JP6495648B2 - ロータリーアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、例えば航空機の翼の舵面を変更するためのロータリーアクチュエータに関する。

従来から、ベーン型のロータリーアクチュエータと比較して内部漏洩を抑制したロータリーアクチュエータの開発が進められている。この種のロータリーアクチュエータとして例えば特許文献１のロータリーアクチュエータは、出力軸に設けられたアームに対して回転可能に連結された円弧状のピストンと、出力軸およびピストンを収容し、圧力媒体が供給されるシリンダとを備えている。ピストンの先端部分には、シールが取り付けられ、シリンダの内部空間である中空領域を円弧状の第１圧力室および第２圧力室に区画している。ロータリーアクチュエータは、圧力媒体がシリンダの第１圧力室および第２圧力室の一方に供給され、第１圧力室および第２圧力室の他方の圧力室の圧力媒体が排出されることにより、ピストンが押されて出力軸が回動する。

特開２０１３−１１３３４７号公報

特許文献１のロータリーアクチュエータによれば、圧力媒体によりピストンが押されるとき、アームとピストンとの連結部分を中心として、ピストンの先端部分がシリンダの内周面に押し付けられる。このため、ピストンとシリンダとの間の摩擦力が大きくなり、圧力媒体がピストンを押す力に対する出力軸の駆動トルクで示されるロータリーアクチュエータの出力効率が低下してしまう。

本発明の目的は、シリンダに対してピストンが円滑に移動することができるロータリーアクチュエータを提供することである。

（１）本発明に従うロータリーアクチュエータの一形態は、出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段を備える。

本ロータリーアクチュエータによれば、摩擦低減手段によりピストンの外周面とハウジングの内周面との間の摩擦力が小さくなるため、圧力室の圧力媒体によりピストンが押されてピストンの外周面がハウジングの内周面に押し付けられたとしてもピストンがハウジングに対して円滑に移動することができる。したがって、ロータリーアクチュエータの出力効率の低下を抑制することができる。

（２）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記摩擦低減手段は前記ピストンの外周面と接触して前記ピストンの移動にともない転がるローラーである。

本ロータリーアクチュエータによれば、ピストンの外周面がローラーにより支持されるため、ピストンの外周面の一部はハウジングの内周面とのすべり摩擦に代えて転がり摩擦となる。このため、ピストンの外周面とハウジングの内周面との摩擦力が小さくなり、ピストンがハウジングに対して円滑に移動することができる。

（３）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ローラーは、軸受により支持される。

本ロータリーアクチュエータによれば、軸受によりローラーがより転がりやすくなるため、ピストンとローラーとの転がり摩擦が小さくなる。

（４）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ピストンの外周面は、平坦面を有し、前記ローラーは、前記平坦面に線接触する。

本ロータリーアクチュエータによれば、ピストンの外周面とローラーとが点接触する構成と比較して、ローラーが変形しにくい。このため、ピストンに対してローラーが転がりやすくなる。

（５）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記摩擦低減手段は、前記ピストンが前記ハウジングの内周面に押される力を抑えるストッパを備える。

本ロータリーアクチュエータによれば、ストッパを備えていない構成と比較して、ピストンがハウジングの内周面に押される力が小さくなるため、ピストンの外周面とハウジングの内周面との間の摩擦力が大きくなることが抑制される。

（６）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記出力軸と前記ピストンとを連結するアームを備え、前記ピストンと前記アームとは、互いに離間した第１の連結部と第２の連結部とにより、前記出力軸の軸方向に連結され、前記第１の連結部および前記第２の連結部の少なくとも一方が前記ストッパを構成する。

本ロータリーアクチュエータによれば、ストッパがアームとピストンとの連結部により構成されるため、例えばストッパが出力軸とピストンとを連結する連結棒の場合と比較して、ロータリーアクチュエータの構成が簡単になる。

（７）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ピストンの外周面と前記ハウジングの内周面との間には、前記ピストンと前記円弧領域とにより形成された圧力室と連通した外側圧力室が形成され、
前記ストッパは、前記外側圧力室と、前記圧力室と前記外側圧力室とを連通する媒体路とを備える。

本ロータリーアクチュエータによれば、媒体路を介して外側圧力室の油圧がピストンの外周面を内側に押す力となることによりピストンの外周面がハウジングの内周面に押される力が小さくなる。

また、外側圧力室がピストンの移動とともに移動するため、ピストンの移動範囲にかかわらず外側圧力室を形成することができる。このため、外側圧力室の形成場所の自由度が向上する。

（８）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ピストンとして前記出力軸と直交する方向である直交方向に互いに対向する第１のピストンおよび第２のピストンを備え、前記ストッパは、前記直交方向において前記第１のピストンおよび前記第２のピストンを連結する連結棒である。

本ロータリーアクチュエータによれば、連結棒が第１のピストンおよび第２のピストンに対して共通のストッパとなるため、複数のピストンを備える場合に各ピストンにストッパを備える構成と比較して、ロータリーアクチュエータの部品点数が少なくなる。

（９）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ピストンとして前記出力軸と直交する方向である直交方向に互いに対向する第１のピストンおよび第２のピストンを備え、前記ストッパは、前記第１のピストンと前記第２のピストンとを連結するリングである。

本ロータリーアクチュエータによれば、リングが第１のピストンおよび第２のピストンに対して共通のストッパとなるため、複数のピストンを備える場合に各ピストンにストッパを備える構成と比較して、ロータリーアクチュエータの部品点数が少なくなる。

（１０）本発明に従うロータリーアクチュエータの一形態は、出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、前記円弧領域を構成し、前記ピストンの外周面と接触する回転輪、および、前記ハウジングの内周面と前記回転輪との間に配置された転動体を備える転がり軸受を備える。

本ロータリーアクチュエータによれば、ピストンの移動とともに転がり軸受の回転輪がピストンの移動方向に回転するため、ピストンの外周面が回転輪に押し付けられたとしてもピストンが円滑に移動することができる。

（１１）上記ロータリーアクチュエータに従属する一形態によれば、前記ピストンの外側面の一部と、前記ピストンの外側面と対向する前記ハウジングの内周面との間には、隙間が形成されている。

本願発明者は、ハウジングの内周面に接触するピストンの外周面の接触面積を小さくしたところ、ピストンの外周面とハウジングの内周面との間の摩擦力が小さくなることを知見した。そこで、本ロータリーアクチュエータによれば、ピストンの外側面とハウジングの内周面との間に隙間を形成することにより、ハウジングの内周面に対するピストンの外周面の接触面積を小さくしている。これにより、ピストンがハウジングに対して円滑に移動することができる。

上記ロータリーアクチュエータによれば、シリンダに対してピストンが円滑に移動することができる。

実施の形態１のロータリーアクチュエータの縦断面図。 シリンダブロックの平面図。 ロータリーアクチュエータの一部の分解斜視図。 ロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 図４の５−５線の断面図。 ロータリーアクチュエータを備える駆動装置の構成図。 実施の形態２のロータリーアクチュエータの一部の分解斜視図。 ロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 実施の形態３のロータリーアクチュエータのピストンの分解斜視図。 ロータリーアクチュエータの内部構造を示す断面図。 実施の形態４のロータリーアクチュエータの内部構造を示す断面図。 実施の形態５のロータリーアクチュエータの内部構造を示す断面図。 変形例１のロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 変形例１の別のロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 変形例２のロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 変形例２の別のロータリーアクチュエータの内部構造を示す平面図。 変形例３のピストンとローラーとを示す断面図。 変形例３の別のピストンとローラーとシリンダブロックとを示す断面図。 変形例７のアーム対とピストンとの分解斜視図。

（実施の形態１）
図１〜図５を参照して、実施の形態１のロータリーアクチュエータ１の構成について説明する。

図１に示されるように、ロータリーアクチュエータ１は、圧力媒体の一例である作動油により出力軸４０を回動させて駆動トルクを出力する。なお、圧力媒体として、作動油以外に圧縮空気等の圧力流体が用いられてもよいし、金属材料、セラミックス材料、またはこれら複合物等を素材とした粉末粒子状の粉体が用いられてもよい。

ロータリーアクチュエータ１のケース１０は、両端部が開口した筒状のケース本体１１を備えている。ケース本体１１の両端部には、ケース本体１１の開口部分を閉塞する円盤状の閉塞体１２が固定されている。ケース１０において、ケース本体１１および２個の閉塞体１２により囲まれた内部空間には、ハウジングの一例であるシリンダ２０、および、出力軸４０が収容されている。出力軸４０の両端部は、一点鎖線により示されるロータリーアクチュエータ１の軸方向（以下、「軸方向」）において各閉塞体１２からケース１０の外側に向けて突出している。各閉塞体１２の外周部分には、ケース本体１１と閉塞体１２との間をシールする２個の外周シール１３が取り付けられ、各閉塞体１２の内周部分には、出力軸４０と閉塞体１２との間をシールする２個の内周シール１４が取り付けられている。これにより、ケース１０の内部空間が密閉されている。

シリンダ２０は、円筒状に形成された５個のシリンダブロック３０が軸方向に積層されることにより構成され、２個の閉塞体１２により軸方向に挟み込まれている。シリンダ２０には、作動油が供給される中空領域２１が形成されている。中空領域２１には、出力軸４０を回転させるための第１のピストンの一例であるピストン６０Ａと第２のピストンの一例であるピストン６０Ｂとを一組とした４組のピストン６０Ａ，６０Ｂと、出力軸４０とピストン６０Ａ，６０Ｂとを連結する４個のアームユニット５０とが収容されている。中空領域２１は、互いに連通した２つの領域である円弧領域２２および開口領域２３から構成されている。円弧領域２２は、軸方向において隣り合うシリンダブロック３０の間に形成され、開口領域２３は、軸方向において５個のシリンダブロック３０を貫通する空間として形成されている。

なお、アームユニット５０および一組のピストン６０Ａ，６０Ｂの個数は限定されない。また３個以上のピストンを一組のピストンとしてもよい。一組のピストン６０Ａ，６０Ｂに限られず、１個のピストンであってもよい。またシリンダブロック３０の個数は、アームユニット５０および一組のピストン６０Ａ，６０Ｂの個数に応じて変更可能である。

図２に示されるように、シリンダブロック３０は、円環状の外周壁３１を備えている。ロータリーアクチュエータ１において出力軸４０と直交する方向である径方向（以下、「径方向」）において対向した外周壁３１の２箇所には、円弧状の底壁３２が径方向の内側に向けて延びている。各底壁３２の内周部分には、外周壁３１と径方向に対向する円弧状の内周壁３４が形成されている。ロータリーアクチュエータ１の周方向（以下、「周方向」）において底壁３２の一方の端部には、有底円筒状の軸受支持部３２Ｂが形成され、底壁３２の他方の端部には、位置決め穴３２Ａが形成されている。軸受支持部３２Ｂは、軸方向においてシリンダブロック３０の底壁３２側の端部に形成されている。外周壁３１において底壁３２の周方向の一方の端部に対応する部分には、凹部３１Ａが形成されている。各底壁３２の周方向の端部には、各底壁３２を互いに連結する連結壁３３が接続されている。連結壁３３の径方向の寸法は、底壁３２の径方向の寸法よりも小さい。径方向において連結壁３３と外周壁３１との間には、シリンダブロック３０を軸方向に貫通する開口部３５が形成されている。連結壁３３の内側には、シリンダブロック３０を軸方向に貫通する挿入孔３６が形成されている。シリンダブロック３０は、外周壁３１、底壁３２、連結壁３３、および、内周壁３４が連続した単一部材として構成されている。

円弧領域２２は、内周壁３４と、外周壁３１において内周壁３４と対向する部分と、底壁３２とにより囲まれ、出力軸４０を中心とした円弧状かつ長孔状の空間として形成されている。すなわち、円弧領域２２は、シリンダ２０（図１参照）において径方向に対向した２箇所に形成されている。開口領域２３は、２つの内周壁３４の周方向の間の部分、および、２つの開口部３５により形成されている。なお、底壁３２が開口部３５の軸方向の一方を覆うように形成されることにより、開口領域２３が円弧領域２２と同様に軸方向において隣り合うシリンダブロック３０の間に形成されてもよい。

図３に示されるように、シリンダブロック３０の挿入孔３６には、出力軸４０が挿入される。出力軸４０には、アームユニット５０が出力軸４０に対する回転が不能な状態で取り付けられている。アームユニット５０は、アームの一例である一対のアーム対５１Ａ，５１Ｂと、各アーム対５１Ａ，５１Ｂを連結し、出力軸４０に固定されるリング状の連結部５３とを備えている。一対のアーム対５１Ａ，５１Ｂは、径方向において対向した位置に配置されている。各アーム対５１Ａ，５１Ｂは、軸方向に離間し、径方向に延びる扇状に形成された２個のアーム５２を備えている。なお、各アーム対５１Ａ，５１Ｂは、連結部５３が省略されて出力軸４０に直接固定される構成であってもよい。また出力軸４０と各アーム対５１Ａ，５１Ｂとが単一部材として形成されてもよい。

アーム対５１Ａの先端部分には、ピストン６０Ａが取り付けられ、アーム対５１Ｂの先端部分には、ピストン６０Ｂが取り付けられる。ピストン６０Ａは、円弧状のピストン本体６１と、ピストン本体６１の先端部分から周方向に延びるシール部分６２とを備えている。

ピストン６０Ａのシール部分６２は、端面６２Ａが円形となるように形成されている。シール部分６２には、円環状のパッキン６３が取り付けられている。パッキン６３の一例は、Ｏリングである。

ピストン本体６１の基端部分には、軸方向に貫通し、ボルト７０が通される連結孔６１Ｂが形成されている。ピストン本体６１の基端部分は、アーム対５１Ａの一対のアーム５２の間に挿入された状態において、ボルト７０およびナット７１によりアーム対５１Ａに対してピストン本体６１が回転可能に連結される。なお、ピストン本体６１は、円弧状以外の形状、例えばアーム５２に向かう直線状に形成されてもよい。

ピストン６０Ａのピストン本体６１の外周面（外側面）は、軸方向に沿った平坦面６１Ａを備えている。図４に示されるように、ピストン本体６１の平坦面６１Ａとシリンダブロック３０の外周壁３１との間には、隙間Ｇが形成されている。隙間Ｇは、開口領域２３と連通し、作動油が満たされている。なお、ピストン６０Ｂはピストン６０Ａと同一形状であり、ピストン６０Ｂとアーム対５１Ｂとの連結構造はピストン６０Ａとアーム対５１Ａとの連結構造と同様である。

図３に示されるように、ロータリーアクチュエータ１は、摩擦低減手段８０を備えている。摩擦低減手段８０は、ピストン６０Ａ，６０Ｂを径方向の外側から支持する円柱状のローラー８１と、ローラー８１をシリンダブロック３０に対して回転可能に支持する軸受の一例である２個の転がり軸受８２とを備えている。なお、軸受は、転がり軸受８２に限られず、すべり軸受、磁気軸受、空気軸受等であってもよい。

２個の転がり軸受８２は、ローラー８１の軸方向の両端部に取り付けられている。転がり軸受８２は、シリンダブロック３０の軸受支持部３２Ｂに取り付けられる。このため、転がり軸受８２は、ピストン本体６１の軸方向の両側に配置される。

図４に示されるように、ローラー８１は、外周壁３１の凹部３１Ａに通され、底壁３２の周方向の一方の端部に位置している。ローラー８１は、外周壁３１の内周面３１Ｃよりも内側に突出している。図５に示されるように、ローラー８１の軸方向の寸法は、ピストン本体６１の軸方向の寸法よりも大きい。ローラー８１は、ピストン本体６１の平坦面６１Ａに線接触している。またローラー８１とピストン６０Ｂとの関係は、ローラー８１とピストン６０Ａとの関係と同様である。なお、摩擦低減手段８０として、複数のローラー８１がピストン６０Ａを支持してもよいし、複数のローラー８１がピストン６０Ｂを支持してもよい。

図３に示されるように、シリンダブロック３０の各底壁３２の位置決め穴３２Ａには、円柱状の区画ピストン２４Ａ，２４Ｂが取り付けられる。区画ピストン２４Ａ，２４Ｂの先端部分には、円環状のパッキン２５が取り付けられている。パッキン２５の一例は、Ｏリングである。区画ピストン２４Ａ，２４Ｂの中央部分には、軸方向に延びるピン２７が取り付けられている。ピン２７は、区画ピストン２４Ａ，２４Ｂから軸方向に突出している。ピン２７は、位置決め穴３２Ａに例えば圧入されている。図４に示されるように、区画ピストン２４Ａ，２４Ｂの基端部分には、底壁３２の周方向の他方の端面に平行となる切欠部２６が形成されている。なお、区画ピストン２４Ａ，２４Ｂに代えて、シリンダブロック３０に区画ピストン２４Ａ，２４Ｂに相当する区画壁を形成してもよい。

図４に示されるように、円弧領域２２において区画ピストン２４Ａとピストン６０Ａのシール部分６２との周方向の間の領域により圧力室の一例である第１油圧室３７Ａが構成されている。円弧領域２２において区画ピストン２４Ｂとピストン６０Ｂのシール部分６２の周方向の間の領域により圧力室の一例である第１油圧室３７Ｂが構成されている。また開口領域２３と、円弧領域２２においてピストン６０Ａのシール部分６２により区画された領域、および、円弧領域２２においてピストン６０Ｂのシール部分６２により区画された領域とにより第２油圧室３８が構成されている。第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの作動油は、シリンダブロック３０の外周壁３１において第１油圧室３７Ａ，３７Ｂに面した部分に形成された給排孔３１Ｂにより給排される。第２油圧室３８の作動油は、閉塞体１２において第２油圧室３８に面した部分に形成された給排孔１２Ａにより給排される。

次に、図６を参照して、ロータリーアクチュエータ１を備える駆動装置９０の構成について説明する。
駆動装置９０は、ロータリーアクチュエータ１に作動油を供給する油圧源９１、および、ロータリーアクチュエータ１内の作動油が排出されるリザーバー９２を備えている。油圧源９１およびリザーバー９２とロータリーアクチュエータ１との間には、ロータリーアクチュエータ１の作動油の給排態様を切り替える制御バルブ９３が設けられている。制御バルブ９３および油圧源９１の動作は、例えばマイクロコンピュータを備える制御部９４により制御される。油圧源９１、リザーバー９２、制御バルブ９３、および、ロータリーアクチュエータ１は、油路により接続されている。

制御バルブ９３は、例えばソレノイドバルブであり、油圧源９１、リザーバー９２、および、ロータリーアクチュエータ１に接続されている。制御バルブ９３は、第１連通位置９３Ｘ、第２連通位置９３Ｙ、および、遮断位置９３Ｚに切り替え可能である。第１連通位置９３Ｘは、油圧源９１から第１油圧室３７Ａ，３７Ｂに作動油を供給し、第２油圧室３８から作動油を排出するバルブ位置である。第２連通位置９３Ｙは、油圧源９１から第２油圧室３８に作動油を供給し、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂから作動油を排出するバルブ位置である。遮断位置９３Ｚは、油圧源９１からロータリーアクチュエータ１への作動油の供給、および、ロータリーアクチュエータ１からリザーバー９２への作動油の排出を遮断するバルブ位置である。

駆動装置９０により駆動されるロータリーアクチュエータ１の動作について説明する。
制御部９４は、出力軸４０を正転させるとき、制御バルブ９３が第１連通位置９３Ｘとなるようにバルブを制御する。これにより、油圧源９１の作動油が第１油圧室３７Ａ，３７Ｂに供給され、第２油圧室３８の作動油が排出されるため、ピストン６０Ａ，６０Ｂが正転方向（図６では時計回り）に公転する。これにより、出力軸４０が正転する。

制御部９４は、出力軸４０を逆転させるとき、制御バルブ９３が第２連通位置９３Ｙとなるようにバルブを制御する。これにより、油圧源９１の作動油が第２油圧室３８に供給され、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの作動油が排出されるため、ピストン６０Ａ，６０Ｂが逆転方向（図６では反時計回り）に公転する。これにより、出力軸４０が逆転する。

また制御部９４は、出力軸４０の回動を停止させるとき、制御バルブ９３が遮断位置９３Ｚとなるようにバルブを制御する。これにより、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂおよび第２油圧室３８の作動油の給排が停止されるため、ピストン６０Ａ，６０Ｂが公転しない。これにより、出力軸４０の回動が停止する。

本実施形態によれば、以下の作用および効果を奏する。
（１）例えば第１油圧室３７Ａ，３７Ｂに作動油が供給されたとき、ピストン６０Ａ，６０Ｂのシール部分６２の端面６２Ａに加えられる油圧によりボルト７０を中心としてシール部分６２が径方向の外側に回転しようとする。その結果、シール部分６２の外周面６２Ｂがシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられた状態で正転方向に公転する。

一方、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１は、摩擦低減手段８０であるローラー８１により支持される。これにより、ピストン６０Ａ，６０Ｂの正転方向への公転にともないローラー８１が回転する。このように、ピストン６０Ａ，６０Ｂが正転方向に公転するとき、シール部分６２はすべり摩擦である一方、ピストン本体６１は転がり摩擦となる。このため、シール部分６２およびピストン本体６１と外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦がすべり摩擦であると仮定した場合と比較して、ピストン本体６１と外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦力が小さくなる。

また、ローラー８１が外周壁３１の内周面３１Ｃよりも内側でピストン本体６１を支持することにより、シール部分６２の外周面６２Ｂが外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられる力が小さくなる。このため、シール部分６２の外周面６２Ｂと外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦力が小さくなる。このように、ピストン６０Ａ，６０Ｂのシール部分６２の外周面６２Ｂと外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦力が小さくなることにより、ピストン６０Ａ，６０Ｂが円滑に移動するため、ロータリーアクチュエータ１の出力効率の低下を抑制することができる。

（２）摩擦低減手段８０は、シリンダブロック３０に対するローラー８１の回転が可能な状態で支持する転がり軸受８２を備えている。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂの公転に対してローラー８１が転がりやすくなるため、ピストン６０Ａ，６０Ｂとローラー８１との転がり摩擦力が小さくなる。

（３）ローラー８１は、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１の平坦面６１Ａに線接触している。このため、ローラー８１がピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１の外周面に点接触すると仮定した構成と比較して、ローラー８１が変形しにくい。したがって、ピストン６０Ａ，６０Ｂに対してローラー８１が転がりやすくなる。

（４）本願発明者は、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１をシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃに非接触としたところ、ピストン６０Ａ，６０Ｂと外周壁３１との間の摩擦力が小さくなることを知見した。その理由として、ピストン６０Ａ，６０Ｂが公転するときにピストン本体６１が外周壁３１の内周面３１Ｃと接触すると仮定した構成の場合、ピストン６０Ａ，６０Ｂが第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの油圧を受けたとき、ピストン本体６１が径方向の外側に変形してピストン本体６１が外周壁３１の内周面３１Ｃを押し付ける。このため、ピストン本体６１と外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦力が大きくなる場合がある。しかし、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１と外周壁３１の内周面３１Ｃとが非接触の場合、ピストン本体６１の変形にともない外周壁３１の内周面３１Ｃをピストン本体６１が押すことが回避される。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂと外周壁３１の内周面３１Ｃとの間の摩擦力が小さくなると考えられる。

そこで、本実施形態では、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１と外周壁３１の内周面３１Ｃとの間にピストン本体６１が径方向の外側に変形しても外周壁３１の内周面３１Ｃとは接触しない隙間Ｇを形成することにより、外周壁３１の内周面３１Ｃに接触するピストン６０Ａ，６０Ｂの接触面積を小さくしている。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂが円滑に移動することができる。

（５）シリンダブロック３０の軸受支持部３２Ｂがシリンダブロック３０における軸方向の端部に形成されている。このため、ローラー８１を支持する２個の転がり軸受８２の軸方向の間の距離を大きくすることができる。したがって、シリンダブロック３０の加工誤差およびシリンダ２０の組立誤差に起因する２個の軸受支持部３２Ｂの間の位置ずれに対するローラー８１の傾きが小さくなる。これにより、ローラー８１がピストン６０Ａ，６０Ｂを押す力が大きくなることが抑制されるため、ローラー８１とピストン６０Ａ，６０Ｂの平坦面６１Ａとの間の摩擦力が大きくなることが抑制される。

（実施の形態２）
図７および図８を参照して、実施の形態２のロータリーアクチュエータ１の構成について説明する。なお、実施の形態２のロータリーアクチュエータ１において実施の形態１のロータリーアクチュエータ１の構成と共通する構成要素には、共通の符号を用い、その説明の一部または全部を省略する。

図７に示されるように、出力軸４０に対して回転不能な状態で出力軸４０に取り付けられたアームユニット１００は、出力軸４０に対して点対称となるように配置された一対のアーム１０１Ａ，１０１Ｂと、一対のアーム１０１Ａ，１０１Ｂを連結し、出力軸４０に固定される連結部１０６とを備えている。アーム１０１Ａは、径方向に延びる第１アーム１０２と、第１アーム１０２の径方向の外側から周方向に延びる第２アーム１０３とを備えている。第２アーム１０３には、第２アーム１０３を軸方向に貫通する第１挿入孔１０４および第２挿入孔１０５が周方向に離間するように形成されている。各挿入孔１０４，１０５には、ザグリ部１０４Ａ，１０５Ａが形成されている。なお、アーム１０１Ｂは、アーム１０１Ａと同形状である。

ピストン１１０Ａは、円弧状のピストン本体１１１と、ピストン本体１１１の先端部分から周方向に延びるシール部分１１５とを備えている。シール部分１１５は、その端面が円形となるように形成されている。シール部分１１５には、円環状のパッキン１１６が取り付けられている。パッキン１１６の一例は、Ｏリングである。ピストン本体１１１は、軸方向において第２アーム１０３と重なる。ピストン本体１１１において第２アーム１０３と重なる部分は、軸方向に切り欠かれた切欠部１１２が形成されている。切欠部１１２において第１挿入孔１０４および第２挿入孔１０５と対向する部分には、第１固定孔１１３および第２固定孔１１４が形成されている。なお、ピストン１１０Ｂは、ピストン１１０Ａと同形状である。

アーム１０１Ａおよびピストン１１０Ａは、第１ボルト１２１が第１挿入孔１０４に挿入され、第１固定孔１１３にねじ込まれ、第２ボルト１２２が第２挿入孔１０５に挿入され、第２固定孔１１４にねじ込まれることにより互いに固定される。第１ボルト１２１のボルト頭はザグリ部１０４Ａに収容され、第２ボルト１２２のボルト頭はザグリ部１０５Ａに収容されている（図８参照）。アーム１０１Ｂおよびピストン１１０Ｂは、アーム１０１Ａおよびピストン１１０Ａの固定構造と同様に固定される。

なお、第１挿入孔１０４、第１固定孔１１３、および、第１ボルト１２１は第１の連結部およびストッパを構成し、第２挿入孔１０５、第２固定孔１１４、および、第２ボルト１２２は第２の連結部およびストッパを構成する。

また、アーム１０１Ａとピストン１１０Ａとの連結部は３箇所以上であってもよいし、アーム１０１Ｂとピストン１１０Ｂとの連結部は３箇所以上であってもよい。また、アーム１０１Ａとピストン１１０Ａとが単一部材から構成されてもよいし、アーム１０１Ｂとピストン１１０Ｂとが単一部材から構成されてもよい。アーム１０１Ａとピストン１１０Ａとが単一部材およびアーム１０１Ｂとピストン１１０Ｂとが単一部材の場合、各挿入孔１０４，１０５、各固定孔１１３，１１４、および、各ボルト１２１，１２２が省略される。

本実施形態によれば、以下の作用および効果を奏する。
図８に示されるように、アーム１０１Ａ，１０１Ｂおよびピストン１１０Ａ，１１０Ｂが第１ボルト１２１および第２ボルト１２２により互いに固定されている。このため、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂのシール部分１１５の端面が第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの油圧により径方向の外側に移動しようとしてもピストン１１０Ａ，１１０Ｂのシール部分１１５の径方向の外側への移動が制限される。したがって、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂのシール部分１１５の外周面１１５Ａが外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられる力が小さくなるため、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂと外周壁３１との間の摩擦力が小さくなる。したがって、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂが円滑に移動するため、ロータリーアクチュエータ１の出力効率の低下を抑制することができる。

また、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂのシール部分１１５の径方向の外側の移動を制限するストッパとして、出力軸４０とピストン１１０Ａ，１１０Ｂとを連結する連結棒を追加した構成と比較して、ロータリーアクチュエータ１の構成が簡単になる。

（実施の形態３）
図９および図１０を参照して、実施の形態３のロータリーアクチュエータ１の構成について説明する。なお、実施の形態３のロータリーアクチュエータ１において実施の形態１のロータリーアクチュエータ１の構成と共通する構成要素には、共通の符号を用い、その説明の一部または全部を省略する。

図９に示されるように、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１においてシール部分６２と周方向に隣り合う部分の外周部分には、周方向が長手となり、軸方向が短手となる環状溝６４が形成されている。この環状溝６４には、パッキン６５が取り付けられる。パッキン６５の一例は、Ｏリングである。

ピストン６０Ａ，６０Ｂには、シール部分６２の端面６２Ａと、ピストン本体６１の外周面のうちの環状溝６４に囲まれた部分とを連通する媒体路およびストッパの一例である導入油路６６が形成されている。導入油路６６は、端面６２Ａに直交する方向に延びる直線状の第１油路６６Ａと、第１油路６６Ａから径方向に延びる第２油路６６Ｂとから構成される。第１油路６６Ａの通路断面積は、第２油路６６Ｂの通路断面積よりも大きい。

図１０に示されるように、ピストン本体６１においてパッキン６５で囲まれた部分と、この部分と対向するシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃとの間には外側圧力室およびストッパの一例である外側油圧室３９が形成される。外側油圧室３９は、導入油路６６を介して第１油圧室３７Ａ，３７Ｂと連通する。このため、外側油圧室３９には、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの油圧が供給される。

なお、外側油圧室３９は、上記実施の形態４の外側油圧室３９よりもピストン本体６１のシール部分６２から離れる側の部分に形成されてもよい。また、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂと外側油圧室３９とを連通する導入油路は、ピストン６０Ａ，６０Ｂに限られず、シリンダブロック３０の外周壁３１に形成されてもよい。この場合、外側油圧室３９は、ピストン６０Ａ，６０Ｂが公転しても導入油路と外側油圧室３９とが連通した状態が維持されるように外周壁３１に形成される。

本実施形態によれば、以下の作用および効果を奏する。
（１）ピストン６０Ａ，６０Ｂとシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃとの間には、導入油路６６により第１油圧室３７Ａ，３７Ｂと連通した外側油圧室３９が形成されている。これにより、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの油圧が外側油圧室３９に供給されるため、図１０に示されるように、外側油圧室３９の油圧がピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１を径方向の内側に押す。このため、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂがピストン６０Ａ，６０Ｂのシール部分６２の端面６２Ａを押すことによりシール部分６２の外周面６２Ｂが外周壁３１の内周面３１Ｃに押される力が小さくなる。したがって、ピストン６０Ａ，６０Ｂが円滑に移動するため、ロータリーアクチュエータ１の出力効率の低下が抑制される。

（２）ピストン本体６１の環状溝６４に取り付けられたパッキン６５により外側油圧室３９が形成されている。これにより、ピストン６０Ａ，６０Ｂの移動にともない外側油圧室３９がピストン６０Ａ，６０Ｂと一体的に移動する。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂの移動範囲にかかわらず外側油圧室３９を形成することができる。

（３）外側油圧室３９がピストン本体６１においてシール部分６２に隣り合う部分に形成されている。これにより、外側油圧室３９によりシール部分６２の外周面６２Ｂが外周壁３１の内周面３１Ｃに押される力をより直接的に支持することができる。したがって、シール部分６２の外周面６２Ｂが外周壁３１の内周面３１Ｃに押される力がより小さくなる。

（実施の形態４）
図１１を参照して、実施の形態４のロータリーアクチュエータ１の構成について説明する。なお、実施の形態４のロータリーアクチュエータ１において実施の形態１のロータリーアクチュエータ１の構成と共通する構成要素には、共通の符号を用い、その説明の一部または全部を省略する。

出力軸４０には、径方向に貫通する貫通孔４１が形成されている。貫通孔４１には、摩擦低減手段を構成するストッパの一例である連結棒１３０が挿入されている。連結棒１３０は、出力軸４０の径方向の外側に突出し、ピストン６０Ａ，６０Ｂの内側面のそれぞれに連結されている。すなわち連結棒１３０は、ピストン６０Ａおよびピストン６０Ｂを互いに連結している。連結棒１３０は、出力軸４０の中心軸を通り、ピストン６０Ａ，６０Ｂにおいてボルト７０とは周方向に異なる部分に対してピストン６０Ａ，６０Ｂに対する連結棒１３０の回転が不能な状態で連結されている。実施の形態４では、ピストン６０Ａ，６０Ｂのように複数のピストンが必要である。

なお、連結棒１３０は、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１から軸方向に突出する突起（図示略）に回転可能に連結されることにより、ピストン６０Ａ，６０Ｂに対して回転可能に連結されてもよい。

本実施形態によれば、以下の作用および効果を奏する。
（１）ピストン６０Ａ，６０Ｂが互いに径方向の外側に移動しようとするため、ピストン６０Ａ，６０Ｂの径方向の間の距離が大きくなるような移動となる。一方、連結棒１３０によりピストン６０Ａ，６０Ｂが径方向に連結されるため、ピストン６０Ａ，６０Ｂの径方向の間の距離が大きくなることが制限される。また、ピストン６０Ａ，６０Ｂが径方向において互いに反対方向に移動しようとする一方、連結棒１３０の長さが変化しないため、ピストン６０Ａが径方向の外側に移動しようとする力と、ピストン６０Ｂが径方向の外側に移動しようとする力とが打ち消し合う。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂのシール部分６２の外周面６２Ｂが外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられる力が小さくなることにより、シール部分６２と外周壁３１との間の摩擦力が小さくなる。したがって、ピストン６０Ａ，６０Ｂが円滑に移動するため、ロータリーアクチュエータ１の出力効率の低下を抑制することができる。

（２）連結棒１３０は、ピストン６０Ａ，６０Ｂを互いに連結している。このため、連結棒１３０は、ピストン６０Ａ，６０Ｂに対して共通のストッパとなる。したがって、ピストン６０Ａ，６０Ｂのそれぞれにストッパを備えると仮定した構成と比較して、ロータリーアクチュエータ１の部品点数が少なくなる。

（実施の形態５）
図１２を参照して、実施の形態５のロータリーアクチュエータ１の構成について説明する。なお、実施の形態５のロータリーアクチュエータ１において実施の形態１のロータリーアクチュエータ１の構成と共通する構成要素には、共通の符号を用い、その説明の一部または全部を省略する。

シリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃには、転がり軸受１４０が取り付けられている。転がり軸受１４０は、外周壁３１の内周面３１Ｃに取り付けられた外輪１４１と、外輪１４１から径方向の内側に間隔を置いて配置された回転輪の一例である内輪１４２と、外輪１４１と内輪１４２との間に配置された複数の転動体１４３とを備えている。内輪１４２の内周面には、ピストン６０Ａ，６０Ｂのシール部分６２のパッキン６３が接触している。転動体１４３の一例は、ボールである。

円弧領域２２は、実施の形態１の内周壁３４と、外周壁３１において内周壁３４と対向する部分と、底壁３２とにより囲まれた空間に代えて、内輪１４２において内周壁３４と対向する部分と、内周壁３４と、底壁３２とにより囲まれた空間として形成されている。

なお、転動体１４３は、ボール以外に円筒ころ、針状ころ等のころであってもよい。また、転がり軸受１４０から外輪１４１を省略し、外周壁３１を外輪とした構成であってもよい。

本実施形態によれば、以下の作用および効果を奏する。
ロータリーアクチュエータ１は、ピストン６０Ａ，６０Ｂと接触する転がり軸受１４０を備えている。このため、ピストン６０Ａ，６０Ｂが公転するとき、シール部分６２と接触した転がり軸受１４０の内輪１４２がピストン６０Ａ，６０Ｂと一体に回転する。したがって、ピストン６０Ａ，６０Ｂが円滑に公転するため、ロータリーアクチュエータ１の出力効率の低下を抑制することができる。

（変形例）
実施の形態１〜５に関する説明は、本発明に従うロータリーアクチュエータが取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本発明に従うロータリーアクチュエータは、実施の形態１〜５以外に例えば以下に示される実施の形態１〜５の変形例、および、相互に矛盾しない少なくとも２つの変形例が組み合わせられた形態を取り得る。また実施の形態１〜５は、相互に矛盾しない少なくとも２つの実施の形態が組み合わせられた形態を取り得る。

（変形例１）
ピストン６０Ａ，６０Ｂ，１１０Ａ，１１０Ｂのシール部分６２，１１５の外周面６２Ｂ，１１５Ａがシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられる力を抑制するストッパとして、上記実施の形態２〜４の構成以外に図１３または図１４に示されるような構成としてもよい。

図１３に示されるように、ロータリーアクチュエータ１は、ストッパとして、ピストン６０Ａ，６０Ｂを周方向に連結するリング１５０を備える。リング１５０は、出力軸４０の中心軸と同軸に配置され、各ピストン６０Ａ，６０Ｂと一体的に回転する。各区画ピストン２４Ａ，２４Ｂには、リング１５０が挿入されるための挿入孔２４Ｃが形成される。リング１５０には、区画ピストン２４Ａ，２４Ｂのピン２７が挿入され、ピン２７に対してリング１５０が移動可能とするための円弧状の長孔１５１が形成されている。リング１５０は、区画ピストン２４Ａ，２４Ｂに対して周方向に移動可能である。この構成によれば、実施の形態４の（１）および（２）の効果に準じた効果を奏することができる。

図１４に示されるように、ロータリーアクチュエータ１は、ストッパとして、出力軸４０とピストン６０Ａとを連結する連結棒１６０Ａと、出力軸４０とピストン６０Ｂとを連結する連結棒１６０Ｂとを備える。連結棒１６０Ａ，１６０Ｂは、ボルト７０およびナット７１（図３参照）による各アーム対５１Ａ，５１Ｂとピストン６０Ａ，６０Ｂとの連結部よりもシール部分６２側においてピストン６０Ａ，６０Ｂに連結される。

（変形例２）
摩擦力低減手段は、上記実施の形態１のローラー８１に代えて、図１５または図１６に示されるようなボール１７０をピストン６０Ａ，６０Ｂと外周壁３１との間に配置した構成であってもよい。

図１５に示される摩擦力低減手段によれば、ボール１７０がシリンダブロック３０の外周壁３１に回転可能な状態かつ一部が外周壁３１の内周面３１Ｃよりも内側に位置した状態で埋められる。ピストン６０Ａのピストン本体６１の平坦面６１Ａは、ボール１７０に接触する。なお、図１５では図示しないが、ピストン６０Ｂのピストン本体６１の平坦面６１Ａもボール１７０に接触する。

図１６に示される摩擦力低減手段によれば、ボール１７０がピストン６０Ａのピストン本体６１の外周部分に回転可能な状態かつ一部がピストン本体６１の外周面よりも外側に位置した状態で埋められる。外周壁３１の内周面３１Ｃは、ボール１７０に接触する。なお、図１６では図示しないが、ピストン６０Ｂのピストン本体６１にもボール１７０が埋められる。

（変形例３）
上記実施の形態１のローラー８１によるピストン６０Ａ，６０Ｂの支持構造を図１７または図１８に示されるような構成に変更してもよい。

図１７に示されるように、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１の外周面において軸方向に離間した２箇所に平坦面６１Ａが形成される。各平坦面６１Ａには、円柱状のローラー１８０が回転可能に線接触している。なお、各平坦面６１Ａに対して複数のローラー１８０が回転可能に線接触していてもよい。

図１８に示されるように、ピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１の外周面に平坦面６１Ａが形成されず、湾曲面６１Ｃが形成される。湾曲面６１Ｃには、軸方向に延びる鼓状のローラー１９０が回転可能に線接触している。ローラー１９０の両端部は、転がり軸受８２によりシリンダブロック３０に対して回転可能に支持される。

（変形例４）
上記実施の形態１のローラー８１は、ピストン６０Ａ，６０Ｂの径方向の外側に限られず、ピストン６０Ａ，６０Ｂの径方向の中央部分に配置されてもよい。具体的には、ピストン６０Ａ，６０Ｂの径方向の中央部分には、円弧状であり、ピストン６０Ａ，６０Ｂを軸方向に貫通する貫通孔が形成される。この貫通孔には、ローラー８１が挿入される。そして、ピストン６０Ａ，６０Ｂが公転するとき、貫通孔の内周面がローラー８１と接触してローラー８１がピストン６０Ａ，６０Ｂに対して転がる。これにより、上記実施の形態１の（１）の効果と同様の効果を奏することができる。

（変形例５）
上記実施の形態１のピストン６０Ａ，６０Ｂのピストン本体６１から平坦面６１Ａを省略してもよい。この場合、ピストン本体６１は、シール部分６２と同様の形状に形成される。またローラー８１は、ピストン本体６１と点接触する。またピストン本体６１から平坦面６１Ａを省略した場合、ピストン本体６１の外周面と外周壁３１の内周面３１Ｃとが接触するようにピストン本体６１を形成してもよい。

（変形例６）
上記実施の形態２のピストン１１０Ａ，１１０Ｂとアーム１０１Ａ，１０１Ｂとの連結構造は、第１ボルト１２１および第２ボルト１２２が第１固定孔１１３および第２固定孔１１４へのねじ込みによる固定に限られない。

例えば、第１固定孔１１３および第２固定孔１１４の少なくとも一方を第１ボルト１２１および第２ボルト１２２が挿入可能な挿入孔とし、第１ボルト１２１および第２ボルト１２２のうちの挿入孔に挿入されたボルトにナットを取り付ける構成であってもよい。この場合、挿入孔と、第１ボルト１２１および第２ボルト１２２のうちの挿入孔に挿入されたボルトとの間の隙間が「０」または微小であり、挿入孔およびボルトは、シール部分６２の外周面６２Ｂがシリンダブロック３０の外周壁３１の内周面３１Ｃに押し付けられる力が小さくなるストッパの構成となる。

また例えば、第１ボルト１２１および第２ボルト１２２のうちの一方を省略し、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂおよびアーム１０１Ａ，１０１Ｂのうちの一方に凸部を設け、他方に凹部を設ける構成であってもよい。この場合、凸部および凹部は、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂとアーム１０１Ａ，１０１Ｂとの連結部およびストッパとなる。

また例えば、アーム１０１Ａ，１０１Ｂが軸方向に延び、かつピストン１１０Ａ，１１０Ｂと周方向に対向する構成であり、ピストン１１０Ａ，１１０Ｂから切欠部１１２を省略した構成であって、アーム１０１Ａ，１０１Ｂとピストン１１０Ａ，１１０Ｂとが周方向において固定される構成であってもよい。アーム１０１Ａ，１０１Ｂとピストン１１０Ａ，１１０Ｂとの周方向の固定構造として、例えば、アーム１０１Ａ，１０１Ｂおよびピストン１１０Ａ，１１０Ｂの一方の周方向の端部に突起が形成され、アーム１０１Ａ，１０１Ｂおよびピストン１１０Ａ，１１０Ｂの他方の周方向の端部に突起が圧入される圧入孔が形成される。

（変形例７）
上記実施の形態１，３〜５のロータリーアクチュエータ１は、アーム対５１Ａ，５１Ｂの２つのアーム５２の間にピストン６０Ａ，６０Ｂが配置された状態でボルト７０およびナット７１により連結する構造であるが、アーム対５１Ａ，５１Ｂとピストン６０Ａ，６０Ｂとの連結構造はこれに限られない。例えば、ボルト７０およびナット７１に代えて、図１９に示されるように、ピストン６０Ａのピストン本体６１の軸方向の両側には、アーム対５１Ａの各アーム５２と嵌合する嵌合凹部６７が形成される。この構成によれば、アーム対５１Ａに対するピストン６０Ａの径方向の外側への回転が規制される。なお、ピストン６０Ｂについても嵌合凹部６７が形成されてもよい。この場合、ピストン６０Ｂとアーム対５１Ｂとの連結構造は、ピストン６０Ａとアーム対５１Ａとの連結構造と同様である。また上記実施の形態２のピストン１１０Ａ，１１０Ｂについても同様に変更してもよい。

（変形例８）
上記実施の形態３および４のロータリーアクチュエータ１は、第１油圧室３７Ａ，３７Ｂの油圧によりピストン６０Ａ，６０Ｂが押されたとき、ピストン６０Ａ，６０Ｂ，１１０Ａ，１１０Ｂのピストン本体６１，１１１が外周壁３１の内周面３１Ｃと接触するが、これに限られない。上記実施の形態３および４のロータリーアクチュエータ１は、上記実施の形態１のように、ピストン本体６１，１１１と外周壁３１の内周面３１Ｃとの間に隙間Ｇを形成することにより、ピストン６０Ａ，６０Ｂ，１１０Ａ，１１０Ｂのピストン本体６１，１１１が外周壁３１の内周面３１Ｃと接触しないようにしてもよい。

１ ：ロータリーアクチュエータ
２０ ：シリンダ（ハウジング）
２２ ：円弧領域
３１ ：外周壁
３１Ｃ ：内周面
３７Ａ ：第１油圧室（圧力室）
３７Ｂ ：第１油圧室（圧力室）
３９ ：外側油圧室（摩擦低減手段、ストッパ、外側圧力室）
４０ ：出力軸
５１Ａ ：アーム対
５１Ｂ ：アーム対
５２ ：アーム
６０Ａ ：ピストン（第１のピストン）
６０Ｂ ：ピストン（第２のピストン）
６１ ：ピストン本体
６１Ａ ：平坦面
６２Ａ ：端面
６２Ｂ ：外周面
６６ ：導入油路（摩擦低減手段、ストッパ、媒体路）
８０ ：摩擦低減手段
８１ ：ローラー
８２ ：転がり軸受（軸受）
１００ ：アームユニット
１０１Ａ：アーム
１０１Ｂ：アーム
１０４ ：第１挿入孔（第１連結部）
１０５ ：第２挿入孔（第２連結部）
１１０Ａ：ピストン
１１０Ｂ：ピストン
１１１ ：ストン本体
１１３ ：１固定孔（第１連結部）
１１４ ：２固定孔（第２連結部）
１１５ ：シール部分
１１５Ａ：外周面
１２１ ：第１ボルト（第１連結部）
１２２ ：第２ボルト（第２連結部）
１３０ ：連結棒（摩擦低減手段、ストッパ）
１４０ ：転がり軸受
１４３ ：転動体
１５０ ：リング（摩擦低減手段、ストッパ）
１６０Ａ：連結棒
１６０Ｂ：連結棒
１８０ ：ローラー
１９０ ：ローラー
Ｇ ：隙間

Claims (9)

1. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段を備え、前記摩擦低減手段は、前記ピストンの外周面と接触して前記ピストンの移動にともない転がるローラーであり、
   前記ピストンは、前記ピストンの先端部分に設けられるシール部分と、前記ピストンの先端部分と反対側に設けられる基端部分とを有し、
   前記ローラーは、前記円弧領域において前記ピストンの基端部分に近い側の端部に配置され、
   前記シール部分と前記ローラーとによって、前記ピストンの外側面の一部と、前記ピストンの外側面と対向する前記ハウジングの内周面との間には、隙間が形成されている
   ロータリーアクチュエータ。
2. 前記ローラーは、軸受により支持される
   請求項１に記載のロータリーアクチュエータ。
3. 前記ピストンの外周面は、平坦面を有し、
   前記ローラーは、前記平坦面に線接触する
   請求項１または２に記載のロータリーアクチュエータ。
4. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段であって前記ピストンが前記ハウジングの内周面に押される力を抑えるストッパを備え、
   前記ピストンと、前記出力軸および前記ピストンを連結するアームとは、前記出力軸を中心とする周方向に互いに離れた第１の連結部と第２の連結部とにより、前記出力軸の軸方向に連結され、
   前記第１の連結部および前記第２の連結部の少なくとも一方が前記ストッパを構成する
   ロータリーアクチュエータ。
5. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段であって前記ピストンが前記ハウジングの内周面に押される力を抑えるストッパを備え、
   前記ピストンの外周面と前記ハウジングの内周面との間には、前記ピストンと前記円弧領域とにより形成された圧力室と連通しており前記ハウジングの内周面および封止部材によって囲まれた外側圧力室が形成され、
   前記ストッパは、前記外側圧力室と、前記圧力室と前記外側圧力室とを連通する媒体路とを備える
   ロータリーアクチュエータ。
6. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記ピストンとして前記出力軸と直交する方向である直交方向に互いに対向する第１のピストンおよび第２のピストンを備え、前記第１のピストンおよび前記第２のピストンそれぞれは、アームを介して前記出力軸に連結され、
   前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段であって前記ピストンが前記ハウジングの内周面に押される力を抑えるストッパを備え、前記ストッパは、前記直交方向において前記第１のピストンおよび前記第２のピストンを連結する連結棒である
   ロータリーアクチュエータ。
7. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記ピストンとして前記出力軸と直交する方向である直交方向に互いに対向する第１のピストンおよび第２のピストンを備え、前記第１のピストンおよび前記第２のピストンそれぞれは、アームを介して前記出力軸に連結され、
   前記ピストンの外周面と前記円弧領域を構成する前記ハウジングの内周面との間の摩擦力を低減する摩擦低減手段であって前記ピストンが前記ハウジングの内周面に押される力を抑えるストッパを備え、前記ストッパは、前記第１のピストンと前記第２のピストンとを連結するリングである
   ロータリーアクチュエータ。
8. 出力軸に連結され、前記出力軸を中心にハウジング内に円弧状に形成された円弧領域内を圧力媒体の作用により移動するピストンを備えたロータリーアクチュエータであって、
   前記円弧領域を構成するものであって前記出力軸と同軸で回転可能であり前記ピストンの外周面と接触する回転輪、および、前記ハウジングの内周面と前記回転輪との間に配置された転動体を備える、転がり軸受を備える
   ロータリーアクチュエータ。
9. 前記ピストンの外側面の一部と、前記ピストンの外側面と対向する前記ハウジングの内周面との間には、隙間が形成されている
   請求項４〜８のいずれか一項に記載のロータリーアクチュエータ。