JP6483265B2 - 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜 - Google Patents

有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜 Download PDF

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Description

本発明は、有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜などに関する。
軽量化、低コスト化、柔軟化が可能であることから、液晶ディスプレイ若しくは有機EL(electro luminescence)ディスプレイに用いられるFET(電界効果トランジスタ)、又は、RFID(radio frequency identifier:RFタグ)若しくはメモリなどの論理回路を用いる装置等に、有機半導体膜(有機半導体層)を有する有機薄膜トランジスタ(有機TFT(thin film transistor))が利用されている。
このような有機半導体膜を形成するための化合物として、芳香族複素環を含む多環縮合化合物が有用であることが知られている。
例えば、特許文献1には、クリセン骨格に更に芳香族複素環(芳香族複素環基としてフラン、チオフェン、N−置換ピロール)を縮合することで化合物のπ共役を拡大した化合物を開示している。
国際公開第2010/024388号公報
ところで、近年、有機薄膜トランジスタの性能向上の観点から、有機薄膜トランジスタのキャリア移動度のより一層の向上が求められている実情がある。
このようななか、本発明者らは、上記特許文献1に開示されるような、クリセン骨格に更に芳香族複素環(芳香族複素環基としてフラン、チオフェン、N−置換ピロール)を縮合した多環縮合化合物を用いた有機薄膜トランジスタについてさらに検討を行ったところ、キャリア移動度を更に向上させる余地があることを知見するに至った。
そこで、本発明の目的は、有機薄膜トランジスタの有機半導体膜に用いたときに、有機薄膜トランジスタが高いキャリア移動度を示す化合物、上記化合物を用いた有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、有機薄膜トランジスタ及びその製造方法並びに有機半導体膜を提供することである。
本発明者は、上記課題について鋭意検討した結果、後述する一般式(1)で表される化合物を用いることで所望の効果が得られることを見出し、本発明に至った。
すなわち、本発明者は、以下の構成により上記課題が解決できることを見出した。
<1> 後述する一般式(1)で表され、かつ、分子量が3000以下である化合物を含む有機半導体膜を有する有機薄膜トランジスタ。
<2> 上記一般式(1)中、R〜R10に含まれる炭素数がそれぞれ独立に30以下である、上記<1>に記載の有機薄膜トランジスタ。
<3> 上記一般式(1)中、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していても良い、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有する、<1>又は<2>に記載の有機薄膜トランジスタ。
<4> 上記一般式(1)中、RとRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である、<1>〜<3>のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタ。
<5> 上記化合物が、後述する一般式(2)又は一般式(3)で表される、<1>〜<4>のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタ。
<6> 上記化合物が、後述する一般式(4)又は一般式(5)で表される、<1>〜<5>のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタ。
<7> 上記化合物が、後述する一般式(6)又は一般式(7)で表される、<1>〜<6>のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタ。
<8> 上記一般式(6)又は(7)中、Lが単結合である、<7>記載の有機薄膜トランジスタ。
<9> 上記一般式(6)又は一般式(7)中、R及びRがいずれも炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含む、<7>又は<8>に記載の有機薄膜トランジスタ。
<10> 後述する一般式(1)で表され、かつ、分子量が3000以下である化合物。<11> 上記一般式(1)中、R〜R10に含まれる炭素数がそれぞれ独立に30以下である、<10>に記載の化合物。
<12> 上記一般式(1)中、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していても良い、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有する、<10>又は<11>に記載の化合物。
<13> 上記一般式(1)中、RとRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である、<10>〜<12>のいずれかに記載の化合物。
<14> 上記化合物が、後述する一般式(2)又は一般式(3)で表される、<10>〜<13>のいずれかに記載の化合物。
<15> 上記化合物が、後述する一般式(4)又は一般式(5)で表される、<10>〜<14>のいずれかに記載の化合物;
<16> 上記化合物が、後述する一般式(6)又は一般式(7)で表される、<10>〜<15>のいずれかに記載の化合物。
<17> 上記一般式(6)又は(7)中、Lが単結合である、<16>に記載の化合物。
<18> 上記一般式(6)又は一般式(7)中、R及びRがいずれも炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含む、<17>に記載の化合物。
<19> <10>〜<18>のいずれかに記載の化合物を含有する、有機薄膜トランジスタ用材料。
<20> <10>〜<18>のいずれかに記載の化合物を含有する、有機薄膜トランジスタ用組成物。
<21> <20>に記載の有機薄膜トランジスタ用組成物を基板上に塗布して、乾燥させることにより有機半導体膜を形成する工程を含む、有機薄膜トランジスタの製造方法。<22> <10>〜<18>のいずれかに記載の化合物を含有する、有機半導体膜。
本明細書において、化合物の表示については、その化合物そのものの他、その塩、そのイオンを含む意味に用いる。
本明細書において、特定の符号で表示された置換基又は連結基等(以下、置換基等という)が複数あるとき、又は複数の置換基等を同時に規定するときには、それぞれの置換基等は互いに同一でも異なっていてもよいことを意味する。このことは、置換基等の数の規定についても同様である。
また、特に断らない限り、複数の置換基等が近接(特に隣接)するときには、それらが互いに連結したり縮環したりして環を形成していてもよい意味である。
さらに、本明細書において置換・無置換を明記していない置換基等については、目的とする効果を損なわない範囲で、その基にさらに置換基を有していてもよい意味である。これは置換・無置換を明記していない化合物についても同義である。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本発明によれば、有機薄膜トランジスタの有機半導体膜に用いたときに、有機薄膜トランジスタが高いキャリア移動度を示す化合物、上記化合物を用いた有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、有機薄膜トランジスタ及びその製造方法並びに有機半導体膜を提供することができる。
本発明の一実施形態に係るボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタの断面模式図である。 本発明の一実施形態に係るトップコンタクト型の有機薄膜トランジスタの断面模式図である。 実施例及び比較例の有機半導体膜の製造方法の一工程を示す模式図である。 実施例及び比較例の有機半導体膜の製造方法の一工程を示す模式図である。 実施例及び比較例の有機半導体膜の製造方法の一工程を示す模式図である。 実施例及び比較例の有機半導体膜の製造方法の一工程を示す模式図である。 実施例で作製するインバータの模式図である。 実施例で作製するリングオシレーターの模式図である。
[有機薄膜トランジスタ]
本発明の有機薄膜トランジスタは、その有機半導体膜(有機半導体層)に、後述する一般式(1)で表され、かつ、分子量が3,000以下である化合物を含むことを特徴とする。
一般式(1)で表される化合物は、微結晶薄膜から形成される有機半導体膜において、微結晶中の分子の電子軌道の位相が良好にそろい、且つ、各分子間の相互作用が強くパッキングに優れるため、分子のHOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)軌道同士が重なりやすい特徴を有する。
すなわち、一般式(1)で表されるようなクリセン骨格を更に芳香族複素環で縮合した構造において、分子中に含まれる芳香族複素環(一般式(1)のZに相当)をセレノフェン、チアゾール、オキサゾール、イミダゾール又はシロールとしたことで、従来文献1に挙げられるようなフラン、チオフェン、N−置換ピロールで縮合した化合物と比べて、各分子間の相互作用が更に強まり、分子のHOMO軌道同士がより重なりやすくなったものと考えられる。この結果、特許文献1に示される化合物よりもキャリア移動度が優れたものとなる。特に、セレン原子は軌道係数が大きいため、本骨格において分子中に含まれる芳香族複素環(一般式(1)のZに相当)をセレノフェンとした場合には、分子のHOMO軌道同士が更により重なりやすくなり、顕著に優れたキャリア移動度を発現する。
また、分子中に含まれる芳香族複素環(一般式(1)のZに相当)がセレノフェン又はシロール(特に、セレノフェン)である場合、ヘテロ原子の位置が異なる構造異性体が複数種存在する。このうち、下記の一般式(1X)で表される化合物は、他の構造異性体と比較して各分子間の相互作用が強く、分子のHOMO軌道同士がより重なりやすくなるものと考えられ、塗布、蒸着等の膜形成手段及びトランジスタ層構成に依らず、優れたキャリア移動度を得ることができる。
(一般式(1X)中、XはSe原子、Si原子を表し、R〜R10はそれぞれ上記一般式(1)中のR〜R10と同義である。)
<一般式(1)で表される化合物>
一般式(1)で表される化合物は、有機薄膜トランジスタの有機半導体膜(有機半導体層)に含まれる。
一般式(1)で表される化合物は、新規な化合物であり、有機薄膜トランジスタの有機半導体膜に好適に使用されることはもちろんのこと、後述する他の用途にも用いることができる。
Zは、セレノフェン、チアゾール、オキサゾール、イミダゾール及びシロールからなる群から選ばれる5員環の芳香族複素環を表し、R〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
−L−R (W)
式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
11〜R13は、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
なお、本明細書における「アルキル基」及び「アルケニル基」には、特に断りの無い限り、直鎖、分岐及び環状のいずれも含むものとする。なお、環状のアルキル基としては、例えば、シクロアルキル基、ビシクロアルキル基、及びトリシクロアルキル基などが挙げられる。また、環状のアルケニル基としては、シクロアルケニル基、及びビシクロアルケニル基などが挙げられる。
また、本明細書における「ヘテロアリール基」に含まれるヘテロ原子としては、例えば、硫黄原子(S)、酸素原子(O)、及び窒素原子(N)などが挙げられる。
一般式(1)で表される化合物の分子量は、3,000以下であり、250〜2,000であることが好ましく、300〜1,000であることがより好ましく、350〜800であることが更に好ましい。分子量を上記範囲とすることにより、溶媒への溶解性をより高めることができるため好ましい。
一般式(1)において、Zは、セレノフェン、チアゾール、オキサゾール、イミダゾール及びシロールからなる群から選ばれる5員環の芳香族複素環を表す。
Zがセレノフェン及びシロールである場合には構造異性体が複数存在するが、キャリア移動度を向上させる観点から、好ましくは上記一般式(1X)で表される位置にヘテロ原子が存在することが好ましい。
Zとしては、セレノフェン、チアゾールが好ましく、後述する一般式(2)〜(7)のように、セレノフェンが特に好ましい。
一般式(1)においてR〜R10は、それぞれ独立に上記式(W)で表される基を表す。
としては、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−O−CO−、−CO−O−、−NR11−CO−、−CO−NR11−、−O−CO−O−、−NR11−CO−O−、−OCO−NR11−又は−NR11−CO−NR11−であることが好ましく、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−O−CO−又は−CO−O−であることがより好ましく、単結合であることが更に好ましい。
上記R11〜R13は、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基(好ましくは炭素数1〜20)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜6)、アルキニル基(好ましくは炭素数2〜6)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)若しくはヘテロアリール基(好ましくは炭素数3〜12)を表し、水素原子、アルキル基又はアリール基が好ましく、水素原子又はアルキル基がより好ましく、炭素数1〜8のアルキル基が更に好ましい。
としては、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
アルキル基としては、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数2〜15のアルキル基がより好ましく、炭素数3〜10のアルキル基が更に好ましい。アルキル基としては、直鎖アルキル基が好ましい。
アルケニル基としては、炭素数2〜6のアルケニル基が好ましく、炭素数2〜4のアルケニル基がより好ましく、炭素数2のアルケニル基が更に好ましい。
アルキニル基としては、炭素数2〜6のアルキニル基が好ましく、炭素数2〜4のアルキニル基がより好ましく、炭素数2のアルキニル基が更に好ましい。
アリール基としては、炭素数6〜20のアリール基が好ましく、炭素数6〜14のアリール基がより好ましく、炭素数6〜10のアリール基が更に好ましい。
ヘテロアリール基としては、炭素数3〜20のヘテロアリール基が好ましく、炭素数3〜12のヘテロアリール基がより好ましく、炭素数3〜8のヘテロアリール基が更に好ましい。
一般式(1)において、R1〜R10のうち、結晶構造および分子間相互作用の観点から、少なくとも一つ以上は水素原子以外の基(以下、「置換基W」と称する)を有することが好ましく、置換基Wの個数は2〜4がより好ましく、2が特に好ましい。
一般式(1)が置換基Wを有する場合には、分子間相互作用および溶解性の観点から、置換基Wの炭素数が30以下であることが好ましく、25以下であることがより好ましく、20以下であることが更に好ましく、16以下であることが特に好ましい。言い換えると、一般式(1)が置換基Wを有する場合には、R1〜R10に含まれる炭素数(上記式(W)におけるLとRを合わせた総炭素数)がそれぞれ独立に上記の数値範囲となることが好ましい。
上記一般式(1)において、R1〜R10に置換基Wを導入する場合には、置換基Wは、分子全体が点対称の構造となる位置であることが好ましく、置換基の構造を含めて分子全体が点対称の構造となるように、同じ置換基を分子全体が点対称の構造となる位置に配置することが好ましい。具体的には、R及びRの位置に置換基W(好ましくは同じ基)をともに有する場合、R及びR10の位置に置換基W(好ましくは同じ基)をともに有する場合、R及びRの位置に置換基W(好ましくは同じ基)をともに有する場合、R及びRの位置に置換基W(好ましくは同じ基)をともに有する場合、R及びRの位置に置換基W(好ましくは同じ基)をともに有する場合、ならびにこれらの2以上の場合の組み合わせが好ましい。これらの中でも、結晶構造および分子間相互作用の観点から、R及びRの位置に置換基Wをともに有する場合がより好ましい。
一般式(1)においては、分子間相互作用および溶解性の観点から、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、炭素数20以下(好ましくは1〜20)のアルキル基、炭素数20以下(好ましくは6〜20)のアリール基及び炭素数20以下(好ましくは3〜20)のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有することが好ましく、RとR、RとR10、RとR、RとR又はRとRの組み合わせのうち、少なくともいずれか1つの組み合わせが上述の基をそれぞれ独立に有することがより好ましく、R及びRがいずれも上述の基をそれぞれ独立に有することが更に好ましい。
一般式(1)中、分子間相互作用および溶解性の観点から、R〜R10の少なくともいずれか1つが炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含むことが好ましく、R及びRが炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含むことがより好ましい。例えば、R及びRが、上述の如くRとして、炭素数20以下(好ましくは1〜20)のアルキル基を有する場合、この炭素数20以下(好ましくは1〜20)のアルキル基が脂肪族炭化水素基に相当し、一方、例えば、Rとして炭素数20以下(好ましくは6〜20)のアリール基を有する場合、かかるアリール基は置換基としてさらに上記脂肪族炭化水素基を有することが好ましい。
脂肪族炭化水素基を有する場合には、脂肪族炭化水素基は、好ましくは炭素数4〜12であり、より好ましくは炭素数8〜12である。
脂肪族炭化水素基としては、アルキル基が好ましく、直鎖アルキル基がより好ましい。
一般式(1)において、R1〜R13におけるアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基及びヘテロアリール基が有してもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルキル基(シクロアルキル基、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基を含む。)、アリール基、複素環基(「ヘテロ環基」とも称する。)、シアノ基、ヒドロキシ基、ニトロ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリル基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アミノ基(アニリノ基を含む。)、アンモニオ基、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキル及びアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキル及びアリールスルフィニル基、アルキル及びアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリール及びヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、ホスホノ基、シリル基、ヒドラジノ基、ウレイド基、ボロン酸基(−B(OH))、ホスファト基(−OPO(OH))、スルファト基(−OSOH)、及び、その他の公知の置換基が挙げられる。また、置換基が更に置換基により置換されていてもよい。
これらの中でも、置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルキルシリル基、又はアリール基が好ましく、フッ素原子、炭素数1〜10の置換若しくは無置換のアルキル基、炭素数1〜10の置換若しくは無置換のアルコキシ基、炭素数1〜30の置換若しくは無置換のアルキルシリル基、又はフェニル基がより好ましく、フッ素原子、炭素数1〜10の置換若しくは無置換のアルキル基、炭素数1〜10の置換又は無置換のアルコキシ基、又は、炭素数1〜30の置換若しくは無置換のアルキルシリル基が特に好ましい。
分子の対称性をより良好とし、これにより分子間相互作用が向上する観点から、RとRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基であることが好ましい。
上記一般式(1)で表される化合物は、下記一般式(2)又は(3)で表され(一般式(2)及び(3)は構造異性体である。)、かつ、分子量が3,000以下である化合物であることが好ましい。
一般式(2)及び(3)中、R〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
−L−R (W)
式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
なお、一般式(2)および(3)中のR〜R10の好ましい態様については、一般式(1)中におけるR〜R10で説明した態様と同じである。
上記一般式(1)で表される化合物は、下記一般式(4)又は(5)で表され(一般式(4)及び(5)は構造異性体である。)、かつ、分子量が3,000以下である化合物であることがより好ましい。
一般式(4)及び(5)中、R〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
−L−R (W)
式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
なお、一般式(4)および(5)中のR〜R10の好ましい態様については、一般式(1)中におけるR〜R10で説明した態様と同じである。
上記一般式(1)で表される化合物は、下記一般式(6)又は(7)で表され(一般式(6)及び(7)は構造異性体である。)、かつ、分子量が3,000以下である化合物であることがより好ましい。
一般式(6)及び(7)中、RおよびRは同一の基であり、それぞれ下記式(W)で表される基を表す。
−L−R (W)
式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基又は炭素数20以下のヘテロアリール基を表す。
11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
なお、一般式(6)および(7)中のRおよびRの好ましい態様については、一般式(1)中におけるRおよびRで説明した態様と同じである。
一般式(6)及び(7)中、R及びRは炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含むことが好ましい。脂肪族炭化水素基としては、アルキル基が好ましく、直鎖アルキル基がより好ましい。
上記一般式(1)で表される化合物の具体例を以下に示す。
尚、下記表中において、「TMS」はトリメチルシリル基であり、「TIPS」はトリイソプロピルシリル基であり、「Bu」はブチル基であり、「Me」はメチル基であり、「Ph」はフェニル基である。
一般式(1)で表される化合物の合成方法は、特に制限されず、公知の方法を参照して合成できる。
合成方法としては、例えば、下記一般式(8)又は(9)で表される化合物を、下記一般式(10)で表される化合物と、遷移金属触媒及び有機溶媒の存在下で加熱して反応させる工程を含む方法が好ましく挙げられる。
一般式(8)及び(9)中、
Wはそれぞれ独立に、ハロゲン原子又はパーフルオロアルキルスルホニルオキシ基を表す。
一般式(10) R11−M(R12i
一般式(10)中、R11はアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基又はヘテロアリール基を表し、更に置換基を有していてもよく、Mはマグネシウム、珪素、ホウ素、錫又は亜鉛を表し、R12はそれぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基又はヒドロキシル基を表し、互いに同じでも異なっていてもよく、互いに環を形成していてもよく、iは1〜3の整数を表し、Mの価数−1であり、ただし、Mがホウ素である場合は、iが3をとってもよい。
上記遷移金属触媒としては、特に制限はなく、熊田−玉尾−コリューカップリング、檜山カップリング、鈴木−宮浦カップリング、右田−小杉−スティルカップリング、園頭−萩原カップリング、溝呂木−ヘック反応、又は根岸カップリング等のカップリング反応に用いられる遷移金属触媒を好適に用いることができる。中でも、パラジウム触媒又はニッケル触媒が好ましく、パラジウム触媒がより好ましい。また、上記金属触媒は、反応に応じて、任意の配位子を有することができる。
上記有機溶媒としては、特に制限はなく、基質又は触媒に応じて、適宜選択することができる。
また、一般式(8)〜(10)で表される化合物、遷移金属触媒、及び、有機溶媒の使用量は、特に制限はなく、必要に応じて適宜選択すればよい。
反応時の加熱温度は、特に制限はないが、25℃〜200℃であることが好ましく、40℃〜150℃であることがより好ましい。
本発明の有機薄膜トランジスタにおける有機半導体膜には、一般式(1)で表される化合物を、1種のみ含有していても、2種以上含有していてもよいが、配向性の観点から、1種のみ含有していることが好ましい。
また、後述する有機半導体膜、有機薄膜トランジスタ用材料又は有機薄膜トランジスタ用組成物中には、一般式(1)で表される化合物が、1種のみ含まれていても、2種以上含まれていてもよいが、配向性の観点から、1種のみ含まれていることが好ましい。
本発明の有機薄膜トランジスタにおける有機半導体膜における一般式(1)で表される化合物の総含有量は、30〜100質量%であることが好ましく、50〜100質量%であることがより好ましく、70〜100質量%であることが更に好ましい。また、後述するバインダーポリマーを含有しない場合は、上記総含有量が、90〜100質量%であることが好ましく、95〜100質量%であることがより好ましい。
<有機薄膜トランジスタの構造、有機薄膜トランジスタの製造方法>
次に、上記一般式(1)で表される化合物を有機薄膜トランジスタの有機半導体膜に用いた本発明の有機薄膜トランジスタの構造及びその製造方法について説明する。
本発明の有機薄膜トランジスタは、上述した一般式(1)で表される化合物を含む有機半導体膜(有機半導体層)を有し、さらに、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート電極と、を有することができる。
本実施形態に係る有機薄膜トランジスタは、その構造は特に限定されるものでなく、例えばボトムコンタクト型(ボトムコンタクト−ボトムゲート型およびボトムコンタクト−トップゲート型)又はトップコンタクト型(トップコンタクト−ボトムゲート型およびトップコンタクト−トップゲート型)など、いずれの構造であってもよい。
以下、本発明の有機薄膜トランジスタの一例について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ100の断面模式図である。
図1の例では、有機薄膜トランジスタ100は、基板(基材)10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、ソース電極40と、ドレイン電極42と、有機半導体膜(有機半導体層)50と、封止層60と、を有する。ここで、有機半導体膜50は、上述した一般式(1)で表される化合物を使用して作製されたものである。
以下、基板(基材)、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜(有機半導体層)及び封止層ならびにそれぞれの作製方法について詳述する。
(基板)
基板は、後述するゲート電極、ソース電極、又はドレイン電極などを支持する役割を果たす。
基板の種類は特に制限されず、例えば、プラスチック基板、ガラス基板、及びセラミック基板などが挙げられる。なかでも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
(ゲート電極)
ゲート電極の材料としては、例えば、金(Au)、銀、アルミニウム、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、マグネシウム、カルシウム、バリウム、及びナトリウム等の金属;InO2、SnO2、及びITO(Indium Tin Oxide)等の導電性の酸化物;ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、及びポリジアセチレン等の導電性高分子;シリコン、ゲルマニウム、及びガリウム砒素等の半導体;フラーレン、カーボンナノチューブ、及びグラファイト等の炭素材料などが挙げられる。なかでも、金属であることが好ましく、銀、又はアルミニウムであることがより好ましい。
ゲート電極の厚みは特に制限されないが、20〜200nmであることが好ましい。
なお、ゲート電極は基板としても機能してもよく、その場合、上記基板はなくてもよい。
ゲート電極を形成する方法は特に制限されないが、例えば、基板上に、電極材料を真空蒸着又はスパッタする方法、及び、電極形成用組成物を塗布又は印刷する方法などが挙げられる。また、電極をパターニングする場合のパターニング方法としては、例えば、フォトリソグラフィー法;インクジェット印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、及び、凸版印刷(フレキソ印刷)等の印刷法;マスク蒸着法などが挙げられる。
(ゲート絶縁膜)
ゲート絶縁膜の材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルフォン、ポリベンゾキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂、及びフェノール樹脂等のポリマー;二酸化珪素、酸化アルミニウム、及び酸化チタン等の酸化物;窒化珪素等の窒化物などが挙げられる。これらの材料のうち、有機半導体膜との相性から、ポリマーであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の膜厚は特に制限されないが、100〜1000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜を形成する方法は特に制限されないが、例えば、ゲート電極が形成された基板上に、ゲート絶縁膜形成用組成物を塗布する方法、及び、ゲート絶縁膜材料を蒸着又はスパッタする方法などが挙げられる。
(ソース電極、ドレイン電極)
ソース電極及びドレイン電極の材料の具体例は、上述したゲート電極と同じである。なかでも、金属であることが好ましく、銀であることがより好ましい。
ソース電極及びドレイン電極を形成する方法は特に制限されないが、例えば、ゲート電極とゲート絶縁膜とが形成された基板上に、電極材料を真空蒸着又はスパッタする方法、及び、電極形成用組成物を塗布又は印刷する方法などが挙げられる。パターニング方法の具体例は、上述したゲート電極と同じである。
(有機半導体膜)
有機半導体膜の作製方法は、上述した一般式(1)で表される化合物を含む有機半導体膜を作製できる限り、特に限定されるものではないが、例えば上述した一般式(1)で表される化合物を含む有機薄膜トランジスタ用組成物(後述)を基板上に塗布して、乾燥させることにより有機半導体膜を作製することができる。
なお、有機薄膜トランジスタ用組成物を基板上に塗布するとは、有機薄膜トランジスタ用組成物を基板に直接付与する態様のみならず、基板上に設けられた別の層を介して基板の上方に有機薄膜トランジスタ用組成物を付与する態様も含むものとする。
有機薄膜トランジスタ用組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができ、例えば、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法、及びスクリーン印刷法が挙げられる。さらに、有機薄膜トランジスタ用組成物の塗布方法としては、特開2013−207085号公報に記載の有機半導体膜の形成方法(いわゆるギャップキャスト法)、及び国際公開第2014/175351号公報に記載の有機半導体膜の製造方法(いわゆるエッジキャスト法や連続エッジキャスト法)などが好適に用いられる。
乾燥(乾燥処理)は、有機薄膜トランジスタ用組成物に含まれる各成分の種類により適宜最適な条件が選択され、自然乾燥であってもよいが、生産性を向上させる観点から加熱処理を行うことが好ましい。例えば、加熱温度としては30〜200℃が好ましく、40〜150℃がより好ましく、加熱時間としては10〜300分が好ましく、30〜180分がより好ましい。
作製される有機半導体膜の膜厚は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、10〜500nmが好ましく、20〜200nmがより好ましい。
このように、一般式(1)で表される化合物を含有する有機半導体膜は、有機薄膜トランジスタに好適に使用されるが、この用途に限定されるものではなく、一般式(1)で表される化合物を含有する有機半導体膜は、後述するその他の用途にも適用することができる。
(封止層)
本発明の有機薄膜トランジスタは、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えるのが好ましい。封止層には公知の封止剤(封止層形成用組成物)を用いることができる。
封止層の厚みは特に制限されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
(その他の有機薄膜トランジスタ)
図2は、本発明の一実施形態に係るトップコンタクト型の有機薄膜トランジスタ200を表す断面模式図である。
図2の例では、有機薄膜トランジスタ200は、基板10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、ソース電極40と、ドレイン電極42と、有機半導体膜(有機半導体層)50と、封止層60を有する。ここで、有機半導体膜50は、後述する本発明の有機薄膜トランジスタ用組成物を用いて形成されたものである。
基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については上述の通りであるので、その説明を省略する。
(有機薄膜トランジスタの用途)
上述した有機薄膜トランジスタは単独でスイッチング素子として用いることができる。また、複数の素子をマトリクス上に配列することにより、例えば、電子ペーパー若しくはディスプレイデバイスの画像を表示する表示部、又は、X線フラットパネルディテクターの画像を受光する受光部などに用いることができる。また、複数の素子を組み合わせることにより、インバータ、リングオシレーター、若しくはd−フリップフロップなどの小規模回路、又は、RFID(radio frequency identifier:RFタグ)若しくはメモリなどの論理回路に適用することができる。それぞれのデバイスは、公知の構造を有することができるので、その説明を省略する。
[有機薄膜トランジスタ用組成物]
本発明の有機薄膜トランジスタ用組成物は、上述した有機薄膜トランジスタの有機半導体膜の作製に使用される。
なお、以下に説明する有機薄膜トランジスタ用組成物は、後述するその他の用途に使用してもよく、この場合には、「有機薄膜トランジスタ用組成物」を単に「有機半導体組成物」という。
有機薄膜トランジスタ用組成物は、上述した一般式(1)で表される化合物を含有するものであるが、通常、その塗布性を向上させる点から有機溶媒をさらに含有する。
有機溶媒を含有する場合の含有量は、塗布性を良好とする観点から、有機薄膜トランジスタ用組成物の全質量に対して、0.01〜80質量%であることが好ましく、0.05〜10質量%であることがより好ましく、0.1〜5質量%であることがさらに好ましい。
(有機溶媒)
有機溶媒としては、特に限定されるものではなく、ヘキサン、オクタン、デカン、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、デカリン、テトラリン、2−メチルベンゾチアゾール、及び1−メチルナフタレンなどの炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、1,2−ジクロロベンゼン、1−フルオロナフタレン、2,5−ジクロロチオフェン、2,5−ジブロモチオフェン、1−クロロナフタレン、及びクロロトルエンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル、及び乳酸エチルなどのエステル系溶媒、メタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、及びエチレングリコールなどのアルコール系溶媒、ブトキシベンゼン、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、及びアニソールなどのエーテル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、及びN,N−ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒、1−メチル−2−ピロリドン、及び1−メチル−2−イミダゾリジノン等のイミド系溶媒、ジメチルスルフォキサイドなどのスルホキシド系溶媒、並びに、アセトニトリルなどのニトリル系溶媒などが挙げられる。
上記有機溶媒は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(バインダーポリマー)
有機薄膜トランジスタ用組成物は、さらに、バインダーポリマーを含有してもよい。
バインダーポリマーの種類は特に制限されず、公知のバインダーポリマーを用いることができる。バインダーポリマーとしては、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリシロキサン、ポリスルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、セルロース、ポリエチレン、及びポリプロピレンなどの絶縁性ポリマー、並びにこれらの共重合体;エチレン−プロピレンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、水素化されたニトリルゴム、フッ素ゴム、パーフルオロエラストマー、テトラフルオロエチレンプロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体、スチレン−ブタジエンゴム、ポリクロロプレン、ポリネオプレン、ブチルゴム、メチル・フェニルシリコーン樹脂、メチル・フェニルビニル・シリコーン樹脂、メチル・ビニル・シリコーン樹脂、フルオロシリコーン樹脂、アクリルゴム、エチレンアクリルゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、クロロポリエチレン、エピクロロヒドリン共重合体、ポリイソプレン−天然ゴム共重合体、ポリイソプレンゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体、ポリエステルウレタン共重合体、ポリエーテルウレタン共重合体、ポリエーテルエステル熱可塑性エラストマー、及びポリブタジエンゴムなどのゴムまたは熱可塑性エラストマー;ポリビニルカルバゾール、及びポリシランなどの光伝導性ポリマー;ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、及びポリパラフェニレンビニレンなどの導電性ポリマー;例えばChemistry of Materials,2014,26,647.等に記載の半導体ポリマー;を挙げることができる。
ポリマーバインダーは、単独で使用してもよく、あるいは複数併用してもよい。
なかでも、バインダーポリマーとしては、ベンゼン環を有する高分子化合物(ベンゼン環基を有する単量体単位を有する高分子)が好ましい。ベンゼン環を有する単量体単位の含有量は特に制限されないが、全単量体単位中、50モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、90モル%以上がさらに好ましい。上限は特に制限されず、例えば100モル%である。
上記バインダーポリマーの具体例としては、例えば、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリビニルシンナメート、ポリ(4−ビニルフェニル)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ[ビス(4−フェニル)(2,4,6−トリメチルフェニル)アミン]、及びポリ[2,6−(4,4−ビス(2−エチルヘキシル)−4Hシクロペンタ[2,1−b;3,4−b’]ジチオフェン)−アルト−4,7−(2,1,3−ベンゾチアジアゾール)]などが挙げられ、ポリスチレン、又はポリ(α−メチルスチレン)がより好ましく、ポリ(α−メチルスチレン)が更に好ましい。
パインダーポリマーの重量平均分子量は、特に制限されないが、1000〜200万が好ましく、3000〜100万がより好ましく、5000〜60万がさらに好ましい。
バインダーポリマーを含有する場合の含有量は、有機薄膜トランジスタ用組成物に含まれる一般式(1)で表される化合物100質量部に対して、1〜10,000質量部であることが好ましく、10〜1,000質量部であることがより好ましく、25〜400質量部であることが更に好ましく、50〜200質量部であることが最も好ましい。上記範囲内であると、得られる有機半導体膜及び有機半導体素子のキャリア移動度及び膜の均一性により優れる。
(その他の成分)
有機薄膜トランジスタ用組成物は、上記以外のその他の成分を含有してもよい。その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
(調製方法)
有機薄膜トランジスタ用組成物の調製方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、有機溶媒中に所定量の一般式(1)で表される化合物などを添加して、適宜攪拌処理を施すことにより、本発明の有機薄膜トランジスタ用組成物を得ることができる。
[有機薄膜トランジスタ用材料]
本発明の有機薄膜トランジスタ用材料は、上述した一般式(1)で表される化合物を含有する。有機薄膜トランジスタ用材料とは、有機薄膜トランジスタに使用され、半導体の特性を表す材料のことを指す。
上記一般式(1)で表される化合物は、半導体としての性質を示す材料であり、電子をキャリアとして伝導するp型(正孔輸送型)の有機半導体材料である。
なお、有機薄膜トランジスタ用材料は、後述するその他の用途に使用してもよく、この場合には、「有機薄膜トランジスタ用材料」を単に「有機半導体材料」という。
[一般式(1)で表される化合物のその他の用途]
上記一般式(1)で表される化合物は、上記のように優れた性質を有するため、有機薄膜トランジスタ以外のその他の用途にも好適に使用できる。
その他の用途としては、例えば、非発光性有機半導体デバイスが挙げられる。非発光性有機半導体デバイスとは、発光することを目的としないデバイスを意味する。
このような非発光性有機半導体デバイスとしては、上述した有機薄膜トランジスタの他に、有機光電変換素子(光センサ用途の固体撮像素子、及びエネルギー変換用途の太陽電池など)、ガスセンサ、有機整流素子、及び情報記録素子などが挙げられる。
非発光性有機半導体デバイスは、有機半導体膜をエレクトロニクス要素として機能させることが好ましい。有機半導体膜は、上記一般式(1)で表される化合物を含む有機半導体膜を含む。
以下に実施例と比較例を挙げて本発明の特徴をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
[実施例1〜5及び比較例1〜3]
≪合成例≫
<化合物1の合成>
以下のスキームに示した具体的合成手順に準じて、一般式(1)で表される化合物である、化合物1(表1の例示化合物3に相当)を合成した。
<化合物2、3の合成>
上記化合物1の合成方法に準じて、一般式(1)で表される化合物である化合物2、3を、それぞれ合成した。
<化合物4の合成>
以下のスキームに示した具体的合成手順に準じて、一般式(1)で表される化合物である、化合物4(表1の例示化合物30相当)を合成した。
<化合物5の合成>
上記化合物4の合成方法に準じて、一般式(1)で表される化合物である化合物5を合成した。
<比較化合物1〜3の合成>
比較素子の有機半導体膜(有機半導体層)に用いる比較化合物1〜3を、特開2014−078729号公報(特許文献1)に記載されている合成法に準じて合成した。比較化合物1〜3の構造を以下に示す。
≪素子作製・評価≫
素子作製に用いた有機薄膜トランジスタ用材料(上記の各化合物)は、高速液体クロマトグラフィー(東ソーTSKgel ODS−100Z)により純度(254nmの吸収強度面積比)が99.0%以上であることを確認した。
<塗布プロセスによるボトムゲート・トップコンタクト型素子の作製>
上記で合成した化合物1と溶媒としてのアニソールとを混合して0.05質量%溶液を調製し、80℃に加熱したものを、有機薄膜トランジスタ用組成物1とした。
また、化合物1の代わりに化合物2〜5又は比較化合物1、2若しくは3のいずれかを用いた以外は同様の方法により、有機薄膜トランジスタ用組成物2〜5、比較用有機薄膜トランジスタ用組成物1〜3を各々調製した。
実施例及び比較例では、図3〜図5に記載の方法により有機半導体膜の形成を実施した。図3〜図5は、実施例及び比較例の有機半導体膜の製造方法を示す模式図である。
有機薄膜トランジスタ用組成物1を用いた場合を例に挙げて、有機半導体膜の形成方法の詳細を以下に示す。
n型シリコン基板(0.4mm厚さ)の表面に、SiOの熱酸化膜500nmを形成した10mm×10mm基板を基板212として使用した。基板212の熱酸化膜側の表面に対して、UV(紫外線)−オゾン洗浄を施した後、β−フェニチルトリメトキシシラン処理を行った。
基板212のβ−フェニチルトリメトキシシラン処理面上であって、図3に示すように基板212の中央部に、部材214を、基板212と接触させた状態となるように置いた。部材214はガラス製で、縦6mm×横1mm×高さ2mmのものを用い、図3の左右方向(X軸方向)が部材214の横方向であり、図3の上下方向(Z軸方向)が部材214の高さ方向であり、図4Bの上下方向(Y軸方向)が部材214の縦方向である。
基板212を70℃に加熱し、ここに上記の方法で調製した有機薄膜トランジスタ用組成物1(図3〜図5に示す有機薄膜トランジスタ用組成物210)の1滴(約0.03ml)を、ピペット216を用いて、図3に示すとおり基板212と部材214の両方に接するように部材214の側部からたらしたところ、図4A及び図4Bに示すとおり基板212の表面内の一部に有機薄膜トランジスタ用組成物1が滴下された。部材214との界面においては凹状のメニスカスを形成していた。
図5に示すとおり、基板212と部材214を接触させた状態を維持しながら、また、基板212と部材214との位置関係を静止させた状態で、滴下した有機薄膜トランジスタ用組成物1を自然乾燥させた。その後60℃で8時間、10−3MPaの圧力下で減圧乾燥させることで化合物1の結晶を析出させて、有機半導体膜を形成した。結晶が析出したか否かは、偏光顕微鏡による観察によって確認した。なお、得られた有機半導体膜の膜厚は、70nmであった。
得られた有機半導体膜に、さらにマスクをつけて電荷注入アクセプターとしてF4−TCNQ(2,3,5,6-テトラフルオロ-7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン)2nmと金電極40nmをそれぞれ蒸着することによりFET(電界効果トランジスタ)特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子1(以下「素子1」ともいう。)を得た。
また、有機薄膜トランジスタ用組成物1の代わりに有機薄膜トランジスタ用組成物2〜5又は比較用有機薄膜トランジスタ用組成物1、2若しくは3のいずれかを用いた以外は上記素子1の作製方法に準じて、有機薄膜トランジスタ素子2〜5(以下「素子2〜5」ともいう。)及び比較有機薄膜トランジスタ素子1〜3(以下「比較素子1〜3」ともいう。)を各々作製した。得られた素子1〜5及び比較素子1〜3を、実施例1〜5及び比較例1〜3の有機薄膜トランジスタ素子とした。
<評価>
各有機薄膜トランジスタ素子(素子1〜5及び比較素子1〜3)のFET特性は、セミオートプローバー(ベクターセミコン製、AX−2000)を接続した半導体パラメーターアナライザー(Agilent製、4156C)を用いて、常圧・大気下でのキャリア移動度の観点で評価した。
(キャリア移動度)
各有機薄膜トランジスタ素子(FET素子)のソース電極−ドレイン電極間に−50Vの電圧を印加し、ゲート電圧を20V〜−150Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Iを表わす式I=(w/2L)μC(V−Vth(式中、Lはゲート長、Wはゲート幅、Cは絶縁層の単位面積当たりの容量、Vはゲート電圧、Vthは閾値電圧)を用いてキャリア移動度μを算出し、以下の4段階で評価した。
得られた結果を下記表に示す。
「A」:≧2cm/Vs
「B」:1cm/Vs以上〜2cm/Vs未満
「C」:0.1cm/Vs以上〜1cm/Vs未満
「D」:<0.1cm/Vs
[実施例6〜10及び比較例4〜6]
≪素子作製・評価≫
<塗布プロセスによるボトムゲート・ボトムコンタクト型素子の作製>
実施例6〜10及び比較例4〜6ではボトムゲート・ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子を作製した。詳細を下記に示す。
上記実施例1において化合物1の0.05質量%アニソール溶液を80℃に加熱することにより得た有機薄膜トランジスタ用組成物1を、窒素雰囲気下、70℃に加熱した下記FET特性測定用基板上にキャスト(ドロップキャスト法)することで、非発光性有機薄膜トランジスタ素子6(以下「素子6」ともいう。)を得た。 FET特性測定用基板としては、ソース及びドレイン電極としてくし型に配置されたクロム/金(ゲート幅W=100mm、ゲート長L=100μm)、絶縁膜としてSiO(膜厚500nm)を備えたボトムゲート・ボトムコンタクト構造のシリコン基板を用いた。
有機薄膜トランジスタ用組成物1の代わりに有機薄膜トランジスタ用組成物2〜5又は比較用有機薄膜トランジスタ用組成物1、2若しくは3のいずれかを用いた以外は上記素子6の作製方法に準じて、有機薄膜トランジスタ素子7〜10(以下「素子7〜10」ともいう。)及び比較有機薄膜トランジスタ素子4〜6(以下「比較素子4〜6」ともいう。)を各々作製した。得られた素子6〜10及び比較素子4〜6を、実施例6〜10及び比較例4〜6の有機薄膜トランジスタ素子とした。
<評価>
各有機薄膜トランジスタ素子(素子6〜10及び比較素子4〜6)のFET特性を、実施例1と同様の方法で評価した。その結果を下記表に示す。
[実施例11〜14及び比較例7〜9]
<蒸着プロセスによるボトムゲート・トップコンタクト型素子の作製>
上記実施例1と同様の方法で、基板212の酸化膜側の表面に対して、UV−オゾン洗浄を施した後、ドデシルトリクロロシラン処理を行った。
この基板212のドデシルトリクロロシラン処理面上に、化合物1を0.05nm/sの蒸着速度で膜厚40nmになるように蒸着成膜した。
得られた有機半導体膜に、さらにマスクをつけて電荷注入アクセプターとしてF4−TCNQ2nmと金電極40nmをそれぞれ蒸着することによりFET特性測定用の有機薄膜トランジスタ素子11(以下「素子11」ともいう。)を得た。
化合物1の代わりに化合物2、4、5又は比較化合物1、2、3のいずれかを用いた以外は素子11と同様の方法により、有機薄膜トランジスタ素子12〜14(以下「素子12〜14」ともいう。)及び比較有機薄膜トランジスタ素子7〜9(以下「比較素子7〜9」ともいう。)を各々作製した。得られた素子11〜14及び比較素子7〜9を、実施例11〜14及び比較例7〜9の有機薄膜トランジスタ素子とした。
<評価>
有機薄膜トランジスタ素子(素子11〜14及び比較素子7〜9)のFET特性を、実施例1と同様の方法で評価した。その結果を下記表に示す。
上記の評価結果より、上記一般式(1)で表される化合物を用いた各実施例(実施例1〜14)の有機薄膜トランジスタ素子は、キャリア移動度が高いことが確認され、上記一般式(1)で表される化合物は、有機薄膜トランジスタ用材料として好ましく用いられることが明らかとなった。
また、一般式(1)のZに相当する5員環の芳香族複素環であるセレノフェンにおいてセレン原子の位置のみが異なる構造異性体である、化合物1〜3を使用した実施例と化合物4,5を使用した実施例とをそれぞれ比較すると(表2〜4参照)、化合物1〜3(一般式(1X)に相当する化合物)を用いた実施例は、塗布、蒸着等の膜形成手段及びトランジスタ層構成に依らず、いずれの形態においてもより優れたキャリア移動度を与えることが分かった。
また、化合物1〜5を用いた各実施例を比較することにより(表2、4参照)、上記一般式(1)で表される化合物の膜形成手段として、実施例1にて実施したエッジキャスト法を用いることで、より優れたキャリア移動度が得られることが分かった。
また、一般式(1)のZに相当する5員環の芳香族複素環であるセレノフェンにおいて、セレン原子の位置が同一で、且つ、置換基種のみ異なる、化合物4を用いた実施例13と化合物5を用いた実施例14とを比較すると(表4参照)、より長鎖の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数4〜12、より好ましくは炭素数8〜12)を有する場合に、より優れたキャリア移動度が得られることが分かった。
一方、一般式(1)の範囲外である比較化合物1〜3を有機薄膜トランジスタ用材料として有機半導体層に用いた有機薄膜トランジスタ素子(比較例1〜9)は、いずれにおいてもキャリア移動度が低いことが明らかとなった。
[実施例15〜19および比較例10〜12]
<ポリマーバインダーを用いたボトムゲート・ボトムコンタクト型素子の作製>
実施例6で化合物1の代わりに化合物1とポリα−メチルスチレンを質量比1:1で含有した材料(材料1’)を用いた以外は実施例6と同様にボトムゲート・ボトムコンタクト型素子15を作製した。 素子15の作製において、化合物1の代わりに化合物2〜5又は比較化合物1、2若しくは3のいずれかを用いた以外は同様の方法により、有機薄膜トランジスタ素子16〜19(以下「素子16〜19」ともいう。)及び比較有機薄膜トランジスタ素子10〜12(以下「比較素子10〜12」ともいう。)を各々作製した。得られた素子15〜19及び比較素子10〜12を、実施例15〜19及び比較例10〜12の有機薄膜トランジスタ素子とした。
<評価>
各有機薄膜トランジスタ素子(素子15〜19及び比較素子10〜12)のFET特性を、実施例1と同様の方法で評価した。その結果を下記表に示す。
上記表より、本発明の一般式(1)で表される化合物を用いた各実施例の有機薄膜トランジスタ素子は、ボトムゲート・ボトムコンタクト型素子の場合およびポリマーバインダーを用いた場合でもキャリア移動度が高いことが確認され、本発明の一般式(1)で表される化合物は有機薄膜トランジスタ材料として好ましく用いられることが分かった。
一方、一般式(1)の範囲外である比較化合物1、2、3を有機薄膜トランジスタ材料として有機半導体層に用いた有機薄膜トランジスタ素子は、キャリア移動度が低いことが分かった。
[実施例20〜24]
≪素子作製・評価≫
<印刷法によるボトムゲート・ボトムコンタクト型素子の作製>
−インクジェット法―
化合物1と溶媒としてのテトラリンとを混合して0.1質量%溶液を調整し、これを有機薄膜トランジスタ用組成物20とした。また、化合物1の代わりに各々化合物2〜5を用いた以外は同様にして、有機薄膜トランジスタ用組成物21〜24を調整した。
上記有機薄膜トランジスタ用組成物20を用い、インクジェット法により、実施例6と同様のボトムゲート・ボトムコンタクト型FET特性測定用基板上に有機半導体膜を形成し、非発光性有機薄膜トランジスタ素子20(以下「素子20」ともいう。)を得た。
なお、インクジェット法による有機半導体膜の具体的な作製方法は、下記の通りである。
インクジェット装置としてはDMP2831(富士フイルムグラフィックシステムズ(株)製)、10plヘッドを用い、吐出周波数2Hz、ドット間ピッチ20μmでベタ膜を形成した。その後70℃で1時間乾燥することで有機半導体膜を形成した。
有機薄膜トランジスタ用組成物20の代わりに有機薄膜トランジスタ用組成物21〜24を用いた以外は上記素子20の作製方法に準じて、有機薄膜トランジスタ素子21〜24(以下「素子21〜24ともいう。)を各々作製した。得られた素子20〜24を、実施例20〜24の有機薄膜トランジスタ素子とした。
<評価>
各有機薄膜トランジスタ素子(素子20〜24)のFET特性を、実施例1と同様の方法で評価した。その結果を下記表に示す。
表6に示すように、本発明の一般式(1)で表される化合物をインクジェット法により成膜してなる有機半導体層を備えた各実施例の有機薄膜トランジスタ素子は、いずれもキャリア移動度が高いことが確認され、本発明の一般式(1)で表される化合は有機薄膜トランジスタ材料として好ましく用いられることが分かった。
[実施例25〜29]
<インバータの作製>
図6に示すように、実施例1の有機薄膜トランジスタ素子に可変抵抗を接続し、可変抵抗の抵抗値を適切な値に設定して、インバータ素子25を作製した。また、実施例1の有機薄膜トランジスタ素子に変えて実施例2〜実施例5の有機薄膜トランジスタ素子を用いて、インバータ素子26〜29を作製した。いずれのインバータ素子もゲイン10以上の良好なインバータ特性を示した。
[実施例30〜34]
<リングオシレーターの作製>
図7に示すように、実施例25のインバータ素子を3段連結することによりリングオシレーター素子30を作製した。また、実施例25のインバータ素子に変えて実施例26〜実施例29のインバータ素子を用いて、リングオシレーター素子31〜34を作製した。いずれのリングオシレーター素子も安定して発振した。
以上のように、本発明の化合物を用いることにより、各種デバイスの作製が可能なことが示された。
10 基板、20 ゲート電極、30 ゲート絶縁膜、40 ソース電極、42 ドレイン電極、50 有機半導体膜(有機半導体層)、60 封止層、100,200 有機薄膜トランジスタ、210 有機薄膜トランジスタ用組成物、212 基板、214 部材、216 ピペット

Claims (22)

  1. 下記一般式(1)で表され、かつ、分子量が3000以下である化合物を含む有機半導体膜を有する有機薄膜トランジスタ。

    Zは、セレノフェン、チアゾール、オキサゾール、イミダゾール及びシロールからなる群から選ばれる5員環の芳香族複素環を表し、R〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
  2. 前記一般式(1)中、R〜R10に含まれる炭素数がそれぞれ独立に30以下である、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。
  3. 前記一般式(1)中、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有する、請求項1又は2に記載の有機薄膜トランジスタ。
  4. 前記一般式(1)中、RとRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタ。
  5. 前記化合物が、下記一般式(2)又は一般式(3)で表される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタ。

    〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
    とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
  6. 前記化合物が、下記一般式(4)又は一般式(5)で表される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタ。

    〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
    とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
  7. 前記化合物が、下記一般式(6)又は一般式(7)で表される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタ。

    およびRは同一の基であり、それぞれ下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基又は炭素数20以下のヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
  8. 前記一般式(6)又は(7)中、Lが単結合である、請求項7記載の有機薄膜トランジスタ。
  9. 前記一般式(6)又は一般式(7)中、R及びRがいずれも炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含む、請求項7又は8に記載の有機薄膜トランジスタ。
  10. 下記一般式(1)で表され、かつ、分子量が3000以下である化合物。

    Zは、セレノフェン、チアゾール、オキサゾール、イミダゾール及びシロールからなる群から選ばれる5員環の芳香族複素環を表し、R〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
  11. 前記一般式(1)中、R〜R10に含まれる炭素数がそれぞれ独立に30以下である、請求項10に記載の化合物。
  12. 前記一般式(1)中、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有する、請求項10又は11に記載の化合物。
  13. 前記一般式(1)中、RとRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である、請求項10〜12のいずれか1項に記載の化合物。
  14. 前記化合物が、下記一般式(2)又は一般式(3)で表される、請求項10〜13のいずれか1項に記載の化合物。

    〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
    とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
  15. 前記化合物が、下記一般式(4)又は一般式(5)で表される、請求項10〜14のいずれか1項に記載の化合物;

    〜R10は、それぞれ独立に下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、水素原子、ハロゲン原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
    但し、R〜R10の少なくともいずれか1つが、Rとして、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基及び炭素数20以下のヘテロアリール基からなる群から選ばれるいずれかの基を有し、
    とRとが同一の基、且つ、RとR10とが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基、且つ、RとRとが同一の基である。
  16. 前記化合物が、下記一般式(6)又は一般式(7)で表される、請求項10〜15のいずれか1項に記載の化合物。

    およびRは同一の基であり、それぞれ下記式(W)で表される基を表す。
    −L−R (W)
    式(W)中、Lは、単結合、−O−、−S−、−NR11−、−CO−、−SO−、−SO−若しくは−Si(R12)(R13)−のいずれかの2価の連結基、又は、これらの2価の連結基が2以上結合した2価の連結基であり、Rは、置換基を有していてもよい、炭素数20以下のアルキル基、炭素数20以下のアリール基又は炭素数20以下のヘテロアリール基を表す。
    11〜R13は、それぞれ独立に、水素原子、又は、置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基若しくはヘテロアリール基を表す。
  17. 前記一般式(6)又は(7)中、Lが単結合である、請求項16記載の化合物。
  18. 前記一般式(6)又は一般式(7)中、R及びRがいずれも炭素数20以下の脂肪族炭化水素基を含む、請求項17に記載の化合物。
  19. 請求項10〜18のいずれか1項に記載の化合物を含有する、有機薄膜トランジスタ用材料。
  20. 請求項10〜18のいずれか1項に記載の化合物を含有する、有機薄膜トランジスタ用組成物。
  21. 請求項20に記載の有機薄膜トランジスタ用組成物を基板上に塗布して、乾燥させることにより有機半導体膜を形成する工程を含む、有機薄膜トランジスタの製造方法。
  22. 請求項10〜18のいずれか1項に記載の化合物を含有する、有機半導体膜。
JP2017533086A 2015-08-04 2016-08-02 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜 Active JP6483265B2 (ja)

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