JP6436886B2 - 半導体装置の製造方法及びプログラム - Google Patents
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Description
酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマにより前記基板表面に形成された前記金属膜の表面を酸化し酸化層を形成する工程と、
少なくとも酸化性ガスを前記基板に供給して前記酸化層上に薄膜を形成する工程と、
を有する技術が提供される。
(1)基板処理装置の構成
本発明の第1実施形態に係る基板処理装置について、図1から図6を用いて以下に説明する。
処理装置100は、ウエハ200をプラズマ処理する処理炉202を備えている。処理炉202には、処理室201を構成する処理容器203が設けられている。処理容器203は、第1の容器であるドーム型の上側容器210と、第2の容器である碗型の下側容器211とを備えている。上側容器210が下側容器211の上に被さることにより、処理室201が形成される。上側容器210は、例えば酸化アルミニウム(Al2O3)または石英(SiO2)等の非金属材料で形成されており、下側容器211は、例えばアルミニウム(Al)で形成されている。
処理室201の底側中央には、ウエハ200を載置する基板載置部としてのサセプタ217が配置されている。サセプタ217は例えば窒化アルミニウム(AlN)、セラミックス、石英等の非金属材料から形成されており、ウエハ200上に形成される膜等の金属汚染を低減することができるように構成されている。
処理室201の上方、つまり上側容器210の上部には、ガス導入部236が設けられている。ガス導入部236は、キャップ状の蓋体233と、ガス導入口234と、バッファ室237と、開口238と、遮蔽プレート240と、ガス吹出口239とを備え、反応ガスを処理室201内へ供給できるように構成されている。バッファ室237は、ガス導入口234より導入される反応ガスを分散する分散空間としての機能を持つ。
下側容器211の側壁には、処理室201内から反応ガスを排気するガス排気口235が設けられている。ガス排気口235には、ガス排気管231の上流端が接続されている。ガス排気管231には、上流側から順に圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ242、開閉弁としてのバルブ243b、真空排気装置としての真空ポンプ246が設けられている。
処理室201の外周部、すなわち上側容器210の側壁の外側には、処理室201を囲うように、第1の電極としての、螺旋状の共振コイル212が設けられている。共振コイル212には、RFセンサ272、高周波電源273と周波数整合器274が接続される。
遮蔽板223は、一般的には、アルミニウム合金、銅または銅合金などの導電性材料を使用して円筒状に構成される。遮蔽板223は、共振コイル212の外周から5から150mm程度隔てて配置される。そして、通常、遮蔽板223は共振コイル212の両端と電位が等しくなる様に接地されるが、共振コイル212の共振数を正確に設定するため、遮蔽板223の一端または両端は、タップ位置を調整可能とする。あるいは、共振数を正確に設定するために、共振コイル212と遮蔽板223の間にトリミングキャパシタンスを挿入しても良い。
図3に示すように、制御部(制御手段)としてのコントローラ221は、CPU(Central Processing Unit)221a、RAM(Random Access Memory)221b、記憶装置221c、I/Oポート221dを備えたコンピュータとして構成されている。RAM221b、記憶装置221c、I/Oポート221dは、内部バス221eを介して、CPU221aとデータ交換可能なように構成されている。コントローラ221には、入出力装置225として、例えばタッチパネル、マウス、キーボード、操作端末等が接続されていてもよい。また、コントローラ221には、表示部として、例えばディスプレイ等が接続されていてもよい。
次に、本実施形態に係る基板処理工程について、主に図5を用いて説明する。図5は、本実施形態に係る基板処理工程を示すフロー図である。本実施形態に係る基板処理工程は、例えばメモリ用キャパシタ素子等の半導体デバイスの製造工程の一工程として実施される。
また、金属膜という用語は、金属原子を含む導電性の物質で構成される膜を意味しており、これには金属単体で構成される導電性の金属単体膜の他、導電性の金属窒化膜、導電性の金属酸化膜、導電性の金属酸窒化膜、導電性の金属複合膜、導電性の金属合金膜、導電性の金属シリサイド膜等も含まれる。例えば、TiN膜は導電性の金属窒化膜である。
本実施形態に係る以下のバリア層形成工程(S110〜S230)では、ウエハ200上に形成された上述の下部電極4にバリア層(バリア膜)としての酸化層(酸化膜)を形成する。バリア層形成工程は、処理装置100により実施される。なお以下の説明において、処理装置100を構成する各部の動作は、コントローラ221により制御される。
まず、下部電極4としてのTiN膜が表面に形成されたウエハ200を処理室201内に搬入(準備)する。具体的には、サセプタ昇降機構268がウエハ200の搬送位置までサセプタ217を下降させて、サセプタ217の貫通孔217aにウエハ突上げピン266を貫通させる。その結果、ウエハ突き上げピン266が、サセプタ217表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。
続いて、処理室201内に搬入(準備)されたウエハ200の昇温を行う。ヒータ217bは予め加熱されており、ヒータ217bが埋め込まれたサセプタ217上に、搬入されたウエハ200を保持することで、例えば室温(25℃)以上680℃以下の範囲内の所定値にウエハ200を加熱する。なお、ウエハ200上に形成されたデバイスパターンへの熱ダメージを抑制するためには、ウエハ200の処理温度は、プラズマを安定して生成可能な程度に高い温度であって、且つできるだけ低温であることが望ましく、好ましくは室温以上300℃以下、より好ましくは室温以上150℃以下とする。本実施形態では、上述のプラズマ生成手段で生成したプラズマを用いて基板処理を行うため、低温領域であっても所望の基板処理を実施することが可能である。ここで、本実施形態では、ウエハ200の温度が100℃となるよう加熱する。また、ウエハ200の昇温を行う間、真空ポンプ246によりガス排気管231を介して処理室201内を真空排気し、処理室201内の圧力を0.1Pa以上1000Pa以下の範囲内の所定値とする。ここで、本実施形態では200Paに調整される。真空ポンプ246は、少なくとも後述の基板搬出工程S230が終了するまで作動させておく。
次に、反応ガスとしてのO2ガスおよびH2ガスの供給を開始する。
具体的には次の通りである。
(混合ガス流量制御工程)
バルブ243a,253a,253bを開け、O2ガスとH2ガスとの混合ガスを、バッファ室237を介して処理室201内に導入(供給)する。O2ガスとH2ガスの混合ガスにおける、O2ガスとH2ガスの混合比率は、H2ガスが2%以上10%以下の範囲(すなわちO2ガスが90%以上98%以下の範囲)の所定の比率となるようにMFC252a、252bが制御される。本実施形態では、H2ガスが5%、O2ガスが95%となるように供給する。例えばガス流量は、H2ガスが50sccm、O2ガスが950sccmとする。
混合ガスの導入を開始して所定時間経過後(例えば数秒経過後)、共振コイル212に対して高周波電源273から整合器272を介して、高周波電力の印加を開始する。本実施形態では、高周波電源273から共振コイル212に例えば27.12MHz、1.5KWの高周波電力を供給する。これにより、プラズマ生成空間201a内に高周波電界が形成され、係る電界で、プラズマ生成空間の共振コイル212の電気的中点に相当する高さ位置にドーナツ状の誘導プラズマが励起される。プラズマ状のO2ガス、H2ガスは解離し、酸素(O)や水素(H)を含む水酸基活性種(水酸基ラジカル、OH*)、酸素イオン、水素活性種(水素ラジカル、H*)、水素イオン等の反応種を生成する。
そして、H2ガスとO2ガスの混合ガスがプラズマ励起されることにより生成された、水素活性種(H*)、水酸基活性種(OH*)、その他のイオン等の反応種を、ウエハ200の表面に形成されたTiN膜に供給して、ウエハ200にプラズマ処理(酸化処理)を施す。
所定の処理時間が経過してO2ガスとH2ガスの供給を停止したら、ガス排気管231を用いて処理室201内を真空排気する。これにより、処理室201内のO2ガス、H2ガスや、酸化処理で生じたその他の排ガスを処理室201外へと排気する。その後、APCバルブ242の開度を調整し、処理室201内の圧力を処理室201に隣接する真空搬送室(ウエハ200の搬出先。図示せず)と同じ圧力(例えば100Pa)に調整する。
処理室201内が所定の圧力となったら、サセプタ217をウエハ200の搬送位置まで下降させ、ウエハ突上げピン266上にウエハ200を支持させる。そして、ゲートバルブ244を開き、図中省略の搬送機構を用いてウエハ200を処理室201外へ搬出する。このとき、処理室201内を不活性ガス等でパージしながらウエハ200の搬出を行ってもよい。以上により、本実施形態に係る基板処理工程を終了する。
続いて、ウエハ200の表面に形成されたTiN膜を酸化してバリア層を形成した後に、容量絶縁膜としてのHigh−k膜を成膜する工程(容量絶縁膜形成工程)について図5、図6、図7を用いて説明する。容量絶縁膜形成工程は、処理装置40により実施される。なお以下の説明において、処理装置40を構成する各部の動作は、コントローラ300により制御される。
まず、前述のバリア層形成工程において、金属膜であるTiN膜表面にバリア層が形成された複数枚のウエハ200が、処理装置40に備えられたボート38に装填(ウエハチャージ)される。複数枚のウエハ200を支持したボート38が、ボートエレベータ44によって持ち上げられて処理室80内に搬入(ボートロード)される。
処理室80内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ96によって真空排気される。この際、処理室80内の圧力が圧力センサ92で測定され、この測定された圧力に基づいてAPCバルブ94がフィードバック制御される(圧力調整)。
次に、TEMAZガスとO3ガスを処理室80内に供給することにより容量絶縁膜として形成されるHigh−k膜である酸化ジルコニウム(ZrO2)膜を形成する工程を行う。絶縁膜を形成する工程では次の4つのステップを順次実行する。
ガス供給管102cのバルブ108cを開き、ベントライン110cのバルブ108cを閉じることで、気化器106cを介してガス供給管102c内にTEMAZガスを流す。ガス供給管102c内を流れたTEMAZガスは、MFC104cにより流量調整される。流量調整されたTEMAZガスはノズル100cのガス供給孔130cから処理室80内に供給されつつ排気管90から排気される。
次に、処理室80内に残留するガスを除去する。Zr含有層が形成された後、バルブ108cを閉じバルブ118cを開けて、処理室内へのTEMAZガスの供給を停止し、TEMAZガスをベントライン110cへ流す。
次に、酸化ガスとしてO3ガスを処理室80に供給する。処理室80内の残留ガスを除去した後、ガス供給管102d内にO2ガスを流す。ガス供給管102d内を流れたO2ガスは、オゾナイザ132によりO3ガスとなる。
次に、処理室80内に残留するガスを除去する。ガス供給管102dのバルブ108dを閉じバルブ118dを開けて、処理室80内へのO3ガスの供給を停止し、O3ガスをベントライン110dへ流す。
次に、S330〜S360を1サイクルとして、このサイクルを所定回数行ったかを判定する。所定回数行っている場合は、次のステップの処理に進み、所定回数行っていない場合は、TEMAZ供給工程S330の処理に進む。
絶縁膜を形成する工程が終了すると、内部の雰囲気がN2ガスに置換された処理室80内は、圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ44によりシールキャップ48が下降されて、反応管74の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200がボート38に保持された状態で反応管74の下端から外部に搬出(ボートアンロード)される。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果が得られる。
更に第二の実施形態として、TiN膜の酸化処理を行うバリア層形成工程(第一の実施形態)の前に、TiN膜に対して窒化処理を行う形態について図8を用いて説明する。なお、本実施形態は、第一の実施形態と同様、処理装置100を用いて実施される。
(基板搬入工程S10及び昇温・真空排気工程S20)
まず、下部電極4としてのTiN膜が表面に形成されたウエハ200を処理室201内に搬入する。その他の動作は、第一の実施形態における基板搬入工程S110及び昇温・真空排気工程S120と同様である。
次に、窒素含有ガスとしてのH2ガスおよびN2ガスの混合ガスの供給を開始する。具体的には次の通りである。
(混合ガス流量制御工程)
バルブ243a,253b,253cを開け、H2ガスとN2ガスとの混合ガスを、バッファ室237を介して処理室201内に導入(供給)する。H2ガスとN2ガスの混合ガスにおける、N2ガスとH2ガスの混合比率は、N2ガスが10%以上90%以下の範囲(すなわちH2ガスが10%以上90%以下の範囲)、好ましくはN2ガスとH2ガスそれぞれの効果を十分に得るため、N2ガスが33%以上67%以下の範囲(すなわちH2ガスが33%以上67%以下の範囲)の所定の比率となるようにMFC252b、252cが制御される。本実施形態では、N2ガスが50%、H2ガスが50%となるように供給する。供給する際、上記混合ガスの供給前に、H2ガスを処理室201内に導入して、処理室201内が所定の圧力となるように調整してもよい。こうすることにより、混合ガス供給開始時、処理室201内の圧力を保持した状態で、コントロール電極605に対する急激な窒化を抑制することができる。
所定の処理時間が経過してN2ガス、H2ガスの供給を停止したら、ガス排気管231を用いて処理室201内を真空排気する。これにより、処理室201内のN2ガス、H2ガスや、窒化処理で生じたその他の排ガスを処理室201外へと排気する。
TiN膜等の金属窒化膜に対して上述の窒化処理を施すことにより、その表面には均一で緻密な窒化層が形成される。この窒化層は、その後のバリア層形成工程において金属窒化膜中への酸素の拡散を抑制するので、金属窒化膜の表面近傍のみに、より薄く均一な酸化層が形成される。薄く均一な酸化層により形成されたバリア層は、シート抵抗値を低く維持しながらも、その後の容量絶縁膜形成工程等の酸化ガスに対して酸化を抑制する機能において、高い効果を得ることができる。すなわち、シート抵抗値を低く維持したバリア層であっても、その後の工程における酸化ガスに起因する金属窒化膜の酸化を抑制することが可能となる。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
本発明の一態様によれば、
表面に金属膜が形成された基板を準備する工程と、
酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマにより前記基板表面に形成された前記金属膜の表面を酸化し酸化層を形成する工程と、
少なくとも酸化性ガスを前記基板に供給して前記酸化層上に薄膜を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法又は基板処理方法、が提供される。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸素含有ガスと水素含有ガスは、それぞれ酸素ガスと水素ガスである。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記金属膜は導電性の金属膜及び金属窒化膜の少なくとも何れかである。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層上に薄膜を形成する工程で形成される薄膜は、酸化物により構成される膜である。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層上に薄膜を形成する工程で形成される薄膜は、高誘電率を有する絶縁膜(High−k膜(例えばAlO,ZrO,HfO,ZrAlO,HfAlO,SrTiO,等))である。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層を形成する工程では、当該工程前の前記金属膜のシート抵抗値に対して、当該工程後の、前記酸化層が形成された前記金属膜のシート抵抗値が増加するように前記酸化層を形成する。
付記6記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層を形成する工程における前記金属膜のシート抵抗値の増加量は0%より大きく、100%以下である。
付記2記載の方法であって、好ましくは、
前記混合ガスにおける前記酸素ガスと前記水素ガスの混合比率は、前記水素ガスの比率が2%以上10%以下の範囲(酸素ガスが90%以上98%以下の範囲)である。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記金属膜は金属窒化膜であり、
前記酸化層を形成する工程の前に、前記金属窒化膜に対して窒化処理を行う工程を有する。
付記9記載の方法であって、好ましくは、
前記金属窒化膜に対して窒化処理を行う工程では、窒素含有ガスのプラズマにより前記金属窒化膜の表面を窒化する。
付記9記載の方法であって、好ましくは、
前記金属窒化膜に対して窒化処理を行う工程では、窒素と水素を含有するガスのプラズマにより前記金属窒化膜の表面を窒化する。
付記11記載の方法であって、好ましくは、
前記窒素と水素を含有するガスは、窒素ガス(N2ガス)と水素ガス(H2ガス)の混合ガスである。
付記11記載の方法であって、好ましくは、
前記窒素と水素を含有するガスは、アンモニアガス(NH3ガス)である。
付記9記載の方法であって、好ましくは、
前記金属窒化膜は窒化チタン(TiN)膜である。
付記9記載の方法であって、好ましくは、
前記金属窒化膜に対して窒化処理を行う工程、及び前記酸化層を形成する工程は、前記処理室内で連続して行う(即ち、両工程の間に、前記基板を前記処理室から搬出する工程を含まない)。
付記1乃至15いずれかに記載の方法であって、好ましくは、
供給された処理ガスがプラズマ励起されるプラズマ生成空間と、前記プラズマ生成空間に連通し基板処理時に基板が載置される基板処理空間と、を有する前記処理室と、
前記プラズマ生成空間の外周に設けられ、印加される高周波電力の波長の整数倍の電気長を有するコイルと、
前記基板処理空間であって前記コイルの下端より下の位置に前記基板を載置するように構成された基板載置台と、を備えた基板処理装置を提供する工程を有し、
前記基板を準備する工程では、前記基板載置台に前記基板を載置し、
前記酸化層を形成する工程では、
前記プラズマ生成空間内に前記処理ガスとして前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを供給する工程と、
前記コイルに高周波電力を印加して、前記プラズマ生成空間において前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマの生成を開始する工程を有し、
前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマの生成を開始した後、前記コイルが共振状態を維持するように前記コイルに印加される高周波電力の周波数を制御する。
付記10記載の方法であって、好ましくは、
供給された処理ガスがプラズマ励起されるプラズマ生成空間と、前記プラズマ生成空間に連通し基板処理時に基板が載置される基板処理空間と、を有する前記処理室と、
前記プラズマ生成空間の外周に設けられ、印加される高周波電力の波長の整数倍の電気長を有するコイルと、
前記基板処理空間であって前記コイルの下端より下の位置に前記基板を載置するように構成された基板載置台と、を備えた基板処理装置を提供する工程を有し、
前記基板を準備する工程では、前記基板載置台に前記基板を載置し、
前記金属窒化膜に対して窒化処理を行う工程では、
前記プラズマ生成空間内に前記処理ガスとして前記窒素含有ガスを供給する工程と、
前記コイルに高周波電力を印加して、前記プラズマ生成空間において前記窒素含有ガスのプラズマの生成を開始する工程を有し、
前記酸化層を形成する工程では、
前記プラズマ生成空間内に前記処理ガスとして前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを供給する工程と、
前記コイルに高周波電力を印加して、前記プラズマ生成空間において前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマの生成を開始する工程を有し、
前記窒素含有するガスをプラズマ励起する間、及び前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスをプラズマ励起する間、前記コイルが共振状態を維持するように前記コイルに印加される高周波電力の周波数を制御する。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層を形成する工程では、
前記基板の温度を室温以上300℃以下、好ましくは室温以上150℃以下、より好ましくは約100℃とする。
付記1記載の方法であって、好ましくは、
前記酸化層を形成する工程では、
前記高周波電力の印加時間を15秒以上30秒以下の範囲とし、
前記高周波電力の電力値を1.5KW以上3.5KW以下とする。
本発明の他の態様によれば、
表面に金属膜が形成された基板を準備する手順と、
酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスのプラズマにより前記基板表面に形成された前記金属膜の表面を酸化し酸化層を形成する手順と、
少なくとも酸化性ガスを前記基板に供給して前記酸化層上に薄膜を形成する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム、又は当該プログラムを記録したコンピュータが読み取り可能な記録媒体、が提供される。
本発明の他の態様によれば、
基板が収容される処理室と、
ガスをプラズマ励起させるプラズマ生成部と、
前記プラズマ生成部に酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを供給する第1のガス供給系と、
前記プラズマ生成部に窒素含有ガスを供給する第2のガス供給系と、
前記第2のガス供給系を制御して、前記窒素含有ガスを前記プラズマ生成部に供給すると共に、前記プラズマ生成部を制御して前記プラズマ生成部に供給された前記窒素含有ガスをプラズマ励起させ、その後に、前記第1のガス供給系を制御して、前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを前記プラズマ生成部に供給すると共に、前記プラズマ生成部を制御して前記プラズマ生成部に供給された前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスをプラズマ励起させるよう構成された制御部と、
を備える基板処理装置、が提供される。
付記21記載の装置であって、好ましくは、
前記窒素含有ガスは、窒素と水素を含有するガスである。
付記21記載の装置であって、好ましくは、
前記プラズマ生成部は、前記処理室内に供給されたガスをプラズマ励起させるように構成されている。
〔付記24〕
本発明の他の態様によれば、
ガスがプラズマ励起されるプラズマ生成空間と、前記プラズマ生成空間に連通し基板処理時に基板が載置される基板処理空間と、を有する処理室と、
前記プラズマ生成空間の外周に設けられ、印加される高周波電力の波長の整数倍の電気長を有するコイルと、
前記基板処理空間であって前記コイルの下端より下の位置に前記基板を載置するように構成された基板載置台と、
前記コイルに高周波電力を印加する高周波電源と、
前記プラズマ生成空間に酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを供給する第1のガス供給系と、
前記プラズマ生成空間に窒素含有ガスを供給する第2のガス供給系と、
前記基板処理室内を排気する排気部と、
前記第2のガス供給系を制御して、前記窒素含有ガスを前記プラズマ生成空間に供給すると共に、前記高周波電源を制御して前記コイルに高周波電力を印加することで前記プラズマ生成空間に供給された前記窒素含有ガスをプラズマ励起する窒化処理工程と、前記窒化処理工程の後に、前記第1のガス供給系を制御して、前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスを前記プラズマ生成空間に供給すると共に、前記高周波電源を制御して前記コイルに高周波電力を印加することで前記プラズマ生成空間に供給された前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスをプラズマ励起する酸化処理工程と、を実行させるよう構成された制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記窒素含有ガスをプラズマ励起する間、及び前記酸素含有ガスと水素含有ガスの混合ガスをプラズマ励起する間、前記高周波電力の周波数が、前記コイルが共振状態を維持する周波数となるように前記高周波電源を制御する、基板処理装置、が提供される。
付記24記載の装置であって、好ましくは、
第1のガス供給系は、酸素ガスを前記プラズマ生成空間に供給する酸素ガス供給系と、水素ガスを前記プラズマ生成空間に供給する水素ガス供給系と、により構成されている。
付記24記載の装置であって、好ましくは、
第2のガス供給系は、窒素ガスを前記プラズマ生成空間に供給する窒素ガス供給系と、水素ガスを前記プラズマ生成空間に供給する水素ガス供給系と、により構成されている。
200…ウエハ
201…処理室
212…共振コイル
217…サセプタ
221…コントローラ
40…処理装置
Claims (10)
- 表面に窒化チタン膜が形成された基板を準備する工程と、
酸素ガスと水素ガスの混合ガスのプラズマにより前記基板表面に形成された前記窒化チタン膜の表面を酸化し酸化層を形成する工程と、
少なくとも酸化性ガスを前記基板に供給して前記酸化層上に金属酸化膜を形成する工程と、
を有し、
前記混合ガスにおける前記水素ガスの混合比率は2%以上10%以下の範囲の所定の比率である、
半導体装置の製造方法。 - 前記酸化層を形成する工程では、当該工程前の前記窒化チタン膜のシート抵抗値に対して、当該工程後の、前記酸化層が形成された前記窒化チタン膜のシート抵抗値が増加するように前記酸化層を形成する、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層を形成する工程における前記窒化チタン膜のシート抵抗値の増加量は0%より大きく、100%以下である、請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層上に金属酸化膜を形成する工程で形成される前記金属酸化膜は、酸化ジルコニウムにより構成される膜である、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層上に金属酸化膜を形成する工程で供給される前記酸化性ガスはオゾンガスである、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層を形成する工程の前に、窒素及び水素を含有するガスのプラズマにより前記窒化チタン膜の表面を窒化する工程を有する、請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒素と水素を含有するガスは窒素ガスと水素ガスの混合ガスである、請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒素と水素を含有するガスはアンモニアガスである、請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 表面に窒化チタン膜が形成された基板を基板処理装置の処理室内に準備する手順と、
酸素ガスと水素ガスの混合ガスのプラズマにより前記基板表面に形成された前記窒化チタン膜の表面を酸化し酸化層を形成する手順と、
少なくとも酸化性ガスを前記基板に供給して前記酸化層上に金属酸化膜を形成する手順と、を有し、
前記混合ガスにおける前記水素ガスの混合比率は2%以上10%以下の範囲の所定の比率である手順を、コンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラム。 - 前記酸化層を形成する手順の前に、窒素及び水素を含有するガスのプラズマにより前記窒化チタン膜の表面を窒化する手順を有する、請求項9記載のプログラム。
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