JP6475176B2 - 欠陥観察装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施例1における欠陥観察装置の構成図である。欠陥観察装置1000は、主に、レビュー装置100と、ネットワーク121と、データベース122と、ユーザインターフェース123と、記憶装置124と、制御部125とから構成されている。
制御部125は、観察するウェハに存在する欠陥の情報を読み込む。具体的には、制御部125は、欠陥検査装置107が出力した欠陥情報、又は、記憶装置124に格納された欠陥情報を読み込む。欠陥情報は、例えば欠陥検査装置107を用いて検出した欠陥の欠陥ID、欠陥座標、欠陥信号、欠陥サイズ、欠陥形状、欠陥散乱光の偏光、欠陥種、欠陥ラベル、輝度、輝点の面積、欠陥の特徴量、試料101表面の散乱信号などの何れか、又はこれらの組み合わせで構成される欠陥検査結果と、欠陥検査装置107の照明入射角、照明波長、照明方位角、照明強度、照明偏光、検出器の方位角・仰角、検出器207の検出領域などの何れか、又はこれらの組み合わせで構成される欠陥検査条件とを含む。また、欠陥検査装置107が複数の検出器を備えており、欠陥検査装置107から複数の検出器で検出された欠陥情報が出力される場合には、制御部125は、検出器毎の試料101の欠陥情報を使用してもよいし、又は、複数の検出器で検出された欠陥情報を統合して使用してもよい。また、制御部125は、上記の欠陥情報に基づいて導出される特徴量を使用してもよい。特徴量とは、欠陥らしさを表す情報である。特徴量には、検出器から得られる検出信号自体の特徴を表す情報だけでなく、その検出信号に対して所定の処理を実行して得られる特徴を表す情報も含まれる。
観察対象のウェハを試料ホルダ102に固定する。
制御部125は、粗アライメントを実行する。制御部125は、光学顕微鏡部105の明視野照明光学系211を用いて試料101に光を照射し、検出光学系210で得られた画像に基づいて粗アライメントを行なってもよい。また、別の例として、制御部125は、欠陥観察装置1000に搭載されている他のアライメント用顕微鏡(図示せず)で得られた画像に基づいて粗アライメントを行ってもよい。
次に、制御部125は、S301で読み込んだ欠陥情報に基づいて、欠陥毎に検査モードを選択する。本ステップでは、欠陥毎に検査モードが初期設定される。検査モードは、高感度に欠陥を検出するために照明スポットが狭い状態で検査する高感度モード(狭視野モード)と、欠陥の検出見逃しを抑えるために照明スポットが広い状態で検査する広視野モードとを含む。
次に、制御部125は、選択された検査モードを用いて光学顕微鏡部105によって欠陥を検出し、欠陥座標補正式を作成する。S305の詳細なフローは、図5を用いて後述する。制御部125は、撮像された欠陥から座標誤差を導出し、導出した座標誤差から欠陥座標補正式を作成及び更新することができる。この構成により、欠陥座標補正式の精度が確保された段階以降は、サーチアラウンドの回数を低減させることが可能となる。
次に、制御部125は、観察すべき欠陥が残っているかを判定する。観察すべき欠陥が存在する場合(YES)、S305に戻り、対象となる残りの欠陥に対して同様の処理を行う。全ての欠陥(又はユーザが指定した欠陥)の検出が完了した場合(NO)、S307へ進む。
次に、制御部125は、S301で読み込んだ欠陥座標(欠陥検査装置107で取得した座標情報)を、S305で算出した欠陥座標補正式を用いて補正する。
次に、制御部125は、S307で補正された欠陥座標に基づき、SEM106の視野内に欠陥が入るようにステージ103を移動させる。そして、制御部125は、SEM106を用いてSEM像を取得する。
次に、制御部125は、SEM観察すべき欠陥が残っているかを判定する。観察すべき欠陥が存在する場合(YES)、S307へ戻る。その後、制御部125は、次に観察すべき欠陥の座標情報を取得し、SEM観察を繰り返し実行する。全ての欠陥(又はユーザが指定した欠陥)のSEM観察が完了した場合(NO)、レビュー装置100による欠陥観察を終了する(S310)。
制御部125は、観察すべき複数の欠陥の中に、検査モードAの欠陥があるかを判定する。ここでは、検査モードAは広視野モードのことである。検査モードAの欠陥がある場合、S502へ進み、検査モードAの欠陥に対して観察が実行される。したがって、広視野モード(検査モードA)に設定された全ての欠陥の検出が終了するまで、検査モードAによる欠陥検出が連続して実行される。一方、検査モードAの欠陥がない場合(すなわち、検査モードAの欠陥の検出が終了した後)、S509へ進む。以下では、まず、検査モードAの欠陥がある場合の流れを説明する。検査モードAによって設定される照明スポット及び撮像エリアを、それぞれ、照明スポットA、撮像エリアAと称する。
制御部125は、検査モードAの観察条件を設定する。制御部125は、暗視野照明光学系201のレンズ構成及び配置を変更し、照明スポットAを設定する。これに伴い、検出器207の画素を切り出す場合には、制御部125は、検出器207の使用される画素を限定する(撮像エリアAを選択する)。また、制御部125は、照明のレーザパワー、偏光、及び、検出時間などの撮像に必要なパラメータも設定する。
制御部125は、S301で読み込んだ欠陥情報に基づいて、観察対象の欠陥が光学顕微鏡部105の視野内に入るようにステージ103を移動させる。なお、1つ目の欠陥を検出した後には、以下で説明するS508によって、欠陥座標補正式が作成されている。したがって、2つ目以降の欠陥の検出に関しては、制御部125は、欠陥座標補正式を用いてS301で読み込んだ欠陥情報を補正し、観察対象の欠陥が光学顕微鏡部105の視野内に入るようにステージ103を移動させる。これにより、欠陥の検出見逃しの頻度を低減させることができる。
制御部125は、高さ制御機構209を用いて光学顕微鏡部105の対物レンズ202の高さを調節し、また、ステージ103の高さを調節し、光学顕微鏡部105の焦点を試料101の表面に合わせる。焦点合わせの際には、制御部125は、暗視野照明光学系201を用いてレーザを照射し、対物レンズ202の高さ及び/又はステージ103の高さを変えながら、複数の画像を取得する。制御部125は、複数の画像に関して、特徴量(欠陥面積、最大輝度値など)を算出する。例えば、欠陥面積を焦点合わせの評価値とする場合、焦点が合うと、欠陥の点像は最小になるため、面積が最小になった条件をジャストフォーカスと見なす。別の例として、欠陥最大輝度値を評価値とする場合には、焦点が合うと欠陥の点像の輝度値が最大になるため、輝度値が最大になった条件をジャストフォーカスと見なす。また、制御部125は、上記の面積及び輝度値を統合し、これらの統合された評価値からジャストフォーカス位置を算出してもよい。
制御部125は、光学顕微鏡部105を用いて、観察すべき欠陥の周辺領域を撮像し、取得した画像内で欠陥を探索する。
制御部125は、S505で取得された画像内で、観察すべき欠陥が検出できたかを判定する。欠陥を検出できた場合(YES)、S507に進む。一方、欠陥を検出できなかった場合(NO)、S511に進む。
制御部125は、光学顕微鏡部105で算出された座標情報と、欠陥検査装置107から出力された座標情報との誤差データを算出する。例えば、ここで算出される誤差は、欠陥像の重心位置の誤差である。
制御部125は、S507で算出された誤差データを用いて、欠陥検査装置107から出力された座標情報を欠陥観察装置1000上の欠陥に変換する欠陥座標補正式を算出する。ここで算出された欠陥座標補正式は、次の欠陥の位置へ移動する際(S503、S510)に使用される。
S506において欠陥を検出できなかった場合、視野内に欠陥が入っていないことが考えられる。したがって、制御部125は、サーチアラウンド(1回目の撮像領域の周辺部の探索)を実施するかを判定する。サーチアラウンドを実施する場合、S512に進む。一方、サーチアラウンドを実施しない場合、S513に進む。
サーチアラウンドを実施する場合、制御部125は、光学顕微鏡部105の視野に相当する距離だけステージ103を水平方向(X方向及びY方向)に移動させる。その後、S505へ戻り、変更された視野での撮像及び欠陥探索が行われる。
サーチアラウンドを実施しない場合、制御部125は、検査モードを変更するかどうかを判定する。別の検査モードでリトライする場合(YES)、S514へ進む。一方、当該欠陥の検出を諦める場合は、検査モードを変更しない(NO)。
制御部125は、S304で選択した初期の検査モードを別の検査モードへ変更する。
ステップS501で検査モードAの欠陥が存在しない場合(すなわち、検査モードAの欠陥の座標誤差補正が完了した場合)、制御部125は、検査モードBの観察条件を設定する。ここでは、検査モードBは高感度モードのことである。検査モードBの欠陥には、S304で検査モードBが初期設定された欠陥と、初期設定では検査モードAであったが、欠陥検出できず、検査モードが変更(S514)された欠陥とが含まれる。以下では、検査モードBによって設定される照明スポット及び撮像エリアを、それぞれ、照明スポットB、撮像エリアBと称する。制御部125は、暗視野照明光学系201のレンズ構成及び配置を変更し、照明スポットBを設定する。これに伴い、検出器207の画素を切り出す場合には、制御部125は、検出器207の使用される画素を限定する(撮像エリアBを選択する)。また、制御部125は、照明のレーザパワー、偏光、及び、検出時間などの撮像に必要なパラメータも設定する。
本フローでは、検査モードAの欠陥を観察したときに欠陥座標補正式がすでに作成されている。したがって、制御部125は、S301で読み込んだ欠陥座標(欠陥検査装置107で取得した座標情報)を、S508で算出した欠陥座標補正式を用いて補正する。その後、S503へ進む。この構成によれば、検査モードAの欠陥を観察したときに作成された欠陥座標補正式を用いて、検査モードBの欠陥の探索を行うことができる。したがって、検査モードBでの検出精度が向上する。
次に実施例2を説明する。本実施例におけるレビュー装置の構成は図1〜図3と同様であるため、説明を省略する。本実施例は、光学顕微鏡部105で取得した画像内に複数の欠陥が含まれている場合、画像内の欠陥のIDを特定できる点に特徴がある。
制御部125は、予め設定された検査モードに応じて、暗視野照明光学系201のレンズ構成及び配置を変更し、照明スポットを設定する。これに伴い、検出器207の画素を切り出す場合には、制御部125は、検出器207の使用される画素を限定するために、撮像エリアを設定する。また、制御部125は、照明のレーザパワー、偏光、及び、検出時間などの撮像に必要なパラメータも設定する。
制御部125は、S505で取得した光学顕微鏡部105の画像中で検出した欠陥数Nを判定する。欠陥の検出数Nが2以上の場合、S517に進む。欠陥の検出数Nが1の場合、S521に進む。また、欠陥の検出数Nが0の場合、S511に進む。
制御部125は、欠陥の検出数Nが2以上の場合、S505で取得した画像中の各欠陥像の相対関係を導出する。ここでの相対関係は、各欠陥像間の距離及び方向、輝度差、輝点の面積比などのいずれか、又は、これらの組合せを含む。欠陥の検出数Nが3個以上の場合、制御部125は、全ての欠陥の間の相対関係を導出してもよいし、少なくとも2つの欠陥を抽出し、それらの間の相対関係を導出してもよい。全ての欠陥間の相対位置関係を用いることにより、欠陥ID特定の精度が向上する。一方、いくつかの欠陥を抽出する場合、欠陥ID特定にかかる処理時間を低減できる。
制御部125は、S517で導出した欠陥間の相対関係と、欠陥検査装置107の欠陥情報から算出された欠陥候補間の相対関係とを比較し、S505で取得された画像中の各欠陥像の該当する欠陥IDを特定可能か判定する。欠陥IDが特定できる場合(YES)、S521に進む。欠陥IDが特定できない場合(NO)、S519に進む。
S518において欠陥IDが特定可能な場合、及び、S516において欠陥の検出数Nが1の場合、制御部125は、光学顕微鏡部105で算出された該当IDの欠陥像の座標情報と、欠陥検査装置107から出力された該当IDの欠陥の座標情報との誤差データを算出する。例えば、ここで算出される誤差は、欠陥像の重心位置の誤差である。S521に算出された誤差データは、実施例1と同様に、S508で欠陥座標補正式を算出するために使用される。
S518において欠陥IDが特定できない場合、制御部125は、欠陥検査装置107の欠陥情報に基づき、S504の撮像領域内の欠陥像の欠陥IDを特定可能な領域を選択し、その選択領域が光学顕微鏡部105の視野内に入るようにステージ103を移動させる。例えば、制御部125は、図7で説明したように、撮像領域周辺の欠陥配置候補の間で差分の大きい領域を抽出する。そして、制御部125は、その差分が大きい領域が光学顕微鏡部105の視野内に入るようにステージ103を移動させる。
制御部125は、S519で選択した領域を光学顕微鏡部105を用いて撮像し、取得した画像から欠陥を探索する。2回目の撮像で欠陥探索に成功しなかった場合には、3回目の撮像を実行するか判断する必要がある。この時、欠陥ID特定のために実施する撮像回数の上限は、ユーザによって指定されてもよいし、又は、1枚のウェハ詳細観察するために許容されているトータル時間から算出されてもよい。
制御部125は、S311で選択した初期の検査モードを別の検査モードへ変更する。制御部125は、暗視野照明光学系201のレンズ構成及び配置を変更し、照明スポットを変更する。これに伴い、検出器207の画素を切り出す場合には、制御部125は、検出器207の使用される画素を限定するための撮像エリアも変更する。また、制御部125は、照明のレーザパワー、偏光、及び、検出時間などの撮像に必要なパラメータも変更してもよい。
次に実施例3を説明する。本実施例におけるレビュー装置の構成は図1〜図3と同様であるため、説明を省略する。本実施例は、光学顕微鏡部105で取得した画像内に複数の欠陥が存在する可能性があり、かつ、欠陥間の輝度差が大きい可能性があると判断される際、光学顕微鏡部105の画像から欠陥座標を導出できる点に特徴がある。
制御部125は、S301で読み込んだ欠陥情報に基づき、観察対象欠陥の周辺に他の欠陥が存在するかを判定する。観察対象欠陥の周辺とは、光学顕微鏡部105で観察対象欠陥を撮像した際に、視野内に含まれうる領域のことである。観察対象欠陥の周辺に他の欠陥が存在する場合、S313に進む。観察対象欠陥の周辺に他の欠陥が存在しない場合、S315に進む。
制御部125は、S312において観察対象欠陥に近接する欠陥が存在する場合、S301で読み込んだ欠陥情報に基づき、近接欠陥間に存在する輝度差の大きさを判定する。近接する欠陥間にしきい値以上の輝度差が存在する場合(YES)、S314に進む。一方、近接する欠陥間の輝度差がしきい値未満の場合(NO)、S315に進む。
制御部125は、観察対象欠陥と近接する欠陥とをセットにして扱って、検査モードを設定する。検査モードは、欠陥の検出見逃しを抑えるために照明スポットが広い状態で検査する検査モードAと、高感度に欠陥を検出するために照明スポットが狭い状態で検査する検査モードBとを含む。制御部125は、前記セットでサイズの大きい欠陥(大欠陥)に対して広視野の検査モードAを選択し、前記セットでサイズの小さい欠陥(小欠陥)に対して狭視野の検査モードBを選択する。これにより、以降のステップにおいて、大欠陥の検出に適した検査モード及び撮像条件で画像を取得し、大欠陥の座標を補正できる。さらに、小欠陥の検出に適した検査モード及び撮像条件で画像を取得し、小欠陥の座標を補正できる。
S312において観察対象欠陥の周辺に他の欠陥が存在しない場合、及び、S313において近接する欠陥間の輝度差がしきい値未満の場合、制御部125は、S301で読み込んだ欠陥情報に基づいて、欠陥毎に初期の検査モードを選択する。
S305の処理は、図5の内容と同様である。図5に示すように、本例でも検査モードAに設定された全ての欠陥の検出が完了するまで、検査モードAによる欠陥検出が連続して実行されることになる。その後、検査モードBによる欠陥検出が実行される。ステップS305が終了した後に、S316に進む。
制御部125は、観察対象欠陥が、S314で設定されたセットにおいて輝度の大きい方の欠陥であるかを判定する。観察対象欠陥が輝度の大きい方の欠陥である場合、S317に進む。観察対象欠陥が輝度の小さい方の欠陥である場合、S306に進む。
制御部125は、S314で設定されたセットのうち輝度の小さい方の欠陥を撮像するために、撮像条件(検査モードB)を設定する。ここで設定する撮像条件には、照明スポットサイズ、ステージのシフト量、視野の切り出し領域、及び、検出条件などが含まれてよい。また、撮像条件は、S301で読み込んだ欠陥検査装置107の欠陥情報から得られる相対関係(欠陥輝度差、距離)に基づいて設定されてもよい。輝度の小さい方の欠陥に対する撮像条件を設定した後、S305に戻り、欠陥の検出及び補正式の作成ステップを実行する。
次に実施例4を説明する。本実施例におけるレビュー装置の構成は図1〜図3と同様であるため、説明を省略する。本実施例においては、図4及び図5と同様に、欠陥毎に検査モードを選択し、かつ広視野モードの欠陥を優先的に撮像し、且つ、欠陥座標補正式を導出し、導出された欠陥座標補正式に基づき、視野の狭い高感度モードの欠陥を撮像する。本実施例は、この構成に加えて、光学顕微鏡部105の視野内に欠陥が複数存在した場合においても、欠陥座標を導出可能である点に特徴がある。
101 …試料
102 …試料ホルダ
103 …ステージ
104 …光学式高さ検出器
105 …光学顕微鏡部
106 …電子顕微鏡部
107 …欠陥検査装置
121 …ネットワーク
122 …データベース
123 …ユーザインターフェース
124 …記憶装置
125 …制御部
151 …電子線源
152 …引出電極
153 …偏向電極
154 …対物レンズ電極
155 …2次電子検出器
156 …反射電子検出器
201 …暗視野照明光学系
210 …検出光学系
211 …明視野照明光学系
1000 …欠陥観察装置
Claims (13)
- 外部の検査装置が検出した複数の欠陥に関する欠陥情報を記憶する記憶部と、
広視野の第1撮像条件及び狭視野の第2撮像条件を用いて前記欠陥を撮像する第1撮像部と、
前記第1撮像部が撮像した画像を用いて前記欠陥の位置情報を補正する制御部と、
前記補正された位置情報に基づいて前記欠陥を撮像する第2撮像部と
を備え、
前記制御部は、
前記複数の欠陥毎に前記第1撮像条件又は前記第2撮像条件を設定し、
前記第1撮像条件に設定された第1欠陥を前記第1撮像部を用いて撮像し、
前記第1欠陥の前記欠陥情報と、前記第1撮像部によって検出された前記第1欠陥の位置情報とに基づいて、補正式を算出し、
前記補正式を用いて、前記第2撮像条件に設定された第2欠陥の位置情報を補正し、
前記補正された第2欠陥の位置情報に基づいて、前記第2欠陥を前記第1撮像部を用いて撮像することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1に記載の欠陥観察装置において、
前記第1撮像条件に設定された前記第1欠陥が複数存在する場合、前記制御部は、前記第1撮像部を用いて前記複数の第1欠陥の撮像を連続して行い、前記複数の第1欠陥の撮像が終了した後、前記第1撮像部を用いて前記第2欠陥の撮像を行うことを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項2に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記複数の第1欠陥のうち1つ目の第1欠陥を撮像した際に算出された前記補正式を用いて、2つ目以降の第1欠陥の位置情報を補正することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記第1撮像部の撮像画像に前記第1欠陥が含まれない場合、当該第1欠陥の撮像条件を前記第2撮像条件に変更することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記第1撮像部の撮像画像に複数の欠陥が含まれる場合、
前記撮像画像に含まれる可能性がある欠陥候補を前記欠陥情報から抽出し、
前記欠陥候補の相対関係と、前記撮像画像内の前記複数の欠陥の相対関係とに基づいて、前記撮像画像内の前記欠陥の欠陥IDを特定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項5に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記撮像画像によって前記欠陥IDが特定できない場合、
前記撮像画像の撮像領域周辺で前記欠陥候補の差分が生じる領域を前記第1撮像部を用いて撮像し、
前記差分が生じる領域の画像に基づいて前記撮像画像内の前記欠陥の前記欠陥IDを特定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項5に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記撮像画像によって前記欠陥IDが特定できない場合、前記欠陥候補の擬似画像を作成し、前記擬似画像と前記撮像画像とのテンプレートマッチングによって前記撮像画像内の前記欠陥の前記欠陥IDを特定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、
前記第1撮像部の撮像画像に複数の欠陥が含まれており、且つ、前記複数の欠陥の輝度差が所定の値より大きい場合、前記複数の欠陥のうち輝度値が大きい欠陥に対して前記第1撮像条件を設定し、前記複数の欠陥のうち輝度値が小さい欠陥に対して前記第2撮像条件を設定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 外部の検査装置が検出した複数の欠陥に関する欠陥情報を記憶する記憶部と、
指定された欠陥IDに対応する前記欠陥を撮像する第1撮像部と、
前記第1撮像部が撮像した画像を用いて前記欠陥の位置情報を補正する制御部と、
前記補正された位置情報に基づいて前記欠陥を撮像する第2撮像部と
を備え、
前記制御部は、前記第1撮像部の撮像画像に複数の欠陥が含まれる場合、
前記撮像画像に含まれる可能性がある欠陥候補を前記欠陥情報から抽出し、
前記欠陥候補の相対関係と、前記撮像画像内の前記複数の欠陥の相対関係とに基づいて、前記撮像画像内から前記欠陥IDに対応する前記欠陥を特定し、
前記欠陥IDに対応する前記欠陥の位置情報を補正することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記撮像画像によって前記欠陥IDに対応する前記欠陥が特定できない場合、
前記撮像画像の撮像領域周辺で前記欠陥候補の差分が生じる領域を前記第1撮像部を用いて撮像し、
前記差分が生じる領域の画像に基づいて前記撮像画像内の前記欠陥の前記欠陥IDを特定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記撮像画像によって前記欠陥IDに対応する前記欠陥が特定できない場合、前記欠陥候補の擬似画像を作成し、前記擬似画像と前記撮像画像とのテンプレートマッチングによって前記欠陥IDに対応する前記欠陥を特定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
前記制御部は、前記第1撮像部の前記撮像画像に複数の欠陥が含まれており、且つ、前記複数の欠陥の輝度差が所定の値より大きい場合、前記複数の欠陥のうち輝度値が最も大きい欠陥に合わせて撮像条件を設定し、その後、前記複数の欠陥のうち他の欠陥に合わせて撮像条件を設定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
前記第1撮像部は、広視野の第1撮像条件及び狭視野の第2撮像条件を用いて前記欠陥を撮像するように構成され、
前記複数の欠陥毎に前記第1撮像条件又は前記第2撮像条件を設定し、
前記第1撮像条件に設定された第1欠陥を前記第1撮像部を用いて撮像し、
前記第1欠陥の前記欠陥情報と、前記第1撮像部によって検出された前記第1欠陥の位置情報とに基づいて、補正式を算出し、
前記補正式を用いて、前記第2撮像条件に設定された第2欠陥の位置情報を補正し、
前記補正された第2欠陥の位置情報に基づいて、前記第2欠陥を前記第1撮像部を用いて撮像することを特徴とする欠陥観察装置。
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