JP6494067B2 - 距離測定装置、及び距離測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 103
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 76
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 23
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 7
- 238000009795 derivation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 47
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 230000005428 wave function Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012014 optical coherence tomography Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Endoscopes (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
まず、以下に示す実施形態に係る距離測定装置1の概要を説明し、その後により詳細な実施形態を説明する。図1は、本実施形態に係る距離測定装置1の一例を示す構成図である。距離測定装置1は、波長掃引光源2から射出された入射光を干渉計3に入射する。そして、干渉計3は、入射された入射光を測定光と参照光に分波する。干渉計3は、分波された入射光のうち、測定光を測定対象Wに向けて照射する。測定対象Wに照射された測定光であって、測定対象Wで反射された測定光は、再び干渉計3に入射する。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図1に示したように、距離測定装置1は、例えば、波長掃引光源2と、干渉計3と、波長検出部4と、干渉光検出部5と、制御装置6と、光ファイバーF1と、光ファイバーF6と、光ファイバーF7とを備える。距離測定装置1では、波長掃引光源2と干渉計3とが光ファイバーF1により接続されており、干渉計3と干渉光検出部5とが光ファイバーF6により接続されており、干渉計3と波長検出部4とが光ファイバーF7により接続されている。また、波長掃引光源2と制御装置6、波長検出部4と制御装置6、干渉光検出部5と制御装置6はそれぞれ、電気ケーブル等によって通信可能に接続されている。
制御部43は、波長検出部4の全体を制御する。また、制御部43は、光検出器42から取得された電気信号に基づいて、波長検出部4に導光された第2参照光(すなわち、入射光の一部)の検出感度を検出する。そして、制御部43は、検出された検出感度に基づいて第2参照光の波長を検出する。制御部43は、検出された波長を示す情報を制御装置6に出力する。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であってもよい。
Claims (6)
- 波長を変化させながら光を入射光として射出する波長掃引光源と、
前記波長掃引光源から射出された入射光を、複数に分岐された光として、第1参照光と第2参照光と測定光に分岐させ、前記測定光を照射し、前記測定光の反射光と前記第1参照光とを干渉光として合波させる干渉計と、
前記干渉計により前記反射光と前記第1参照光が合波された干渉光を検出する干渉光検出部と、
光の一部を吸収する気体に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する波長検出部と、
前記干渉光検出部により検出された干渉光の信号をフーリエ変換し、フーリエ変換された前記干渉光の信号に基づく周波数スペクトルに応じたピーク周波数を検出し、検出された前記ピーク周波数と、前記波長検出部により検出された前記入射光の波長に応じた周波数とに基づいて、前記干渉計からの距離を導出する導出部と、
を備える距離測定装置。 - 請求項1に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、前記第2参照光を前記気体に照射し、前記気体に照射された前記第2参照光に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項2に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、前記気体に照射された前記第2参照光の吸収スペクトルを検出し、検出された前記吸収スペクトルに基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項3に記載の距離測定装置であって、
前記波長検出部は、検出された前記吸収スペクトルと、予め記憶された参照用スペクトルであって前記光の波長と、前記気体による前記光の吸収率とが対応付けられた前記参照用スペクトルとのパターンマッチングに基づいて、前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出する、
距離測定装置。 - 請求項1から4のうちいずれか一項に記載の距離測定装置であって、
前記気体は、波長基準となるガスである、
距離測定装置。 - 波長を変化させながら光を入射光として射出し、
射出された前記入射光を、複数に分岐された光として、第1参照光と第2参照光と測定光に分岐させ、前記測定光を照射し、前記測定光の反射光と前記第1参照光とを干渉計により干渉光として合波させ、
合波された前記干渉光を検出し、
光の一部を吸収する気体に基づいて前記第2参照光の波長を前記入射光の波長として検出し、
検出された前記干渉光の信号をフーリエ変換し、フーリエ変換された前記干渉光の信号に基づく周波数スペクトルに応じたピーク周波数を検出し、検出された前記ピーク周波数と、検出された前記入射光の波長とに基づいて、前記干渉計からの距離を導出する、
距離測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148873A JP6494067B2 (ja) | 2014-07-22 | 2014-07-22 | 距離測定装置、及び距離測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148873A JP6494067B2 (ja) | 2014-07-22 | 2014-07-22 | 距離測定装置、及び距離測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016024086A JP2016024086A (ja) | 2016-02-08 |
JP6494067B2 true JP6494067B2 (ja) | 2019-04-03 |
Family
ID=55270948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014148873A Active JP6494067B2 (ja) | 2014-07-22 | 2014-07-22 | 距離測定装置、及び距離測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6494067B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6554755B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2019-08-07 | 株式会社東京精密 | 振動計測装置及び振動計測方法 |
EP3637069B1 (en) * | 2017-06-08 | 2024-07-03 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Spectrum measurement method, spectrum measurement device, and broadband pulse light source unit |
JP6939360B2 (ja) | 2017-10-02 | 2021-09-22 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置 |
JP6576594B1 (ja) * | 2018-10-05 | 2019-09-18 | 三菱電機株式会社 | 工作装置 |
JP7509201B2 (ja) * | 2020-06-02 | 2024-07-02 | 日本電信電話株式会社 | 測距装置 |
JP2022149877A (ja) | 2021-03-25 | 2022-10-07 | 株式会社東京精密 | 光回転プローブの校正方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63259439A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Fujitsu Ltd | 半導体レ−ザ評価装置 |
EP2662661A1 (de) * | 2012-05-07 | 2013-11-13 | Leica Geosystems AG | Messgerät mit einem Interferometer und einem ein dichtes Linienspektrum definierenden Absorptionsmedium |
JP2014148950A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Makita Corp | 電動ブロワ |
-
2014
- 2014-07-22 JP JP2014148873A patent/JP6494067B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016024086A (ja) | 2016-02-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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