JP6483260B2 - Rfイオンガイド - Google Patents
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Description
本明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
質量分析計であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源と、
b.第1の真空チャンバであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバから前記イオンを通すための出口開口とを備えている、第1の真空チャンバと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の電極を有し、前記複数の電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の電極の各々は、テーパ状であり、前記複数のテーパ状電極の各々の平面表面は、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面し、前記表面は、徐々に細くされ、内向きに傾斜させられ、前記出口においてより小さい内接半径を提供する、少なくとも1つのイオンガイドと、
d.RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源と
を備えている、質量分析計。
(項目2)
前記入口端におけるより前記出口端において、前記イオンガイドの内部から外部へのガスの半径方向流に対してより大きい抵抗が存在する、項目1に記載の質量分析計。
(項目3)
隣接する電極間の間隔は、前記イオンガイドの長さにわたって本質的に一定である、項目1に記載の質量分析計。
(項目4)
隣接する電極間の間隔は、約0.4mm〜約1.5mmである、項目3に記載の質量分析計。
(項目5)
前記複数の電極の各々は、前記イオンガイドのより狭い出口端に向かって徐々により厚くなり、前記厚さは、前記中心軸と略垂直な方向におけるものである、項目1に記載の質量分析計。
(項目6)
前記複数の電極の各々は、前記入口端におけるより前記出口端において、約4倍厚い、項目5に記載の質量分析計。
(項目7)
前記少なくとも1つのイオンガイドは、多極を備えている、項目1に記載の質量分析計。
(項目8)
質量分析を行う方法であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源を提供することと、
b.第1の真空チャンバを提供することであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバから前記イオンを通すための出口開口とを備えている、ことと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドを提供することであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の電極を有し、前記複数の電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の電極の各々は、テーパ状であり、前記複数のテーパ状電極の各々の平面表面は、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面し、前記表面は、徐々に細くされ、内向きに傾斜させられ、前記出口においてより小さい内接半径を提供する、ことと、
d.RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源を提供することと
を含む、方法。
(項目9)
前記入口端におけるより前記出口端において、前記イオンガイドの内部から外部へのガスの半径方向流に対してより大きい抵抗が存在する、項目8に記載の方法。
(項目10)
隣接する電極間の間隔は、前記イオンガイドの長さにわたって本質的に一定である、項目8に記載の方法。
(項目11)
隣接する電極間の間隔は、約0.4mm〜約1.5mmである、項目10に記載の方法。
(項目12)
前記複数の電極の各々は、前記イオンガイドのより狭い出口端に向かって徐々により厚くなり、前記厚さは、前記中心軸と略垂直な方向におけるものである、項目8に記載の方法。
(項目13)
前記電極は、前記入口端におけるより前記出口端において、約4倍厚い、項目12に記載の方法。
(項目14)
質量分析計であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源と、
b.第1の真空チャンバであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバから前記イオンを通すための出口開口とを備えている、第1の真空チャンバと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の平面電極を有し、前記複数の平面電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の平面電極の各々は、前記イオンガイドの長さに沿って折り曲げられ、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面する徐々に細くなる平面表面を形成し、第2の平面表面が、前記イオンガイドの軸に略直交する、イオンガイドと、
d.RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源と
を備えている、質量分析計。
(項目15)
前記複数の電極は、約90度で折り曲げられている、項目14に記載の質量分析計。
(項目16)
前記少なくとも1つのイオンガイドは、テーパ状電極を備えている、項目14に記載の質量分析計。
(項目17)
隣接する電極間の間隔は、約0.1mm〜約1.5mmである、項目14に記載の質量分析計。
(項目18)
前記イオンガイドの入口端の直径は、約7mm〜約12mmである、項目14に記載の質量分析計。
(項目19)
前記イオンガイドの出口端の直径は、約1.5mm〜約2.5mmである、項目14に記載の質量分析計。
(項目20)
前記少なくとも1つのイオンガイドは、多極を備えている、項目14に記載の質量分析計。
Claims (18)
- 質量分析計であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源と、
b.第1の真空チャンバであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバからイオンを通すための出口開口とを備えている、第1の真空チャンバと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の電極を有し、前記複数の電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の電極の各々は、テーパ状であり、前記複数の電極の各々は、前記イオンガイドのより狭い出口端に向かって徐々により厚くなり、前記厚さは、前記中心軸と略垂直な方向におけるものであり、隣接する電極が間隙によって分離されており、前記間隙は、幅(G)および間隙厚さ(T)を有し、前記間隙厚さ(T)は、それぞれの隣接する電極の厚さによって定義され、前記幅(G)は、前記間隙厚さ(T)に沿って一定であり、前記複数のテーパ状電極の各々の平面表面は、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面し、前記表面は、徐々に細くされ、内向きに傾斜させられ、前記出口端においてより小さい内接半径を提供する、少なくとも1つのイオンガイドと、
d.RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源と
を備えている、質量分析計。 - 前記入口端におけるより前記出口端において、前記イオンガイドの内部から外部へのガスの半径方向流に対してより大きい抵抗が存在する、請求項1に記載の質量分析計。
- 隣接する電極間の間隔は、前記イオンガイドの長さにわたって本質的に一定である、請求項1に記載の質量分析計。
- 隣接する電極間の間隔は、約0.4mm〜約1.5mmである、請求項3に記載の質量分析計。
- 前記複数の電極の各々は、前記入口端におけるより前記出口端において、約4倍厚い、請求項1に記載の質量分析計。
- 前記少なくとも1つのイオンガイドは、多極を備えている、請求項1に記載の質量分析計。
- 質量分析を行う方法であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源を提供することと、
b.第1の真空チャンバを提供することであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバからイオンを通すための出口開口とを備えている、ことと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドを提供することであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の電極を有し、前記複数の電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の電極の各々は、テーパ状であり、前記複数の電極の各々は、前記イオンガイドのより狭い出口端に向かって徐々により厚くなり、前記厚さは、前記中心軸と略垂直な方向におけるものであり、隣接する電極が間隙によって分離されており、前記間隙は、幅(G)および間隙厚さ(T)を有し、前記間隙厚さ(T)は、それぞれの隣接する電極の厚さによって定義され、前記幅(G)は、前記間隙厚さ(T)に沿って一定であり、前記複数のテーパ状電極の各々の平面表面は、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面し、前記表面は、徐々に細くされ、内向きに傾斜させられ、前記出口端においてより小さい内接半径を提供する、ことと、
RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源を提供することと
を含む、方法。 - 前記入口端におけるより前記出口端において、前記イオンガイドの内部から外部へのガスの半径方向流に対してより大きい抵抗が存在する、請求項7に記載の方法。
- 隣接する電極間の間隔は、前記イオンガイドの長さにわたって本質的に一定である、請求項7に記載の方法。
- 隣接する電極間の間隔は、約0.4mm〜約1.5mmである、請求項9に記載の方法。
- 前記電極は、前記入口端におけるより前記出口端において、約4倍厚い、請求項7に記載の方法。
- 質量分析計であって、
a.高圧領域内において試料からイオンを発生させるためのイオン源と、
b.第1の真空チャンバであって、前記第1の真空チャンバは、前記高圧領域から前記真空チャンバの中に前記イオンを通すための入口開口と、前記真空チャンバからイオンを通すための出口開口とを備えている、第1の真空チャンバと、
c.前記入口開口と出口開口との間の少なくとも1つのイオンガイドであって、前記少なくとも1つのイオンガイドは、入口端および出口端を有し、前記少なくとも1つのイオンガイドは、中心軸の周囲に配列された複数の平面電極を有し、前記複数の平面電極は、イオンチャネルを画定し、前記複数の平面電極の各々は、前記イオンガイドの長さに沿って折り曲げられ、前記少なくとも1つのイオンガイドの内部に面する徐々に細くなる平面表面を形成し、第2の平面表面が、前記イオンガイドの軸に略直交する、イオンガイドと、
d.RF電圧を前記少なくとも1つのイオンガイドに提供するための電力供給源と
を備えている、質量分析計。 - 前記複数の電極は、約90度で折り曲げられている、請求項12に記載の質量分析計。
- 前記少なくとも1つのイオンガイドは、テーパ状電極を備えている、請求項12に記載の質量分析計。
- 隣接する電極間の間隔は、約0.1mm〜約1.5mmである、請求項12に記載の質量分析計。
- 前記イオンガイドの入口端の直径は、約7mm〜約12mmである、請求項12に記載の質量分析計。
- 前記イオンガイドの出口端の直径は、約1.5mm〜約2.5mmである、請求項12に記載の質量分析計。
- 前記少なくとも1つのイオンガイドは、多極を備えている、請求項12に記載の質量分析計。
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