JP6452086B2 - 形状算出装置及び方法、計測装置、物品製造方法、及び、プログラム - Google Patents
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Description
図1は、従来のスティッチ技術を示している。図12に、従来のスティッチ技術のフローチャートを示す。従来のスティッチ技術は、例えば特許文献1に述べられている。簡単のため、2つの部分領域の形状データを重なり合い領域を利用して接続する場合、特に部分計測データにおいて、任意の断面における接続を説明する。ただし、3つ以上の部分領域の形状データを接続する場合においても、技術の本質に違いがないことは理解されるであろう。
・計測中の計測環境の温度変化、
・計測装置上での被計測物の位置が変化し重量バランスが変化したことによる装置構造体の変形、
・被計測物の振動、
・被計測物の支持位置変化による自重変形の変化、
・被計測物の支持点の摩擦力変化による変形
などにより発生することが考えられる。
本実施形態における物品の製造方法は、例えば、金属部品や光学素子等の物品を製造する際に用いられる。本実施形態の物品の製造方法は、上記の形状計測装置を用いて被検物の形状を計測する工程と、かかる工程における計測結果に基づいて被検物を加工する工程とを含む。例えば、被検物の形状を計測装置を用いて計測し、その計測結果に基づいて、被検物の形状が設計値になるように当該被検物を加工(製造)する。本実施形態の物品の製造方法は、計測装置により高精度に被検物の形状を計測できるため、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (8)
- 被検面における第1の部分領域の第1の形状の計測データを取得するとともに、前記第1の部分領域と一部が重複する第2の部分領域の第2の形状の計測データを取得する取得部と、
前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて共通の誤差である系統誤差と、前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて異なり、形状を維持したままの回転と並進の誤差である姿勢誤差とを補償するパラメータを含む評価関数であって、前記第1の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第1の形状を変える第1の形状補正パラメータと、前記第2の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第2の形状を変える第2の形状補正パラメータとを変数として、前記第1の形状補正パラメータで前記第1の形状の計測データを補正して得られる形状データと前記第2の形状補正パラメータで前記第2の形状の計測データを補正して得られる形状データとを評価する評価関数の値が許容範囲内になるように、前記第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を決定する決定部と、
前記決定された第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を用いて前記第1及び第2の形状の計測データを補正し、前記補正して得られた形状データを合成して、前記第1及び第2の部分領域を含む全体領域の形状データを生成する合成部と、
を有することを特徴とする形状算出装置。 - 前記評価関数は、前記第1の形状の計測データと前記第2の形状の計測データとの重み付け二乗誤差であり、前記第1の形状の計測データの重みは前記第1の形状補正パラメータを含み、前記第2の形状の計測データの重みは前記第2の形状補正パラメータを含むことを特徴とする請求項1に記載の形状算出装置。
- 前記評価関数は、前記全体領域の設計形状データと前記第1及び第2の形状の計測データとの重み付け二乗誤差であり、前記設計形状データの重みは前記全体領域の形状を補正するためのパラメータを含み、前記第1及び第2の形状の計測データの重みはそれぞれ前記第1及び第2の形状補正パラメータを含むことを特徴とする請求項1に記載の形状算出装置。
- 前記合成部で生成された前記全体領域の形状データの高次空間周波数成分と、前記評価関数に代えて前記第1及び第2の形状補正パラメータを含まない第2の評価関数を用いた際に前記合成部で得られる前記全体領域の形状データの低次空間周波数成分とを合成した形状データを生成する制御部を更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の形状算出装置。
- 被検面の形状を計測する計測装置であって、
前記計測装置は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の形状算出装置を有し、
前記計測装置は、前記被検面における第1の部分領域の形状を計測し、第2の部分領域に形状を計測し、
前記形状算出装置は、計測された前記第1の部分領域の第1の形状の計測データを取得するとともに、計測された前記第2の部分領域の第2の形状の計測データを取得する
ことを特徴とする計測装置。 - 被検面における第1の部分領域の第1の形状の計測データを取得するとともに、前記第1の部分領域と一部が重複する第2の部分領域の第2の形状の計測データを取得する取得工程と、
前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて共通の誤差である系統誤差と、前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて異なり、形状を維持したままの回転と並進の誤差である姿勢誤差とを補償するパラメータを含む評価関数であって、前記第1の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第1の形状を変える第1の形状補正パラメータと、前記第2の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第2の形状を変える第2の形状補正パラメータとを変数として、前記第1の形状補正パラメータで前記第1の形状の計測データを補正して得られる形状データと前記第2の形状補正パラメータで前記第2の形状の計測データを補正して得られる形状データとを評価する評価関数の値が許容範囲内になるように、前記第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を決定する決定工程と、
前記決定された第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を用いて前記第1及び第2の形状の計測データを補正し、前記補正して得られた形状データを合成して、前記第1及び第2の部分領域を含む全体領域の形状データを生成する合成工程と、
を有することを特徴とする形状算出方法。 - 被検面の第1の部分領域および第2の部分領域の形状を計測する計測工程と、
請求項6に記載の形状算出方法を用いて、前記第1及び第2の部分領域を含む全体領域の形状を求める算出工程と、
該算出された全体領域の形状に基づいて前記全体領域の面を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。 - コンピュータに、
被検面における第1の部分領域の第1の形状の計測データを取得するとともに、前記第1の部分領域と一部が重複する第2の部分領域の第2の形状の計測データを取得する取得工程と、
前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて共通の誤差である系統誤差と、前記第1の部分領域と前記第2の部分領域とにおいて異なり、形状を維持したままの回転と並進の誤差である姿勢誤差とを補償するパラメータを含む評価関数であって、前記第1の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第1の形状を変える第1の形状補正パラメータと、前記第2の形状の計測データに含まれる計測誤差を補償するために前記第2の形状を変える第2の形状補正パラメータとを変数として、前記第1の形状補正パラメータで前記第1の形状の計測データを補正して得られる形状データと前記第2の形状補正パラメータで前記第2の形状の計測データを補正して得られる形状データとを評価する評価関数の値が許容範囲内になるように、前記第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を決定する決定工程と、
前記決定された第1の形状補正パラメータ及び前記第2の形状補正パラメータの値を用いて前記第1及び第2の形状の計測データを補正し、前記補正して得られた形状データを合成して、前記第1及び第2の部分領域を含む全体領域の形状データを生成する合成工程と、
を実行させるためのプログラム。
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