JP6494716B2 - 回路基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
102…第1の表面
104…第2の表面
200…第1の導電ブロック
202、302 …開口密集領域
204、304 …開口過疎領域
210…第1の絶縁層
220…第1の開口
222…第2の開口
230…第1のシード層
240…パターン化された第1のドライフィルム
250…第1の導電層
260…第1の冶具
270…第1のドライフィルム層
280、380…導電部材
281、291…第1の導電部材
282、292…第2の導電部材
300…第2の導電ブロック
310…第2の絶縁層
320…第3の開口
322…第4の開口
330…第2のシード層
340…パターン化された第2のドライフィルム
350…第2の導電層
360…第2の冶具
370…第2のドライフィルム層
381、391…第3の導電部材
382、392…第4の導電部材
A…チップ実装領域
B…非チップ実装領域
H、H1、H2、H3、H’、H’1、H’2、H’3…差の値
Claims (17)
- 対向する第1の表面および第2の表面を有する基板と、
前記基板の前記第1の表面上に間隔をあけて配列している、開口密集領域の第1の導電ブロックおよび開口過疎領域の第1の導電ブロックを含む複数の第1の導電ブロックと、
前記基板の前記第1の表面上に設けられ、かつ複数の第1の開口およびこれら第1の開口から構成される前記開口密集領域、ならびに複数の第2の開口およびこれら第2の開口から構成される前記開口過疎領域を有する第1の絶縁層であって、前記複数の第1の開口が前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させ、前記複数の第2の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させる、第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に間隔をあけて配列しており、前記複数の第1の開口に対応して充填されて前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第1の導電部材、および前記複数の第2の開口に対応して充填されて前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第2の導電部材を含み、前記複数の第2の導電部材の前記複数の第1の導電部材と隣接する部分の上表面が垂直な接合面を有する、複数の導電部材と、
を含んでなり、
前記複数の導電部材が均一な厚さを有する、回路基板。 - 前記複数の第2の導電部材の厚さと前記複数の第1の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第1の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項1に記載の回路基板。
- 前記基板の前記第2の表面上に間隔をあけて配列している、開口密集領域の第2の導電ブロックおよび開口過疎領域の第2の導電ブロックを含む複数の第2の導電ブロックと、
前記基板の前記第2の表面に設けられ、かつ複数の第3の開口およびこれら第3の開口から構成される前記開口密集領域、ならびに複数の第4の開口およびこれら第4の開口から構成される前記開口過疎領域を有する第2の絶縁層であって、前記複数の第3の開口が前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させ、前記複数の第4の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させる、第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層上に間隔をあけて配列しており、前記複数の第3の開口に対応して充填されて前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第3の導電部材、および前記複数の第4の開口に対応して充填されて前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第4の導電部材を含む別の複数の導電部材と、
をさらに含み、
前記別の複数の導電部材が均一な厚さを有する、請求項1に記載の回路基板。 - 前記複数の第4の導電部材の厚さと前記複数の第3の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第3の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項3に記載の回路基板。
- 前記複数の第4の導電部材の、前記複数の第3の導電部材に隣接する部分の上表面が、平滑な接合面、または、垂直な段差を有した接合面である、請求項3に記載の回路基板。
- 基板の第1の表面上に、間隔をあけて配列する複数の第1の導電ブロックを形成する工程であって、前記複数の第1の導電ブロックが、開口密集領域の第1の導電ブロックおよび開口過疎領域の第1の導電ブロックを含む、工程と、
前記基板の前記第1の表面上に第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層に、前記開口密集領域を構成する複数の第1の開口、および前記開口過疎領域を構成する複数の第2の開口を形成する工程であって、前記複数の第1の開口が前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させ、前記複数の第2の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させる、工程と、
前記第1の絶縁層上に、パターン化された第1のドライフィルムを形成し、前記複数の第1の開口および前記複数の第2の開口を露出させる工程と、
電気メッキプロセスを行って第1の導電層を形成する工程と、
少なくとも前記開口密集領域上方に位置し、かつ前記第1の導電層とは付着しないように、かつ前記パターン化された第1のドライフィルムに直接接触するように、前記パターン化された第1のドライフィルム上に第1の冶具を置く工程と、
エッチングプロセスを行って、前記第1の導電層の一部を除去し、前記第1の導電層に均一な厚さを持たせる工程と、
前記第1の冶具を取り除く工程と、
前記パターン化された第1のドライフィルムを除去して、前記第1の絶縁層上に、間隔をあけて配列する複数の導電部材を形成する工程と、
を含む、回路基板の製造方法。 - 前記複数の導電部材が、
前記複数の第1の開口に対応して充填されて前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第1の導電部材と、
前記複数の第2の開口に対応して充填されて前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第2の導電部材と、
を含む、請求項6に記載の回路基板の製造方法。 - 前記複数の第2の導電部材の厚さと前記複数の第1の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第1の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項7に記載の回路基板の製造方法。
- 前記基板の前記第1の表面に対向する第2の表面上に、間隔をあけて配列する複数の第2の導電ブロックを形成する工程であって、前記複数の第2の導電ブロックが、開口密集領域の第2の導電ブロックおよび開口過疎領域の第2の導電ブロックを含む、工程と、
前記基板の前記第2の表面上に第2の絶縁層を形成する工程と、
前記第2の絶縁層に、前記開口密集領域を構成する複数の第3の開口、および前記開口過疎領域を構成する複数の第4の開口を形成する工程であって、前記複数の第3の開口が前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させ、前記複数の第4の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させる、工程と、
前記第2の絶縁層上に、パターン化された第2のドライフィルムを形成して、前記複数の第3の開口および前記複数の第4の開口を露出させる工程と、
電気メッキプロセスを行って第2の導電層を形成する工程と、
少なくとも前記開口密集領域上方に位置し、かつ前記第2の導電層とは付着しないように、前記パターン化された第2のドライフィルム上に第2の冶具を置く工程と、
エッチングプロセスを行って、前記第2の導電層の一部を除去し、前記第2の導電層に均一な厚さを持たせる工程と、
前記第2の冶具を取り除く工程と、
前記パターン化された第2のドライフィルムを除去して、前記第2の絶縁層上に、間隔をあけて配列する別の複数の導電部材を形成する工程と、
をさらに含む、請求項6に記載の回路基板の製造方法。 - 前記別の複数の導電部材が、
前記複数の第3の開口に対応して充填されて、前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第3の導電部材と、
前記複数の第4の開口に対応して充填されて、前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第4の導電部材と、
を含む、請求項9に記載の回路基板の製造方法。 - 前記複数の第4の導電部材の厚さと前記複数の第3の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第3の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項10に記載の回路基板の製造方法。
- 基板の第1の表面上に、間隔をあけて配列する複数の第1の導電ブロックを形成する工程であって、前記複数の第1の導電ブロックが、開口密集領域の第1の導電ブロックおよび開口過疎領域の第1の導電ブロックを含む、工程と、
前記基板の前記第1の表面上に第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層に、前記開口密集領域を構成する複数の第1の開口、および前記開口過疎領域を構成する複数の第2の開口を形成する工程であって、前記複数の第1の開口が前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させ、前記複数の第2の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックを露出させる、工程と、
前記第1の絶縁層上に、パターン化された第1のドライフィルムを形成し、前記複数の第1の開口および前記複数の第2の開口を露出させる工程と、
電気メッキプロセスを行って第1の導電層を形成し、前記第1の導電層の上表面は前記パターン化された第1のドライフィルムの上表面より低い、工程と、
少なくとも前記開口密集領域上方に位置し、かつ前記第1の導電層に付着するように、前記第1の導電層および前記パターン化された第1のドライフィルム上に第1のドライフィルム層を形成し、前記パターン化された第1のドライフィルムの一部は前記第1のドライフィルム層の中にある、工程と、
エッチングプロセスを行って、前記第1の導電層の一部を除去し、前記第1の導電層に均一な厚さを持たせる工程と、
前記第1のドライフィルム層および前記パターン化された第1のドライフィルムを除去して、前記第1の絶縁層上に、間隔をあけて配列する複数の導電部材を形成する工程と、
を含む、回路基板の製造方法。 - 前記複数の導電部材が、
前記複数の第1の開口に対応して充填されて前記開口密集領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第1の導電部材と、
前記複数の第2の開口に対応して充填されて前記開口過疎領域の前記複数の第1の導電ブロックに電気的に接続する複数の第2の導電部材と、
を含む、請求項12に記載の回路基板の製造方法。 - 前記複数の第2の導電部材の厚さと前記複数の第1の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第1の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項13に記載の回路基板の製造方法。
- 前記基板の前記第1の表面に対向する第2の表面上に、間隔をあけて配列する複数の第2の導電ブロックを形成する工程であって、前記複数の第2の導電ブロックが、開口密集領域の第2の導電ブロックおよび開口過疎領域の第2の導電ブロックを含む、工程と、
前記基板の前記第2の表面上に第2の絶縁層を形成する工程と、
前記第2の絶縁層に、前記開口密集領域を構成する複数の第3の開口、および前記開口過疎領域を構成する複数の第4の開口を形成する工程であって、前記複数の第3の開口が前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させ、前記複数の第4の開口が前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックを露出させる、工程と、
前記第2の絶縁層上に、パターン化された第2のドライフィルムを形成して、前記複数の第3の開口および前記複数の第4の開口を露出させる工程と、
電気メッキプロセスを行って第2の導電層を形成する工程と、
少なくとも前記開口密集領域上方に位置し、かつ前記第2の導電層に付着するように、前記第2の導電層および前記パターン化された第2のドライフィルム上に第2のドライフィルム層を形成する工程と、
エッチングプロセスを行って、前記第2の導電層の一部を除去し、前記第2の導電層に均一な厚さを持たせる工程と、
前記第2のドライフィルム層および前記パターン化された第2のドライフィルムを除去して、前記第2の絶縁層上に、間隔をあけて配列する別の複数の導電部材を形成する工程と、
をさらに含む、請求項12に記載の回路基板の製造方法。 - 前記別の複数の導電部材が、
前記複数の第3の開口に対応して充填されて前記開口密集領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第3の導電部材と、
前記複数の第4の開口に対応して充填されて前記開口過疎領域の前記複数の第2の導電ブロックに電気的に接続する複数の第4の導電部材と、
を含む、請求項15に記載の回路基板の製造方法。 - 前記複数の第4の導電部材の厚さと前記複数の第3の導電部材の厚さとの差の値が前記複数の第3の導電部材の厚さの−50〜100%である、請求項16に記載の回路基板の製造方法。
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