JP6471254B1 - 試料ホルダー - Google Patents
試料ホルダー Download PDFInfo
- Publication number
- JP6471254B1 JP6471254B1 JP2018075670A JP2018075670A JP6471254B1 JP 6471254 B1 JP6471254 B1 JP 6471254B1 JP 2018075670 A JP2018075670 A JP 2018075670A JP 2018075670 A JP2018075670 A JP 2018075670A JP 6471254 B1 JP6471254 B1 JP 6471254B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- sample
- holder shaft
- shaft portion
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 13
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 48
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 30
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 24
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 8
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011067 equilibration Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000576 supplementary effect Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20025—Sample holders or supports therefor
- G01N23/20033—Sample holders or supports therefor provided with temperature control or heating means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2001—Maintaining constant desired temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20207—Tilt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20271—Temperature responsive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/206—Modifying objects while observing
- H01J2237/2065—Temperature variations
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
以下、図面を参照して、本発明の試料ホルダーの一実施例を以下に説明する。
図2は、第二の実施例を示す。この第二の実施例では、試料ホルダー軸部は、冷却手段を横断するように設けた。そして、この態様では、試料ホルダー軸部は、試料設置部1に隣接して熱伝導回転兼Y軸傾斜カムシャフト31と、冷却手段7側の熱伝導回転駆動シャフト33とを備える。そして、熱伝導回転駆動シャフト33は、冷媒8を収容する容器と熱伝搬クランプ部材35を介して接続されてある。熱伝搬クランプ部材35は、冷媒(例えば、液体窒素)の温度を試料ホルダー軸部3に伝える。また、図2の試料ホルダーは、試料ホルダー軸部3の一端にY軸傾斜駆動モーター9を備える。X軸傾斜を行う場合には、当該Y軸傾斜駆動モータ―9をX軸傾斜駆動モータ―として用いてもよく、当該駆動モーターによって、X軸又はY軸傾斜用に、試料ホルダー軸を回転させることができる。
(1)試料ホルダー軸の材料Aと熱ドリフト調節部の材料Bの熱膨張係数(熱収縮)時の比率と、材料Aの長さαと材料Bの長さβの比率を対比させる(図1(1)を参照。後述する図3(2)又は図4(2)も同様。)。
(2)一例として、材料Aの熱膨張係数:6.0×10−6/℃、材料Bの熱膨張係数:17.3×10−6/℃であるとすると、材料Aと材料Bの熱膨張の比率は6:17.3である。
(3)この例の場合、材料Bが相対的に縮みやすく、材料Aが相対的に縮みにくいといえる。本発明の試料ホルダーは、材料Bの縮みに対して、後ろから押圧部材6で縮んだ分を試料設置部方向に出す構造を備える(図1(1)中の矢印を参照。後述する、図3(2)及び図4(2)も同様。)。
(4)そこで、一例として、材料Bの縮んだ分を押し出す距離と材料Aが縮む距離が同じになるように、材料Aの長さαと材料Bの長さβを決定する。
(5)すなわち、伸びる量+縮む量=0と設定すると、計算上ドリフトが無くなる。
(1)試料ホルダー軸の材料Aの長さαを23mmとすることで、熱ドリフト調節部の材料Bの長さβを求められ、基準面(試料ホルダー軸部3を止める熱収縮の基準となる、硬球5が接する面)の位置も決定できる。
(2)先端冷却時の温度を輻射熱や入熱を考慮して、−170℃と仮定する。そして、室温を+20℃と仮定すると、材料Aの長さαが23mmである場合の−170℃時の縮み量は、
6.0(−170−20)×10−6×23 = −0.02622mm
である。
この時、材料Bの縮む量を−0.02622mmとする場合を、以下の等式で示す。
17.3(−170−20)×10−6×材料Bの長さβ=−0.02622
この式から、材料Bの長さβとして、7.977mmが得られる。
図3は、本発明の第三の実施例を示す。この第三の実施例は、図1及び図2に示す試料ホルダー10と同様の熱ドリフト抑制機構に加えて、試料設置部1のY軸傾斜(試料ホルダー軸部の軸方向に直交する軸周りに回転する傾斜。二軸傾斜、β傾斜ともいう。)を実施する機構を備えるものである。この試料ホルダーでは、熱伝導回転駆動シャフト31は、試料ホルダー軸部を兼ねることができる。この例において、前記熱伝導回転駆動シャフトの外側と、外筒部2との間には、内部筒部40を有する。内部筒部40は、前記熱伝導回転駆動シャフトが、回転可能に設置されており、かつ前記シャフトの熱も内部筒部40へ伝導可能となっている(図3(1)及び図3(2))。上述の実施例1の試料ホルダー軸部の役割を果たす内部筒部40の熱は、当該内部筒部40の外側に配置された熱ドリフト調節部41へ伝わる。試料ホルダーは、熱伝導回転兼Y軸傾斜カムシャフト31の中心軸からオフセットされたクランクピン11を備えるので、熱伝導回転兼Y軸傾斜カムシャフト31が回転すると、試料設置部1の試料中心1cにおけるY軸が傾斜する。いいかえると、この試料ホルダーは、熱ドリフト抑制機構を備える、2軸傾斜冷却ホルダーとしての応用が可能となるものである。図3(3)及び図3(4)は、熱伝導回転兼Y軸傾斜カムシャフト31が90度回転したときの試料設置部1の傾斜イメージを示す。この例の場合、試料ホルダー軸部の役割を果たす内部筒部40と、熱ドリフト調節部41とが、一部接触・固定の構造を取る。
図4は、本発明の第四の実施例を示す。この第四の実施例は、熱ドリフト調節部51を備えた試料ホルダー機構の応用例として、通常TEM装置で行う試料傾斜(X軸傾斜であり、試料ホルダー軸部の軸周りに回転する傾斜をいう。一軸傾斜、α傾斜ともいう。通常、TEM側の装置において傾斜可能となっている。)を試料ホルダーで実施可能としたものである。この例において、熱ドリフト調節部51に加えて回転機構を備える。この構造により、試料ホルダー全体を回転させることなく、内部の軸のみを回転させて、試料を傾斜させることが可能となる。さらに、回転角度に制限が無いため、高傾斜(トモグラフィーデータ取得)はもちろん、初期観察面の裏側の面も冷却しながら観察することが可能となる。また、この例においては、図1の試料ホルダー軸部に対応する内部筒部50に、凹凸部を備えることができ、硬球5を受け止める形としてもよい。また、この例の場合、試料ホルダー軸部の役割を果たす内部筒部50と、熱ドリフト調節部51とが、一部接触・固定の構造を取る。
1c 試料中心
2 試料ホルダーの外筒部
3、50 試料ホルダー軸部
3’ 試料ホルダー軸部(取っ手側)
4、41、51 熱ドリフト調節部
5 硬球
6 押出手段(押圧手段、又は押圧部材)
7 冷却手段
8 冷媒
9 Y軸傾斜駆動モーター
10 試料ホルダー
31 熱伝導回転兼Y軸傾斜カムシャフト
32 接触面
33 熱伝導回転駆動シャフト
34 面
35 熱伝搬クランプ部材
36 熱伝導回転兼X軸傾斜カムシャフト
37 軸受
40 内部筒部
71 回転駆動部シール
90 従来の冷却ホルダー
91 シール部
93 液体窒素
95 ゼオラム
A 材料Aからなる部分
B 材料Bからなる部分
V 真空引きの及ぶエリア
α 材料Aの長さα
β 材料Bの長さβ
Claims (9)
- 試料及び/又は試料メッシュ設置部を有する試料ホルダー軸部と、前記試料ホルダー軸部を格納可能な外筒部と、前記試料ホルダー軸部を構成する材料の熱膨張係数に比較して高い熱膨張係数を有する素材からなり、前記試料ホルダー軸部と一部接触した熱ドリフト調節部と、前記熱ドリフト調節部の前記試料中心方向への移動を制御する制御手段とを有する試料ホルダーであって、前記制御手段は硬球であり、前記硬球は前記外筒部と接触するものであり、かつ、前記熱膨張ドリフト調節部を構成する材料の縮みに対して、前記試料ホルダー軸部を後方から前記試料中心方向へ押し出すことが可能な押出手段を有することを特徴とする試料ホルダー。
- さらに、前記外筒部の内壁には、前記制御手段に接触するテーパー部を有することを特徴とする請求項1記載の試料ホルダー。
- 前記試料ホルダー軸部は、前記試料ホルダー軸を中心に回転可能である請求項1又は2に記載の試料ホルダー。
- 前記回転により、前記試料及び/又は試料メッシュ設置部は、前記試料ホルダー軸部の軸周りに回転可能か、又は前記試料ホルダー軸部の軸方向に直交する軸周りに回転可能である請求項3記載の試料ホルダー。
- 前記試料ホルダー軸部の軸方向に直交する軸周りに回転は、オフセットカム機構を介して行われる請求項4記載の試料ホルダー。
- 前記試料ホルダー軸部の外側と前記外筒部との間には、さらに内部筒部を有し、前記熱ドリフト調節部は、前記内部筒部と一部接触している請求項4又は5に記載の試料ホルダー。
- さらに、前記試料ホルダー軸を冷却することが可能な冷却手段を有する請求項1〜6のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記試料ホルダー軸部の外壁面、及び前記外筒部の内壁面は、鏡面仕上げである請求項1〜7のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の試料ホルダ―を電子顕微鏡内で真空引きする方法であって、前記電子顕微鏡側の真空排気を利用して、真空引きすることを特徴とする方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018075670A JP6471254B1 (ja) | 2018-04-10 | 2018-04-10 | 試料ホルダー |
US16/359,574 US10768124B2 (en) | 2018-04-10 | 2019-03-20 | Specimen holder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018075670A JP6471254B1 (ja) | 2018-04-10 | 2018-04-10 | 試料ホルダー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6471254B1 true JP6471254B1 (ja) | 2019-02-13 |
JP2019186033A JP2019186033A (ja) | 2019-10-24 |
Family
ID=65356041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018075670A Active JP6471254B1 (ja) | 2018-04-10 | 2018-04-10 | 試料ホルダー |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10768124B2 (ja) |
JP (1) | JP6471254B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6764902B2 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-10-07 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
JP7511879B2 (ja) | 2020-07-03 | 2024-07-08 | 株式会社メルビル | ステージ |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4873560U (ja) * | 1971-12-16 | 1973-09-13 | ||
JPS502351B1 (ja) * | 1970-11-20 | 1975-01-25 | ||
US3896314A (en) * | 1972-12-14 | 1975-07-22 | Jeol Ltd | Specimen heating and positioning device for an electron microscope |
JPS52120758A (en) * | 1976-04-05 | 1977-10-11 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
JPS57128763U (ja) * | 1981-02-05 | 1982-08-11 | ||
JPS62109343U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-13 | ||
US4703181A (en) * | 1986-04-07 | 1987-10-27 | Gatan Inc. | Anti-drift device for side entry electron microscope specimen holders |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5327394B2 (ja) | 1972-01-10 | 1978-08-08 | ||
FR2466097A1 (fr) * | 1979-09-20 | 1981-03-27 | Georges Adrien | Porte-objet a temperature variable pour microscope electronique |
US4950901A (en) * | 1989-11-06 | 1990-08-21 | Gatan, Incorporated | Specimen cooling holder for side entry transmission electron microscopes |
DE69229432T2 (de) * | 1991-10-24 | 2000-02-17 | Hitachi, Ltd. | Probenhalter für Elektronenmikroskop |
WO1998028776A2 (en) * | 1996-12-23 | 1998-07-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Particle-optical apparatus including a low-temperature specimen holder |
US5753924A (en) * | 1997-03-12 | 1998-05-19 | Gatan, Inc. | Ultra-high tilt specimen cryotransfer holder for electron microscope |
US6410925B1 (en) * | 2000-07-31 | 2002-06-25 | Gatan, Inc. | Single tilt rotation cryotransfer holder for electron microscopes |
NL1020936C2 (nl) * | 2002-06-25 | 2003-12-30 | Univ Delft Tech | Preparaathouder voor een elektronenmicroscoop, samenstel van een preparaathouder en een elektronenmicroscoop en werkwijze voor het reduceren van thermische drift in een elektronenmicroscoop. |
US7705324B2 (en) * | 2005-09-20 | 2010-04-27 | Hiroya Miyazaki | Sample holder |
JP2007179805A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Toyota Motor Corp | 透過型電子顕微鏡の試料ホルダー |
JP5383231B2 (ja) * | 2008-07-08 | 2014-01-08 | 宮崎 裕也 | 試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置 |
JP5728162B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2015-06-03 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー、及び試料駆動装置 |
US8336405B2 (en) | 2010-07-28 | 2012-12-25 | E.A. Fischione Instruments, Inc. | Cryogenic specimen holder |
US8178851B2 (en) * | 2010-07-30 | 2012-05-15 | E.A. Fischione Instruments, Inc. | In situ holder assembly |
JP6127191B1 (ja) * | 2016-10-03 | 2017-05-10 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
-
2018
- 2018-04-10 JP JP2018075670A patent/JP6471254B1/ja active Active
-
2019
- 2019-03-20 US US16/359,574 patent/US10768124B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS502351B1 (ja) * | 1970-11-20 | 1975-01-25 | ||
JPS4873560U (ja) * | 1971-12-16 | 1973-09-13 | ||
US3896314A (en) * | 1972-12-14 | 1975-07-22 | Jeol Ltd | Specimen heating and positioning device for an electron microscope |
JPS52120758A (en) * | 1976-04-05 | 1977-10-11 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
JPS57128763U (ja) * | 1981-02-05 | 1982-08-11 | ||
JPS62109343U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-13 | ||
US4703181A (en) * | 1986-04-07 | 1987-10-27 | Gatan Inc. | Anti-drift device for side entry electron microscope specimen holders |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10768124B2 (en) | 2020-09-08 |
US20190310209A1 (en) | 2019-10-10 |
JP2019186033A (ja) | 2019-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0538861B1 (en) | Electron microscope specimen holder | |
JP5947296B2 (ja) | 低温試料ホルダー | |
JP6008965B2 (ja) | 改良型低温試料ホルダ | |
US8602648B1 (en) | X-ray microscope system with cryogenic handling system and method | |
JP6471254B1 (ja) | 試料ホルダー | |
EP1852888A1 (en) | Particle-optical apparatus with temperature switch | |
US8604446B2 (en) | Devices and methods for cryo lift-out with in situ probe | |
Behler et al. | Scanning tunneling microscope with continuous flow cryostat sample cooling | |
US8008633B2 (en) | Specimen stage-moving device for charged-particle beam system | |
US10163602B2 (en) | Ion beam system | |
CN105474348B (zh) | 防污染阱以及真空应用装置 | |
US5898177A (en) | Electron microscope | |
JPH0668828A (ja) | 電子顕微鏡用試料ホルダ | |
EP1852889A2 (en) | Particle-optical apparatus with temperature switch | |
Diaconescu et al. | An ultrahigh vacuum fast-scanning and variable temperature scanning tunneling microscope for large scale imaging | |
JP6764902B2 (ja) | 試料ホルダー | |
Lakhani et al. | Design and operation of a versatile, ultrahigh vacuum, low temperature scanning probe microscope | |
Turner et al. | Tilting stages for biological applications | |
JP2003068240A (ja) | 電子顕微鏡用試料ホルダ | |
JPH11193857A (ja) | ボールねじ | |
Smith et al. | Development and applications of a 300 keV ultrahigh-vacuum high-resolution electron microscope | |
Dennison et al. | Ultrahigh vacuum chamber for synchrotron x‐ray diffraction from films adsorbed on single‐crystal surfaces | |
Schmehl et al. | Eucentric four-axis ultrahigh vacuum goniometer for reflection high-energy electron diffraction applications | |
Valdrè et al. | Special electron microscope specimen stages | |
JPH10106468A (ja) | 電子顕微鏡の運転方法及び電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180530 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20180530 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6471254 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |