JP6302659B2 - Chuck table, transfer device and processing device - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 33
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 20
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 85
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 11
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを搬送する搬送装置と、チャックテーブル及び搬送装置を備える加工装置とに関する。 The present invention relates to a chuck table that sucks and holds a plate-shaped workpiece, a transport device that transports the chuck table, and a processing device that includes the chuck table and the transport device.
ウェーハなど板状ワークに対して研削などの加工をする加工装置では、チャックテーブルで板状ワークを吸引して保持した状態で加工を行う。そして、加工が終了した板状ワークは、搬送装置によって搬送され、例えばリングフレームとともにテープに貼着される。例えば、特許文献１には、板状ワークをチャックテーブルで保持したままチャックテーブルごと板状ワークを搬送する搬送装置が記載されている。
In a processing apparatus that performs processing such as grinding on a plate-like workpiece such as a wafer, the processing is performed while the plate-like workpiece is sucked and held by a chuck table. And the plate-shaped workpiece | work which finished processing is conveyed by a conveying apparatus, and is affixed on a tape with a ring frame, for example. For example,
研削により薄化されるなどして板状ワークの強度が低下している場合は、テープに貼着されるまでの間に板状ワークが割れる場合がある。一方、特許文献１に記載された加工装置のように、板状ワークをチャックテーブルで保持したままチャックテーブルごと搬送すれば、板状ワークをテープに貼着するマウンターに搬送するまでの間にウェーハが割れるのを防ぐことができる。
When the strength of the plate-like workpiece is reduced due to thinning by grinding or the like, the plate-like workpiece may break before being stuck to the tape. On the other hand, as in the processing apparatus described in
しかし、特許文献１の加工装置は、チャックテーブルを搬送する際、チャックテーブルの下方に搬送ユニットのハンドを進入させる必要がある。このため、チャックテーブルの下方に空間がない場合は、チャックテーブルを搬送することができない。
However, when the processing apparatus of
本発明は、このような問題にかんがみなされてもので、チャックテーブルの下方に空間がない場合でも、十分な吸引力で板状ワークをチャックテーブルに保持したまま、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することを目的とする。 Even if there is no space below the chuck table, the present invention conveys the plate workpiece together with the chuck table while holding the plate workpiece with a sufficient suction force even when there is no space below the chuck table. The purpose is to do.
第一の発明は、板状ワークを吸引保持したまま搬送されるチャックテーブルであって、板状ワークが載置される載置面と、載置面とは反対側の接続面と、載置面に配設され、載置面に載置された板状ワークを吸引保持する吸引保持部と、接続面に配設され、吸引源に接続される第１の接続部と、接続面以外に配設され、吸引源に接続される第２の接続部と、吸引保持部に接続された共通吸引路と、共通吸引路と第１の接続部とを連通させる第１の吸引路と、共通吸引路と第２の接続部とを連通させる第２の吸引路と、第１の吸引路を遮断する弁体を有する第１の逆止弁と、第２の吸引路を遮断する弁体を有する第２の逆止弁と、第１の逆止弁の弁体と第２の逆止弁の弁体とを互いが離れる方向に付勢する付勢手段と、吸引保持部以外に配設され、チャックテーブルを搬送する搬送装置によって吸引されて保持される被吸引保持部と、を備え、第１の逆止弁は、第１の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて弁体を動作させて第１の吸引路を開放し、第２の逆止弁は、第２の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて弁体を動作させて第２の吸引路を開放し、第１の吸引路が開放されると第２の逆止弁の弁体により第２の吸引路の遮断を確実化し、第２の吸引路が開放されると第１の逆止弁の弁体により第１の吸引路の遮断を確実化する。 A first invention is a chuck table that is conveyed while sucking and holding a plate-like work, a placement surface on which the plate-like work is placed, a connection surface opposite to the placement surface, and a placement A suction holding portion that sucks and holds the plate-like workpiece placed on the placement surface, a first connection portion that is provided on the connection surface and is connected to the suction source, and other than the connection surface A second connection portion disposed and connected to the suction source; a common suction path connected to the suction holding portion; and a first suction path that communicates the common suction path and the first connection portion. A second suction path that allows the suction path and the second connection portion to communicate with each other ; a first check valve that includes a valve body that blocks the first suction path; and a valve body that blocks the second suction path. It disposed a second check valve, biasing means for the valve body of the first check valve and the valve body of the second check valve is biased away from each other, in addition to the suction holder having The , And a target suction holding portion to be held by being sucked by the transfer device for transferring a chuck table, a first check valve, receives the force pulling by force or magnetic force pushes the projections from the first connection portion The valve body is operated to open the first suction path, and the second check valve receives the pushing force by the protrusion or the pulling force by the magnetic force from the second connection portion, and operates the valve body to operate the second check valve. When the suction path is opened and the first suction path is opened, the valve of the second check valve ensures that the second suction path is blocked, and when the second suction path is opened, the first suction path is opened. The valve body of the check valve ensures the interruption of the first suction path .
第二の発明は、上記チャックテーブルを搬送する搬送装置であって、チャックテーブルの第２の逆止弁を開放する搬送逆止弁開放手段を有し、チャックテーブルの第２の接続部に接続される搬送接続部と、吸引源と搬送接続部とを連通させる搬送吸引路と、チャックテーブルの被吸引保持部を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部と、吸引源と搬送テーブル吸引保持部とを連通させる搬送テーブル吸引路と、を備え、搬送接続部がチャックテーブルの第２の接続部に接続され、搬送逆止弁開放手段がチャックテーブルの第２の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて第２の逆止弁を開放することにより、吸引源とチャックテーブルの吸引保持部とを連通させて、チャックテーブルの載置面に載置された板状ワークを吸引保持した状態を維持するとともに、第１の逆止弁の弁体により第１の吸引路の遮断を確実化し、搬送テーブル吸引保持部がチャックテーブルの被吸引保持部を吸引保持することにより、チャックテーブルを搬送する。 A second invention is a transport device for transporting the chuck table, comprising transport check valve opening means for opening the second check valve of the chuck table, and connected to the second connection portion of the chuck table. A transport connection section, a transport suction path for communicating the suction source and the transport connection section, a transport table suction holding section for sucking and holding the suction holding section of the chuck table, and a suction source and a transport table suction holding section. A conveyance table suction path for communication, the conveyance connection portion is connected to the second connection portion of the chuck table, and the conveyance check valve opening means protrudes from the valve body of the second check valve of the chuck table The suction source and the suction holding part of the chuck table are made to communicate with each other by opening the second check valve by applying a pushing force or a pulling force by the magnetic force, and placed on the placement surface of the chuck table. Plate While maintaining a state of suction-holding the chromatography click, the valve body of the first check valve to ensure the blocking of the first suction passage, the conveying table suction holder suction holding the suction holder of the chuck table By doing so, the chuck table is conveyed.
第三の発明は、板状ワークを加工する加工装置であって、上記チャックテーブルと、上記搬送装置と、チャックテーブルを支持する支持手段と、支持手段に支持されたチャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、支持手段又はチャックテーブルの接続面に形成され対面する接続面又は支持手段を吸引保持するテーブル吸引保持部と、を備え、支持手段は、チャックテーブルの接続面を支持する支持面と、チャックテーブルの第１の逆止弁を開放する支持逆止弁開放手段を有し、支持面に配設され、チャックテーブルの第１の接続部に接続される支持接続部と、吸引源と支持接続部とを連通させる支持吸引路と、吸引源と支持テーブル吸引保持部とを連通させる支持テーブル吸引路と、を備え、支持接続部がチャックテーブルの第１の接続部に接続され、支持逆止弁開放手段がチャックテーブルの第１の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて第１の逆止弁を開放することにより、吸引源とチャックテーブルの吸引保持部とを連通させて、チャックテーブルの載置面に載置された板状ワークを吸引保持するとともに、第２の逆止弁の弁体により第２の吸引路の遮断を確実化し、支持テーブル吸引保持部がチャックテーブルの接続面を吸引保持することにより、チャックテーブルを支持する。 3rd invention is a processing apparatus which processes a plate-shaped workpiece | work, Comprising: The board hold | maintained at the chuck table supported by the said chuck table, the said conveying apparatus, the support means which supports a chuck table, and a support means And a table suction holding portion for sucking and holding the connecting surface or the supporting means formed on the connecting surface of the supporting means or the chuck table, and the supporting means has the connecting surface of the chuck table. A support connection portion having a support surface to be supported and a support check valve opening means for opening the first check valve of the chuck table, the support connection portion being disposed on the support surface and connected to the first connection portion of the chuck table And a support suction path for communicating the suction source and the support connection section, and a support table suction path for communicating the suction source and the support table suction holding section. Is connected to the first connecting portion Le, a first inverse support check valve opening means by a force pulling by force or a magnetic force pressing the projections against the valve body of the first check valve of the chuck table by opening the stop valve, and a suction holding portion of the suction source and the chuck table communicated sucks holds the placed plate workpiece on the mounting surface of the chuck table, the second check valve The valve body ensures that the second suction path is blocked, and the support table suction holding portion sucks and holds the connection surface of the chuck table, thereby supporting the chuck table.
本発明に係るチャックテーブルによれば、支持手段の支持接続部に接続される第１の接続部と、搬送装置の搬送接続部に接続される第２の接続部とが、ともに共通吸引路を介して吸引保持部に接続されているため、吸引保持部は、搬送装置側から吸引した場合でも、支持手段側から吸引した場合と同じ吸引力を発揮することができ、十分な吸引力を得ることができる。したがって、チャックテーブルは、吸引保持部において板状ワークを吸引保持した状態で、搬送装置によって搬送されることが可能となっている。また、搬送装置をチャックテーブルの下方に進入させる必要がないので、チャックテーブルの下方に空間がない場合でも、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することができる。さらに、第１の接続部に支持接続部が接続されていない場合は、第１の逆止弁が第１の吸引路を遮断し、第２の接続部に搬送接続部が接続されていない場合は、第２の逆止弁が第２の吸引路を遮断するため、空気などの流体が外部から流入するのを防ぐことができ、吸引力の低下を防ぐことができる。 According to the chuck table of the present invention, the first connection portion connected to the support connection portion of the support means and the second connection portion connected to the transfer connection portion of the transfer device both share the common suction path. Since the suction holding unit is connected to the suction holding unit via the support unit, the suction holding unit can exhibit the same suction force as when sucked from the support means side even when sucked from the transport device side, and obtains sufficient suction force. be able to. Therefore, the chuck table can be transported by the transport device while the plate-like workpiece is sucked and held in the sucking and holding unit. In addition, since it is not necessary for the conveying device to enter below the chuck table, the plate-like workpiece can be conveyed together with the chuck table even when there is no space below the chuck table. Furthermore, when the support connection portion is not connected to the first connection portion, the first check valve blocks the first suction path, and the conveyance connection portion is not connected to the second connection portion. Since the second check valve blocks the second suction path, a fluid such as air can be prevented from flowing in from the outside, and a reduction in suction force can be prevented.
本発明に係る搬送装置によれば、チャックテーブルの第２の接続部に搬送接続部が接続されると、チャックテーブルの第２の逆止弁を搬送逆止弁開放手段が開放するので、搬送吸引路を介して接続した吸引源からの吸引力を、チャックテーブルの吸引保持部に伝達することができ、チャックテーブルに板状ワークを保持したまま、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することができる。 According to the transport device of the present invention, when the transport connection portion is connected to the second connection portion of the chuck table, the transport check valve opening means opens the second check valve of the chuck table. The suction force from the suction source connected via the suction path can be transmitted to the suction holding part of the chuck table, and the plate-like workpiece can be transferred together with the chuck table while holding the plate-like workpiece on the chuck table. it can.
本発明に係る加工装置によれば、チャックテーブルの第１の接続部に支持接続部が接続されると、チャックテーブルの第１の逆止弁を支持逆止弁開放手段が開放するので、支持吸引路を介して接続した吸引源からの吸引力を、チャックテーブルの吸引保持部に伝達することができ、チャックテーブルに板状ワークを保持して、板状ワークを加工することができる。 According to the processing apparatus of the present invention, when the support connection portion is connected to the first connection portion of the chuck table, the support check valve opening means opens the first check valve of the chuck table. The suction force from the suction source connected via the suction path can be transmitted to the suction holding portion of the chuck table, and the plate workpiece can be processed by holding the plate workpiece on the chuck table.
図１に示すチャックテーブル１０は、板状ワークが載置される載置面１０１と、載置面１０１とは反対側の面である接続面１０２とを備えている。載置面１０１には、載置された板状ワークを吸引して保持する吸引保持部１１が配設されている。吸引保持部１１は、例えばポーラスセラミックスなどの多孔質部材により形成されている。載置面１０１の外周側には、平面状かつ環状の被吸引保持部１９が設けられ、被吸引保持部１９には３つの第２の接続部１３ａ〜１３ｃが配設されている。接続面１０２には、３つの第１の接続部１２ａ〜１２ｃが配設されている。吸引保持部１１には、共通吸引路１４が接続されている。共通吸引路１４の先端は２つに分岐して、第１の吸引路１５ａが第１の接続部１２ａに接続され、第２の吸引路１６ａが第２の接続部１３ａに接続されている。これにより、共通吸引路１４と、第１の接続部１２ａ及び第２の接続部１３ａとが連通する。第１の吸引路１５ａ及び第２の吸引路１６ａには、それぞれ、空気などの流体が外部から侵入するのを防ぐための第１の逆止弁１７ａ及び第２の逆止弁１８ａが設けられている。同様に、第１の接続部１２ｂ，１２ｃは、第１の逆止弁が設けられた第１の吸引路によって共通吸引路１４に連通し、第２の接続部１３ｂ，１３ｃは、第２の逆止弁が設けられた第２の吸引路によって共通吸引路１４に連通している。
A chuck table 10 shown in FIG. 1 includes a
第１の接続部１２ａ〜１２ｃ及び第２の接続部１３ａ〜１３ｃは、吸引源に接続され、その吸引源が吸引することにより、共通吸引路１４を介して接続された吸引保持部１１が吸引力を発揮し、載置面１０１に載置された板状ワークを吸引して保持する。
The
図２に示す搬送装置２０は、チャックテーブル１０を支持する支持部２２と、支持部２２を移動させるためのアーム２１とを備え、チャックテーブル１０を、板状ワークを保持したままの状態で搬送することができる。支持部２２には、図１に示したチャックテーブル１０の第２の接続部１３ａ〜１３ｃにそれぞれ接続する搬送接続部２３ａ〜２３ｃと、チャックテーブル１０の被吸引保持部１９を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｃとが設けられている。
2 includes a
搬送接続部２３ａは、図１に示した第２の逆止弁１８ａを開放させるための搬送逆止弁開放手段２３１と、±Ｚ方向に移動可能な可動部２３２と、可動部２３２を−Ｚ方向に付勢するコイルばねなどの付勢手段２３３と、可動部２３２が所定の位置よりも−Ｚ方向に移動するのを防ぐ係止部２３４とを有し、搬送吸引路２４ａを介して吸引源に接続されており、これにより、その吸引源と搬送接続部２３ａとが連通している。搬送接続部２３ｂ，２３ｃも同様である。
The
搬送テーブル吸引保持部２５ａは、搬送テーブル吸引路２６ａを介して吸引源に接続されており、搬送テーブル吸引路２６ａは、吸引源と搬送テーブル吸引保持部２５ａとを連通させている。搬送テーブル吸引保持部２５ｂ，２５ｃも同様である。
The transport table
搬送接続部２３ａ〜２３ｃを図１に示した第２の接続部１３ａ〜１３ｃに接続すると、搬送逆止弁開放手段２３１が第２の逆止弁１８ａ〜１８ｃを開放して、吸引源がチャックテーブル１０の共通吸引路１４を介して吸引保持部１１と連通し、吸引源が吸引することにより、チャックテーブル１０は、載置面１０１に載置された板状ワークを吸引保持する。この状態で、搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｃが被吸引保持部１９を吸引保持し、アーム２１を動かすことにより、チャックテーブル１０が板状ワークを吸引して保持したまま、チャックテーブル１０を搬送することができる。
When the
搬送接続部２３ａ〜２３ｃ及び搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｃの下端は、支持部２２の下面２２２よりも下側に突出している。これにより、搬送接続部２３ａ〜２３ｃが図１に示したチャックテーブル１０の第２の接続部１３ａ〜１３ｃに接続され、搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｃが図１に示したチャックテーブル１０の被吸引保持部１９を吸引して保持したとき、支持部２２の下面２２２と、チャックテーブル１０の載置面１０１との間に隙間ができるので、チャックテーブル１０に保持された板状ワークに支持部２２が触れることなく、チャックテーブル１０を搬送することができる。
The lower ends of the
図３に示すように、支持手段３０は、チャックテーブル１０の接続面１０２に対面して接続面１０２を支持する支持面３０１を備える。支持面３０１には、チャックテーブル１０の第１の接続部１２ａ〜１２ｃにそれぞれ接続される支持接続部３３ａ〜３３ｃと、チャックテーブル１０の接続面１０２を吸引保持するテーブル吸引保持部３５とが配設されている。
As shown in FIG. 3, the support means 30 includes a
支持接続部３３ａは、図１に示した第１の逆止弁１７ａを開放させるための支持逆止弁開放手段３３１を有し、支持吸引路３４ａを介して吸引源に接続されており、支持吸引路３４ａが吸引源と支持接続部３３ａとを連通させている。支持接続部３３ｂ，３３ｃも同様である。
The
テーブル吸引保持部３５は、例えば同心円状及び放射状に設けられた溝であり、支持テーブル吸引路３６を介して吸引源に接続されており、支持テーブル吸引路３６は、吸引源とテーブル吸引保持部３５とを連通させている。なお、テーブル吸引保持部３５は、チャックテーブル１０の接続面１０２に配設されていてもよい。その場合は、対面する支持面３０１と接続面１０２とが接触した時に、支持テーブル吸引路３６とテーブル吸引保持部３５とが連通し、支持手段３０がチャックテーブル１０によって吸引保持される。
The table
支持接続部３３ａ〜３３ｃが第１の接続部１２ａ〜１２ｃに接続されると、支持逆止弁開放手段３３１が第１の逆止弁を開放して、吸引源とチャックテーブル１０の共通吸引路１４とが連通し、吸引源が吸引することにより、チャックテーブル１０は、載置面１０１に載置された板状ワークを吸引して保持する。また、テーブル吸引保持部３５が接続面１０２を吸引して保持することにより、チャックテーブル１０が支持され、チャックテーブル１０に保持された板状ワークを加工手段が加工することができる。
When the
本発明の加工装置は、図１に示したチャックテーブル１０と、図２に示した搬送装置２０と、図３に示した支持手段３０と、チャックテーブル１０に保持された板状ワークを加工する不図示の加工手段とを備えている。加工手段は、例えば、回転する研削砥石を板状ワークに当接させて研削することにより板状ワークを薄化する研削手段である。
The processing apparatus of the present invention processes the chuck table 10 shown in FIG. 1, the
加工装置を用いて板状ワーク４０を加工する場合には、図４に示すように、チャックテーブル１０を、第１の接続部１２が支持接続部３３に接続するよう、支持手段３０の支持面３０１に載置する。吸引源が吸引することにより、テーブル吸引保持部３５が接続面１０２を吸引して保持する。また、支持逆止弁開放手段３３１が第１の逆止弁１７を開放する。第２の逆止弁１８が第２の吸引路１６を遮断しているので、第２の接続部１３から空気などの流体が流入することはない。共通吸引路１４を介して、吸引保持部１１に負圧が伝わり、載置面１０１に載置された板状ワーク４０を吸引して保持する。この状態で、加工手段が、板状ワーク４０を加工する。
When processing the plate-
加工が終了した板状ワーク４０を搬送する場合には、板状ワーク４０がチャックテーブル１０に保持されたままの状態で、チャックテーブル１０ごと板状ワーク４０を搬送する。まず、図５に示すように、搬送装置２０のアーム２１を動かして支持部２２をチャックテーブル１０の上に位置付け、搬送接続部２３を第２の接続部１３に接続させ、搬送テーブル吸引保持部２５を被吸引保持部１９に当接させる。このとき、搬送接続部２３及び搬送テーブル吸引保持部２５の下端が支持部２２の下面２２２よりも下側に突出しているため、支持部２２は、板状ワーク４０に接触しない。
When conveying the plate-
搬送テーブル吸引保持部２５を被吸引保持部１９に当接させた後、吸引源と連通した搬送テーブル吸引保持部２５が被吸引保持部１９を吸引して保持する。また、搬送逆止弁開放手段２３１が第２の逆止弁１８を開放する。支持手段３０側の吸引も持続しているため、第１の接続部１２及び第２の接続部１３の双方から吸引保持部１１に負圧が伝わり、載置面１０１に載置された板状ワーク４０を吸引して保持した状態が維持される。
After bringing the transport table
次に、支持手段３０側の吸引を停止する。これにより、テーブル吸引保持部３５によるチャックテーブル１０の保持が解除され、チャックテーブル１０を移動させることが可能となる。なお、支持テーブル吸引路３６を介した吸引を停止するだけでなく、逆にチャックテーブル１０の接続面１０２に流体を吹き付けることにより、搬送装置２０がチャックテーブル１０を持ち上げるのを助ける構成であってもよい。
Next, the suction on the support means 30 side is stopped. Thereby, holding of the chuck table 10 by the table
図６に示すように、搬送装置２０のアーム２１を上昇させてチャックテーブル１０を持ち上げると、支持手段３０の支持逆止弁開放手段３３１による第１の逆止弁１７の開放が解除され、第１の逆止弁１７が第１の吸引路１５を遮断する。そうすると、第１の接続部１２から空気などの流体が流入することがないため、共通吸引路１４を介して、吸引保持部１１に負圧が伝わり、載置面１０１に載置された板状ワーク４０を吸引して保持した状態が維持される。この状態で、搬送装置２０が、チャックテーブル１０ごと板状ワーク４０を搬送する。
As shown in FIG. 6, when the
このように、チャックテーブル１０は、支持手段３０の支持接続部３３と接続する第１の接続部１２と、搬送装置２０の搬送接続部２３と接続する第２の接続部１３とを有しているので、支持手段３０を介して吸引源と接続したまま搬送装置２０を介して吸引源と接続することができ、板状ワーク４０を吸引して保持したまま、支持手段３０側から搬送装置２０側へ吸引を切り換えることができる。
As described above, the chuck table 10 includes the
第１の接続部１２及び第２の接続部１３は、ともに、共通吸引路１４を介して吸引保持部１１に連通している。このため、チャックテーブル１０は、搬送装置２０側から吸引した場合でも、支持手段３０側から吸引した場合と同じ吸引力を発揮することができる。したがって、チャックテーブル１０搬送時に吸引力が低下するのを防ぐことができる。
Both the
第１の接続部１２に支持接続部３３が接続されていない場合は、第１の逆止弁１７が第１の吸引路１５を遮断する。第２の接続部１３に搬送接続部２３が接続していない場合は、第２の逆止弁１８が第２の吸引路１６を遮断する。
When the
第１の接続部１２に支持接続部３３が接続されると、支持逆止弁開放手段３３１が第１の逆止弁１７を開放するので、吸引源からの吸引力が吸引保持部１１に伝達され、板状ワーク４０を吸引することができる。このとき、第２の接続部１３に搬送接続部２３が接続されていなければ、第２の逆止弁１８が第２の吸引路１６を遮断して、第２の接続部１３から空気などの流体が流入するのを防ぐので、吸引力の低下を防ぐことができる。
When the
逆に、第２の接続部１３に搬送接続部２３が接続されると、搬送逆止弁開放手段２３１が第２の逆止弁１８を開放するので、吸引源からの吸引力が吸引保持部１１に伝達され、板状ワーク４０を吸引することができる。このとき、第１の接続部１２に支持接続部３３が接続されていなければ、第１の逆止弁１７が第１の吸引路１５を遮断して、第１の接続部１２から空気などの流体が流入するのを防ぐので、吸引力の低下を防ぐことができる。
On the contrary, when the transport connection portion 23 is connected to the
搬送装置２０は、搬送接続部２３及び搬送テーブル吸引保持部２５の下端が、支持部２２の下面２２２よりも−Ｚ方向に突出しているので、チャックテーブル１０が板状ワーク４０を吸引して保持した状態でも、支持部２２が板状ワーク４０に接触することなく、チャックテーブル１０を搬送することができる。
In the
チャックテーブル１０の載置面１０１の外側に配設された第２の接続部１３に搬送接続部２３が接続されるので、チャックテーブル１０が板状ワーク４０を吸引して保持した状態でも、搬送接続部２３が板状ワーク４０に接触することなく、チャックテーブル１０を搬送することができる。
Since the conveyance connecting portion 23 is connected to the second connecting
チャックテーブル１０の載置面１０１の外側に配設された被吸引保持部１９を搬送テーブル吸引保持部２５が吸引して保持するので、特許文献１に記載されたチャックテーブルのように下方に空間が存在するタイプのものでなくても、搬送することができる。また、チャックテーブル１０が板状ワーク４０を吸引して保持した状態でも、搬送テーブル吸引保持部２５が板状ワーク４０に接触することなく、チャックテーブル１０を搬送することができる。
Since the
図７に示す第２の加工装置８０Ａは、前述した加工装置のチャックテーブル１０に代えてチャックテーブル１０Ａを備え、搬送装置２０に代えて搬送装置２０Ａを備え、支持手段３０に代えて支持手段３０Ａを備えている。それ以外の点は、前述した加工装置と同様である。
A
チャックテーブル１０Ａは、４つの第２の接続部１３ａ〜１３ｄを備えている。一方、搬送装置２０Ａは、チャックテーブル１０Ａの第２の接続部１３ａ〜１３ｄに対応して、４つの搬送接続部２３ａ〜２３ｄを備えている。搬送接続部２３ａ〜２３ｄは、搬送吸引路２４ａ〜２４ｄを介して、不図示の吸引源に接続されている。また、搬送装置２０Ａは、４つの搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｄを備えている。４つの搬送テーブル吸引保持部２５ａ〜２５ｄは、搬送テーブル吸引路２６ａ〜２６ｄを介して、不図示の吸引源に接続されている。支持手段３０Ａは、４つの支持接続部３３ａ〜３３ｄを備えている。
The chuck table 10A includes four
図８に示すように、チャックテーブル１０Ａは、４つの第１の接続部１２ａ〜１２ｄを備えている。搬送装置２０Ａの搬送接続部２３ａは、−Ｚ方向に突出した円柱状の突起である搬送逆止弁開放手段２３１Ａと、搬送逆止弁開放手段２３１Ａの周囲に配設された２つの吸引孔２３５とを有する。
As shown in FIG. 8, the chuck table 10A includes four
図９に示すように、チャックテーブル１０Ａは、チャックテーブル１０Ａの内部において吸引保持部１１に接続された４つの共通吸引路１４ａ〜１４ｄを備える。共通吸引路１４ａは、保持接続部１４１ａ及び保持接続部１４１ｅを介して吸引保持部１１に接続され、共通吸引路１４ｂは、保持接続部１４１ｂを介して吸引保持部１１に接続され、共通吸引路１４ｃは、保持接続部１４１ｃ及び保持接続部１４１ｅを介して吸引保持部１１に接続され、共通吸引路１４ｄは、保持接続部１４１ｄを介して吸引保持部１１に接続されている。また、共通吸引路１４ａと共通吸引路１４ｃとは、接続されている。第１の吸引路１５ａ〜１５ｄは、第１の接続部１２ａ〜１２ｄと共通吸引路１４ａ〜１４ｄとを連通させる。第２の吸引路１６ａ〜１６ｄは、第２の接続部１３ａ〜１３ｄと共通吸引路１４ａ〜１４ｄとを連通させる。第１の逆止弁１７ａ〜１７ｄは、第１の吸引路１５ａ〜１５ｄを遮断する。第２の逆止弁１８ａ〜１８ｄは、第２の吸引路１６ａ〜１６ｄを遮断する。
As shown in FIG. 9, the chuck table 10 </ b> A includes four
保持接続部１４１ｅは、チャックテーブル１０Ａの中央に設けられている。保持接続部１４１ａ，１４１ｃは、チャックテーブル１０Ａの中央から同じ距離離れた位置に設けられている。保持接続部１４１ｂ，１４１ｄは、保持接続部１４１ａ，１４１ｃよりもチャックテーブル１０Ａの中央から離れた同じ距離の位置に設けられている。
The holding
チャックテーブル１０Ａに載置された板状ワークの外径が比較的大きい場合は、第１の接続部１２ａ〜１２ｄに接続した支持接続部３３ａ〜３３ｄ及び／又は第２の接続部１３ａ〜１３ｄに接続した搬送接続部２３ａ〜２３ｄを介して吸引することにより、吸引保持部１１全体が吸引力を発揮する。
When the outer diameter of the plate-shaped workpiece placed on the chuck table 10A is relatively large, the
チャックテーブル１０Ａに載置された板状ワークの外径が比較的小さい場合は、第１の接続部１２ｂ，１２ｄに接続した支持接続部３３ｂ，３３ｄ及び／又は第２の接続部１３ｂ，１３ｄに接続した搬送接続部２３ｂ，２３ｂを介した吸引は停止し、第１の接続部１２ａ，１２ｃに接続した支持接続部３３ａ，３３ｃ及び／又は第２の接続部１３ａ，１３ｃに接続した搬送接続部２３ａ，２３ｃだけを介して吸引することにより、吸引保持部１１の中央付近に吸引力を集中させる。これにより、板状ワークの外径にかかわらず、十分な吸引力を発揮することができる。吸引保持部１１においては、保持接続部１４１ａ及び保持接続部１４１ｃを通る円弧よりも外周側でかつ保持接続部１４１ｂ及び保持接続部１４１ｄを通る円弧よりも内周側に、吸引保持部１１の載置面１０１からその反対面に至るリング状の境界壁１１１が形成されており、板状ワークの外径が比較的小さい場合は、境界壁１１１の内側において、エアーのリークを生じさせることなく板状ワークを吸引保持することができる。なお、吸引保持部１１に境界壁１１１が形成されていない場合でも、板状ワークの外周側において載置面１０１の露出している部分に水を供給するなどすることで、エアーのリークを防止して板状ワークを吸引保持することができる。
When the outer diameter of the plate-like workpiece placed on the chuck table 10A is relatively small, the
なお、吸引保持部１１は、保持接続部１４１ａ，１４１ｃ，１４１ｅに接続された中央部分と、保持接続部１４１ｂ，１４１ｄに接続された外周部分とに分離した構成であってもよい。そうすれば、中央部分のみを吸引するときに、吸引力が外周部分に漏れるのを防ぐことができる。
Note that the
図１０に示すように、チャックテーブル１０Ａの第１の逆止弁１７Ａは、第１の接続部１２に係合する弁体１７１を備える。一方、第２の逆止弁１８Ａは、第２の接続部１３に係合する弁体１８１を備える。付勢手段１７５は、例えばコイルばねであり、第１の逆止弁１７Ａと第２の逆止弁１８Ａとに共通する部品であって、弁体１７１を−Ｚ方向に付勢するとともに、弁体１８１を＋Ｚ方向に付勢する。これにより、弁体１７１が第１の接続部１２に押し付けられて第１の吸引路１５を遮断し、弁体１８１が第２の接続部１３に押し付けられて第２の吸引路１６を遮断する。
As shown in FIG. 10, the
搬送装置２０Ａの搬送接続部２３Ａは、前述した搬送逆止弁開放手段２３１Ａ及び吸引孔２３５に加えて、搬送接続部２３Ａの下端に配設されたパッキン２３７を有する。パッキン２３７は、例えば蛇腹を有する円筒状に形成され、±Ｚ方向に伸縮する。
The
支持手段３０Ａの支持接続部３３Ａは、搬送装置２０Ａの搬送接続部２３Ａを上下反転した構造であり、＋Ｚ方向に突出した円柱状の突起である支持逆止弁開放手段３３１Ａと、支持逆止弁開放手段３３１Ａの周囲に配設された２つの吸引孔３３５と、支持接続部３３Ａの上端に配設されたパッキン３３７とを有する。パッキン３３７は、例えば蛇腹を有する円筒状で、±Ｚ方向に伸縮する。
The
図１０に示したように、チャックテーブル１０Ａを支持手段３０Ａが支持する場合は、図１１に示すように、支持手段３０Ａの支持接続部３３Ａに、チャックテーブル１０Ａの第１の接続部１２を接続する。このとき、支持逆止弁開放手段３３１Ａの先端が弁体１７１に当接し、弁体１７１を＋Ｚ方向に押し上げるので、第１の吸引路１５が開放され、共通吸引路１４と支持接続部３３Ａとが連通する。弁体１８１は、弁体１７１が押し上げられた分、強い力で＋Ｚ方向に付勢されるので、より確実に第２の吸引路１６を遮断する。また、パッキン３３７が第１の接続部１２の周囲に押し当てられて密着し、外部から空気などの流体が支持接続部３３Ａ内に流入するのを防ぐ。この状態で、支持接続部３３Ａを介して吸引源が吸引することにより、図９に示した吸引保持部１１が吸引力を発揮し、載置面１０１に載置された板状ワーク４０を保持する。
As shown in FIG. 10, when the support means 30A supports the chuck table 10A, as shown in FIG. 11, the
チャックテーブル１０Ａを支持手段３０Ａから搬送装置２０Ａに引き渡す場合は、図１２に示すように、第１の接続部１２を支持接続部３３Ａに接続して支持手段３０Ａ側からの吸引を維持したまま、チャックテーブル１０Ａの第２の接続部１３に搬送装置２０Ａの搬送接続部２３Ａを接続する。搬送逆止弁開放手段２３１Ａの先端が弁体１８１に当接し、弁体１８１を−Ｚ方向に押し下げるので、第２の吸引路１６が開放され、共通吸引路１４と搬送接続部２３Ａとが連通する。また、パッキン２３７が第２の接続部１３の周囲に押し当てられて密着し、外部から空気などの流体が搬送接続部２３Ａ内に流入するのを防ぐ。この状態で、搬送接続部２３Ａを介して吸引源が吸引を開始する。
When the chuck table 10A is delivered from the support means 30A to the
そして、搬送装置２０Ａがチャックテーブル１０Ａを＋Ｚ方向に持ち上げると、図１３に示すように、支持接続部３３Ａと第１の接続部１２との接続が解除される。支持逆止弁開放手段３３１Ａが弁体１７１から離間すると、弁体１７１が付勢手段１７５に付勢されて−Ｚ方向に移動し、第１の吸引路１５を遮断する。これにより、第１の接続部１２から空気などの流体が共通吸引路１４に流入するのを防ぐことができる。その後、支持接続部３３Ａを介した吸引源による吸引を停止する。
When the
このように、弁体１７１，１８１が離れる付勢されることにより、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６を遮断し、支持逆止弁開放手段３３１Ａ及び搬送逆止弁開放手段２３１Ａが弁体１７１，１８１を内側に押し込むことにより、第１の逆止弁１７Ａ及び第２の逆止弁１８Ａを開放するので、支持接続部３３Ａ及び搬送接続部２３Ａを第１の接続部１２及び第２の接続部１３に接続すると、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６が開放され、支持接続部３３Ａ及び搬送接続部２３Ａと第１の接続部１２及び第２の接続部１３との接続を解除すると、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６が遮断される。これにより、吸引力の低下を防ぐことができる。
Thus, when the
図１４に示す第３の加工装置８０Ｂは、前述した加工装置８０Ａのチャックテーブル１０Ａに代えてチャックテーブル１０Ｂを備え、搬送装置２０Ａに代えて搬送装置２０Ｂを備え、支持手段３０Ａに代えて支持手段３０Ｂを備える。それ以外の点は、前述した加工装置８０Ａと同様である。
A
チャックテーブル１０Ｂは、チャックテーブル１０Ａの第１の逆止弁１７Ａに代えて第１の逆止弁１７Ｂを備え、第２の逆止弁１８Ａに代えて第２の逆止弁１８Ｂを備える。第１の逆止弁１７Ｂは、第１の接続部１２に係合する弁体１７１Ｂを備える。第２の逆止弁１８Ｂは、第２の接続部１３に係合する弁体１８１Ｂを備える。弁体１７１Ｂ，１８１Ｂは、鉄などの磁性体で形成されている。付勢手段１７５Ｂは、例えばコイルばねであり、第１の逆止弁１７Ｂと第２の逆止弁１８Ｂとに共通する部品であって、弁体１７１Ｂを＋Ｚ方向に付勢するとともに、弁体１８１Ｂを−Ｚ方向に付勢する。これにより、弁体１７１Ｂが第１の接続部１２に押し付けられて第１の吸引路１５を遮断し、弁体１８１Ｂが第２の接続部１３に押し付けられて第２の吸引路１６を遮断する。
The chuck table 10B includes a
搬送装置２０Ｂは、搬送装置２０Ａの搬送接続部２３Ａに代えて搬送接続部２３Ｂを備える。搬送接続部２３Ｂは、搬送接続部２３Ａの搬送逆止弁開放手段２３１Ａに代えて搬送逆止弁開放手段２３１Ｂを備える。支持手段３０Ｂは、支持手段３０Ａの支持接続部３３Ａに代えて支持接続部３３Ｂを備える。支持接続部３３Ｂは、支持接続部３３Ａの支持逆止弁開放手段３３１Ａに代えて支持逆止弁開放手段３３１Ｂを備える。搬送逆止弁開放手段２３１Ｂ及び支持逆止弁開放手段３３１Ｂは、例えば電磁石や永久磁石などの磁石である。
The
チャックテーブル１０Ｂを支持手段３０Ｂが支持する場合は、図１５に示すように、支持手段３０Ｂの支持接続部３３Ｂに、チャックテーブル１０Ｂの第１の接続部１２を接続する。支持逆止弁開放手段３３１Ｂが弁体１７１Ｂに接近すると、磁力によって弁体１７１Ｂが−Ｚ方向に引っ張られるので、第１の吸引路１５が開放され、共通吸引路１４と支持接続部３３Ｂとが連通する。弁体１８１Ｂは、弁体１７１Ｂが引っ張られた分、強い力で−Ｚ方向に付勢されるので、より確実に第２の吸引路１６を遮断する。この状態で、支持接続部３３Ｂを介して吸引源が吸引することにより、吸引保持部１１が吸引力を発揮して、載置面１０１に載置された板状ワークを保持する。
When the support means 30B supports the chuck table 10B, the
チャックテーブル１０Ｂを支持手段３０Ｂから搬送装置２０Ｂに引き渡す場合は、図１６に示すように、第１の接続部１２を支持接続部３３Ｂに接続して支持手段３０Ｂ側からの吸引を維持したまま、チャックテーブル１０Ｂの第２の接続部１３に搬送装置２０Ｂの搬送接続部２３Ｂを接続する。搬送逆止弁開放手段２３１Ｂが弁体１８１に接近すると、磁力により弁体１８１Ｂが＋Ｚ方向に引っ張られるので、第２の吸引路１６が開放され、共通吸引路１４と搬送接続部２３Ｂとが連通する。この状態で、搬送接続部２３Ｂを介して吸引源が吸引を開始する。
When delivering the chuck table 10B from the support means 30B to the
そして、搬送装置２０Ｂがチャックテーブル１０Ｂを＋Ｚ方向に持ち上げると、図１７に示すように、支持接続部３３Ｂと第１の接続部１２との接続が解除される。支持逆止弁開放手段３３１Ｂと弁体１７１Ｂとの間の距離が離れると、磁力が弱くなるので、弁体１７１Ｂが付勢手段１７５Ｂに付勢されて＋Ｚ方向に移動し、第１の吸引路１５を遮断する。これにより、第１の接続部１２から空気などの流体が共通吸引路１４に流入するのを防ぐことができる。その後、支持接続部３３Ｂを介した吸引源による吸引を停止する。
When the
このように、弁体１７１Ｂ，１８１Ｂが内側に向けて付勢されることにより、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６を遮断し、支持逆止弁開放手段３３１Ｂ及び搬送逆止弁開放手段２３１Ｂが弁体１７１Ｂ，１８１Ｂを外側に引っ張ることにより、第１の逆止弁１７Ｂ及び第２の逆止弁１８Ｂを開放するので、支持接続部３３Ｂ及び搬送接続部２３Ｂを第１の接続部１２及び第２の接続部１３に接続すると、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６が開放され、支持接続部３３Ｂ及び搬送接続部２３Ｂと第１の接続部１２及び第２の接続部１３との接続を解除すると、第１の吸引路１５及び第２の吸引路１６が遮断される。これにより、吸引力の低下を防ぐことができる。
In this way, the
なお、支持逆止弁開放手段３３１Ｂ及び搬送逆止弁開放手段２３１Ｂは、弁体１７１Ｂ，１８１Ｂを外側に引っ張ることが可能な構成であればよく、磁石に限らず、例えば弁体１７１Ｂ，１８１Ｂを吸引する構成であってもよい。
The support check valve opening means 331B and the conveyance check valve opening means 231B may be configured to pull the
第２の接続部は、チャックテーブルが支持手段に支持された状態で、搬送装置の搬送接続部が接続可能な位置に設けられていればよく、接続面１０２以外であれば、チャックテーブルの上面（＋Ｚ側の面）に限らず、チャックテーブルの側面に配設された構成であってもよい。 The second connection portion only needs to be provided at a position where the transfer connection portion of the transfer apparatus can be connected in a state where the chuck table is supported by the support means. The configuration is not limited to the (+ Z side surface), and may be configured on the side surface of the chuck table.
被吸引保持部は、吸引保持部が板状ワークを保持した状態で、板状ワークに搬送装置が接触することなく搬送できる位置に設けられていればよく、吸引保持部１１以外であれば、チャックテーブルの上面（＋Ｚ側の面）に限らず、側面や下面（−Ｚ側の面）に配設された構成であってもよい。 The suction holding unit may be provided at a position where the suction holding unit holds the plate-like workpiece and the conveyance device can be conveyed without contacting the plate-like workpiece. Not only the upper surface (the surface on the + Z side) of the chuck table, but also a configuration in which the chuck table is disposed on the side surface or the lower surface (the surface on the −Z side).
第１の接続部や第２の接続部の数は、３つまたは４つに限らず、５つ以上であってもよいし、２つ以下であってもよい。また、第１の接続部の数と、第２の接続部の数とが異なる構成であってもよい。 The number of the first connection parts and the second connection parts is not limited to three or four, but may be five or more, or two or less. Moreover, the structure from which the number of 1st connection parts differs from the number of 2nd connection parts may be sufficient.
加工手段は、研削手段に限らず、レーザ加工や切削など他の加工をする構成であってもよい。 The processing means is not limited to the grinding means, and may be configured to perform other processing such as laser processing or cutting.
１０，１０Ａ，１０Ｂ チャックテーブル、１０１ 載置面、１０２ 接続面、
１０３ 側面、１１ 吸引保持部、１１１ 境界壁、
１２，１２ａ〜１２ｃ 第１の接続部、１３，１３ａ〜１３ｃ 第２の接続部、
１４，１４ａ〜１４ｄ 共通吸引路、１４１ａ〜１４１ｅ 保持接続部、
１５，１５ａ〜１５ｄ 第１の吸引路、１６，１６ａ〜１６ｄ 第２の吸引路、
１７，１７ａ〜１７ｄ，１７Ａ，１７Ｂ 第１の逆止弁、
１７１，１７１Ｂ，１８１，１８１Ｂ 弁体、１７５，１７５Ｂ，２３３ 付勢手段、
１８，１８ａ〜１８ｄ，１８Ａ，１８Ｂ 第２の逆止弁、１９ 被吸引保持部、
２０，２０Ａ，２０Ｂ 搬送装置、２１ アーム、２２ 支持部、２２２ 下面、
２３，２３ａ〜２３ｄ，２３Ａ，２３Ｂ 搬送接続部、
２３１，２３１Ａ，２３１Ｂ 搬送逆止弁開放手段、
２３２ 可動部、２３４ 係止部、２３５，３３５ 吸引孔、
２３７，３３７ パッキン、
２４，２４ａ〜２４ｄ 搬送吸引路、２５，２５ａ〜２５ｄ 搬送テーブル吸引保持部、２６，２６ａ〜２６ｄ 搬送テーブル吸引路、
３０ 支持手段、３０１ 支持面、
３３，３３ａ〜３３ｄ，３３Ａ，３３Ｂ 支持接続部、
３３１，３３１Ａ，３３１Ｂ 支持逆止弁開放手段、３４ 支持吸引路、
３５ テーブル吸引保持部、３６ 支持テーブル吸引路、
４０ 板状ワーク、８０Ａ，８０Ｂ 加工装置
10, 10A, 10B chuck table, 101 mounting surface, 102 connection surface,
103 side surface, 11 suction holding part, 111 boundary wall,
12, 12a-12c 1st connection part, 13, 13a-13c 2nd connection part,
14, 14a-14d common suction path, 141a-141e holding connection,
15, 15a-15d first suction path, 16, 16a-16d second suction path,
17, 17a-17d, 17A, 17B first check valve,
171,171B, 181,181B valve body, 175,175B, 233 biasing means,
18, 18a to 18d, 18A, 18B second check valve, 19 suction holding portion,
20, 20A, 20B Transport device, 21 arm, 22 support part, 222 bottom surface,
23, 23a to 23d, 23A, 23B transport connection portion,
231, 231A, 231B conveying check valve opening means,
232 movable part, 234 locking part, 235, 335 suction hole,
237, 337 packing,
24, 24a-24d Conveying suction path, 25, 25a-25d Conveying table suction holding section, 26, 26a-26d Conveying table suction path,
30 support means, 301 support surface,
33, 33a-33d, 33A, 33B support connection part,
331, 331A, 331B support check valve opening means, 34 support suction path,
35 table suction holder, 36 support table suction path,
40 Plate work, 80A, 80B Processing equipment
Claims (3)
該板状ワークが載置される載置面と、
該載置面とは反対側の接続面と、
該載置面に配設され、該載置面に載置された該板状ワークを吸引保持する吸引保持部と、
該接続面に配設され、吸引源に接続される第１の接続部と、
該接続面以外に配設され、吸引源に接続される第２の接続部と、
該吸引保持部に接続された共通吸引路と、
該共通吸引路と該第１の接続部とを連通させる第１の吸引路と、
該共通吸引路と該第２の接続部とを連通させる第２の吸引路と、
該第１の吸引路を遮断する弁体を有する第１の逆止弁と、
該第２の吸引路を遮断する弁体を有する第２の逆止弁と、
該第１の逆止弁の弁体と該第２の逆止弁の弁体とを互いが離れる方向に付勢する付勢手段と、
該吸引保持部以外に配設され、該チャックテーブルを搬送する搬送装置によって吸引されて保持される被吸引保持部と、
を備え、
該第１の逆止弁は、該第１の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて該弁体を動作させて該第１の吸引路を開放し、
該第２の逆止弁は、該第２の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて該弁体を動作させて該第２の吸引路を開放し、
該第１の吸引路が開放されると該第２の逆止弁の弁体により該第２の吸引路の遮断を確実化し、
該第２の吸引路が開放されると該第１の逆止弁の弁体により該第１の吸引路の遮断を確実化する
チャックテーブル。 A chuck table that is conveyed while sucking and holding a plate-shaped workpiece,
A mounting surface on which the plate-like workpiece is mounted;
A connection surface opposite to the mounting surface;
A suction holding unit that is disposed on the placement surface and sucks and holds the plate-like workpiece placed on the placement surface;
A first connection portion disposed on the connection surface and connected to a suction source;
A second connecting portion disposed on a portion other than the connection surface and connected to a suction source;
A common suction path connected to the suction holder;
A first suction path that communicates the common suction path and the first connection portion;
A second suction path for communicating the common suction path and the second connection portion;
A first check valve having a valve body for blocking the first suction path;
A second check valve having a valve body for blocking the second suction path;
Biasing means for biasing the valve body of the first check valve and the valve body of the second check valve in a direction away from each other;
A sucked and held portion that is disposed other than the suction holding portion and is sucked and held by a transfer device that transfers the chuck table;
Equipped with a,
The first check valve opens the first suction path by operating the valve body in response to a pushing force by a protrusion or a pulling force by a magnetic force from the first connection portion,
The second check valve opens the second suction path by operating the valve body in response to a pushing force by a protrusion or a pulling force by a magnetic force from the second connection portion,
When the first suction path is opened, the valve body of the second check valve ensures the blocking of the second suction path,
A chuck table that ensures the blocking of the first suction path by the valve body of the first check valve when the second suction path is opened .
該チャックテーブルの前記第２の逆止弁を開放する搬送逆止弁開放手段を有し、該チャックテーブルの前記第２の接続部に接続される搬送接続部と、
吸引源と該搬送接続部とを連通させる搬送吸引路と、
該チャックテーブルの前記被吸引保持部を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部と、
吸引源と該搬送テーブル吸引保持部とを連通させる搬送テーブル吸引路と、
を備え、
該搬送接続部が該チャックテーブルの該第２の接続部に接続され、該搬送逆止弁開放手段が該チャックテーブルの該第２の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて該第２の逆止弁を開放することにより、吸引源と該チャックテーブルの前記吸引保持部とを連通させて、該チャックテーブルの前記載置面に載置された前記板状ワークを吸引保持した状態を維持するとともに、前記第１の逆止弁の弁体により前記第１の吸引路の遮断を確実化し、該搬送テーブル吸引保持部が該チャックテーブルの該被吸引保持部を吸引保持することにより、該チャックテーブルを搬送する、搬送装置。 A conveying device for conveying the chuck table according to claim 1,
A transport connection portion that has a transport check valve opening means for opening the second check valve of the chuck table, and is connected to the second connection portion of the chuck table;
A conveyance suction path for communicating the suction source and the conveyance connection portion;
A transport table suction holding section for sucking and holding the suction holding section of the chuck table;
A transport table suction path for communicating the suction source and the transport table suction holding unit;
With
The transfer connecting portion is connected to the second connecting portion of the chuck table, and the transfer check valve opening means pushes or pushes a magnetic force on the valve body of the second check valve of the chuck table by a protrusion. By opening the second check valve by applying a pulling force , the suction source and the suction holding portion of the chuck table are communicated and placed on the mounting surface of the chuck table. While maintaining the state in which the plate-like workpiece is sucked and held, the valve body of the first check valve ensures the blocking of the first suction path, and the transfer table suction holding portion is attached to the chuck table. A conveying device that conveys the chuck table by sucking and holding a suction holding unit.
請求項１記載のチャックテーブルと、
請求項２記載の搬送装置と、
該チャックテーブルを支持する支持手段と、
該支持手段に支持された該チャックテーブルに保持された該板状ワークを加工する加工手段と、
該支持手段又は該チャックテーブルの前記接続面に形成され、対面する該接続面又は該支持手段を吸引保持するテーブル吸引保持部と、
を備え、
該支持手段は、
該チャックテーブルの前記接続面を支持する支持面と、
該チャックテーブルの前記第１の逆止弁を開放する支持逆止弁開放手段を有し、該支持面に配設され、該チャックテーブルの前記第１の接続部に接続される支持接続部と、
吸引源と該支持接続部とを連通させる支持吸引路と、
吸引源と該支持テーブル吸引保持部とを連通させる支持テーブル吸引路と、
を備え、
該支持接続部が該チャックテーブルの該第１の接続部に接続され、該支持逆止弁開放手段が該チャックテーブルの該第１の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて該第１の逆止弁を開放することにより、吸引源と該チャックテーブルの前記吸引保持部とを連通させて、該チャックテーブルの前記載置面に載置された該板状ワークを吸引保持するとともに、前記第２の逆止弁の弁体により前記第２の吸引路の遮断を確実化し、該支持テーブル吸引保持部が該チャックテーブルの該接続面を吸引保持することにより、該チャックテーブルを支持する、加工装置。 A processing device for processing a plate-shaped workpiece,
A chuck table according to claim 1;
A transport apparatus according to claim 2;
Support means for supporting the chuck table;
Processing means for processing the plate-like workpiece held by the chuck table supported by the support means;
A table suction holding portion formed on the connection surface of the support means or the chuck table and holding the connection surface or the support means facing each other;
With
The support means includes
A support surface for supporting the connection surface of the chuck table;
A support connection portion having a support check valve opening means for opening the first check valve of the chuck table, the support connection portion being disposed on the support surface and connected to the first connection portion of the chuck table; ,
A support suction path for communicating the suction source and the support connection portion;
A support table suction path for communicating the suction source and the support table suction holding unit;
With
The support connection portion is connected to the first connection portion of the chuck table, and the support check valve opening means pushes or pushes the force against the valve body of the first check valve of the chuck table by a protrusion. The first check valve is opened by applying a pulling force due to the pressure, so that the suction source communicates with the suction holding portion of the chuck table and is placed on the mounting surface of the chuck table. The plate-like workpiece is sucked and held , and the second suction path is reliably blocked by the valve body of the second check valve , and the support table suction holding portion sucks the connection surface of the chuck table. A processing apparatus for supporting the chuck table by holding the chuck table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013259063A JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013259063A JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015115581A JP2015115581A (en) | 2015-06-22 |
| JP6302659B2 true JP6302659B2 (en) | 2018-03-28 |
Family
ID=53529084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013259063A Active JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6302659B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102143180B1 (en) * | 2019-05-21 | 2020-08-12 | 주식회사 빅스턴 | A Chuck Table And The Manufacturing Method Thereof |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3368461B2 (en) * | 1997-11-05 | 2003-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | shell |
| JP2000082737A (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | Substrate chuck, aligner, manufacture of device, substrate conveying system and method for conveying substrate |
| JP4204302B2 (en) * | 2002-10-25 | 2009-01-07 | 信越ポリマー株式会社 | Storage container |
| JP2006190816A (en) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Mitsubishi Electric Corp | Inspection device and inspection method |
| JP4847353B2 (en) * | 2007-01-19 | 2011-12-28 | 株式会社ディスコ | Wafer processing equipment |
| JP5593748B2 (en) * | 2010-03-11 | 2014-09-24 | 株式会社ニコン | Positioning apparatus, substrate bonding apparatus, and substrate bonding method |
| TWM449886U (en) * | 2012-09-26 | 2013-04-01 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | Inflation check valve and precision components storage device with the same |
-
2013
- 2013-12-16 JP JP2013259063A patent/JP6302659B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015115581A (en) | 2015-06-22 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150430 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161017 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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