JP6454454B2 - クランプ治具及びワーク研磨方法 - Google Patents
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Description
4 ワーク接着治具、5 クランプ治具、5A クランプ具、
5B クランプ具、5C 治具ベース、6 定盤、8 保持治具、
21 弾性材
Claims (2)
- 磁気ヘッド素子を端部に配置した平面板状のワークの両平面を挟持するクランプ治具であって、前記ワークを一端側に接着保持するワーク接着治具と、前記ワーク接着治具に接着保持したワークの端部を両側から挟持する一方のクランプ具及び他方のクランプ具と、前記一方のクランプ具の端部と接する弾性材料の弾性材と、前記ワークの端部を弾性材に多点支持して押圧する複数の保持治具を備え、前記平面板状のワークの湾曲を維持した状態で磁気ヘッド素子近傍のワーク平面板状側面を多接点保持することを特徴とするクランプ治具。
- 磁気ヘッド素子を端部に配置した平面板状のワークを一端側に接着保持するワーク接着治具と、前記ワーク接着治具に接着保持したワークの両平面を挟持する一方のクランプ具及び他方のクランプ具と、前記一方のクランプ具の端部と接する弾性材料の弾性材と、前記ワーク平面板状側面を弾性材に多点支持して押圧する複数の保持治具を備えたクランプ治具を用い、該クランプ治具の下端を回転定盤により研磨するワーク研磨方法であって、前記クランプ治具が、前記一方のクランプ具の弾性材と他方のクランプ具の複数の保持治具によってワーク湾曲を維持した状態で磁気ヘッド素子近傍のワーク平面板状側面を多接点保持し、定盤を回転させながら定盤半径方向に往復移動させることを特徴とするワーク研磨方法。
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