the direction of the first opening 43 a changes according to the shape of the surface 2 a of the workpiece 2. By changing the direction of the first opening 43 a according to the workpiece 2, the shaft 12 can more reliably attract the workpiece 2 to the tip portion 41.

なお、第１の開口部４３ａの向きを変化可能な先端部４１は、上記のものに限らない。例えば、先端部４１は、べローズ（蛇腹）状に形成されることで、第１の開口部４３ａの向きを変化可能であっても良い。   In addition, the front-end | tip part 41 which can change the direction of the 1st opening part 43a is not restricted to the above. For example, the tip 41 may be formed in a bellows shape so that the orientation of the first opening 43a can be changed.

以下に、第３の実施の形態について、図６及び図７を参照して説明する。図６は、第３の実施の形態に係るチャック１とワーク２とを示す断面図である。図６に示すように、第３の実施形態のベース１１は、接続柱２３の代わりに、側壁８１を有する。側壁８１は、支持壁２１と取付壁２２との間に設けられる。   Hereinafter, a third embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the chuck 1 and the workpiece 2 according to the third embodiment. As shown in FIG. 6, the base 11 of the third embodiment has a side wall 81 instead of the connection column 23. The side wall 81 is provided between the support wall 21 and the mounting wall 22.

第３の実施形態のベース１１は、シリンダの一例である。支持壁２１、取付壁２２、及び側壁８１によって、ベース１１の内部に部屋Ｃが形成される。部屋Ｃは、ベース１１の外部に対して気密な、密閉された部分である。   The base 11 of the third embodiment is an example of a cylinder. A chamber C is formed inside the base 11 by the support wall 21, the mounting wall 22, and the side wall 81. The room C is a sealed portion that is airtight with respect to the outside of the base 11.

支持壁２１は、複数のパッキン８５を有する。複数のパッキン８５は、複数の挿通孔３３に設けられる。パッキン８５は、挿通孔３３と、当該挿通孔３３に通されたシャフト１２との間の隙間を閉塞する。これにより、支持壁２１は、シャフト１２を、部屋Ｃの気密状態を保ちつつ、シャフト１２の延びる方向に往復運動可能に支持する。   The support wall 21 has a plurality of packings 85. The plurality of packings 85 are provided in the plurality of insertion holes 33. The packing 85 closes a gap between the insertion hole 33 and the shaft 12 passed through the insertion hole 33. As a result, the support wall 21 supports the shaft 12 so as to be capable of reciprocating in the direction in which the shaft 12 extends while maintaining the airtight state of the room C.

接続管３５は、接続口８７を有する。接続口８７は、取付壁２２に接続された接続管３５の一方の端部に設けられ、取付壁２２に開口する。これにより、ポンプ１４は、ベース１１の部屋Ｃに接続される。   The connection pipe 35 has a connection port 87. The connection port 87 is provided at one end of the connection pipe 35 connected to the attachment wall 22 and opens to the attachment wall 22. Thereby, the pump 14 is connected to the room C of the base 11.

複数のシャフト１２の基端部４２は、部屋Ｃの中に配置される。第３の実施形態の第２の開口部４３ｂは、チューブ６１に接続される代わりに、部屋Ｃに開口する。このため、ポンプ１４は、接続管３５、部屋Ｃ、及び第２の開口部４３ｂを介して、第１の開口部４３ａに接続される。   The base end portions 42 of the plurality of shafts 12 are disposed in the room C. The second opening 43 b of the third embodiment opens to the room C instead of being connected to the tube 61. For this reason, the pump 14 is connected to the first opening 43a via the connecting pipe 35, the room C, and the second opening 43b.

ポンプ１４が気体を吸引すると、気体が、複数のシャフト１２の第２の開口部４３ｂから部屋Ｃに流入する。部屋Ｃの気体は、接続口８７から接続管３５を通り、ポンプ１４に吸引される。   When the pump 14 sucks the gas, the gas flows into the room C from the second openings 43 b of the plurality of shafts 12. The gas in the room C passes through the connection pipe 35 from the connection port 87 and is sucked into the pump 14.

一方、ポンプ１４が気体を送出すると、気体が、接続管３５を通り、接続口８７から部屋Ｃに流入する。このように、ポンプ１４は、部屋Ｃに空気を送出可能である。部屋Ｃの気体は、複数のシャフト１２の第２の開口部４３ｂに流入する。   On the other hand, when the pump 14 sends out the gas, the gas flows into the room C from the connection port 87 through the connection pipe 35. Thus, the pump 14 can send air to the room C. The gas in the room C flows into the second openings 43b of the plurality of shafts 12.

図７は、第３の実施形態のシャフト１２の一部を示す断面図である。図７に示すように、シャフト１２は、逆止弁９１を有する。逆止弁９１は、シャフト１２の第１の管部４３に設けられる。逆止弁９１は、シャフト１２の先端部４１に配置されるが、他の位置に配置されても良い。   FIG. 7 is a cross-sectional view showing a part of the shaft 12 of the third embodiment. As shown in FIG. 7, the shaft 12 has a check valve 91. The check valve 91 is provided in the first pipe portion 43 of the shaft 12. The check valve 91 is disposed at the tip portion 41 of the shaft 12, but may be disposed at another position.

逆止弁９１は、例えば、収容部９２と、ボール９３とを有する。収容部９２は、第１の管部４３の一部であり、第１の管部４３の他の部分よりも径が大きい。ボール９３は、第１の管部４３よりも径が大きい球体であり、収容部９２に収容される。収容部９２の径は、ボール９３の径よりも大きい。   The check valve 91 includes, for example, a housing portion 92 and a ball 93. The accommodating portion 92 is a part of the first tube portion 43 and has a larger diameter than other portions of the first tube portion 43. The ball 93 is a sphere having a larger diameter than the first tube portion 43 and is accommodated in the accommodating portion 92. The diameter of the accommodating portion 92 is larger than the diameter of the ball 93.

収容部９２は、テーパ部９２ａと、凸部９２ｂとを有する。テーパ部９２ａは、第１の開口部４３ａに向かう収容部９２の一方の端部に設けられ、第１の開口部４３ａに向かって先細る部分である。テーパ部９２ａの端部の径は、ボール９３の径よりも小さい。凸部９２ｂは、第２の開口部４３ｂに向く収容部９２の他方の端部に設けられ、ボール９３に向かって突出する。   The accommodating part 92 has the taper part 92a and the convex part 92b. The tapered portion 92a is a portion that is provided at one end of the accommodating portion 92 that faces the first opening 43a and tapers toward the first opening 43a. The diameter of the end portion of the tapered portion 92 a is smaller than the diameter of the ball 93. The convex portion 92 b is provided at the other end of the accommodating portion 92 facing the second opening 43 b and protrudes toward the ball 93.

このような逆止弁９１は、第１の開口部４３ａから第２の開口部４３ｂに向かって流れる気体を通す。言い換えると、逆止弁９１は、第１の管部４３の、先端部４１側からの気体の流れを許容する。一方、逆止弁９１は、第２の開口部４３ｂから第１の開口部４３ａに向かって流れる気体を遮断する。言い換えると、逆止弁９１は、第１の管部４３の、先端部４１側への気体の流れを制限する。   Such a check valve 91 allows the gas flowing from the first opening 43a to the second opening 43b to pass therethrough. In other words, the check valve 91 allows the gas flow from the distal end portion 41 side of the first tube portion 43. On the other hand, the check valve 91 blocks the gas flowing from the second opening 43b toward the first opening 43a. In other words, the check valve 91 restricts the gas flow of the first pipe portion 43 toward the tip portion 41 side.

例えば、図７の矢印に示すように、例えばポンプ１４によって第１の開口部４３ａから気体が吸引されると、当該気体の流れによってボール９３がテーパ部９２ａから離れ、凸部９２ｂによって支持される。これにより、ボール９３と、収容部９２を含む第１の管部４３との間に隙間が生じ、第１の開口部４３ａから第２の開口部４３ｂに向かって流れる気体が通ることが可能となる。   For example, as shown by the arrow in FIG. 7, when the gas is sucked from the first opening 43a by the pump 14, for example, the ball 93 is separated from the tapered portion 92a by the flow of the gas and is supported by the convex portion 92b. . As a result, a gap is generated between the ball 93 and the first tube portion 43 including the accommodating portion 92, and the gas flowing from the first opening portion 43a toward the second opening portion 43b can pass therethrough. Become.

一方、ポンプ１４によって第２の開口部４３ｂから気体が第１の管部４３に送出されると、当該気体の流れによってボール９３がテーパ部９２ａに押し付けられる。これにより、図７の二点鎖線で示すように、ボール９３が収容部９２を含む第１の管部４３を閉塞し、第２の開口部４３ｂから第１の開口部４３ａに向かって流れる気体が遮断される。   On the other hand, when gas is sent from the second opening 43b to the first tube 43 by the pump 14, the ball 93 is pressed against the taper 92a by the flow of the gas. Thereby, as shown by a two-dot chain line in FIG. 7, the ball 93 closes the first tube portion 43 including the accommodating portion 92, and the gas flows from the second opening portion 43b toward the first opening portion 43a. Is cut off.

以上のような第３の実施形態のチャック１は、複数のシャフト１２を支持壁２１の外面３１から最大限突出させる際、ポンプ１４から部屋Ｃに空気を送出する。これにより、空気が部屋Ｃからそれぞれのシャフト１２の第２の開口部４３ｂに流入する。   The chuck 1 according to the third embodiment as described above sends air from the pump 14 to the room C when the plurality of shafts 12 are projected from the outer surface 31 of the support wall 21 to the maximum extent. As a result, air flows from the room C into the second openings 43b of the respective shafts 12.

逆止弁９１は、第２の開口部４３ｂから第１の開口部４３ａに向かって流れる気体を遮断する。このため、ポンプ１４から部屋Ｃに送出された空気が逆止弁９１で遮断され、部屋Ｃの圧力が上昇する。部屋Ｃの圧力が上昇すると、シャフト１２がベース１１の外部に向かって押され、支持壁２１の外面３１から突出する方向に移動する。シャフト１２は、基端部４２が支持壁２１の内面３２に当接するまで移動させられる。これにより、シャフト１２が支持壁２１の外面３１から最大限突出させられる。   The check valve 91 blocks the gas flowing from the second opening 43b toward the first opening 43a. For this reason, the air sent from the pump 14 to the room C is blocked by the check valve 91, and the pressure in the room C increases. When the pressure in the room C increases, the shaft 12 is pushed toward the outside of the base 11 and moves in a direction protruding from the outer surface 31 of the support wall 21. The shaft 12 is moved until the base end portion 42 contacts the inner surface 32 of the support wall 21. As a result, the shaft 12 is projected from the outer surface 31 of the support wall 21 to the maximum extent.

第３の実施形態のチャック１において、ベース１１に往復運動可能に支持されたシャフト１２に、第１の管部４３の、先端部４１側からの気体の流れを許容し、第１の管部４３の、先端部４１側への気体の流れを制限する逆止弁９１が設けられる。シャフト１２の第１の管部４３に、先端部４１側へ流れる気体が流入されると、シャフト１２が気体の圧力に押され、支持壁２１から突出する方向に移動させられる。このような第１の管部４３の、先端部４１側への気体の流れにより、複数のシャフト１２が支持壁２１から突出する方向に移動させられる。したがって、複数のシャフト１２を、支持壁２１から突出する位置に配置することが容易となる。このように移動した複数のシャフト１２の先端部４１をワーク２に押し付けることで、複数のシャフト１２の先端部４１がワーク２の形状に応じた位置に容易に配置される。   In the chuck 1 of the third embodiment, the flow of gas from the distal end portion 41 side of the first tube portion 43 is allowed to the shaft 12 supported so as to be reciprocable by the base 11, and the first tube portion 43 is provided with a check valve 91 that restricts the flow of gas toward the tip 41 side. When the gas flowing toward the distal end portion 41 is introduced into the first pipe portion 43 of the shaft 12, the shaft 12 is pushed by the pressure of the gas and is moved in a direction protruding from the support wall 21. The plurality of shafts 12 are moved in a direction protruding from the support wall 21 by the gas flow toward the tip end portion 41 side of the first tube portion 43. Therefore, it becomes easy to arrange the plurality of shafts 12 at positions protruding from the support wall 21. By pressing the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 thus moved against the workpiece 2, the tip portions 41 of the plurality of shafts 12 are easily arranged at positions corresponding to the shape of the workpiece 2.

上述の各実施形態において、チャック１は、ポンプ１４によって第１の開口部４３ａから気体を吸引させること（減圧）により、シャフト１２の先端部４１にワーク２を吸着させる。しかし、チャック１はこれに限らない。   In each of the above-described embodiments, the chuck 1 sucks the gas from the first opening 43a by the pump 14 (decompression), thereby causing the workpiece 2 to be adsorbed to the tip 41 of the shaft 12. However, the chuck 1 is not limited to this.

例えば複数のシャフト１２の先端部４１に、電磁石がそれぞれ設けられても良い。チャック１は、当該電磁石を励起させることで、ワーク２をシャフト１２の先端部４１に吸着することが可能である。   For example, electromagnets may be provided at the tip portions 41 of the plurality of shafts 12, respectively. The chuck 1 can attract the work 2 to the tip end portion 41 of the shaft 12 by exciting the electromagnet.

上述の本発明の実施形態は、発明の範囲を限定するものではなく、発明の範囲に含まれる一例に過ぎない。本発明のある実施形態は、上述の実施形態に対して、例えば、具体的な用途、構造、形状、作用、及び効果の少なくとも一部について、発明の要旨を逸脱しない範囲において変更、省略、及び追加がされたものであっても良い。   The above-described embodiments of the present invention do not limit the scope of the invention, but are merely examples included in the scope of the invention. An embodiment of the present invention is different from the above-described embodiment in that, for example, at least a part of a specific application, structure, shape, action, and effect is changed, omitted, and within the scope of the invention. It may be added.

１…チャック、２…ワーク、１１…ベース、１２…シャフト、１３…ロック機構、２１…支持壁、４１…先端部、４２…基端部、４３…第１の管部、４３ａ…第１の開口部、４３ｂ…第２の開口部、５１…ブロック、５２…バネ、５３…プレート、５４…スライドバー、７１…取付部、７２…可動部材、７２ｂ…第２の管部、９１…逆止弁。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chuck, 2 ... Workpiece, 11 ... Base, 12 ... Shaft, 13 ... Locking mechanism, 21 ... Support wall, 41 ... Tip part, 42 ... Base end part, 43 ... First pipe part, 43a ... First Opening portion, 43b ... second opening portion, 51 ... block, 52 ... spring, 53 ... plate, 54 ... slide bar, 71 ... mounting portion, 72 ... movable member, 72b ... second pipe portion, 91 ... non-return valve.

Claims (7)

一方の端部から他方の端部に向かってそれぞれ延びるとともに、前記一方の端部に物体を吸着可能な、複数の吸着部と、
前記複数の吸着部を、それぞれ、前記吸着部が延びる方向に往復移動可能に支持する支持部を有し、内部に部屋が形成されたシリンダと、
前記支持部に対する前記複数の吸着部の移動を制限することにより複数の吸着部を保持可能な保持部と、
を具備し、
前記吸着部は、前記一方の端部と前記部屋とに開口された通路が設けられ、当該通路から気体を吸引することで当該吸着部の前記一方の端部に物体を吸着し、
前記吸着部に、前記通路の前記一方の端部側からの気体の流れを許容し、前記通路の前記一方の端部側への気体の流れを制限する逆止弁が設けられ、
前記吸着部は、前記部屋から前記通路に流入するとともに前記逆止弁により流れを制限された前記気体により、前記支持部から突出する方向に移動させられることが可能である、
保持装置。 A plurality of suction portions extending from one end portion toward the other end portion and capable of sucking an object to the one end portion;
A cylinder having a support portion that supports the plurality of suction portions so as to be reciprocally movable in a direction in which the suction portion extends , and a chamber formed therein ;
A holding part capable of holding a plurality of suction parts by restricting movement of the plurality of suction parts relative to the support part;
Equipped with,
The adsorption part is provided with a passage opened to the one end and the room, and adsorbs an object to the one end of the adsorption part by sucking a gas from the passage,
The adsorbing portion is provided with a check valve that allows a gas flow from the one end side of the passage and restricts a gas flow to the one end side of the passage,
The adsorbing part can be moved in a direction protruding from the support part by the gas flowing into the passage from the room and restricted in flow by the check valve.
Holding device. 前記支持部は、前記複数の吸着部を平行に移動可能に支持する、請求項１の保持装置。   The holding device according to claim 1, wherein the support portion supports the plurality of suction portions so as to be movable in parallel. 前記保持部は、それぞれの前記吸着部の前記支持部に対する移動を制限する複数の制動部を有する、請求項１又は請求項２の保持装置。   The holding device according to claim 1, wherein the holding unit includes a plurality of braking units that restrict movement of the suction units relative to the support unit. 前記制動部は、前記吸着部を前記支持部に弾性的に押し付ける弾性部を有する、請求項３の保持装置。   The holding device according to claim 3, wherein the braking portion includes an elastic portion that elastically presses the suction portion against the support portion. 前記保持部は、前記支持部に対して相対的に移動可能に設けられ、少なくとも前記複数の吸着部を保持する第１の位置と、前記吸着部の保持を解除する第２の位置との間で移動可能な移動部を有する、請求項１乃至請求項４のいずれか一つの保持装置。   The holding portion is provided so as to be movable relative to the support portion, and is between a first position that holds at least the plurality of suction portions and a second position that releases the holding of the suction portions. The holding device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a movable portion that can be moved at a distance. 前記支持部は、前記吸着部が重力により移動可能なように前記吸着部を支持する、請求項１乃至請求項５のいずれか一つの保持装置。 The holding device according to any one of claims 1 to 5 , wherein the support portion supports the suction portion so that the suction portion is movable by gravity. 前記複数の吸着部が格子点状に配置された、請求項１乃至請求項６のいずれか一つの保持装置。 The holding device according to claim 1, wherein the plurality of suction portions are arranged in a lattice point shape.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12006165B2 (en) 2019-09-26 2024-06-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Suction gripping device, transfer system, and transfer method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7018452B2 (en) * 2017-11-22 2022-02-10 東京エレクトロン株式会社 Board processing system, board processing method and computer storage medium

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4088312A (en) * 1977-09-27 1978-05-09 Nasa Variable contour securing system
JPS6222090U (en) * 1985-07-25 1987-02-10
JPS62102985A (en) * 1985-10-30 1987-05-13 日立金属株式会社 Gripper for robot
DE8813521U1 (en) * 1988-10-28 1989-03-02 Festo KG, 7300 Esslingen Handling device for gripping, holding, moving or similar handling of objects
JPH0524289U (en) * 1991-09-11 1993-03-30 日本電気株式会社 Vacuum suction hand
JPH05283512A (en) * 1992-03-31 1993-10-29 Oki Electric Ind Co Ltd Vacuum chuck for wafer and manufacture of semiconductor device using same
JPH07227786A (en) * 1994-02-16 1995-08-29 Nippondenso Co Ltd Article holding device
JPH08264995A (en) * 1995-03-28 1996-10-11 Toshiba Fa Syst Eng Kk Suction head
JPH09285986A (en) * 1996-04-23 1997-11-04 Ricoh Co Ltd End effector
JP2001162574A (en) * 1999-12-13 2001-06-19 Toyota Auto Body Co Ltd Electromagnetic attracting device
JP4106450B2 (en) * 2001-02-07 2008-06-25 日産自動車株式会社 Adsorption holding device
US6517050B1 (en) * 2001-09-28 2003-02-11 Parker-Hannifin Corporation Two way non leaking flow valve with full-open capability
JP2010188436A (en) * 2009-02-16 2010-09-02 Ihi Corp Holding apparatus with lock function
US8684434B2 (en) * 2011-11-02 2014-04-01 AMF automation Technologies, LLC End effector with internal valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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