JP6461662B2 - 印刷装置および印刷方法 - Google Patents
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Description
大気圧より低い圧力P1雰囲気下で孔版印刷を行う一次印刷と、大気圧より低く前記圧力P1より大気圧に近い圧力P2で孔版印刷を行う二次印刷とを行う印刷装置であって、
孔版上に印刷材を供給する印刷材供給手段と、孔版上の印刷材を孔に押し込むスキージと、前記印刷材供給手段と前記スキージを収納する真空チャンバーと、前記前記真空チャンバーと連通した真空排気装置と、前記真空チャンバーおよび前記真空排気装置と連通しており、前記真空チャンバー内を減圧調整する減圧容器とを備え、
一次印刷終了後に、前記真空チャンバーと前記減圧容器の間を開放して、真空チャンバー内の圧力をP1からP2に変化させることを特徴とする。
真空チャンバーの有効容積がV1、減圧容器の有効容積がV2であれば、一次印刷実行中に減圧容器内の圧力PXを、PX=P2+(P2−P1)×V1/V2 に調整することを特徴とする。
前記真空チャンバー内が大気圧状態の時に前記減圧容器内を真空排気し、前記真空チャンバー内を真空排気を開始する際に、前記減圧容器により真空チャンバー内を真空排気する機能を有したことを特徴とする。
前記真空チャンバーの真空排気を開始した後に、前記真空チャンバー内の圧力と前記減圧容器内の圧力が等しくなった時点で、前記真空チャンバーと前記減圧容器の間を閉止する機能を有したことを特徴とする。
孔版上に印刷材を供給し、大気圧より低い圧力P1雰囲気下で孔版印刷を行う一次印刷と、大気圧より低く前記圧力P1より大気圧に近い圧力P2で孔版印刷を行う二次印刷とを、真空チャンバー内で行う印刷方法であって、真空チャンバー内の圧力をP1からP2に変化させるのに際して、真空チャンバーと別に設けた減圧容器内の圧力を真空チャンバー内に開放して圧力調整することを特徴とする。
真空チャンバーの有効容積がV1、減圧容器の有効容積がV2であれば、一次印刷実行中に減圧容器内の圧力PXを、PX=P2+(P2−P1)×V1/V2 に設定することを特徴とする。
前記真空チャンバー内が大気圧状態の時に前記減圧容器内を真空排気し、
前記真空チャンバー内を真空排気を開始する際に、前記真空チャンバー内の圧力と前記減圧容器内の圧力が等しくなるまで、真空チャンバー内の圧力を前記減圧容器内に開放することを特徴とする。
図1は、本発明に係る実施形態である印刷装置1である。図1に示す印刷装置1は被印刷物Wに印刷材Rを印刷するものである。ここで、被印刷物Wとしては、半導体チップを搭載した配線基板や、貫通孔または/および非貫通孔を有する配線基板(主に多層配線基板)等が用いられる。また、印刷材Rとしては、フィラーを混入したエポキシ樹脂等の液状樹脂、エポキシ樹脂をバインダーとして金属微粒子を分散させた導電性ペースト、ハンダペースト等が用いられる。
ここで、圧力P1、P2、PXの関係は、真空チャンバー2の有効容積をV1、減圧容器13の有効容積をV2とすると、
P1×V1+PX×V2=P2×(V1+V2) ・・(1)
となるので、(1)式を変形して以下のようにPXが求まる。
ここで、後述のとおり、P2はP1の数十倍の圧力であるので、PXは(3)式のように近似してもよい。
なお、減圧容器12内の圧力はSTEP4でバルブSV4を閉じた時のPEが一次印刷開始時点でも維持されている。このため、PXがPEよりも高圧力(大気圧に近い)であれば、制御装置12はバルブSV5を開けて大気を取り込んで、減圧容器13内の圧力をPXに調整する(STEP7a)。一方、PXがPEよりも低圧力(真空側)であれば、制御装置12は、バルブSV1を閉じた後にバルブSV4を開け、真空ポンプ10で減圧することにより減圧容器13内の圧力をPXに調整する(STEP7b)。
V1/V2=(PX−P2)/(P2−P1) ・・(4)
によりV1/V2を補正すれば良い。更に、P2とP1の比が大であれば、(3)式を変形した、
V1/V2=PX/P2−1 ・・(5)
によりV1/V2を補正しても良い。
PY×V1+PV×V2=PX×(V1+V2) ・・(6)
を満たせば、真空チャンバー2内と減圧容器13内の圧力がPXで平衡するので、その段階でバルブSV3を閉じれば(STEP5)、減圧容器13内の圧力をPXに維持することができ、一次印刷中(STEP7)に減圧容器13内の圧力調整を行う必要がなくなる。
2 真空チャンバー
3 印刷材供給手段
4 往路用スキージ
5 復路用スキージ
6 孔版
7 孔版ホルダ
8 テーブル
9 スキージ走行軸
10 真空ポンプ
11 真空チャンバー圧力計
12 制御装置
13 減圧容器
14 減圧容器圧力計
Claims (7)
- 大気圧より低い圧力P1雰囲気下で孔版印刷を行う一次印刷と、
大気圧より低く前記圧力P1より大気圧に近い圧力P2で孔版印刷を行う二次印刷とを行う印刷装置であって、
孔版上に印刷材を供給する印刷材供給手段と、
孔版上の印刷材を孔に押し込むスキージと、
前記印刷材供給手段と前記スキージを収納する真空チャンバーと、
前記前記真空チャンバーと連通した真空排気装置と、
前記真空チャンバーおよび前記真空排気装置と連通しており、前記真空チャンバー内を減圧調整する減圧容器とを備え、
一次印刷終了後に、前記真空チャンバーと前記減圧容器の間を開放して、真空チャンバー内の圧力をP1からP2に変化させることを特徴とする印刷装置。 - 請求項1に記載の印刷装置であって、
真空チャンバーの有効容積がV1、減圧容器の有効容積がV2であれば、
一次印刷実行中に減圧容器内の圧力PXを、
PX=P2+(P2−P1)×V1/V2
に調整することを特徴とする印刷装置。 - 請求項1または請求項2に記載の印刷装置であって、
前記真空チャンバー内が大気圧状態の時に前記減圧容器内を真空排気し、
前記真空チャンバー内を真空排気を開始する際に、前記減圧容器により真空チャンバー内を真空排気する機能を有したことを特徴とする印刷装置。 - 請求項3に記載の印刷装置であって、
前記真空チャンバーの真空排気を開始した後に、前記真空チャンバー内の圧力と前記減圧容器内の圧力が等しくなった時点で、前記真空チャンバーと前記減圧容器の間を閉止する機能を有したことを特徴とする印刷装置。 - 孔版上に印刷材を供給し、
大気圧より低い圧力P1雰囲気下で孔版印刷を行う一次印刷と、
大気圧より低く前記圧力P1より大気圧に近い圧力P2で孔版印刷を行う二次印刷とを、真空チャンバー内で行う印刷方法であって、
真空チャンバー内の圧力をP1からP2に変化させるのに際して、真空チャンバーと別に設けた、減圧容器内の圧力を真空チャンバー内に開放して圧力調整することを特徴とする印刷方法。 - 請求項5に記載の印刷方法であって、
真空チャンバーの有効容積がV1、減圧容器の有効容積がV2であれば、
一次印刷実行中に減圧容器内の圧力PXを、
PX=P2+(P2−P1)×V1/V2
に調整することを特徴とする印刷方法。 - 請求項5または請求項6に記載の印刷方法であって、
前記真空チャンバー内が大気圧状態の時に前記減圧容器内を真空排気し、
前記真空チャンバー内を真空排気を開始する際に、前記真空チャンバー内の圧力と前記減圧容器内の圧力が等しくなるまで、真空チャンバー内の圧力を前記減圧容器内に開放することを特徴とする印刷方法。
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