JP6302659B2 - Chuck table, transfer device and processing device - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 33
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 20
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 85
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 11
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを搬送する搬送装置と、チャックテーブル及び搬送装置を備える加工装置とに関する。 The present invention relates to a chuck table that sucks and holds a plate-shaped workpiece, a transport device that transports the chuck table, and a processing device that includes the chuck table and the transport device.
ウェーハなど板状ワークに対して研削などの加工をする加工装置では、チャックテーブルで板状ワークを吸引して保持した状態で加工を行う。そして、加工が終了した板状ワークは、搬送装置によって搬送され、例えばリングフレームとともにテープに貼着される。例えば、特許文献1には、板状ワークをチャックテーブルで保持したままチャックテーブルごと板状ワークを搬送する搬送装置が記載されている。
In a processing apparatus that performs processing such as grinding on a plate-like workpiece such as a wafer, the processing is performed while the plate-like workpiece is sucked and held by a chuck table. And the plate-shaped workpiece | work which finished processing is conveyed by a conveying apparatus, and is affixed on a tape with a ring frame, for example. For example,
研削により薄化されるなどして板状ワークの強度が低下している場合は、テープに貼着されるまでの間に板状ワークが割れる場合がある。一方、特許文献1に記載された加工装置のように、板状ワークをチャックテーブルで保持したままチャックテーブルごと搬送すれば、板状ワークをテープに貼着するマウンターに搬送するまでの間にウェーハが割れるのを防ぐことができる。
When the strength of the plate-like workpiece is reduced due to thinning by grinding or the like, the plate-like workpiece may break before being stuck to the tape. On the other hand, as in the processing apparatus described in
しかし、特許文献1の加工装置は、チャックテーブルを搬送する際、チャックテーブルの下方に搬送ユニットのハンドを進入させる必要がある。このため、チャックテーブルの下方に空間がない場合は、チャックテーブルを搬送することができない。
However, when the processing apparatus of
本発明は、このような問題にかんがみなされてもので、チャックテーブルの下方に空間がない場合でも、十分な吸引力で板状ワークをチャックテーブルに保持したまま、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することを目的とする。 Even if there is no space below the chuck table, the present invention conveys the plate workpiece together with the chuck table while holding the plate workpiece with a sufficient suction force even when there is no space below the chuck table. The purpose is to do.
第一の発明は、板状ワークを吸引保持したまま搬送されるチャックテーブルであって、板状ワークが載置される載置面と、載置面とは反対側の接続面と、載置面に配設され、載置面に載置された板状ワークを吸引保持する吸引保持部と、接続面に配設され、吸引源に接続される第1の接続部と、接続面以外に配設され、吸引源に接続される第2の接続部と、吸引保持部に接続された共通吸引路と、共通吸引路と第1の接続部とを連通させる第1の吸引路と、共通吸引路と第2の接続部とを連通させる第2の吸引路と、第1の吸引路を遮断する弁体を有する第1の逆止弁と、第2の吸引路を遮断する弁体を有する第2の逆止弁と、第1の逆止弁の弁体と第2の逆止弁の弁体とを互いが離れる方向に付勢する付勢手段と、吸引保持部以外に配設され、チャックテーブルを搬送する搬送装置によって吸引されて保持される被吸引保持部と、を備え、第1の逆止弁は、第1の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて弁体を動作させて第1の吸引路を開放し、第2の逆止弁は、第2の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて弁体を動作させて第2の吸引路を開放し、第1の吸引路が開放されると第2の逆止弁の弁体により第2の吸引路の遮断を確実化し、第2の吸引路が開放されると第1の逆止弁の弁体により第1の吸引路の遮断を確実化する。 A first invention is a chuck table that is conveyed while sucking and holding a plate-like work, a placement surface on which the plate-like work is placed, a connection surface opposite to the placement surface, and a placement A suction holding portion that sucks and holds the plate-like workpiece placed on the placement surface, a first connection portion that is provided on the connection surface and is connected to the suction source, and other than the connection surface A second connection portion disposed and connected to the suction source; a common suction path connected to the suction holding portion; and a first suction path that communicates the common suction path and the first connection portion. A second suction path that allows the suction path and the second connection portion to communicate with each other ; a first check valve that includes a valve body that blocks the first suction path; and a valve body that blocks the second suction path. It disposed a second check valve, biasing means for the valve body of the first check valve and the valve body of the second check valve is biased away from each other, in addition to the suction holder having The , And a target suction holding portion to be held by being sucked by the transfer device for transferring a chuck table, a first check valve, receives the force pulling by force or magnetic force pushes the projections from the first connection portion The valve body is operated to open the first suction path, and the second check valve receives the pushing force by the protrusion or the pulling force by the magnetic force from the second connection portion, and operates the valve body to operate the second check valve. When the suction path is opened and the first suction path is opened, the valve of the second check valve ensures that the second suction path is blocked, and when the second suction path is opened, the first suction path is opened. The valve body of the check valve ensures the interruption of the first suction path .
第二の発明は、上記チャックテーブルを搬送する搬送装置であって、チャックテーブルの第2の逆止弁を開放する搬送逆止弁開放手段を有し、チャックテーブルの第2の接続部に接続される搬送接続部と、吸引源と搬送接続部とを連通させる搬送吸引路と、チャックテーブルの被吸引保持部を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部と、吸引源と搬送テーブル吸引保持部とを連通させる搬送テーブル吸引路と、を備え、搬送接続部がチャックテーブルの第2の接続部に接続され、搬送逆止弁開放手段がチャックテーブルの第2の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて第2の逆止弁を開放することにより、吸引源とチャックテーブルの吸引保持部とを連通させて、チャックテーブルの載置面に載置された板状ワークを吸引保持した状態を維持するとともに、第1の逆止弁の弁体により第1の吸引路の遮断を確実化し、搬送テーブル吸引保持部がチャックテーブルの被吸引保持部を吸引保持することにより、チャックテーブルを搬送する。 A second invention is a transport device for transporting the chuck table, comprising transport check valve opening means for opening the second check valve of the chuck table, and connected to the second connection portion of the chuck table. A transport connection section, a transport suction path for communicating the suction source and the transport connection section, a transport table suction holding section for sucking and holding the suction holding section of the chuck table, and a suction source and a transport table suction holding section. A conveyance table suction path for communication, the conveyance connection portion is connected to the second connection portion of the chuck table, and the conveyance check valve opening means protrudes from the valve body of the second check valve of the chuck table The suction source and the suction holding part of the chuck table are made to communicate with each other by opening the second check valve by applying a pushing force or a pulling force by the magnetic force, and placed on the placement surface of the chuck table. Plate While maintaining a state of suction-holding the chromatography click, the valve body of the first check valve to ensure the blocking of the first suction passage, the conveying table suction holder suction holding the suction holder of the chuck table By doing so, the chuck table is conveyed.
第三の発明は、板状ワークを加工する加工装置であって、上記チャックテーブルと、上記搬送装置と、チャックテーブルを支持する支持手段と、支持手段に支持されたチャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、支持手段又はチャックテーブルの接続面に形成され対面する接続面又は支持手段を吸引保持するテーブル吸引保持部と、を備え、支持手段は、チャックテーブルの接続面を支持する支持面と、チャックテーブルの第1の逆止弁を開放する支持逆止弁開放手段を有し、支持面に配設され、チャックテーブルの第1の接続部に接続される支持接続部と、吸引源と支持接続部とを連通させる支持吸引路と、吸引源と支持テーブル吸引保持部とを連通させる支持テーブル吸引路と、を備え、支持接続部がチャックテーブルの第1の接続部に接続され、支持逆止弁開放手段がチャックテーブルの第1の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて第1の逆止弁を開放することにより、吸引源とチャックテーブルの吸引保持部とを連通させて、チャックテーブルの載置面に載置された板状ワークを吸引保持するとともに、第2の逆止弁の弁体により第2の吸引路の遮断を確実化し、支持テーブル吸引保持部がチャックテーブルの接続面を吸引保持することにより、チャックテーブルを支持する。 3rd invention is a processing apparatus which processes a plate-shaped workpiece | work, Comprising: The board hold | maintained at the chuck table supported by the said chuck table, the said conveying apparatus, the support means which supports a chuck table, and a support means And a table suction holding portion for sucking and holding the connecting surface or the supporting means formed on the connecting surface of the supporting means or the chuck table, and the supporting means has the connecting surface of the chuck table. A support connection portion having a support surface to be supported and a support check valve opening means for opening the first check valve of the chuck table, the support connection portion being disposed on the support surface and connected to the first connection portion of the chuck table And a support suction path for communicating the suction source and the support connection section, and a support table suction path for communicating the suction source and the support table suction holding section. Is connected to the first connecting portion Le, a first inverse support check valve opening means by a force pulling by force or a magnetic force pressing the projections against the valve body of the first check valve of the chuck table by opening the stop valve, and a suction holding portion of the suction source and the chuck table communicated sucks holds the placed plate workpiece on the mounting surface of the chuck table, the second check valve The valve body ensures that the second suction path is blocked, and the support table suction holding portion sucks and holds the connection surface of the chuck table, thereby supporting the chuck table.
本発明に係るチャックテーブルによれば、支持手段の支持接続部に接続される第1の接続部と、搬送装置の搬送接続部に接続される第2の接続部とが、ともに共通吸引路を介して吸引保持部に接続されているため、吸引保持部は、搬送装置側から吸引した場合でも、支持手段側から吸引した場合と同じ吸引力を発揮することができ、十分な吸引力を得ることができる。したがって、チャックテーブルは、吸引保持部において板状ワークを吸引保持した状態で、搬送装置によって搬送されることが可能となっている。また、搬送装置をチャックテーブルの下方に進入させる必要がないので、チャックテーブルの下方に空間がない場合でも、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することができる。さらに、第1の接続部に支持接続部が接続されていない場合は、第1の逆止弁が第1の吸引路を遮断し、第2の接続部に搬送接続部が接続されていない場合は、第2の逆止弁が第2の吸引路を遮断するため、空気などの流体が外部から流入するのを防ぐことができ、吸引力の低下を防ぐことができる。 According to the chuck table of the present invention, the first connection portion connected to the support connection portion of the support means and the second connection portion connected to the transfer connection portion of the transfer device both share the common suction path. Since the suction holding unit is connected to the suction holding unit via the support unit, the suction holding unit can exhibit the same suction force as when sucked from the support means side even when sucked from the transport device side, and obtains sufficient suction force. be able to. Therefore, the chuck table can be transported by the transport device while the plate-like workpiece is sucked and held in the sucking and holding unit. In addition, since it is not necessary for the conveying device to enter below the chuck table, the plate-like workpiece can be conveyed together with the chuck table even when there is no space below the chuck table. Furthermore, when the support connection portion is not connected to the first connection portion, the first check valve blocks the first suction path, and the conveyance connection portion is not connected to the second connection portion. Since the second check valve blocks the second suction path, a fluid such as air can be prevented from flowing in from the outside, and a reduction in suction force can be prevented.
本発明に係る搬送装置によれば、チャックテーブルの第2の接続部に搬送接続部が接続されると、チャックテーブルの第2の逆止弁を搬送逆止弁開放手段が開放するので、搬送吸引路を介して接続した吸引源からの吸引力を、チャックテーブルの吸引保持部に伝達することができ、チャックテーブルに板状ワークを保持したまま、チャックテーブルごと板状ワークを搬送することができる。 According to the transport device of the present invention, when the transport connection portion is connected to the second connection portion of the chuck table, the transport check valve opening means opens the second check valve of the chuck table. The suction force from the suction source connected via the suction path can be transmitted to the suction holding part of the chuck table, and the plate-like workpiece can be transferred together with the chuck table while holding the plate-like workpiece on the chuck table. it can.
本発明に係る加工装置によれば、チャックテーブルの第1の接続部に支持接続部が接続されると、チャックテーブルの第1の逆止弁を支持逆止弁開放手段が開放するので、支持吸引路を介して接続した吸引源からの吸引力を、チャックテーブルの吸引保持部に伝達することができ、チャックテーブルに板状ワークを保持して、板状ワークを加工することができる。 According to the processing apparatus of the present invention, when the support connection portion is connected to the first connection portion of the chuck table, the support check valve opening means opens the first check valve of the chuck table. The suction force from the suction source connected via the suction path can be transmitted to the suction holding portion of the chuck table, and the plate workpiece can be processed by holding the plate workpiece on the chuck table.
図1に示すチャックテーブル10は、板状ワークが載置される載置面101と、載置面101とは反対側の面である接続面102とを備えている。載置面101には、載置された板状ワークを吸引して保持する吸引保持部11が配設されている。吸引保持部11は、例えばポーラスセラミックスなどの多孔質部材により形成されている。載置面101の外周側には、平面状かつ環状の被吸引保持部19が設けられ、被吸引保持部19には3つの第2の接続部13a〜13cが配設されている。接続面102には、3つの第1の接続部12a〜12cが配設されている。吸引保持部11には、共通吸引路14が接続されている。共通吸引路14の先端は2つに分岐して、第1の吸引路15aが第1の接続部12aに接続され、第2の吸引路16aが第2の接続部13aに接続されている。これにより、共通吸引路14と、第1の接続部12a及び第2の接続部13aとが連通する。第1の吸引路15a及び第2の吸引路16aには、それぞれ、空気などの流体が外部から侵入するのを防ぐための第1の逆止弁17a及び第2の逆止弁18aが設けられている。同様に、第1の接続部12b,12cは、第1の逆止弁が設けられた第1の吸引路によって共通吸引路14に連通し、第2の接続部13b,13cは、第2の逆止弁が設けられた第2の吸引路によって共通吸引路14に連通している。
A chuck table 10 shown in FIG. 1 includes a
第1の接続部12a〜12c及び第2の接続部13a〜13cは、吸引源に接続され、その吸引源が吸引することにより、共通吸引路14を介して接続された吸引保持部11が吸引力を発揮し、載置面101に載置された板状ワークを吸引して保持する。
The
図2に示す搬送装置20は、チャックテーブル10を支持する支持部22と、支持部22を移動させるためのアーム21とを備え、チャックテーブル10を、板状ワークを保持したままの状態で搬送することができる。支持部22には、図1に示したチャックテーブル10の第2の接続部13a〜13cにそれぞれ接続する搬送接続部23a〜23cと、チャックテーブル10の被吸引保持部19を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部25a〜25cとが設けられている。
2 includes a
搬送接続部23aは、図1に示した第2の逆止弁18aを開放させるための搬送逆止弁開放手段231と、±Z方向に移動可能な可動部232と、可動部232を−Z方向に付勢するコイルばねなどの付勢手段233と、可動部232が所定の位置よりも−Z方向に移動するのを防ぐ係止部234とを有し、搬送吸引路24aを介して吸引源に接続されており、これにより、その吸引源と搬送接続部23aとが連通している。搬送接続部23b,23cも同様である。
The
搬送テーブル吸引保持部25aは、搬送テーブル吸引路26aを介して吸引源に接続されており、搬送テーブル吸引路26aは、吸引源と搬送テーブル吸引保持部25aとを連通させている。搬送テーブル吸引保持部25b,25cも同様である。
The transport table
搬送接続部23a〜23cを図1に示した第2の接続部13a〜13cに接続すると、搬送逆止弁開放手段231が第2の逆止弁18a〜18cを開放して、吸引源がチャックテーブル10の共通吸引路14を介して吸引保持部11と連通し、吸引源が吸引することにより、チャックテーブル10は、載置面101に載置された板状ワークを吸引保持する。この状態で、搬送テーブル吸引保持部25a〜25cが被吸引保持部19を吸引保持し、アーム21を動かすことにより、チャックテーブル10が板状ワークを吸引して保持したまま、チャックテーブル10を搬送することができる。
When the
搬送接続部23a〜23c及び搬送テーブル吸引保持部25a〜25cの下端は、支持部22の下面222よりも下側に突出している。これにより、搬送接続部23a〜23cが図1に示したチャックテーブル10の第2の接続部13a〜13cに接続され、搬送テーブル吸引保持部25a〜25cが図1に示したチャックテーブル10の被吸引保持部19を吸引して保持したとき、支持部22の下面222と、チャックテーブル10の載置面101との間に隙間ができるので、チャックテーブル10に保持された板状ワークに支持部22が触れることなく、チャックテーブル10を搬送することができる。
The lower ends of the
図3に示すように、支持手段30は、チャックテーブル10の接続面102に対面して接続面102を支持する支持面301を備える。支持面301には、チャックテーブル10の第1の接続部12a〜12cにそれぞれ接続される支持接続部33a〜33cと、チャックテーブル10の接続面102を吸引保持するテーブル吸引保持部35とが配設されている。
As shown in FIG. 3, the support means 30 includes a
支持接続部33aは、図1に示した第1の逆止弁17aを開放させるための支持逆止弁開放手段331を有し、支持吸引路34aを介して吸引源に接続されており、支持吸引路34aが吸引源と支持接続部33aとを連通させている。支持接続部33b,33cも同様である。
The
テーブル吸引保持部35は、例えば同心円状及び放射状に設けられた溝であり、支持テーブル吸引路36を介して吸引源に接続されており、支持テーブル吸引路36は、吸引源とテーブル吸引保持部35とを連通させている。なお、テーブル吸引保持部35は、チャックテーブル10の接続面102に配設されていてもよい。その場合は、対面する支持面301と接続面102とが接触した時に、支持テーブル吸引路36とテーブル吸引保持部35とが連通し、支持手段30がチャックテーブル10によって吸引保持される。
The table
支持接続部33a〜33cが第1の接続部12a〜12cに接続されると、支持逆止弁開放手段331が第1の逆止弁を開放して、吸引源とチャックテーブル10の共通吸引路14とが連通し、吸引源が吸引することにより、チャックテーブル10は、載置面101に載置された板状ワークを吸引して保持する。また、テーブル吸引保持部35が接続面102を吸引して保持することにより、チャックテーブル10が支持され、チャックテーブル10に保持された板状ワークを加工手段が加工することができる。
When the
本発明の加工装置は、図1に示したチャックテーブル10と、図2に示した搬送装置20と、図3に示した支持手段30と、チャックテーブル10に保持された板状ワークを加工する不図示の加工手段とを備えている。加工手段は、例えば、回転する研削砥石を板状ワークに当接させて研削することにより板状ワークを薄化する研削手段である。
The processing apparatus of the present invention processes the chuck table 10 shown in FIG. 1, the
加工装置を用いて板状ワーク40を加工する場合には、図4に示すように、チャックテーブル10を、第1の接続部12が支持接続部33に接続するよう、支持手段30の支持面301に載置する。吸引源が吸引することにより、テーブル吸引保持部35が接続面102を吸引して保持する。また、支持逆止弁開放手段331が第1の逆止弁17を開放する。第2の逆止弁18が第2の吸引路16を遮断しているので、第2の接続部13から空気などの流体が流入することはない。共通吸引路14を介して、吸引保持部11に負圧が伝わり、載置面101に載置された板状ワーク40を吸引して保持する。この状態で、加工手段が、板状ワーク40を加工する。
When processing the plate-
加工が終了した板状ワーク40を搬送する場合には、板状ワーク40がチャックテーブル10に保持されたままの状態で、チャックテーブル10ごと板状ワーク40を搬送する。まず、図5に示すように、搬送装置20のアーム21を動かして支持部22をチャックテーブル10の上に位置付け、搬送接続部23を第2の接続部13に接続させ、搬送テーブル吸引保持部25を被吸引保持部19に当接させる。このとき、搬送接続部23及び搬送テーブル吸引保持部25の下端が支持部22の下面222よりも下側に突出しているため、支持部22は、板状ワーク40に接触しない。
When conveying the plate-
搬送テーブル吸引保持部25を被吸引保持部19に当接させた後、吸引源と連通した搬送テーブル吸引保持部25が被吸引保持部19を吸引して保持する。また、搬送逆止弁開放手段231が第2の逆止弁18を開放する。支持手段30側の吸引も持続しているため、第1の接続部12及び第2の接続部13の双方から吸引保持部11に負圧が伝わり、載置面101に載置された板状ワーク40を吸引して保持した状態が維持される。
After bringing the transport table
次に、支持手段30側の吸引を停止する。これにより、テーブル吸引保持部35によるチャックテーブル10の保持が解除され、チャックテーブル10を移動させることが可能となる。なお、支持テーブル吸引路36を介した吸引を停止するだけでなく、逆にチャックテーブル10の接続面102に流体を吹き付けることにより、搬送装置20がチャックテーブル10を持ち上げるのを助ける構成であってもよい。
Next, the suction on the support means 30 side is stopped. Thereby, holding of the chuck table 10 by the table
図6に示すように、搬送装置20のアーム21を上昇させてチャックテーブル10を持ち上げると、支持手段30の支持逆止弁開放手段331による第1の逆止弁17の開放が解除され、第1の逆止弁17が第1の吸引路15を遮断する。そうすると、第1の接続部12から空気などの流体が流入することがないため、共通吸引路14を介して、吸引保持部11に負圧が伝わり、載置面101に載置された板状ワーク40を吸引して保持した状態が維持される。この状態で、搬送装置20が、チャックテーブル10ごと板状ワーク40を搬送する。
As shown in FIG. 6, when the
このように、チャックテーブル10は、支持手段30の支持接続部33と接続する第1の接続部12と、搬送装置20の搬送接続部23と接続する第2の接続部13とを有しているので、支持手段30を介して吸引源と接続したまま搬送装置20を介して吸引源と接続することができ、板状ワーク40を吸引して保持したまま、支持手段30側から搬送装置20側へ吸引を切り換えることができる。
As described above, the chuck table 10 includes the
第1の接続部12及び第2の接続部13は、ともに、共通吸引路14を介して吸引保持部11に連通している。このため、チャックテーブル10は、搬送装置20側から吸引した場合でも、支持手段30側から吸引した場合と同じ吸引力を発揮することができる。したがって、チャックテーブル10搬送時に吸引力が低下するのを防ぐことができる。
Both the
第1の接続部12に支持接続部33が接続されていない場合は、第1の逆止弁17が第1の吸引路15を遮断する。第2の接続部13に搬送接続部23が接続していない場合は、第2の逆止弁18が第2の吸引路16を遮断する。
When the
第1の接続部12に支持接続部33が接続されると、支持逆止弁開放手段331が第1の逆止弁17を開放するので、吸引源からの吸引力が吸引保持部11に伝達され、板状ワーク40を吸引することができる。このとき、第2の接続部13に搬送接続部23が接続されていなければ、第2の逆止弁18が第2の吸引路16を遮断して、第2の接続部13から空気などの流体が流入するのを防ぐので、吸引力の低下を防ぐことができる。
When the
逆に、第2の接続部13に搬送接続部23が接続されると、搬送逆止弁開放手段231が第2の逆止弁18を開放するので、吸引源からの吸引力が吸引保持部11に伝達され、板状ワーク40を吸引することができる。このとき、第1の接続部12に支持接続部33が接続されていなければ、第1の逆止弁17が第1の吸引路15を遮断して、第1の接続部12から空気などの流体が流入するのを防ぐので、吸引力の低下を防ぐことができる。
On the contrary, when the transport connection portion 23 is connected to the
搬送装置20は、搬送接続部23及び搬送テーブル吸引保持部25の下端が、支持部22の下面222よりも−Z方向に突出しているので、チャックテーブル10が板状ワーク40を吸引して保持した状態でも、支持部22が板状ワーク40に接触することなく、チャックテーブル10を搬送することができる。
In the
チャックテーブル10の載置面101の外側に配設された第2の接続部13に搬送接続部23が接続されるので、チャックテーブル10が板状ワーク40を吸引して保持した状態でも、搬送接続部23が板状ワーク40に接触することなく、チャックテーブル10を搬送することができる。
Since the conveyance connecting portion 23 is connected to the second connecting
チャックテーブル10の載置面101の外側に配設された被吸引保持部19を搬送テーブル吸引保持部25が吸引して保持するので、特許文献1に記載されたチャックテーブルのように下方に空間が存在するタイプのものでなくても、搬送することができる。また、チャックテーブル10が板状ワーク40を吸引して保持した状態でも、搬送テーブル吸引保持部25が板状ワーク40に接触することなく、チャックテーブル10を搬送することができる。
Since the
図7に示す第2の加工装置80Aは、前述した加工装置のチャックテーブル10に代えてチャックテーブル10Aを備え、搬送装置20に代えて搬送装置20Aを備え、支持手段30に代えて支持手段30Aを備えている。それ以外の点は、前述した加工装置と同様である。
A
チャックテーブル10Aは、4つの第2の接続部13a〜13dを備えている。一方、搬送装置20Aは、チャックテーブル10Aの第2の接続部13a〜13dに対応して、4つの搬送接続部23a〜23dを備えている。搬送接続部23a〜23dは、搬送吸引路24a〜24dを介して、不図示の吸引源に接続されている。また、搬送装置20Aは、4つの搬送テーブル吸引保持部25a〜25dを備えている。4つの搬送テーブル吸引保持部25a〜25dは、搬送テーブル吸引路26a〜26dを介して、不図示の吸引源に接続されている。支持手段30Aは、4つの支持接続部33a〜33dを備えている。
The chuck table 10A includes four
図8に示すように、チャックテーブル10Aは、4つの第1の接続部12a〜12dを備えている。搬送装置20Aの搬送接続部23aは、−Z方向に突出した円柱状の突起である搬送逆止弁開放手段231Aと、搬送逆止弁開放手段231Aの周囲に配設された2つの吸引孔235とを有する。
As shown in FIG. 8, the chuck table 10A includes four
図9に示すように、チャックテーブル10Aは、チャックテーブル10Aの内部において吸引保持部11に接続された4つの共通吸引路14a〜14dを備える。共通吸引路14aは、保持接続部141a及び保持接続部141eを介して吸引保持部11に接続され、共通吸引路14bは、保持接続部141bを介して吸引保持部11に接続され、共通吸引路14cは、保持接続部141c及び保持接続部141eを介して吸引保持部11に接続され、共通吸引路14dは、保持接続部141dを介して吸引保持部11に接続されている。また、共通吸引路14aと共通吸引路14cとは、接続されている。第1の吸引路15a〜15dは、第1の接続部12a〜12dと共通吸引路14a〜14dとを連通させる。第2の吸引路16a〜16dは、第2の接続部13a〜13dと共通吸引路14a〜14dとを連通させる。第1の逆止弁17a〜17dは、第1の吸引路15a〜15dを遮断する。第2の逆止弁18a〜18dは、第2の吸引路16a〜16dを遮断する。
As shown in FIG. 9, the chuck table 10 </ b> A includes four
保持接続部141eは、チャックテーブル10Aの中央に設けられている。保持接続部141a,141cは、チャックテーブル10Aの中央から同じ距離離れた位置に設けられている。保持接続部141b,141dは、保持接続部141a,141cよりもチャックテーブル10Aの中央から離れた同じ距離の位置に設けられている。
The holding
チャックテーブル10Aに載置された板状ワークの外径が比較的大きい場合は、第1の接続部12a〜12dに接続した支持接続部33a〜33d及び/又は第2の接続部13a〜13dに接続した搬送接続部23a〜23dを介して吸引することにより、吸引保持部11全体が吸引力を発揮する。
When the outer diameter of the plate-shaped workpiece placed on the chuck table 10A is relatively large, the
チャックテーブル10Aに載置された板状ワークの外径が比較的小さい場合は、第1の接続部12b,12dに接続した支持接続部33b,33d及び/又は第2の接続部13b,13dに接続した搬送接続部23b,23bを介した吸引は停止し、第1の接続部12a,12cに接続した支持接続部33a,33c及び/又は第2の接続部13a,13cに接続した搬送接続部23a,23cだけを介して吸引することにより、吸引保持部11の中央付近に吸引力を集中させる。これにより、板状ワークの外径にかかわらず、十分な吸引力を発揮することができる。吸引保持部11においては、保持接続部141a及び保持接続部141cを通る円弧よりも外周側でかつ保持接続部141b及び保持接続部141dを通る円弧よりも内周側に、吸引保持部11の載置面101からその反対面に至るリング状の境界壁111が形成されており、板状ワークの外径が比較的小さい場合は、境界壁111の内側において、エアーのリークを生じさせることなく板状ワークを吸引保持することができる。なお、吸引保持部11に境界壁111が形成されていない場合でも、板状ワークの外周側において載置面101の露出している部分に水を供給するなどすることで、エアーのリークを防止して板状ワークを吸引保持することができる。
When the outer diameter of the plate-like workpiece placed on the chuck table 10A is relatively small, the
なお、吸引保持部11は、保持接続部141a,141c,141eに接続された中央部分と、保持接続部141b,141dに接続された外周部分とに分離した構成であってもよい。そうすれば、中央部分のみを吸引するときに、吸引力が外周部分に漏れるのを防ぐことができる。
Note that the
図10に示すように、チャックテーブル10Aの第1の逆止弁17Aは、第1の接続部12に係合する弁体171を備える。一方、第2の逆止弁18Aは、第2の接続部13に係合する弁体181を備える。付勢手段175は、例えばコイルばねであり、第1の逆止弁17Aと第2の逆止弁18Aとに共通する部品であって、弁体171を−Z方向に付勢するとともに、弁体181を+Z方向に付勢する。これにより、弁体171が第1の接続部12に押し付けられて第1の吸引路15を遮断し、弁体181が第2の接続部13に押し付けられて第2の吸引路16を遮断する。
As shown in FIG. 10, the
搬送装置20Aの搬送接続部23Aは、前述した搬送逆止弁開放手段231A及び吸引孔235に加えて、搬送接続部23Aの下端に配設されたパッキン237を有する。パッキン237は、例えば蛇腹を有する円筒状に形成され、±Z方向に伸縮する。
The
支持手段30Aの支持接続部33Aは、搬送装置20Aの搬送接続部23Aを上下反転した構造であり、+Z方向に突出した円柱状の突起である支持逆止弁開放手段331Aと、支持逆止弁開放手段331Aの周囲に配設された2つの吸引孔335と、支持接続部33Aの上端に配設されたパッキン337とを有する。パッキン337は、例えば蛇腹を有する円筒状で、±Z方向に伸縮する。
The
図10に示したように、チャックテーブル10Aを支持手段30Aが支持する場合は、図11に示すように、支持手段30Aの支持接続部33Aに、チャックテーブル10Aの第1の接続部12を接続する。このとき、支持逆止弁開放手段331Aの先端が弁体171に当接し、弁体171を+Z方向に押し上げるので、第1の吸引路15が開放され、共通吸引路14と支持接続部33Aとが連通する。弁体181は、弁体171が押し上げられた分、強い力で+Z方向に付勢されるので、より確実に第2の吸引路16を遮断する。また、パッキン337が第1の接続部12の周囲に押し当てられて密着し、外部から空気などの流体が支持接続部33A内に流入するのを防ぐ。この状態で、支持接続部33Aを介して吸引源が吸引することにより、図9に示した吸引保持部11が吸引力を発揮し、載置面101に載置された板状ワーク40を保持する。
As shown in FIG. 10, when the support means 30A supports the chuck table 10A, as shown in FIG. 11, the
チャックテーブル10Aを支持手段30Aから搬送装置20Aに引き渡す場合は、図12に示すように、第1の接続部12を支持接続部33Aに接続して支持手段30A側からの吸引を維持したまま、チャックテーブル10Aの第2の接続部13に搬送装置20Aの搬送接続部23Aを接続する。搬送逆止弁開放手段231Aの先端が弁体181に当接し、弁体181を−Z方向に押し下げるので、第2の吸引路16が開放され、共通吸引路14と搬送接続部23Aとが連通する。また、パッキン237が第2の接続部13の周囲に押し当てられて密着し、外部から空気などの流体が搬送接続部23A内に流入するのを防ぐ。この状態で、搬送接続部23Aを介して吸引源が吸引を開始する。
When the chuck table 10A is delivered from the support means 30A to the
そして、搬送装置20Aがチャックテーブル10Aを+Z方向に持ち上げると、図13に示すように、支持接続部33Aと第1の接続部12との接続が解除される。支持逆止弁開放手段331Aが弁体171から離間すると、弁体171が付勢手段175に付勢されて−Z方向に移動し、第1の吸引路15を遮断する。これにより、第1の接続部12から空気などの流体が共通吸引路14に流入するのを防ぐことができる。その後、支持接続部33Aを介した吸引源による吸引を停止する。
When the
このように、弁体171,181が離れる付勢されることにより、第1の吸引路15及び第2の吸引路16を遮断し、支持逆止弁開放手段331A及び搬送逆止弁開放手段231Aが弁体171,181を内側に押し込むことにより、第1の逆止弁17A及び第2の逆止弁18Aを開放するので、支持接続部33A及び搬送接続部23Aを第1の接続部12及び第2の接続部13に接続すると、第1の吸引路15及び第2の吸引路16が開放され、支持接続部33A及び搬送接続部23Aと第1の接続部12及び第2の接続部13との接続を解除すると、第1の吸引路15及び第2の吸引路16が遮断される。これにより、吸引力の低下を防ぐことができる。
Thus, when the
図14に示す第3の加工装置80Bは、前述した加工装置80Aのチャックテーブル10Aに代えてチャックテーブル10Bを備え、搬送装置20Aに代えて搬送装置20Bを備え、支持手段30Aに代えて支持手段30Bを備える。それ以外の点は、前述した加工装置80Aと同様である。
A
チャックテーブル10Bは、チャックテーブル10Aの第1の逆止弁17Aに代えて第1の逆止弁17Bを備え、第2の逆止弁18Aに代えて第2の逆止弁18Bを備える。第1の逆止弁17Bは、第1の接続部12に係合する弁体171Bを備える。第2の逆止弁18Bは、第2の接続部13に係合する弁体181Bを備える。弁体171B,181Bは、鉄などの磁性体で形成されている。付勢手段175Bは、例えばコイルばねであり、第1の逆止弁17Bと第2の逆止弁18Bとに共通する部品であって、弁体171Bを+Z方向に付勢するとともに、弁体181Bを−Z方向に付勢する。これにより、弁体171Bが第1の接続部12に押し付けられて第1の吸引路15を遮断し、弁体181Bが第2の接続部13に押し付けられて第2の吸引路16を遮断する。
The chuck table 10B includes a
搬送装置20Bは、搬送装置20Aの搬送接続部23Aに代えて搬送接続部23Bを備える。搬送接続部23Bは、搬送接続部23Aの搬送逆止弁開放手段231Aに代えて搬送逆止弁開放手段231Bを備える。支持手段30Bは、支持手段30Aの支持接続部33Aに代えて支持接続部33Bを備える。支持接続部33Bは、支持接続部33Aの支持逆止弁開放手段331Aに代えて支持逆止弁開放手段331Bを備える。搬送逆止弁開放手段231B及び支持逆止弁開放手段331Bは、例えば電磁石や永久磁石などの磁石である。
The
チャックテーブル10Bを支持手段30Bが支持する場合は、図15に示すように、支持手段30Bの支持接続部33Bに、チャックテーブル10Bの第1の接続部12を接続する。支持逆止弁開放手段331Bが弁体171Bに接近すると、磁力によって弁体171Bが−Z方向に引っ張られるので、第1の吸引路15が開放され、共通吸引路14と支持接続部33Bとが連通する。弁体181Bは、弁体171Bが引っ張られた分、強い力で−Z方向に付勢されるので、より確実に第2の吸引路16を遮断する。この状態で、支持接続部33Bを介して吸引源が吸引することにより、吸引保持部11が吸引力を発揮して、載置面101に載置された板状ワークを保持する。
When the support means 30B supports the chuck table 10B, the
チャックテーブル10Bを支持手段30Bから搬送装置20Bに引き渡す場合は、図16に示すように、第1の接続部12を支持接続部33Bに接続して支持手段30B側からの吸引を維持したまま、チャックテーブル10Bの第2の接続部13に搬送装置20Bの搬送接続部23Bを接続する。搬送逆止弁開放手段231Bが弁体181に接近すると、磁力により弁体181Bが+Z方向に引っ張られるので、第2の吸引路16が開放され、共通吸引路14と搬送接続部23Bとが連通する。この状態で、搬送接続部23Bを介して吸引源が吸引を開始する。
When delivering the chuck table 10B from the support means 30B to the
そして、搬送装置20Bがチャックテーブル10Bを+Z方向に持ち上げると、図17に示すように、支持接続部33Bと第1の接続部12との接続が解除される。支持逆止弁開放手段331Bと弁体171Bとの間の距離が離れると、磁力が弱くなるので、弁体171Bが付勢手段175Bに付勢されて+Z方向に移動し、第1の吸引路15を遮断する。これにより、第1の接続部12から空気などの流体が共通吸引路14に流入するのを防ぐことができる。その後、支持接続部33Bを介した吸引源による吸引を停止する。
When the
このように、弁体171B,181Bが内側に向けて付勢されることにより、第1の吸引路15及び第2の吸引路16を遮断し、支持逆止弁開放手段331B及び搬送逆止弁開放手段231Bが弁体171B,181Bを外側に引っ張ることにより、第1の逆止弁17B及び第2の逆止弁18Bを開放するので、支持接続部33B及び搬送接続部23Bを第1の接続部12及び第2の接続部13に接続すると、第1の吸引路15及び第2の吸引路16が開放され、支持接続部33B及び搬送接続部23Bと第1の接続部12及び第2の接続部13との接続を解除すると、第1の吸引路15及び第2の吸引路16が遮断される。これにより、吸引力の低下を防ぐことができる。
In this way, the
なお、支持逆止弁開放手段331B及び搬送逆止弁開放手段231Bは、弁体171B,181Bを外側に引っ張ることが可能な構成であればよく、磁石に限らず、例えば弁体171B,181Bを吸引する構成であってもよい。
The support check valve opening means 331B and the conveyance check valve opening means 231B may be configured to pull the
第2の接続部は、チャックテーブルが支持手段に支持された状態で、搬送装置の搬送接続部が接続可能な位置に設けられていればよく、接続面102以外であれば、チャックテーブルの上面(+Z側の面)に限らず、チャックテーブルの側面に配設された構成であってもよい。 The second connection portion only needs to be provided at a position where the transfer connection portion of the transfer apparatus can be connected in a state where the chuck table is supported by the support means. The configuration is not limited to the (+ Z side surface), and may be configured on the side surface of the chuck table.
被吸引保持部は、吸引保持部が板状ワークを保持した状態で、板状ワークに搬送装置が接触することなく搬送できる位置に設けられていればよく、吸引保持部11以外であれば、チャックテーブルの上面(+Z側の面)に限らず、側面や下面(−Z側の面)に配設された構成であってもよい。 The suction holding unit may be provided at a position where the suction holding unit holds the plate-like workpiece and the conveyance device can be conveyed without contacting the plate-like workpiece. Not only the upper surface (the surface on the + Z side) of the chuck table, but also a configuration in which the chuck table is disposed on the side surface or the lower surface (the surface on the −Z side).
第1の接続部や第2の接続部の数は、3つまたは4つに限らず、5つ以上であってもよいし、2つ以下であってもよい。また、第1の接続部の数と、第2の接続部の数とが異なる構成であってもよい。 The number of the first connection parts and the second connection parts is not limited to three or four, but may be five or more, or two or less. Moreover, the structure from which the number of 1st connection parts differs from the number of 2nd connection parts may be sufficient.
加工手段は、研削手段に限らず、レーザ加工や切削など他の加工をする構成であってもよい。 The processing means is not limited to the grinding means, and may be configured to perform other processing such as laser processing or cutting.
10,10A,10B チャックテーブル、101 載置面、102 接続面、
103 側面、11 吸引保持部、111 境界壁、
12,12a〜12c 第1の接続部、13,13a〜13c 第2の接続部、
14,14a〜14d 共通吸引路、141a〜141e 保持接続部、
15,15a〜15d 第1の吸引路、16,16a〜16d 第2の吸引路、
17,17a〜17d,17A,17B 第1の逆止弁、
171,171B,181,181B 弁体、175,175B,233 付勢手段、
18,18a〜18d,18A,18B 第2の逆止弁、19 被吸引保持部、
20,20A,20B 搬送装置、21 アーム、22 支持部、222 下面、
23,23a〜23d,23A,23B 搬送接続部、
231,231A,231B 搬送逆止弁開放手段、
232 可動部、234 係止部、235,335 吸引孔、
237,337 パッキン、
24,24a〜24d 搬送吸引路、25,25a〜25d 搬送テーブル吸引保持部、26,26a〜26d 搬送テーブル吸引路、
30 支持手段、301 支持面、
33,33a〜33d,33A,33B 支持接続部、
331,331A,331B 支持逆止弁開放手段、34 支持吸引路、
35 テーブル吸引保持部、36 支持テーブル吸引路、
40 板状ワーク、80A,80B 加工装置
10, 10A, 10B chuck table, 101 mounting surface, 102 connection surface,
103 side surface, 11 suction holding part, 111 boundary wall,
12, 12a-12c 1st connection part, 13, 13a-13c 2nd connection part,
14, 14a-14d common suction path, 141a-141e holding connection,
15, 15a-15d first suction path, 16, 16a-16d second suction path,
17, 17a-17d, 17A, 17B first check valve,
171,171B, 181,181B valve body, 175,175B, 233 biasing means,
18, 18a to 18d, 18A, 18B second check valve, 19 suction holding portion,
20, 20A, 20B Transport device, 21 arm, 22 support part, 222 bottom surface,
23, 23a to 23d, 23A, 23B transport connection portion,
231, 231A, 231B conveying check valve opening means,
232 movable part, 234 locking part, 235, 335 suction hole,
237, 337 packing,
24, 24a-24d Conveying suction path, 25, 25a-25d Conveying table suction holding section, 26, 26a-26d Conveying table suction path,
30 support means, 301 support surface,
33, 33a-33d, 33A, 33B support connection part,
331, 331A, 331B support check valve opening means, 34 support suction path,
35 table suction holder, 36 support table suction path,
40 Plate work, 80A, 80B Processing equipment
Claims (3)
該板状ワークが載置される載置面と、
該載置面とは反対側の接続面と、
該載置面に配設され、該載置面に載置された該板状ワークを吸引保持する吸引保持部と、
該接続面に配設され、吸引源に接続される第1の接続部と、
該接続面以外に配設され、吸引源に接続される第2の接続部と、
該吸引保持部に接続された共通吸引路と、
該共通吸引路と該第1の接続部とを連通させる第1の吸引路と、
該共通吸引路と該第2の接続部とを連通させる第2の吸引路と、
該第1の吸引路を遮断する弁体を有する第1の逆止弁と、
該第2の吸引路を遮断する弁体を有する第2の逆止弁と、
該第1の逆止弁の弁体と該第2の逆止弁の弁体とを互いが離れる方向に付勢する付勢手段と、
該吸引保持部以外に配設され、該チャックテーブルを搬送する搬送装置によって吸引されて保持される被吸引保持部と、
を備え、
該第1の逆止弁は、該第1の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて該弁体を動作させて該第1の吸引路を開放し、
該第2の逆止弁は、該第2の接続部から突起による押す力又は磁力による引く力を受けて該弁体を動作させて該第2の吸引路を開放し、
該第1の吸引路が開放されると該第2の逆止弁の弁体により該第2の吸引路の遮断を確実化し、
該第2の吸引路が開放されると該第1の逆止弁の弁体により該第1の吸引路の遮断を確実化する
チャックテーブル。 A chuck table that is conveyed while sucking and holding a plate-shaped workpiece,
A mounting surface on which the plate-like workpiece is mounted;
A connection surface opposite to the mounting surface;
A suction holding unit that is disposed on the placement surface and sucks and holds the plate-like workpiece placed on the placement surface;
A first connection portion disposed on the connection surface and connected to a suction source;
A second connecting portion disposed on a portion other than the connection surface and connected to a suction source;
A common suction path connected to the suction holder;
A first suction path that communicates the common suction path and the first connection portion;
A second suction path for communicating the common suction path and the second connection portion;
A first check valve having a valve body for blocking the first suction path;
A second check valve having a valve body for blocking the second suction path;
Biasing means for biasing the valve body of the first check valve and the valve body of the second check valve in a direction away from each other;
A sucked and held portion that is disposed other than the suction holding portion and is sucked and held by a transfer device that transfers the chuck table;
Equipped with a,
The first check valve opens the first suction path by operating the valve body in response to a pushing force by a protrusion or a pulling force by a magnetic force from the first connection portion,
The second check valve opens the second suction path by operating the valve body in response to a pushing force by a protrusion or a pulling force by a magnetic force from the second connection portion,
When the first suction path is opened, the valve body of the second check valve ensures the blocking of the second suction path,
A chuck table that ensures the blocking of the first suction path by the valve body of the first check valve when the second suction path is opened .
該チャックテーブルの前記第2の逆止弁を開放する搬送逆止弁開放手段を有し、該チャックテーブルの前記第2の接続部に接続される搬送接続部と、
吸引源と該搬送接続部とを連通させる搬送吸引路と、
該チャックテーブルの前記被吸引保持部を吸引保持する搬送テーブル吸引保持部と、
吸引源と該搬送テーブル吸引保持部とを連通させる搬送テーブル吸引路と、
を備え、
該搬送接続部が該チャックテーブルの該第2の接続部に接続され、該搬送逆止弁開放手段が該チャックテーブルの該第2の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて該第2の逆止弁を開放することにより、吸引源と該チャックテーブルの前記吸引保持部とを連通させて、該チャックテーブルの前記載置面に載置された前記板状ワークを吸引保持した状態を維持するとともに、前記第1の逆止弁の弁体により前記第1の吸引路の遮断を確実化し、該搬送テーブル吸引保持部が該チャックテーブルの該被吸引保持部を吸引保持することにより、該チャックテーブルを搬送する、搬送装置。 A conveying device for conveying the chuck table according to claim 1,
A transport connection portion that has a transport check valve opening means for opening the second check valve of the chuck table, and is connected to the second connection portion of the chuck table;
A conveyance suction path for communicating the suction source and the conveyance connection portion;
A transport table suction holding section for sucking and holding the suction holding section of the chuck table;
A transport table suction path for communicating the suction source and the transport table suction holding unit;
With
The transfer connecting portion is connected to the second connecting portion of the chuck table, and the transfer check valve opening means pushes or pushes a magnetic force on the valve body of the second check valve of the chuck table by a protrusion. By opening the second check valve by applying a pulling force , the suction source and the suction holding portion of the chuck table are communicated and placed on the mounting surface of the chuck table. While maintaining the state in which the plate-like workpiece is sucked and held, the valve body of the first check valve ensures the blocking of the first suction path, and the transfer table suction holding portion is attached to the chuck table. A conveying device that conveys the chuck table by sucking and holding a suction holding unit.
請求項1記載のチャックテーブルと、
請求項2記載の搬送装置と、
該チャックテーブルを支持する支持手段と、
該支持手段に支持された該チャックテーブルに保持された該板状ワークを加工する加工手段と、
該支持手段又は該チャックテーブルの前記接続面に形成され、対面する該接続面又は該支持手段を吸引保持するテーブル吸引保持部と、
を備え、
該支持手段は、
該チャックテーブルの前記接続面を支持する支持面と、
該チャックテーブルの前記第1の逆止弁を開放する支持逆止弁開放手段を有し、該支持面に配設され、該チャックテーブルの前記第1の接続部に接続される支持接続部と、
吸引源と該支持接続部とを連通させる支持吸引路と、
吸引源と該支持テーブル吸引保持部とを連通させる支持テーブル吸引路と、
を備え、
該支持接続部が該チャックテーブルの該第1の接続部に接続され、該支持逆止弁開放手段が該チャックテーブルの該第1の逆止弁の弁体に対して突起による押す力又は磁力による引く力を作用させて該第1の逆止弁を開放することにより、吸引源と該チャックテーブルの前記吸引保持部とを連通させて、該チャックテーブルの前記載置面に載置された該板状ワークを吸引保持するとともに、前記第2の逆止弁の弁体により前記第2の吸引路の遮断を確実化し、該支持テーブル吸引保持部が該チャックテーブルの該接続面を吸引保持することにより、該チャックテーブルを支持する、加工装置。 A processing device for processing a plate-shaped workpiece,
A chuck table according to claim 1;
A transport apparatus according to claim 2;
Support means for supporting the chuck table;
Processing means for processing the plate-like workpiece held by the chuck table supported by the support means;
A table suction holding portion formed on the connection surface of the support means or the chuck table and holding the connection surface or the support means facing each other;
With
The support means includes
A support surface for supporting the connection surface of the chuck table;
A support connection portion having a support check valve opening means for opening the first check valve of the chuck table, the support connection portion being disposed on the support surface and connected to the first connection portion of the chuck table; ,
A support suction path for communicating the suction source and the support connection portion;
A support table suction path for communicating the suction source and the support table suction holding unit;
With
The support connection portion is connected to the first connection portion of the chuck table, and the support check valve opening means pushes or pushes the force against the valve body of the first check valve of the chuck table by a protrusion. The first check valve is opened by applying a pulling force due to the pressure, so that the suction source communicates with the suction holding portion of the chuck table and is placed on the mounting surface of the chuck table. The plate-like workpiece is sucked and held , and the second suction path is reliably blocked by the valve body of the second check valve , and the support table suction holding portion sucks the connection surface of the chuck table. A processing apparatus for supporting the chuck table by holding the chuck table.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013259063A JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013259063A JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015115581A JP2015115581A (en) | 2015-06-22 |
JP6302659B2 true JP6302659B2 (en) | 2018-03-28 |
Family
ID=53529084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013259063A Active JP6302659B2 (en) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | Chuck table, transfer device and processing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6302659B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102143180B1 (en) * | 2019-05-21 | 2020-08-12 | 주식회사 빅스턴 | A Chuck Table And The Manufacturing Method Thereof |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3368461B2 (en) * | 1997-11-05 | 2003-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | shell |
JP2000082737A (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | Substrate chuck, aligner, manufacture of device, substrate conveying system and method for conveying substrate |
JP4204302B2 (en) * | 2002-10-25 | 2009-01-07 | 信越ポリマー株式会社 | Storage container |
JP2006190816A (en) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Mitsubishi Electric Corp | Inspection device and inspection method |
JP4847353B2 (en) * | 2007-01-19 | 2011-12-28 | 株式会社ディスコ | Wafer processing equipment |
JP5593748B2 (en) * | 2010-03-11 | 2014-09-24 | 株式会社ニコン | Positioning apparatus, substrate bonding apparatus, and substrate bonding method |
TWM449886U (en) * | 2012-09-26 | 2013-04-01 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | Inflation check valve and precision components storage device with the same |
-
2013
- 2013-12-16 JP JP2013259063A patent/JP6302659B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015115581A (en) | 2015-06-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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