JP6430402B2 - 微量ガス検出用小型チューナブルレーザ分光計 - Google Patents
微量ガス検出用小型チューナブルレーザ分光計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6430402B2 JP6430402B2 JP2015553926A JP2015553926A JP6430402B2 JP 6430402 B2 JP6430402 B2 JP 6430402B2 JP 2015553926 A JP2015553926 A JP 2015553926A JP 2015553926 A JP2015553926 A JP 2015553926A JP 6430402 B2 JP6430402 B2 JP 6430402B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- open path
- open
- mirror
- laser spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 78
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 57
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 23
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 13
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- 230000011664 signaling Effects 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 10
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000001307 laser spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 210000000265 leukocyte Anatomy 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 239000005398 lithium aluminium silicate glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/031—Multipass arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
- G01N2021/3513—Open path with an instrumental source
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
- G01N2021/396—Type of laser source
- G01N2021/399—Diode laser
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/02—Mechanical
- G01N2201/022—Casings
- G01N2201/0221—Portable; cableless; compact; hand-held
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
Claims (20)
- 微量ガスの濃度を測定するオープンパスレーザ分光計であって、このオープンパスレーザ分光計が、
第1ミラーと、この第1ミラーからある距離及びある方向にした第2ミラーと、これら第1及び第2ミラーを配置するための支持構造体とを有するオープンパスで多重パスの分析領域と、
このオープンパスで多重パスの分析領域に結合され、ある波長範囲の光を放出し、この放出光を前記第1及び第2ミラー間で複数回反射させうるように構成したレーザと、
前記オープンパスで多重パスの分析領域に結合された検出器であって、前記微量ガスと相互作用しこの検出器に当る前記放出光の一部分を検出するとともに、前記放出光のこの検出された一部分の特性に対応する信号を発生させるように構成された当該検出器と、
前記レーザ及び前記検出器に結合されている電子システムであって、前記信号に基づいて、レーザ電流に関して前記微量ガスの共振の中心波長のシフトを監視し、前記中央波長のシフトを決定し、この決定されたシフトに基づいて、レーザの電流対中心波長を元の状態に戻すようにシフトさせるのに充分な量だけ、前記レーザの温度を調整し、且つ、前記信号に基づいて微量ガスの濃度を測定するように構成された当該電子システムと
を具えるオープンパスレーザ分光計。 - 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記微量ガスがメタンであるオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、
前記微量ガスは前記放出光の波長範囲内で共振周波数応答を呈するようになっており、
雰囲気内の他のガスは前記波長範囲内で共振周波数応答を呈さないようになっている
オープンパスレーザ分光計。 - 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記レーザは赤外線範囲内で動作する半導体レーザダイオードを有しているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記波長範囲は約3.2μm〜約3.5μmであるオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記オープンパスで多重パスの分析領域は周囲の雰囲気に曝されるようになっているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記オープンパスで多重パスの分析領域における光路がほぼ周囲温度及びほぼ周囲圧力にあるようにしたオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、
前記オープンパスで多重パスの分析領域がヘリオットセルを有し、
前記第1及び第2ミラーが対向凹面ミラーであり、
前記第1ミラーは、前記オープンパスで多重パスの分析領域に対する光の入射及び出射の双方又は何れか一方を達成させるように構成された第1の孔を有している
オープンパスレーザ分光計。 - 請求項8に記載のオープンパスレーザ分光計において、
前記第1の孔は前記放出光を前記オープンパスで多重パスの分析領域に入射させるように構成され、
前記第2ミラーは、反射された前記光を前記オープンパスで多重パスの分析領域から出射させるように構成された第2の孔を有しているようにした
オープンパスレーザ分光計。 - 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記オープンパスレーザ分光計は、直接吸収技術と、2f変調/復調技術との双方又は何れか一方を用いるように構成されているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記電子システムは、このオープンパスレーザ分光計の位置を追尾し、この位置を前記検出器の発生された前記信号と同期させるように構成されたグローバル・ポジショニング・システム(GPS)を有しているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記電子システムは更に、このオープンパスレーザ分光計と外部装置との間の通信を可能にするように構成された無線トランシーバを有しているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、このオープンパスレーザ分光計は、約10パーツパービリオン(ppb)/秒の微量ガス検出感度を有しているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、このオープンパスレーザ分光計は、ポータブルで手持ち式であるオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、前記第1ミラー及び前記第2ミラー間の距離を約8cmと約20cmとの間とし、前記オープンパスで多重パスの分析領域の全光路長は4mよりも長くなっているオープンパスレーザ分光計。
- 請求項1に記載のオープンパスレーザ分光計において、このオープンパスレーザ分光計は更に、前記レーザの発光源の温度を制御するように構成された熱電冷却器(TEC)を具えており、
前記電子システムは、前記レーザの発光源の温度を制御して、発生された前記信号のスペクトル中の波長のシフトを補償することを前記TECに信号伝達することにより、前記レーザからの前記放出光の波長範囲を調整するように構成されている
オープンパスレーザ分光計。 - 第1ミラー及びこの第1ミラーからある距離にある第2ミラーを有する分析領域と、
レーザと、
検出器と、
電子システムと
を具えるオープンパスレーザ分光計であって、
前記レーザは、ある波長範囲の光を前記第2ミラーに向けて放出させるように構成され、この放出光は前記検出器に当る前に前記第1ミラー及び第2ミラーから複数回反射されるようにする当該オープンパスレーザ分光計を準備するステップと、
このオープンパスレーザ分光計の前記分析領域を周囲の雰囲気に曝すステップと、
前記検出器により微量ガスと相互作用し前記検出器に当る前記放射光の一部分の特性を検出し、この検出器によりこの光の検出特性に対応する信号を発生させるステップと、
この発生信号に基づいて中心波長のシフトを決定するために、レーザ電流に関して前記微量ガスの共振の中心波長のシフトを、前記電子システムにより監視するステップと、
この決定されたシフトに基づいて、レーザの電流対中心波長を元の状態に戻すようにシフトさせるのに充分な量だけ、前記レーザの温度を、前記電子システムにより調整するステップと、
前記微量ガスの濃度を、前記検出器により発生された前記信号に基づいて前記電子システムにより測定するステップと
を有する微量ガス濃度測定方法。 - 請求項17に記載の微量ガス濃度測定方法において、前記分析領域を周囲の雰囲気に曝す前記ステップが、前記第1ミラー及び第2ミラー間の領域における光路を周囲の温度及び周囲の圧力に曝すステップを有する微量ガス濃度測定方法。
- 請求項17に記載の微量ガス濃度測定方法において、
前記微量ガスは前記放出光の波長範囲内で共振周波数応答を呈し、
前記雰囲気内の他のガスはこの波長範囲内で共振周波数応答を呈さないようにする
微量ガス濃度測定方法。 - 請求項17に記載の微量ガス濃度測定方法において、前記オープンパスレーザ分光計が更に、前記レーザの発光源の温度を制御するように構成された熱電冷却器(TEC)を具えるようにし、
前記レーザからの前記放出光の波長範囲を調整するステップが、
前記レーザの発光源の温度を制御して、発生された前記信号のスペクトル中の波長のシフトを補償することを前記電子システムにより前記TECに信号伝達するステップ
を有している
微量ガス濃度測定方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361755832P | 2013-01-23 | 2013-01-23 | |
US61/755,832 | 2013-01-23 | ||
PCT/US2014/012766 WO2014116840A1 (en) | 2013-01-23 | 2014-01-23 | Miniature tunable laser spectrometer for detection of a trace gas |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016503904A JP2016503904A (ja) | 2016-02-08 |
JP6430402B2 true JP6430402B2 (ja) | 2018-11-28 |
Family
ID=51207448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015553926A Active JP6430402B2 (ja) | 2013-01-23 | 2014-01-23 | 微量ガス検出用小型チューナブルレーザ分光計 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9671332B2 (ja) |
EP (1) | EP2948761B1 (ja) |
JP (1) | JP6430402B2 (ja) |
DK (1) | DK2948761T3 (ja) |
WO (1) | WO2014116840A1 (ja) |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201214899D0 (en) * | 2012-08-21 | 2012-10-03 | Stfc Science & Technology | Method and apparatus for external cavity laser absorption spectroscopy |
US10488258B2 (en) * | 2012-12-12 | 2019-11-26 | Spectrasensors, Inc. | Optical reflectors for spectrometer gas cells |
WO2014191438A1 (en) * | 2013-05-27 | 2014-12-04 | Gasporox Ab | System and method for determining a concentration of a gas in a container |
US9488569B2 (en) * | 2013-06-10 | 2016-11-08 | Florida Agricultural And Mechanical University | Method and systems to detect matter through use of a magnetic field gradient |
US10925515B2 (en) | 2014-05-22 | 2021-02-23 | Picomole Inc. | Alveolar breath collection apparatus |
MX2017002504A (es) * | 2014-08-25 | 2017-10-23 | Isis Geomatics Inc | Aparato y metodo para detectar un gas usando un vehiculo aereo no tripulado. |
CA2886213A1 (en) * | 2014-09-07 | 2015-05-27 | Unisearch Associates Inc. | Gas cell assembly and applications in absorption spectroscopy |
JP6084961B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2017-02-22 | 大陽日酸株式会社 | 多重反射容器 |
JP6730333B2 (ja) | 2015-03-04 | 2020-07-29 | ワイ. スカーレット,キャロル | ミラーキャビティシステムにおける量子光学効果を利用した乱数の発生 |
US10394525B2 (en) | 2015-03-04 | 2019-08-27 | Carol Y. Scarlett | Generation of random numbers through the use of quantum-optical effects within a multi-layered birefringent structure |
US10705799B2 (en) | 2015-03-04 | 2020-07-07 | Carol Y. Scarlett | Transmission of information through the use of quantum-optical effects within a multi-layered birefringent structure |
JP2016200558A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 横河電機株式会社 | ガス濃度分析装置 |
EP3112846B1 (de) * | 2015-06-29 | 2017-05-17 | Sick Ag | Verfahren zur bestimmung der konzentration einer gaskomponente und spektrometer dafür |
US9735069B2 (en) | 2015-09-23 | 2017-08-15 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for determining process rate |
CN106769955A (zh) | 2015-11-25 | 2017-05-31 | 优胜光分联营公司 | 用于吸收光谱法的气室 |
EP3414552B1 (de) * | 2016-02-11 | 2020-11-18 | Tom Rubin | Langwegzelle |
US10724945B2 (en) | 2016-04-19 | 2020-07-28 | Cascade Technologies Holdings Limited | Laser detection system and method |
US10180393B2 (en) * | 2016-04-20 | 2019-01-15 | Cascade Technologies Holdings Limited | Sample cell |
US11045103B2 (en) * | 2016-04-28 | 2021-06-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Physiological parameter detecting apparatus and method of detecting physiological parameters |
JP7040443B2 (ja) * | 2016-07-07 | 2022-03-23 | 日本電気株式会社 | ガス検知システム |
US10228324B2 (en) | 2016-07-25 | 2019-03-12 | Mks Instruments, Inc. | Gas measurement system |
FR3055703B1 (fr) * | 2016-09-05 | 2020-12-18 | Elichens | Procede d’analyse d’un gaz |
CN106448020B (zh) * | 2016-10-21 | 2021-02-02 | 中国矿业大学(北京) | 矿井外因火灾监测报警*** |
CN106355818B (zh) * | 2016-10-21 | 2021-03-30 | 中国矿业大学(北京) | 矿井采空区火灾监测预警装置 |
CN106485867B (zh) * | 2016-10-21 | 2021-02-02 | 中国矿业大学(北京) | 多参数矿井外因火灾监控报警*** |
US20180149584A1 (en) | 2016-11-29 | 2018-05-31 | Carol Y. Scarlett | Circular birefringence identification of materials |
US11175202B2 (en) | 2018-01-02 | 2021-11-16 | Arthur W Mohr, Jr. | Apparatus and method for collecting environmental samples |
GB201700905D0 (en) | 2017-01-19 | 2017-03-08 | Cascade Tech Holdings Ltd | Close-Coupled Analyser |
CA2998026A1 (en) | 2017-03-13 | 2018-09-13 | Picomole Inc. | Apparatus and method of optimizing laser system |
US10222322B2 (en) * | 2017-06-08 | 2019-03-05 | Rosemount Inc. | Colorimetric analyzer with improved error detection |
US11874224B2 (en) * | 2017-07-26 | 2024-01-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Sample observation device and sample observation method |
CN107271365A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-10-20 | 华纳创新(北京)科技有限公司 | 一种原位在线测定氨逃逸的装置 |
US10302553B2 (en) * | 2017-08-30 | 2019-05-28 | Lam Research Corporation | Gas exhaust by-product measurement system |
US10784174B2 (en) | 2017-10-13 | 2020-09-22 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for determining etch process parameters |
KR102056767B1 (ko) | 2017-10-31 | 2019-12-18 | 한국생산기술연구원 | 프로브형 광학 계측 장치 |
CN107941276A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-20 | 武汉米字能源科技有限公司 | 燃气流量和甲烷含量激光测量仪及测量方法 |
CN107991238A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-05-04 | 汉威科技集团股份有限公司 | 一种激光甲烷气体传感器 |
CN109030372A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-12-18 | 青岛蓝翼光学有限公司 | 适用于点光源的多次反射气体吸收池 |
EP3591379B1 (en) | 2018-07-04 | 2022-01-26 | Q.E.D. Environmental Systems Limited | Portable optical spectroscopy device for analyzing gas samples |
CN108982411B (zh) * | 2018-07-09 | 2021-04-06 | 安徽建筑大学 | 一种检测烟道中氨气浓度的激光原位检测*** |
CN108982399B (zh) * | 2018-07-09 | 2021-04-06 | 安徽建筑大学 | 一种烟道氨浓度激光在线检测*** |
US10330593B1 (en) * | 2018-07-23 | 2019-06-25 | Eagle Technology, Llc | Real time spatial mapping of atmospheric gas distributions |
GB201812766D0 (en) * | 2018-08-06 | 2018-09-19 | Res & Innovation Uk | Optical multi-pass cells |
WO2020086499A1 (en) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | Seekops Inc. | A uav-borne, high-bandwidth, lightweight point sensor for quantifying greenhouse gases in atmospheric strata |
WO2020150112A1 (en) * | 2019-01-16 | 2020-07-23 | Indrio Technologies, Inc | Laser-based in-situ exhaust gas sensor |
US11035789B2 (en) | 2019-04-03 | 2021-06-15 | Picomole Inc. | Cavity ring-down spectroscopy system and method of modulating a light beam therein |
WO2020206006A1 (en) * | 2019-04-05 | 2020-10-08 | Seekops Inc. | Analog signal processing for a lightweight and compact laser-based trace gas sensor |
CN110208188A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-06 | 深圳市利拓光电有限公司 | 基于激光光谱吸收的一体化气体检测探头 |
EP4038357A4 (en) * | 2019-10-04 | 2023-11-08 | SeekOps Inc. | GENERATION OF FLIGHT PATTERNS WITH A CLOSED SURFACE FOR FLUX LEVEL ASSESSMENT OF UNMANNED AERIAL VEHICLES (UAV) |
US11614430B2 (en) | 2019-12-19 | 2023-03-28 | Seekops Inc. | Concurrent in-situ measurement of wind speed and trace gases on mobile platforms for localization and qualification of emissions |
US11988598B2 (en) | 2019-12-31 | 2024-05-21 | Seekops Inc. | Optical cell cleaner |
US11740179B2 (en) * | 2020-02-07 | 2023-08-29 | Lumileds Llc | Gas sensing system having quadric reflective surface |
US11957450B2 (en) | 2020-02-28 | 2024-04-16 | Picomole Inc. | Apparatus and method for collecting a breath sample using an air circulation system |
US11782049B2 (en) | 2020-02-28 | 2023-10-10 | Picomole Inc. | Apparatus and method for collecting a breath sample using a container with controllable volume |
EP4127740A4 (en) | 2020-03-25 | 2024-04-24 | SeekOps Inc. | LOGARITHMIC DEMODULATOR FOR LASER WAVELENGTH MODULATION SPECTROSCOPY |
FR3108726B1 (fr) | 2020-03-27 | 2022-04-08 | Total Sa | Drone de mesure de données représentatives de teneurs en au moins deux gaz présents dans l’atmosphère à l’écart du sol et procédé de mesure associé |
US11748866B2 (en) | 2020-07-17 | 2023-09-05 | Seekops Inc. | Systems and methods of automated detection of gas plumes using optical imaging |
CN111982813B (zh) * | 2020-08-21 | 2023-04-07 | 安徽大学 | 一种全光纤型开放式气体监测***和检测方法 |
KR102410126B1 (ko) * | 2020-11-03 | 2022-06-20 | 한국광기술원 | 비분산식 유해 가스 검출 장치 및 방법 |
WO2023154252A1 (en) * | 2022-02-10 | 2023-08-17 | ColdQuanta, Inc. | Miniature atomic spectroscopy reference cell system |
WO2023235358A1 (en) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | Seekops Inc. | Laser assembly having alignment mounts for herriott cell |
CN114993990A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-09-02 | 安徽岑锋科技有限公司 | 一种一体式小型开路温室气体通量监测方法 |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4035083A (en) * | 1972-05-30 | 1977-07-12 | Woodriff Ray A | Background correction in spectro-chemical analysis |
JPS63182550A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Fujitsu Ltd | ガスセンサ |
JPS63290947A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-28 | Natl Res Inst For Metals | 大気汚染測定装置 |
EP0401576B1 (de) * | 1989-06-07 | 1993-07-14 | Tabarelli, Werner, Dr. | Interferometeranordnung |
JPH03277945A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-09 | Tokyo Gas Co Ltd | ガス検知装置 |
US5550636A (en) * | 1993-09-03 | 1996-08-27 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Self-tuning method for monitoring the density of a gas vapor component using a tunable laser |
SG43422A1 (en) * | 1995-10-10 | 1997-10-17 | Air Liquide | Method for stabilizing the wavelength in a laser spectrometer system |
JP2836566B2 (ja) * | 1995-12-08 | 1998-12-14 | 日本電気株式会社 | 波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置 |
DE19836337C1 (de) * | 1998-08-11 | 2000-02-10 | Agfa Gevaert Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Belichten von Bildinformationen auf lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial |
JP4038631B2 (ja) * | 1998-08-28 | 2008-01-30 | 株式会社堀場製作所 | 半導体レーザ分光法を用いた温度・濃度・化学種の高速計測方法および計測システム |
DE10015615C2 (de) | 2000-03-29 | 2002-07-11 | Draegerwerk Ag | Gasmesssystem |
IES20000617A2 (en) * | 2000-08-02 | 2002-02-20 | Millipore Ireland Bv | Optical scattering monitor |
US7132661B2 (en) * | 2000-08-28 | 2006-11-07 | Spectrasensors, Inc. | System and method for detecting water vapor within natural gas |
EP1368872A2 (en) | 2001-03-08 | 2003-12-10 | Siemens Plc | A wavelength stablilised laser source |
US6744516B2 (en) | 2001-08-21 | 2004-06-01 | Spx Corporation | Optical path structure for open path emissions sensing |
CA2463502C (en) * | 2001-10-09 | 2011-09-20 | Infinera Corporation | Digital optical network architecture |
US6753960B1 (en) * | 2001-12-05 | 2004-06-22 | Capella Photonics, Inc. | Optical spectral power monitors employing frequency-division-multiplexing detection schemes |
US7174099B1 (en) * | 2002-01-23 | 2007-02-06 | Network Appliance, Inc. | System for regulating optical output power |
JP2003318481A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ制御回路およびレーザモジュール |
EP1583989A4 (en) * | 2002-12-20 | 2006-07-05 | Micron Optics Inc | TEMPERATURE COMPENSATED FERRULES HOLDER FOR A FABRY-PEROT FIBER FILTER |
JP4695827B2 (ja) * | 2003-09-03 | 2011-06-08 | 国際航業株式会社 | 大気計測用レーザレーダ装置 |
DK1779418T3 (en) | 2004-06-17 | 2014-12-08 | Ion Optics Inc | EMITTER, DETECTOR AND SENSOR WITH photonic crystal |
US7310153B2 (en) * | 2004-08-23 | 2007-12-18 | Palo Alto Research Center, Incorporated | Using position-sensitive detectors for wavelength determination |
JP2008513736A (ja) * | 2004-09-14 | 2008-05-01 | フラウンホーファー・ゲゼルシャフト ツア フェルデルンク デア アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファウ. | 1種類以上のガス成分を測定する装置 |
US7288770B2 (en) * | 2005-01-12 | 2007-10-30 | Cerex Environmental Services | Real-time UV spectroscopy for the quantification gaseous toxins utilizing open-path or closed multipass white cells |
US8018981B2 (en) * | 2006-04-12 | 2011-09-13 | Li-Cor, Inc. | Multi-pass optical cell with actuator for actuating a reflective surface |
US7679059B2 (en) * | 2006-04-19 | 2010-03-16 | Spectrasensors, Inc. | Measuring water vapor in hydrocarbons |
US7511802B2 (en) * | 2006-05-26 | 2009-03-31 | Spectrasensors, Inc. | Measuring trace components of complex gases using gas chromatography/absorption spectrometry |
JP5103835B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2012-12-19 | 三菱電機株式会社 | 放射温度測定装置および放射温度測定方法 |
US7830926B1 (en) * | 2006-11-13 | 2010-11-09 | Kim Matthew H | Tunable device, method of manufacture, and method of tuning a laser |
US8125626B2 (en) | 2008-11-06 | 2012-02-28 | Li-Cor, Inc. | Hybrid gas analyzer |
EP2199790A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-23 | Duvas Technologies Limited | System and apparatus for measurement and mapping of pollutants |
JP5695302B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2015-04-01 | 理研計器株式会社 | 複合型マルチパスセルおよびガス測定器 |
JP2011049317A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ装置 |
US8547553B2 (en) * | 2010-03-17 | 2013-10-01 | General Electric Company | Fiber optic hydrogen purity sensor and system |
EP2375237A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-12 | Scienza Industria Tecnologia S.r.l. | Herriott multipass cell with spherical mirrors and method for making it |
JP5667912B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2015-02-12 | 株式会社堀場製作所 | 吸着性ガス分析装置 |
CA2802531C (en) * | 2010-07-21 | 2017-02-14 | F. Hoffmann-La Roche Ag | Increase of usable dynamic range in photometry |
CN103209641B (zh) * | 2010-11-16 | 2015-04-15 | 株式会社日立医疗器械 | 生物体光测量装置及其工作方法 |
JP5534046B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2014-06-25 | コニカミノルタ株式会社 | 分光特性測定装置、分光特性測定装置の補正方法、およびプログラム |
WO2013119320A1 (en) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Adelphi University | High finesse optical cavity detection of trace gas species using multiple line integrated absorption spectroscopy |
CA2911446C (en) * | 2012-05-25 | 2020-10-13 | Vascular Imaging Corporation | Optical fiber pressure sensor |
WO2014043799A1 (en) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | Tornado Medical Systems Inc. | Pixel-shifting spectrometer on chip |
-
2014
- 2014-01-23 JP JP2015553926A patent/JP6430402B2/ja active Active
- 2014-01-23 DK DK14743786.7T patent/DK2948761T3/da active
- 2014-01-23 WO PCT/US2014/012766 patent/WO2014116840A1/en active Application Filing
- 2014-01-23 EP EP14743786.7A patent/EP2948761B1/en active Active
- 2014-01-23 US US14/162,578 patent/US9671332B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9671332B2 (en) | 2017-06-06 |
EP2948761A4 (en) | 2016-11-30 |
WO2014116840A1 (en) | 2014-07-31 |
DK2948761T3 (da) | 2023-09-04 |
EP2948761A1 (en) | 2015-12-02 |
JP2016503904A (ja) | 2016-02-08 |
EP2948761B1 (en) | 2023-06-28 |
US20140204382A1 (en) | 2014-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6430402B2 (ja) | 微量ガス検出用小型チューナブルレーザ分光計 | |
US10295464B2 (en) | High-accuracy mid-IR laser-based gas sensor | |
Krzempek et al. | CW DFB RT diode laser-based sensor for trace-gas detection of ethane using a novel compact multipass gas absorption cell | |
US7180595B2 (en) | Gas detection method and gas detector device | |
US10514299B2 (en) | Multiple laser optical feedback assisted cavity enhanced absorption spectroscopy systems and methods | |
US8068521B2 (en) | Laser source that generates a plurality of alternative wavelength output beams | |
US9068926B2 (en) | Photo-acoustic gas sensor and method for the production and use thereof | |
EP3343202B1 (en) | Substance detecting device, substance detecting system, and substance detecting method | |
CA2590216C (en) | Optical gas detection | |
Kuusela et al. | Photoacoustic gas detection using a cantilever microphone and III–V mid-IR LEDs | |
CN101460829A (zh) | 测量碳氢化合物中的水蒸汽 | |
Waclawek et al. | Quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy-based sensor system for sulfur dioxide detection using a CW DFB-QCL | |
Dong et al. | Compact portable QEPAS multi-gas sensor | |
Wu et al. | Compact hollow waveguide mid-infrared gas sensor for simultaneous measurements of ambient CO 2 and water vapor | |
Graf et al. | Compact and lightweight mid-infrared laser spectrometer for balloon-borne water vapor measurements in the UTLS | |
Crowder et al. | Infrared methods for gas detection | |
Alexandrov et al. | Portable optoelectronic gas sensors operating in the mid-IR spectral range (lambda= 3 5 um) | |
JP2019120665A (ja) | ガス検出器用光源、ガス検出器 | |
Christensen | Miniature tunable laser spectrometer for detection of a trace gas | |
JP2008232919A (ja) | ガス検知装置 | |
US11187655B2 (en) | Compact gas sensors | |
JP2001235420A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
Smith et al. | Low-power portable laser spectroscopic sensor for atmospheric CO2 monitoring | |
So et al. | Ultra-compact multipass laser absorption spectroscopy platform for distributed sensor networks | |
Tittel | Karol Krzempek, Mohammad Jahjah, Rafał Lewicki, Przemysław Stefański, Stephen So, David Thomazy & Frank |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151125 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181009 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181031 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6430402 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |