JP6460804B2 - 分類装置及び分類方法 - Google Patents

Description

本発明は、多数の素子を分類する手法に関する。

半導体素子や電子部品など（以下、「素子」と呼ぶ。）の製造の際には、製造した素子の特性を検査し、特性に応じて素子を分類することが行われる。特許文献１は、半導体デバイスについて複数回のテストを行い、良品／不良品やグレードの判定を行う手法を記載している。具体的には、特許文献１では、一度測定した素子をテーブルに配置し、位置情報とともに記憶しておく。そして、この位置情報に基づいて再度素子を取り出して再検査を行い、再検査の結果に基づいて素子のグレードなどを判定している。

特開２００６−１０６７６号公報

しかし、特許文献１の方法では、同一の素子について複数回検査を行う必要があり、最終的に素子を分類するまでの工程が多くなってしまうという課題がある。

本発明の解決しようとする課題としては、上記のものが一例として挙げられる。本発明は、１回の測定によって複数の検査項目についての分類が可能な分類装置及び分類方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、分類装置であって、複数の素子が配置された収容体から１つの素子を測定ステージに供給する供給手段と、前記測定ステージに供給された素子の各々を測定する測定手段と、前記測定手段による測定結果に基づいて前記素子を分類し、複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する分類手段と、前記複数の素子の各々について、前記素子が配置された収容体を示す情報と、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報と、前記測定結果とを対応付けて記憶する記憶部と、前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記複数の収容体とは別の収容体に配置する再分類手段と、を有することを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、測定手段、記憶部、配置機構、及び、制御部を備える分類装置により実行される分類方法であって、前記測定手段により複数の素子を測定しつつ、前記制御部により前記測定結果に基づいて前記素子を分類し、前記配置機構により複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する１次分類工程と、前記制御部により、前記１次分類工程によって前記素子が配置された収容体を示す情報、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報、及び、前記測定結果を対応付けて前記記憶部に記憶する記憶工程と、前記制御部により、前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記配置機構により前記複数の収容体とは別の収容体に配置する２次分類工程と、を有することを特徴とする。

本発明の実施例に係る分類装置の外観構成を示す。 分類装置の機能構成を示す。 実施例による分類方法の概念図である。 データベースに記憶される記憶データの例である。 分類シートの構成例を示す。 実施例による分類処理のフローチャートである。

本発明の好適な実施形態では、分類装置は、複数の素子が配置された収容体から１つの素子を測定ステージに供給する供給手段と、前記測定ステージに供給された素子の各々を測定する測定手段と、前記測定手段による測定結果に基づいて前記素子を分類し、複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する分類手段と、前記複数の素子の各々について、前記素子が配置された収容体を示す情報と、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報と、前記測定結果とを対応付けて記憶する記憶部と、前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記複数の収容体とは別の収容体に配置する再分類手段と、を有する。

上記の分類装置は、複数の素子を測定し、測定結果に基づいて素子を複数の収容体の内の１つに配置する。また、測定結果は、素子が配置された収容体を示す情報、及び、素子が配置された位置を示す情報に対応付けて記憶部に記憶される。そして、収容体に配置された素子は、記憶部に記憶された測定結果に基づいてさらに分類されて、他の収容体に配置される。この分類装置によれば、最初の分類の際に素子が測定されてその測定結果が記憶されるので、その後の分類の際には記憶部に記憶されている測定結果を参照すればよく、再び測定を行う必要がない。よって、多次元の分類を効率よく行うことができる。

上記の分類装置の一態様では、前記複数の素子の各々について、前記測定手段による測定と前記分類手段による配置は同時に行われる。これにより、分類に要する時間を短縮することができる。

上記の分類装置の他の一態様では、前記分類手段による配置と前記再分類手段による配置は、同一の配置機構により行われる。この態様では、同一の装置を用いて多次元の分類が可能となる。

上記の分類装置の他の一態様では、前記再分類手段は、前記素子を、前記複数の収容体とは別の複数の収容体のうちの１つに配置する。これにより、素子を特性に応じて細分類することができる。

上記の分類装置の他の一態様では、前記測定手段は、前記複数の素子の各々について複数の項目を測定し、前記分類手段は、前記複数の項目のうちの１つの項目に基づいて前記素子を分類し、前記再分類手段は、前記複数の項目のうち他の１つの項目に基づいて前記素子を分類する。この態様では、素子を分類するための項目が多数あっても、１回の測定で多次元の分類が可能となる。

本発明の他の好適な実施形態では、測定手段、記憶部、配置機構、及び、制御部を備える分類装置により実行される分類方法は、前記測定手段により複数の素子を測定しつつ、前記制御部により前記測定結果に基づいて前記素子を分類し、前記配置機構により複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する１次分類工程と、前記制御部により、前記１次分類工程によって前記素子が配置された収容体を示す情報、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報、及び、前記測定結果を対応付けて前記記憶部に記憶する記憶工程と、前記制御部により、前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記配置機構により前記複数の収容体とは別の収容体に配置する２次分類工程と、を有する。

この分類方法によれば、１次分類の際に素子が測定されてその測定結果が記憶されるので、２次分類の際には記憶部に記憶されている測定結果を参照すればよく、再び測定を行う必要がない。よって、多次元の分類を効率よく行うことができる。

以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。

［装置構成］
（外観構成）
図１は、本発明の実施例に係る分類装置の外観構成を示す。分類装置１０は、製造された複数の素子の特性を測定し、その特性に応じて素子を複数のグループに分類するものである。なお、本実施例では、分類の対象となる素子はＬＥＤであるものとする。

図１（Ａ）に示すように、分類装置１０は、ピックアップ部１１と、測定部１２と、配置部１３とを備える。

分類の対象となる複数の素子２１は、製造された素子が配置される所定のシート（以下、「未分類シート」と呼ぶ。）２０に配置された状態で用意される。ピックアップ部１１は、未分類シート２０から素子２１をピックアップし、測定部１２に供給する。ピックアップ部１１は、矢印５１に示すように上下方向に移動可能な吸着ノズル１１ａを有する。吸着ノズル１１ａは、矢印５２に示すように横方向に移動可能であり、素子２１をピックアップした後、横方向に移動して素子２１を測定部１２に供給する。

測定部１２は、供給された素子２１の特性を測定する。本実施例では、測定部１２は、ＬＥＤである素子２１について、電流電圧特性（ＩＶ特性）、波長、及び、明るさの３つの項目を測定するものとする。なお、説明の便宜上、ＩＶ特性を「項目Ａ」とし、波長を「項目Ｂ」とし、明るさを「項目Ｃ」とする。

測定部１２は、測定器１２ａと、３つの測定ステージ１２ｂと、円形のインデックス１２ｃとを備える。図１（Ｂ）は、インデックス１２ｃを上方から見た図である。インデックス１２ｃは矢印５７の方向に回転可能であり、３つの測定ステージ１２ｂはインデックス１２ｃ上に設置されている。

配置部１３は、測定が終了した素子を測定部１２から取得し、複数の分類シート３０のうちの１つに配置する。分類シートとは、分類後の素子２１を配置するためのシートである。本実施例では、複数の素子２１を項目Ａ〜Ｃのそれぞれに基づいて８つのグループに分類するものとする。よって、配置部１３は、測定部１２から取得した素子２１を、８つの分類シート３０のうちの１つに配置する。

配置部１３は、矢印５４に示すように上下方向に移動可能な吸着ノズル１３ａと、円形のインデックス１３ｃとを備える。図１（Ｃ）は、インデックス１３ｃを上方から見た図である。インデックス１３ｃは、矢印５８の方向に回転可能である。また、インデックス１３ｃ上には、８つの分類シート３０が配置されている。

次に、図１（Ａ）を参照して、ピックアップ部１１、測定部１２及び配置部１３の動作について説明する。まず、ピックアップ部１１に未分類シート２０が投入される。即ち、ピックアップ部１１の下方に未分類シート２０が配置される。未分類シート２０には、分類の対象となる複数の素子２１が配置されている。ピックアップ部１１の吸着ノズル１１ａは、未分類シート２０の位置まで下降して１つの素子２１をピックアップし、矢印５２に示すように横方向に移動してその素子２１を測定部１２の１つの測定ステージ１２ｂ上に載置する。

素子２１が載置されると、インデックス１２ｃが回転し、素子２１が載置された測定ステージ１２ｂが測定器１２ａの下方に移動する。この状態で、測定器１２ａは素子の特性を測定する。本実施例では素子２１はＬＥＤであり、測定器１２ａはＬＥＤのＩＶ特性（項目Ａ）、波長（項目Ｂ）、明るさ（項目Ｃ）を測定する。測定が終わると、インデックス１２ｃがさらに回転し、素子２１を載置した測定ステージ１２ｂが配置部１３側の位置に移動する。

次に、配置部１３の吸着ノズル１３ａは測定ステージ１２ｂから素子２１を取り上げ、矢印５５のように移動する。また、素子２１を配置する分類シート３０が吸着ノズル１３ａの下方に来るまでインデックス１３ｃが回転する。そして、吸着ノズル１３ａが下降し、素子２１を８つの分類シート３０のうちの１つに配置する。こうして、未分類シート２０上の素子２１は、８つの分類シート３０のうちの１つに配置される。

（機能構成）
図２は、分類装置１０の機能構成を示す。分類装置１０は、ピックアップ部１１、測定部１２、配置部１３に加えて、制御部１５及びデータベース（以下、「ＤＢ」と記す。）１６を備える。

制御部１５は、マイクロコンピュータなどにより構成され、ピックアップ部１１、測定部１２及び配置部１３の動作を制御する。具体的には、制御部１５は、吸着ノズル１１ａ、１３ａの上下移動及び横方向移動、インデックス１２ｃ、１３ｃの回転、及び、測定器１２ａによる素子２１の特性の測定を制御する。

また、制御部１５は、測定部１２から素子２１の測定結果を受信し、項目Ａ〜Ｃのうちの１つの項目の測定結果に基づいて素子２１を８つのグループに分類する。そして、制御部１５は、分類されたグループに対応する分類シート３０にその素子２１を配置するように、配置部１３を制御する。

さらに、制御部１５は、測定部１２による測定結果を、その素子２１が配置されている分類シート３０を示す情報、及び、その分類シート３０上の位置を示す情報に対応付けてＤＢ１６に記憶する。

上記の構成において、ピックアップ部１１は本発明の供給手段に相当し、配置部１３は本発明の配置機構に相当し、測定部１２は測定手段に相当し、制御部１５は分類手段及び再分類手段に相当し、ＤＢ１６は記憶部に相当する。

［分類方法］
次に、本実施例による素子２１の分類方法について説明する。図３は、分類方法を概念的に説明する図である。

製造された複数の素子２１は、未分類シート２０に配置された状態で供給される。ここで、まず１次分類が行われる。具体的には、ピックアップ部１１が素子２１をピックアップし、測定部１２がその素子２１の特性を測定する。測定部１２の測定により、項目Ａ〜Ｃについての測定結果が得られる。制御部１５は、項目Ａの測定結果に基づいて、全ての素子２１を８つのグループＡ１〜Ａ８に分類し、対応する分類シート３０に配置する。なお、配置部１３には、グループＡ１〜Ａ８に対応する８つの分類シート３０が載置されている。以下、グループ「Ｘ」に対応する分類シート３０を「分類シートＸ」と記す。

そして、制御部１５は、配置部１３を制御して素子２１を対応する分類シート３０上に配置する。例えば、ある素子２１を項目Ａに基づいて分類した結果がグループＡ１であるとすれば、配置部１３はその素子２１を分類シートＡ１に配置する。

さらに、制御部１５は、素子２１を配置した位置を示す情報と、その素子２１の測定結果（即ち、項目Ａ〜Ｃの測定結果）とを記憶データとしてＤＢ１６に記憶する。なお、詳細は後述するが、位置情報は、分類シートを示すシートＩＤと、その分類シート３０における位置座標とを含む。

こうして、制御部１５は、１次分類により、未分類シート２０上の全ての素子２１を、特性を測定しつつ８つのグループＡ１〜Ａ８に分類し、８つの分類シートＡ１〜Ａ８に配置する。これにより、未分類シート２０上の素子２１は、８つの分類シートＡ１〜Ａ８のいずれかに配置される。同時に、制御部１５は、全ての素子２１についての測定結果を、その素子２１が配置された位置を示す位置情報と対応付けてＤＢ１６に記憶する。こうして１次分類が完了したときには、未分類シート２０は空となり、未分類シート２０上にあった全ての素子２１は、８個の分類シートＡ１〜Ａ８のいずれかに移動されている。

さて、未分類シート２０上の素子２１の分類、即ち、１次分類が完了すると、分類装置１０は項目Ｂに基づいて２次分類を行う。２次分類では、制御部１５は、項目Ｂについての測定結果に基づいて、全ての素子２１を８つのグループＢ１〜Ｂ８に分類する。なお、素子２１の特性の測定結果は既に素子２１の位置に対応付けてＤＢ１６に記憶されているので、２次分類においては素子２１の測定を行う必要はない。

具体的には、まず、１次分類によって得られた分類シートＡ１がピックアップ部１１に投入される。また、分類シートＡ１上の素子２１をさらにグループＢ１〜Ｂ８に分類するための８個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ１−Ｂ８）が配置部１３のインデックス１３ｃ上に設置される。

次に、ピックアップ部１１が１つの素子２１をピックアップする。同時に、制御部１５は、ＤＢ１６を参照し、その素子２１が配置されていた位置に基づいて、その素子２１の項目Ｂに関する測定結果を参照し、その素子２１をグループＢ１〜Ｂ８のいずれかに分類する。そして、配置部１３は、制御部１５からの指示に基づいて、その素子２１を分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ１−Ｂ８）のいずれかに配置する。制御部１５は、この作業を分類シートＡ１上の全ての素子２１について行う。

分類シートＡ１上の素子２１の２次分類が終了すると、次に分類シートＡ２上の素子２１について同様の２次分類を行う。即ち、分類シートＡ２がピックアップ部１１に投入され、分類シート（Ａ２−Ｂ１）〜（Ａ２−Ｂ８）が配置部１３に設置され、分類シートＡ２上の素子２１が分類シート（Ａ２−Ｂ１）〜（Ａ２−Ｂ８）のいずれかに配置される。

こうして、分類シートＡ１〜Ａ８の全てについて２次分類が終了したときには、分類シートＡ１〜Ａ８は空となり、分類シートＡ１〜Ａ８にあった全ての素子２１は、６４個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ８−Ｂ８）のいずれかに移動されている。

さて、２次分類が完了すると、分類装置１０はさらに項目Ｃに基づいて３次分類を行う。３次分類では、制御部１５は、項目Ｃについての測定結果に基づいて、全ての素子２１を８つのグループＣ１〜Ｃ８に分類する。なお、素子２１の特性の測定結果は既に素子２１の位置に対応付けてＤＢ１６に記憶されているので、３次分類においては素子２１の測定を行う必要はない。

具体的には、まず、２次分類によって得られた分類シート（Ａ１−Ｂ１）がピックアップ部１１に投入される。また、分類シート（Ａ１−Ｂ１）上の素子２１をさらに８つのグループに分類するための８個の分類シート（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ１−Ｂ１−Ｃ８）が配置部１３のインデックス１３ｃ上に設置される。

そして、ピックアップ部１１が１つの素子２１をピックアップする。同時に、制御部１５は、ＤＢ１６を参照し、その素子２１が配置されていた位置に基づいて、その素子２１の項目Ｃに関する測定結果を参照し、その素子２１をグループ（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ１−Ｂ１−Ｃ８）のいずれかに分類する。そして、配置部１３は、制御部１５からの指示に基づいて、その素子２１を対応する分類シート（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ１−Ｂ１−Ｃ８）のいずれかに配置する。この作業を分類シート（Ａ１−Ｂ１）上の全ての素子２１について行う。

分類シート（Ａ１−Ｂ１）上の素子２１の３次分類が終了すると、次の分類シート（Ａ１−Ｂ２）上の素子２１について同様の３次分類を行う。即ち、分類シート（Ａ１−Ｂ２）上の素子２１が、分類シート（Ａ１−Ｂ２−Ｃ１）〜（Ａ１−Ｂ２−Ｃ８）のいずれかに配置される。こうして、６４個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ８−Ｂ８）の全てについて３次分類が終了したときには、６４個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ８−Ｂ８）にあった全ての素子２１は、５１２個の分類シート（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ８−Ｂ８−Ｃ８）のいずれかに移動されている。

［記憶データ］
次に、ＤＢ１６に記憶されるデータについて説明する。図４は、ＤＢ１６に記憶される記憶データの一例を示す。記憶データは、「位置情報」と、「測定結果」とを含む。ここで、位置情報は、素子１２が配置される分類シート３０を特定する「シートＩＤ」と、その分類シート３０上における素子２１の「位置座標（Ｘ，Ｙ座標）」とを含む。シートＩＤは、分類シート３０を示すＩＤであり、１次分類においては「Ａ１」〜「Ａ８」となり、２次分類においては「Ａ１−Ｂ１」〜「Ａ８−Ｂ８」となり、３次分類においては「Ａ１−Ｂ１−Ｃ１」〜「Ａ８−Ｂ８−Ｃ８」となる。

図５は、位置座標の例を示す。なお、位置座標は機械座標でも良いし、インデックス座標でも良い。１つの分類シート３０には格子状に素子２１を配置する区画が設けられており、各区画はＸ，Ｙ座標により示される。

制御部１５は、配置部１３が素子２１を新たな分類シート３０に配置するたびに、位置情報を書き換える。例えば、２次分類により、シートＡ１の位置座標（０，０）にあった素子２１がシート（Ａ１−Ｂ１）の位置座標（０，０）に移動された場合、制御部１５はその素子２１の記憶データ中の位置情報を「Ａ１，０，０」から「Ａ１−Ｂ１，０，０」に書き換える。

測定結果は、項目Ａ〜Ｃのそれぞれについての測定結果を含む。制御部１５は、各項目の測定結果を参照して、素子２１を複数のグループに分類する。

［フローチャート］
図６は、本実施例の分類装置による分類処理のフローチャートである。この処理は、制御部１５がピックアップ部１１、測定部１２、配置部１３を制御することにより実現される。

まず、未分類シート２０がピックアップ部１１に投入される（ステップＳ１０）。なお、この作業は作業者が行っても良いが、図示しない搬送装置などにより自動的に行ってもよい。

未分類シート２０が投入されると、１次分類が行われる（ステップＳ１１）。即ち、未分類シート２０上の素子２１が順にピックアップされ、特性が測定される。そして、測定結果のうちの項目Ａに基づいて素子２１が分類されて分類シートＡ１〜Ａ８に配置されるとともに、各素子２１について位置情報と測定結果とを含む記憶データがＤＢ１６に記憶される。

次に、１次分類後の８つの分類シートＡ１〜Ａ８のうちの１つ（例えば、分類シートＡ１−Ｂ１）が分類装置１０に投入され（ステップＳ１２）、２次分類が行われる（ステップＳ１３）。即ち、ＤＢ１６に記憶されている項目Ｂの測定結果に基づいて素子２１が分類され、分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ１−Ｂ８）のいずれかに配置される。

次に、８個の分類シートＡ１〜Ａ８の全てについて２次分類が完了したか否かが判定される（ステップＳ１４）。全ての分類シートについて２次分類が完了していない場合（ステップＳ１４：Ｎｏ）、処理はステップＳ１２へ戻り、次の分類シートについて２次分類が実行される。

一方、全ての分類シートについて２次分類が完了した場合（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、２次分類後の６４個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ８−Ｂ８）のうちの１つ（例えば、分類シートＡ１−Ｂ１）がピックアップ１１に投入され（ステップＳ１５）、３次分類が行われる（ステップＳ１６）。即ち、ＤＢ１６に記憶されている項目Ｃの測定結果に基づいて素子２１が分類され、分類シート（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ１−Ｂ１−Ｃ８）のいずれかに配置される。

次に、６４個の分類シート（Ａ１−Ｂ１）〜（Ａ８−Ｂ８）の全てについて３次分類が完了したか否かが判定される（ステップＳ１７）。全ての分類シートについて３次分類が完了していない場合（ステップＳ１７：Ｎｏ）、処理はステップＳ１５へ戻り、次の分類シートについて３次分類が実行される。

一方、全ての分類シートについて３次分類が完了した場合（ステップＳ１７：Ｙｅｓ）、分類処理は終了する。これにより、未分類シート２０上にあった素子２１が、３次分類後の５１２個の分類シート（Ａ１−Ｂ１−Ｃ１）〜（Ａ８−Ｂ８−Ｃ８）のいずれかに配置される。

以上のように、本実施例では、１次分類において測定と分類とを行って測定結果をＤＢ１６に記憶するので、その後の２次分類、３次分類においてはＤＢ１６に記憶されたデータを参照して分類を行えばよく、分類のたびに測定を行う必要がない。よって、一度の測定で、複数の項目に基づく多次元の分類を効率的に行うことができる。

［変形例］
上記の実施例において、分類装置１０は１次分類においては測定部１２を動作させ、２次分類以降においては測定部１２を動作させない。この切替は作業者の手動で行ってもよいが、シートにマークやＩＤを付すことにより制御部１５による自動切替も可能である。例えば、未分類シート２０と分類シート３０に異なるマークやＩＤなどを付しておき、分類装置１０に設けたカメラや光学的リーダなどによりこれを読み取る。制御部１５は、未分類シート２０が投入された場合は測定部１２を動作させ、分類シートが投入された場合は測定部１２を停止させればよい。

上記の実施例では、１つの分類装置１０を使用し、１次分類では測定部１２を使用し、２次分類以降では測定部１２を使用しないで分類を行っている。その代わりに、分類装置１０の後段に、ピックアップ部と配置部のみを有する（即ち、測定部を有しない）別の分類装置を配置し、２次分類以降の処理をその分類装置を用いて行うこととしてもよい。

上記の実施例では、３項目Ａ〜Ｃに基づいて１次〜３次の分類を行っているが、２次分類までで終了してもよく、４次以上の分類を行っても良い。また、上記の実施例では１回の分類で素子を８個のグループに分類しているが、これは一例に過ぎず、分類するグループ数はいくつであってもよい。

上記の実施例では、素子２１をシート２０、３０に配置しているが、本発明の適用はこれには限定されない。シートの代わりに、トレー、ケース、パレットなどの各種の収容体を利用することができる。

１０ 分類装置
１１ ピックアップ部
１２ 測定部
１３ 配置部
１５ 制御部
１６ データベース
２０ 未分類シート
２１ 素子
３０ 分類シート

Claims (5)

1. 複数の素子が配置された収容体から１つの素子を測定ステージに供給する供給手段と、
   前記測定ステージに供給された素子の各々を測定する測定手段と、
   前記測定手段による測定結果に基づいて前記素子を分類し、複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する分類手段と、
   前記複数の素子の各々について、前記素子が配置された収容体を示す情報と、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報と、前記測定結果とを対応付けて記憶する記憶部と、
   前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記複数の収容体とは別の収容体に配置する再分類手段と、
   を有することを特徴とする分類装置。
2. 前記分類手段による配置と前記再分類手段による配置は、同一の配置機構により行われることを特徴とする請求項１に記載の分類装置。
3. 前記再分類手段は、前記素子を、前記複数の収容体とは別の複数の収容体のうちの１つに配置することを特徴とする請求項１または２に記載の分類装置。
4. 前記測定手段は、前記複数の素子の各々について複数の項目を測定し、
   前記分類手段は、前記複数の項目のうちの１つの項目に基づいて前記素子を分類し、
   前記再分類手段は、前記複数の項目のうち他の１つの項目に基づいて前記素子を分類することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の分類装置。
5. 測定手段、記憶部、配置機構、及び、制御部を備える分類装置により実行される分類方法であって、
   前記測定手段により複数の素子を測定しつつ、前記制御部により前記測定結果に基づいて前記素子を分類し、前記配置機構により複数の収容体のうちの１つの収容体に配置する１次分類工程と、
   前記制御部により、前記１次分類工程によって前記素子が配置された収容体を示す情報、当該収容体内において前記素子が配置された位置を示す情報、及び、前記測定結果を対応付けて前記記憶部に記憶する記憶工程と、
   前記制御部により、前記収容体に配置された前記素子を前記記憶部に記憶された情報に基づいて分類し、前記配置機構により前記複数の収容体とは別の収容体に配置する２次分類工程と、
   を有することを特徴とする分類方法。