JP6425433B2 - Heat treatment apparatus and heat treatment method - Google Patents

Heat treatment apparatus and heat treatment method Download PDF

Info

Publication number
JP6425433B2
JP6425433B2 JP2014134006A JP2014134006A JP6425433B2 JP 6425433 B2 JP6425433 B2 JP 6425433B2 JP 2014134006 A JP2014134006 A JP 2014134006A JP 2014134006 A JP2014134006 A JP 2014134006A JP 6425433 B2 JP6425433 B2 JP 6425433B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
lid
treatment chamber
work
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014134006A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016011447A (en
Inventor
北斗 畠中
北斗 畠中
文隆 虻川
文隆 虻川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dowa Thermotech Co Ltd
Original Assignee
Dowa Thermotech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dowa Thermotech Co Ltd filed Critical Dowa Thermotech Co Ltd
Priority to JP2014134006A priority Critical patent/JP6425433B2/en
Publication of JP2016011447A publication Critical patent/JP2016011447A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6425433B2 publication Critical patent/JP6425433B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、浸炭処理に係る熱処理をワークに施す熱処理装置及び熱処理方法に関する。   The present invention relates to a heat treatment apparatus and a heat treatment method for subjecting a work to a heat treatment related to carburizing treatment.

低炭素鋼材等（以下、「ワーク」という）の耐摩耗性を向上させるためには、ワークの表面層に炭素を固溶させる浸炭処理を行うことが一般的である。通常、浸炭処理を行う際には、ワークの加熱や焼入れ等の処理も実施される。このような浸炭処理に係る一連の熱処理は、ワークを搬送しながら連続的に各処理を行う連続式の浸炭装置や、加熱処理用の熱処理装置，浸炭処理用の熱処理装置といった各処理を１つの熱処理装置で行うバッチ式の浸炭装置を用いて行われる。   In order to improve the wear resistance of a low carbon steel material or the like (hereinafter referred to as "work"), it is general to carry out a carburizing treatment in which carbon is solid-solved in the surface layer of the work. Usually, when carburizing treatment is performed, treatment such as heating or quenching of a work is also performed. A series of heat treatments related to this type of carburizing treatment include one for each treatment such as a continuous carburizing apparatus that performs each treatment continuously while conveying a work, a heat treatment apparatus for heat treatment, and a heat treatment apparatus for carburization treatment It is carried out using a batch type carburizing apparatus which is performed by a heat treatment apparatus.

バッチ式の浸炭装置の場合、各熱処理装置には、ワークの熱処理室への搬入時及び熱処理室からの搬出時に、熱処理室のワーク搬送口を開閉する仕切扉が設けられる。そして、その仕切扉を閉じることで熱処理室の内部雰囲気と外部雰囲気が遮断され、これにより熱処理室の内部が各熱処理に適した雰囲気に維持される。   In the case of a batch type carburizing apparatus, each heat treatment apparatus is provided with a partition door which opens and closes a work transfer port of the heat treatment room when the work is carried into and out of the heat treatment room. Then, by closing the partition door, the internal atmosphere of the heat treatment chamber and the external atmosphere are shut off, whereby the inside of the heat treatment chamber is maintained in an atmosphere suitable for each heat treatment.

ワークの搬入、搬出時間及び仕切扉の開閉時間の長さは、生産性の優劣に影響を与えるため、これらの時間は可能な限り短くすることが求められる。これを実現する関連技術として、特許文献１に記載された溶解炉がある。この溶解炉では、台車４４に固定された蓋体３４とルツボ１（ワークに相当）が、台車４４の移動と共に一体的に移動する構造となっている。このような構造とすることにより、ルツボ１を処理室３２に搬入すると同時に処理室３２の開口部を蓋体３４で覆うことができる。これにより、処理室３２を密閉している。   The length of loading and unloading of the workpiece and the opening and closing time of the partition door affect the productivity, so these times are required to be as short as possible. As a related technology for realizing this, there is a melting furnace described in Patent Document 1. In this melting furnace, the lid 34 fixed to the carriage 44 and the crucible 1 (corresponding to a work) move integrally as the carriage 44 moves. With such a structure, the opening of the processing chamber 32 can be covered with the lid 34 at the same time the crucible 1 is carried into the processing chamber 32. Thereby, the processing chamber 32 is sealed.

特開２００２−３２７９８８号公報JP, 2002-327988, A

しかしながら、ワークの熱処理を何度も行うと、熱処理室の開口部を覆う蓋体あるいは、熱処理室（特許文献１では収容体３３）側の蓋体との接触面に異物が付着することがある。この場合、特許文献１に記載された装置構造では、ルツボを処理室３２に搬入する際に、蓋体３４と収容体３３との間に異物が挟まれた状態で、蓋体３４が収容体３３に押し付けられる。これにより、蓋体３４が変形してしまうおそれがある。蓋体に変形が生じると、熱処理室の密閉性が維持できないため、蓋体部材の交換等が必要となり、生産性が低下してしまう。   However, if the workpiece is heat-treated many times, foreign matter may adhere to the cover that covers the opening of the heat-treatment chamber or the contact surface with the lid on the heat-treatment chamber (container 33 in Patent Document 1) side. . In this case, in the apparatus structure described in Patent Document 1, when the crucible is carried into the processing chamber 32, the lid 34 is a container in a state in which foreign matter is sandwiched between the lid 34 and the container 33. It is pressed to 33. As a result, the lid 34 may be deformed. If the lid is deformed, the sealing property of the heat treatment chamber can not be maintained, so replacement of the lid member or the like is required, and the productivity is lowered.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、熱処理室を密閉する蓋体の変形を抑制し、生産性を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to suppress deformation of a lid that seals a heat treatment chamber and to improve productivity.

上記課題を解決する本発明は、浸炭処理に係る熱処理をワークに施す熱処理装置であって、密閉可能な熱処理室と、前記熱処理室の下方に設けられ、ワークを載置する載置台と、前記載置台に接続された昇降ロッドとを備え、前記昇降ロッドには、前記熱処理室の底部を構成する蓋体が取り付けられ、前記蓋体が回転することで、前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置が調節されるように構成されたことを特徴としている。 The present invention for solving the above-mentioned problems is a heat treatment apparatus for subjecting a work to a heat treatment related to carburizing treatment, which comprises a heat treatment chamber capable of sealing, a mounting table provided below the heat treatment chamber and on which the work is placed Description: A lifting rod connected to the mounting table is provided, and a lid constituting a bottom portion of the heat treatment chamber is attached to the lifting rod, and the lid rotates in the vertical direction with respect to the mounting table. It is characterized in that the position of the body is adjusted .

本発明によれば、熱処理室の底部を構成する蓋体が昇降ロッドに螺合されていることから、蓋体に下方向の力が作用した際に蓋体が下方に移動する。このため、熱処理室を密閉する際に、蓋体と、蓋体に接する側壁部下端との間に異物が噛み込んだとしても、異物が噛み込んだ状態のままで蓋体が側壁部下端に押し付けられることはない。これにより、蓋体の変形を抑制することが可能となる。   According to the present invention, since the lid constituting the bottom of the heat treatment chamber is screwed to the elevating rod, the lid moves downward when a downward force acts on the lid. For this reason, even when foreign matter bites between the lid and the lower end of the side wall portion in contact with the lid when sealing the heat treatment chamber, the lid remains at the lower end of the side wall while the foreign matter bites. There is no pressure. This makes it possible to suppress the deformation of the lid.

別の観点による本発明は、浸炭処理に係る熱処理をワークに施す熱処理方法であって、熱処理室の下方に設けられた載置台を昇降させる昇降ロッドに、前記熱処理室の底部を構成する蓋体を、該蓋体が回転することで前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置が調節されるように取り付け、前記熱処理室にワークを搬入する前に、ワークのサイズに応じて前記蓋体を回転させることで、前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置を調節し、ワークを前記熱処理室に搬入する際に、前記昇降ロッドを上昇させ、前記蓋体で前記熱処理室を密閉して熱処理を実施することを特徴としている。 The present invention according to another aspect is a heat treatment method for subjecting a work to a heat treatment related to carburizing, comprising a lift body for raising and lowering a mounting table provided below the heat treatment chamber, the lid forming the bottom of the heat treatment chamber The cover is mounted so that the position of the cover in the vertical direction with respect to the mounting table can be adjusted by rotating the cover, and before the work is carried into the heat treatment chamber, the cover according to the size of the work The position of the lid in the vertical direction with respect to the mounting table is adjusted by rotating the holder, and when the work is carried into the heat treatment chamber, the elevating rod is raised to seal the heat treatment chamber with the lid. Heat treatment is carried out.

本発明によれば、熱処理室を密閉する蓋体の変形を抑制することができる。これにより、蓋体のメンテナンス頻度を少なくすることができ、生産性を向上させることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to suppress the deformation of the lid which seals the heat treatment chamber. Thereby, the maintenance frequency of the lid can be reduced, and the productivity can be improved.

本発明の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the heat processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る載置台と搬送アームの形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of the mounting base which concerns on embodiment of this invention, and a conveyance arm. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るワークの熱処理方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the heat processing method of the workpiece | work which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態においては、ワークの浸炭処理を行う熱処理装置に基づいて説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The present embodiment will be described based on a heat treatment apparatus that performs carburizing treatment of a work. In the present specification and the drawings, elements having substantially the same functional configuration will be assigned the same reference numerals and redundant description will be omitted.

図１は、本実施形態における熱処理装置１の概略構成図である。なお、図１においては、説明の便宜上、紙面手前側の側壁を図示していない。図１に示すように、本実施形態における熱処理装置１は、ワークＷの浸炭処理を行う円筒状の熱処理室２と、載置台２０と搬送アーム３０との間でワークＷの受け渡しを行う受渡室３を備えている。受渡室３は、熱処理室２の下方に設けられている。   FIG. 1 is a schematic configuration view of a heat treatment apparatus 1 in the present embodiment. In FIG. 1, for convenience of explanation, the side wall on the front side of the drawing is not shown. As shown in FIG. 1, the heat treatment apparatus 1 in this embodiment includes a cylindrical heat treatment chamber 2 for carburizing the workpiece W, and a delivery chamber for delivering the workpiece W between the mounting table 20 and the transfer arm 30. It has three. The delivery chamber 3 is provided below the heat treatment chamber 2.

熱処理室２と受渡室３の間には、ワークＷの搬入、搬送を行う搬送口４が形成されている。搬送口４は、ワークＷの熱処理中を除いて開放された状態となっており、熱処理室２の雰囲気と受渡室３の雰囲気は連通した状態となっている。また、受渡室３の側壁には、ワークＷの搬入、搬出を行う開口５が形成されている。開口５が設けられた側壁の外側には、この開口５を開閉する開閉扉６が設けられている。   Between the heat treatment chamber 2 and the delivery chamber 3, a transport port 4 for carrying in and transport the workpiece W is formed. The transfer port 4 is open except during heat treatment of the workpiece W, and the atmosphere of the heat treatment chamber 2 and the atmosphere of the delivery chamber 3 are in communication. Further, an opening 5 for carrying in and out the work W is formed on the side wall of the delivery chamber 3. An open / close door 6 for opening and closing the opening 5 is provided outside the side wall provided with the opening 5.

熱処理室２の側壁部７は、外壁（以下、「側壁部外壁７ａ」という）と、側壁部外壁７ａの内側面に設けられた断熱材（以下、「側壁部断熱材７ｂ」という）から成る二重構造となっている。また、側壁部外壁７ａの上端及び下端は、熱処理室２の内方に突出した形状となっている。同様に、側壁部断熱材７ｂの上端及び下端も熱処理室２の内方に突出した形状となっている。また、側壁部断熱材７ｂの上端及び下端は、側壁部外壁７ａの上端及び下端に対して熱処理室２の内方に突出した状態となっている。即ち、側壁部７の上端及び下端は、段差形状となっている。   The side wall 7 of the heat treatment chamber 2 is composed of an outer wall (hereinafter referred to as "side wall outer wall 7a") and a heat insulating material (hereinafter referred to as "side wall heat insulator 7b") provided on the inner side surface of the side wall outer wall 7a. It has a double structure. Further, the upper end and the lower end of the side wall portion outer wall 7 a are shaped to project inward of the heat treatment chamber 2. Similarly, the upper end and the lower end of the side wall heat insulating material 7 b also have a shape projecting inward of the heat treatment chamber 2. Further, the upper end and the lower end of the side wall heat insulating material 7b are in a state of projecting inward of the heat treatment chamber 2 with respect to the upper end and the lower end of the side wall outer wall 7a. That is, the upper end and the lower end of the side wall portion 7 have a stepped shape.

熱処理室２の下方には、ワークＷを載置する載置台２０が設けられている。載置台２０は、昇降ロッド８に接続されている。昇降ロッド８は、受渡室３の底部を貫通するようにして設けられ、昇降ロッド８を昇降させる昇降装置（不図示）に接続されている。   Below the heat treatment chamber 2, a mounting table 20 for mounting the workpiece W is provided. The mounting table 20 is connected to the elevating rod 8. The elevating rod 8 is provided to penetrate the bottom of the delivery chamber 3 and is connected to an elevating device (not shown) that raises and lowers the elevating rod 8.

昇降ロッド８の上端部は、ねじ切り加工が施されている。このねじ切り部９には熱処理室２の底部を構成する円板状の蓋体１０が取り付けられている。蓋体１０は、側壁部７と同様に、外壁（以下、「蓋体外壁１０ａ」という）と、断熱材（以下、「蓋体断熱材１０ｂ」という）から成る二重構造となっている。蓋体外壁１０ａと蓋体断熱材１０ｂの中央には、雌ねじ加工が施された穴（不図示）が形成されている。即ち、蓋体１０は、昇降ロッド８に螺合されている。このため、蓋体１０を回転させることにより、載置台２０に対する蓋体１０の位置を調節することができる。   The upper end of the lift rod 8 is threaded. A disc-like lid 10 constituting the bottom of the heat treatment chamber 2 is attached to the threaded portion 9. The lid 10 has a double structure including an outer wall (hereinafter, referred to as "lid outer wall 10a") and a heat insulating material (hereinafter, referred to as "lid thermal insulator 10b") as in the side wall portion 7. At the center of the lid outer wall 10a and the lid heat insulator 10b, a hole (not shown) to which internal thread processing is applied is formed. That is, the lid 10 is screwed to the elevating rod 8. Therefore, by rotating the lid 10, the position of the lid 10 with respect to the mounting table 20 can be adjusted.

蓋体断熱材１０ｂの径は、蓋体外壁１０ａの径よりも小さくなっている。即ち、蓋体１０の周縁は段差形状となっている。また、蓋体外壁１０ａの径は、側壁部外壁７ａの突出部側面Ｓ１の径と概ね等しい径を有している。また、蓋体断熱材１０ｂの径は、側壁部断熱材７ｂの突出部側面Ｓ２の径と概ね等しい径を有している。   The diameter of the lid heat insulator 10b is smaller than the diameter of the lid outer wall 10a. That is, the peripheral edge of the lid 10 has a stepped shape. Further, the diameter of the lid outer wall 10a has a diameter substantially equal to the diameter of the protrusion side surface S1 of the side wall outer wall 7a. Further, the diameter of the lid heat insulator 10b is approximately equal to the diameter of the protrusion side surface S2 of the side wall heat insulator 7b.

したがって、載置台２０を上昇させた際には、蓋体周縁の段差形状部が側壁部下端の段差形状部に係合することになる。具体的には、側壁部外壁７ａの突出部側面Ｓ１に蓋体外壁１０ａの側面Ｓ３が接し、側壁部断熱材７ｂの突出部側面Ｓ２に蓋体断熱材１０ｂの側面Ｓ４が接し、側壁部断熱材７ｂの突出部下面Ｕ１に蓋体外壁１０ａの上面Ｕ２が当接する。このように側壁部７と蓋体１０との接触面が複数あることにより、いずれかの接触面に大きな隙間が生じた場合であっても、他の接触面により熱処理室２の密閉性を維持することができる。即ち、蓋体１０の周縁の形状を側壁部下端の段差形状に係合する形状とすることにより、熱処理室２の密閉性を高めることができる。   Therefore, when the mounting table 20 is raised, the step-shaped portion at the periphery of the lid engages with the step-shaped portion at the lower end of the side wall portion. Specifically, the side surface S3 of the lid outer wall 10a is in contact with the protrusion side surface S1 of the sidewall outer wall 7a, and the side surface S4 of the lid heat insulator 10b is in contact with the projection side surface S2 of the sidewall heat insulator 7b. The upper surface U2 of the lid outer wall 10a abuts on the lower surface U1 of the projecting portion of the material 7b. Thus, even when a large gap is generated in any of the contact surfaces, the sealing property of the heat treatment chamber 2 is maintained by the other contact surfaces by the plurality of contact surfaces between the side wall portion 7 and the lid 10. can do. That is, the sealing property of the heat treatment chamber 2 can be enhanced by making the shape of the peripheral edge of the lid 10 a shape that engages with the step shape at the lower end of the side wall portion.

また、熱処理室２の天井部１１も、外壁（以下、「天井部外壁１１ａ」という）と断熱材（以下、「天井部断熱材１１ｂ」という）から成る二重構造となっている。天井部１１と側壁部７の係合構造も、蓋体１０と側壁部７の係合構造と同様の構造となっている。なお、天井部１１は、熱処理室２から取り外し可能に構成されており、これにより、メンテナンス性を向上させている。   Moreover, the ceiling part 11 of the heat processing room 2 also has a double structure which consists of an outer wall (henceforth "ceiling part outer wall 11a") and a heat insulating material (henceforth "ceiling part heat insulation material 11b"). The engagement structure of the ceiling portion 11 and the side wall portion 7 is also similar to the engagement structure of the lid 10 and the side wall portion 7. In addition, the ceiling part 11 is comprised so that removal from the heat processing chamber 2 is possible, and, thereby, the maintainability is improved.

次に、載置台２０と搬送アーム３０について説明する。図２は、本実施形態における載置台２０と搬送アーム３０の形状を示す平面図である。なお、図２ではワークＷの外形を破線で示している。   Next, the mounting table 20 and the transfer arm 30 will be described. FIG. 2 is a plan view showing the shapes of the mounting table 20 and the transfer arm 30 in the present embodiment. In FIG. 2, the outer shape of the workpiece W is indicated by a broken line.

図２に示すように、載置台２０は、中央の円板２１と、円板２１から放射状に突出した３つのワーク載置部２２が一体となって形状となっている。各ワーク載置部２２同士のなす角度は互いに等しくなっており（本実施形態では１２０°）、各ワーク載置部２２の先端部には、ワークＷを支持する載置台ピン２３が設けられている。即ち、ワークＷは載置台ピン２３により３点支持される。   As shown in FIG. 2, the mounting table 20 is integrally formed with a central disk 21 and three workpiece mounting portions 22 radially protruding from the disk 21. The angles formed by the respective work placement portions 22 are equal to each other (120 ° in the present embodiment), and mounting table pins 23 for supporting the work W are provided at the tip end portions of the respective work placement portions 22. There is. That is, the work W is supported at three points by the mounting table pin 23.

また、搬送アーム３０の先端部３１は、平面視において三叉形状を有しており、その三叉形状部の先端は、載置台２０の円板２１の中心に向かうようにして搬送アーム本体３２から突出している（ワーク支持部３３）。また、搬送アーム本体３２の両側部から突出する側部ワーク支持部３４の先端同士の間には隙間が形成されている。即ち、搬送アーム３０の先端部３１には開口３５が設けられている。開口３５のサイズは、搬送アーム３０の伸縮移動時において、側部ワーク支持部３４が載置台２０に接続する昇降ロッド８に接触しないサイズ、例えば側部ワーク支持部３４の先端同士の距離が昇降ロッド８の径より大きくなるようなサイズである。   Further, the tip end portion 31 of the transfer arm 30 has a three-forked shape in plan view, and the tip end of the three-forked portion protrudes from the transfer arm main body 32 so as to be directed to the center of the disc 21 of the mounting table 20 (Work support 33). Further, a gap is formed between the tips of the side work support portions 34 protruding from both sides of the transfer arm main body 32. That is, an opening 35 is provided at the distal end portion 31 of the transfer arm 30. The size of the opening 35 is such a size that the side work support portion 34 does not contact the lift rod 8 connected to the mounting table 20 when the transfer arm 30 extends and retracts, for example, the distance between the tips of the side work support portion 34 moves up and down The size is larger than the diameter of the rod 8.

搬送アーム３０の各ワーク支持部３３は、平面視において載置台２０の各ワーク載置部２２の間でワークＷを支持するように設けられている。各ワーク支持部３３同士のなす角度は互いに等しくなっている（本実施形態では１２０°）。各ワーク支持部３３の先端部には、ワークＷの搬送時にワークＷを支持する搬送アームピン３６が設けられており、ワークＷは搬送アームピン３６により３点支持される。   Each work support portion 33 of the transfer arm 30 is provided to support the work W between the work placement portions 22 of the placement table 20 in a plan view. The angles formed by the workpiece support portions 33 are equal to each other (120 ° in the present embodiment). A transfer arm pin 36 for supporting the work W when transferring the work W is provided at the tip of each work support portion 33, and the work W is supported at three points by the transfer arm pin 36.

本実施形態における熱処理装置１は、以上のように構成されている。なお、図示はしていないが、熱処理装置１は加熱機構や浸炭ガス導入機構、排気機構等の一般的な浸炭処理に必要な構成を備えている。受渡室は、真空雰囲気とすることが可能であり、真空雰囲気を形成するための排気口、真空計などを備えても良い。   The heat treatment apparatus 1 in the present embodiment is configured as described above. Although not shown in the drawings, the heat treatment apparatus 1 has a structure necessary for general carburizing treatment such as a heating mechanism, a carburizing gas introduction mechanism, and an exhaust mechanism. The delivery chamber can be a vacuum atmosphere, and may be provided with an exhaust port for forming a vacuum atmosphere, a vacuum gauge, or the like.

次に、上記熱処理装置１を用いた浸炭処理方法について説明する。なお、図３〜図９に示す熱処理装置１においては、構成部品の一部の図示を省略している。   Next, a carburizing method using the heat treatment apparatus 1 will be described. In addition, in the heat processing apparatus 1 shown to FIGS. 3-9, illustration of a part of component is abbreviate | omitted.

まず、図３に示すように、浸炭工程の前工程である加熱工程において、浸炭処理温度近傍まで加熱されたワークＷが搬送アーム３０に支持されて受渡室３に搬入される。   First, as shown in FIG. 3, in the heating step which is a pre-process of the carburizing step, the work W heated to near the carburizing temperature is supported by the transfer arm 30 and carried into the delivery chamber 3.

続いて、図４に示すように、載置台２０が上昇する。これにより、ワークＷが搬送アーム３０から載置台２０に受け渡される。その後、図５に示すように、搬送アーム３０が後退し、受渡室３の開閉扉６が閉じられる。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the mounting table 20 is raised. Thus, the workpiece W is delivered from the transfer arm 30 to the mounting table 20. Thereafter, as shown in FIG. 5, the transfer arm 30 retracts, and the open / close door 6 of the delivery chamber 3 is closed.

続いて、図６に示すように、載置台２０が上昇し、ワークＷが熱処理室２に搬入される。これと同時に、熱処理室２の側壁部７の下端の段差形状部に、昇降ロッド８に螺合する蓋体周縁の段差形状部が係合する。これにより、熱処理室２が密閉される。   Subsequently, as shown in FIG. 6, the mounting table 20 is raised, and the workpiece W is carried into the heat treatment chamber 2. At the same time, the step-shaped portion at the periphery of the lid screwed to the elevating rod 8 engages with the step-shaped portion at the lower end of the side wall portion 7 of the heat treatment chamber 2. Thereby, the heat treatment chamber 2 is sealed.

このとき、昇降ロッド８は所定の上昇量に達するまで上昇動作を停止しない。このため、例えば蓋体外壁１０ａの上面Ｕ２と、側壁部断熱材７ｂの突出部下面Ｕ１との間に異物が噛み込まれた場合であっても、昇降ロッド８は上昇し続ける。しかし、本実施形態における熱処理装置１においては、蓋体１０が昇降ロッド８に螺合されているため、噛み込んだ異物から受ける反力により、蓋体１０は昇降ロッド８の下方に移動する。即ち、異物が噛み込んだ状態のままで、蓋体１０が側壁部断熱材７ｂの突出部下面Ｕ１に押し付けられることはない。これにより、蓋体１０の変形を抑制することができる。   At this time, the lifting rod 8 does not stop the lifting operation until the predetermined lifting amount is reached. For this reason, for example, even when foreign matter is caught between the upper surface U2 of the lid outer wall 10a and the protrusion lower surface U1 of the side wall heat insulating material 7b, the elevating rod 8 continues to ascend. However, in the heat treatment apparatus 1 in the present embodiment, since the lid 10 is screwed to the elevating rod 8, the lid 10 moves below the elevating rod 8 by the reaction force received from the foreign object caught. That is, the lid 10 is not pressed against the lower surface U1 of the protrusion of the side wall heat insulating material 7b while the foreign matter bites. Thereby, the deformation of the lid 10 can be suppressed.

なお、蓋体１０が下方に移動することにより、蓋体１０と側壁部７の下端との間には隙間が生じ、熱処理室２の密閉性が低下することになる。このとき、例えば熱処理室２の密閉性を検知するセンサー等により、蓋体１０と側壁部下端との間に隙間が生じていることを検知することができる。この場合、ワークＷの熱処理を一時的に中断し、異物を除去した後、蓋体１０を回転させることで蓋体１０を所定の位置まで戻すことができる。   In addition, by moving the lid 10 downward, a gap is generated between the lid 10 and the lower end of the side wall portion 7, and the sealing property of the heat treatment chamber 2 is lowered. At this time, it is possible to detect that a gap is generated between the lid 10 and the lower end of the side wall portion, for example, by a sensor or the like that detects the sealing property of the heat treatment chamber 2. In this case, after the heat treatment of the workpiece W is temporarily interrupted and foreign substances are removed, the lid 10 can be returned to a predetermined position by rotating the lid 10.

続いて、熱処理室２にワークＷが搬入された後、浸炭ガスが導入され、浸炭処理が実施される。浸炭処理の終了後、図７に示すように、載置台２０が下降し、受渡室３の開閉扉６が開かれる。その後、図８に示すように、搬送アーム３０が受渡室内に前進し、図９に示すように、載置台２０から搬送アーム３０にワークＷが受け渡される。   Subsequently, after the work W is carried into the heat treatment chamber 2, a carburizing gas is introduced to carry out the carburizing process. After completion of the carburizing treatment, as shown in FIG. 7, the mounting table 20 is lowered, and the open / close door 6 of the delivery chamber 3 is opened. Thereafter, as shown in FIG. 8, the transfer arm 30 advances into the delivery chamber, and as shown in FIG. 9, the work W is transferred from the mounting table 20 to the transfer arm 30.

このようにして本実施形態に係る一連の浸炭処理が終了する。受渡室３から搬出されたワークＷは、その後、他の熱処理装置１において焼入れ処理等が施される。   Thus, a series of carburizing processes according to the present embodiment are completed. Thereafter, the work W carried out of the delivery chamber 3 is subjected to hardening treatment and the like in another heat treatment apparatus 1.

以上説明したように、本実施形態によれば、熱処理室２の底部を構成する蓋体１０が昇降ロッド８に螺合されているため、載置台２０を上昇させた際の異物の噛み込みによる蓋体１０の変形を抑制することが可能となる。これにより、蓋体部材の交換等のメンテナンスに費やす時間が少なくなり、生産性を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, since the lid 10 constituting the bottom of the heat treatment chamber 2 is screwed to the elevating rod 8, foreign matter bites when the mounting table 20 is raised. It is possible to suppress the deformation of the lid 10. As a result, time spent on maintenance such as replacement of the lid member can be reduced, and productivity can be improved.

この効果は、特に、１度の処理で少量（例えば１つ）のワークＷしか処理しないような製品品質を重視した処理を行う際に顕著に現れる。なぜなら、少量処理を行う場合には、熱処理室２へのワークＷの搬入頻度が高くなり、必然的に蓋体１０の上面と側壁部７の下端の接触頻度が高くなるためである。即ち、少量処理を行う場合には蓋体１０の変形が起こりやすい状態になるが、本実施形態における熱処理装置１においては、その変形を抑制することができる。   This effect is particularly noticeable when performing processing with an emphasis on product quality in which only a small amount (for example, one) of the workpiece W is processed in one processing. This is because, when a small amount of processing is performed, the frequency of carrying the work W into the heat treatment chamber 2 increases, and the frequency of contact between the upper surface of the lid 10 and the lower end of the side wall portion 7 inevitably increases. That is, when a small amount of processing is performed, deformation of the lid 10 is likely to occur, but the deformation can be suppressed in the heat treatment apparatus 1 in the present embodiment.

また、本実施形態のように蓋体１０が昇降ロッド８に螺合される構成であれば、熱処理対象のワークＷのサイズ（高さ、厚さ）に応じて蓋体１０を回転させることで、蓋体１０の位置を調節することができる。これにより、熱処理室２の高さを変えずに様々なサイズのワークＷを熱処理することができる。 Further, if the lid 10 is screwed to the elevating rod 8 as in the present embodiment, the lid 10 is rotated according to the size (height, thickness) of the workpiece W to be heat-treated. , Position of the lid 10 can be adjusted. As a result, it is Netsusho sense to Rukoto the work W of various sizes without changing the height of the heat treatment chamber 2.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to such examples. It is apparent that those skilled in the art can conceive of various changes or modifications within the scope of the technical idea described in the claims, and the technical scope of the present invention is also natural for them. It is understood to belong to

例えば、上記実施形態では、熱処理装置１で浸炭処理を実施することとしたが、熱処理装置１で実施される熱処理は浸炭処理に限定されることはない。加熱や冷却等の浸炭処理に係る他の処理を実施しても良い。また、上記実施形態では、昇降ロッド８の上端部にねじ切り加工を施すこととしたが、昇降ロッド全体をねじ切り加工しても良い。   For example, in the above embodiment, the carburizing process is performed by the heat treatment apparatus 1, but the heat treatment performed by the heat treatment apparatus 1 is not limited to the carburizing process. Other treatments relating to the carburizing treatment such as heating and cooling may be performed. Further, in the above-described embodiment, although the upper end portion of the lifting and lowering rod 8 is screwed, the entire lifting and lowering rod may be threaded.

また、上記実施形態では、蓋体１０を側壁部７の下端の段差形状部に係合する形状としたが、蓋体１０及び側壁部７は段差形状としなくても良い。また、蓋体１０に断熱材を用いなくても良い。さらに、蓋体１０は二重構造でなくても良い。即ち、蓋体１０が昇降ロッド８に螺合されていれば、異物の噛み込みに起因する蓋体１０の変形を抑制することは可能である。   Further, in the above embodiment, although the lid 10 is shaped to engage with the step-shaped portion at the lower end of the side wall portion 7, the lid 10 and the side wall portion 7 may not have the step shape. Moreover, it is not necessary to use a heat insulating material for the lid 10. Furthermore, the lid 10 may not have a double structure. That is, if the lid 10 is screwed to the elevating rod 8, it is possible to suppress the deformation of the lid 10 caused by the biting of foreign matter.

ただし、蓋体１０を複層構造として、蓋体１０の周縁の形状を側壁部下端の段差形状部に係合する形状とした方が、蓋体１０と側壁部下端との接触面が増え、熱処理室２の密閉性を向上させることができる。また、複層構造とする場合には、少なくとも１層を断熱材とすることで、熱処理室２の断熱性を更に向上させることができる。さらには、熱処理室２から受渡室３への不要な雰囲気ガスの流入を防ぐこともでき、真空雰囲気とした場合には、真空度を安定保持することが可能となる。 However, if the lid 10 has a multi-layered structure, the contact surface between the lid 10 and the lower end of the side wall increases when the shape of the peripheral edge of the lid 10 engages with the step-shaped portion at the lower end of the side wall. The sealing performance of the heat treatment chamber 2 can be improved. In addition, in the case of a multilayer structure, the heat insulating property of the heat treatment chamber 2 can be further improved by using at least one layer as a heat insulating material. Furthermore, the unnecessary atmosphere gas can be prevented from flowing into the delivery chamber 3 from the heat treatment chamber 2. When a vacuum atmosphere is used, the degree of vacuum can be stably maintained.

本発明は、ワークの浸炭処理に適用することができる。   The present invention can be applied to the carburizing treatment of a work.

１ 熱処理装置
２ 熱処理室
３ 受渡室
４ 搬送口
５ 開口
６ 開閉扉
７ 側壁部
７ａ 側壁部外壁
７ｂ 側壁部断熱材
８ 昇降ロッド
９ ねじ切り部
１０ 蓋体
１０ａ 蓋体外壁
１０ｂ 蓋体断熱材
１１ 天井部
１１ａ 天井部外壁
１１ｂ 天井部断熱材
２０ 載置台
２１ 円板
２２ ワーク載置部
２３ 載置台ピン
３０ 搬送アーム
３１ 搬送アーム先端部
３２ 搬送アーム本体
３３ ワーク支持部
３４ 側部ワーク支持部
３５ 開口
３６ 搬送アームピン
Ｓ１ 側壁部外壁の突出部側面
Ｓ２ 側壁部断熱材の突出部側面
Ｓ３ 蓋体外壁の側面
Ｓ４ 蓋体断熱材の側面
Ｕ１ 側壁部断熱材の突出部下面
Ｕ２ 蓋体外壁の上面
Ｗ ワーク


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heat treatment apparatus 2 Heat treatment room 3 Delivery room 4 Conveyance opening 5 Opening 6 Opening / closing door 7 Side wall part 7a Side wall part outer wall 7b Side wall part heat insulating material 8 Lifting rod 9 Threaded part 10 Lid 10a Lid outer wall 10b Lid insulation 11 Ceiling part 11a ceiling outer wall 11b ceiling heat insulating material 20 mounting table 21 disk 22 work mounting unit 23 mounting table pin 30 transfer arm 31 transfer arm tip 32 transfer arm main body 33 workpiece support 34 side workpiece support 35 opening 36 transfer Arm pin S1 Side wall protrusion of the outer wall side S2 Side wall protrusion of the heat insulator side S3 Side wall of the lid outer wall S4 Side surface of the lid heat insulator U1 Side wall protrusion of the heat insulator lower surface U2 Top surface of the lid outer wall W Work


Claims (6)

浸炭処理に係る熱処理をワークに施す熱処理装置であって、
密閉可能な熱処理室と、
前記熱処理室の下方に設けられ、ワークを載置する載置台と、
前記載置台に接続された昇降ロッドとを備え、
前記昇降ロッドには、前記熱処理室の底部を構成する蓋体が取り付けられ、
前記蓋体が回転することで、前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置が調節されるように構成された、熱処理装置。 A heat treatment apparatus for subjecting a work to a heat treatment according to a carburizing treatment,
A heat treatment chamber that can be sealed
A mounting table provided below the heat treatment chamber for mounting a workpiece;
And a lifting rod connected to the mounting table,
A lid constituting a bottom of the heat treatment chamber is attached to the elevating rod ,
The heat treatment apparatus, wherein the position of the lid in the vertical direction with respect to the mounting table is adjusted by rotating the lid . 前記熱処理室は、複層構造であり、前記熱処理室の側壁部下端が段差形状となっており、前記蓋体の周縁が前記段差形状に係合する形状である、請求項１に記載の熱処理装置。   The heat treatment chamber according to claim 1, wherein the heat treatment chamber has a multilayer structure, and the lower end of the side wall portion of the heat treatment chamber has a step shape, and the periphery of the lid engages with the step shape. apparatus. 前記熱処理室は、複層構造であり、少なくとも１層は断熱材で構成されている、請求項１又は２に記載の熱処理装置。   The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the heat treatment chamber has a multilayer structure, and at least one layer is formed of a heat insulating material. 浸炭処理に係る熱処理をワークに施す熱処理方法であって、
熱処理室の下方に設けられた載置台を昇降させる昇降ロッドに、前記熱処理室の底部を構成する蓋体を、該蓋体が回転することで前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置が調節されるように取り付け、
前記熱処理室にワークを搬入する前に、ワークのサイズに応じて前記蓋体を回転させることで、前記載置台に対する上下方向における該蓋体の位置を調節し、
ワークを前記熱処理室に搬入する際に、前記昇降ロッドを上昇させ、前記蓋体で前記熱処理室を密閉して熱処理を実施する、熱処理方法。 A heat treatment method for subjecting a work to a heat treatment related to carburizing treatment,
The lid which constitutes the bottom of the heat treatment chamber is rotated on a lift rod which raises and lowers the mounting table provided below the heat treatment chamber, and the position of the lid in the vertical direction with respect to the mounting plate is increased by rotating the lid. Attached to be adjusted,
Before loading the workpiece into the heat treatment chamber, the position of the lid in the vertical direction with respect to the mounting table is adjusted by rotating the lid according to the size of the workpiece;
A heat treatment method, wherein when the work is carried into the heat treatment chamber, the elevating rod is raised, and the heat treatment is performed by sealing the heat treatment chamber with the lid. 前記熱処理室を複層構造とし、前記熱処理室の側壁部下端を段差形状とし、前記蓋体の周縁を前記段差形状に係合する形状とした前記蓋体で前記熱処理室を密閉する、請求項４に記載の熱処理方法。   The heat treatment chamber is sealed by the lid body having a multi-layered structure, the lower end of the side wall portion of the heat treatment chamber has a step shape, and the periphery of the lid is engaged with the step shape. The heat treatment method as described in 4. 前記熱処理室を複層構造として、少なくとも１層を断熱材で構成する、請求項４又は５に記載の熱処理方法。   The heat treatment method according to claim 4 or 5, wherein the heat treatment chamber has a multilayer structure, and at least one layer is formed of a heat insulating material.
JP2014134006A 2014-06-30 2014-06-30 Heat treatment apparatus and heat treatment method Active JP6425433B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014134006A JP6425433B2 (en) 2014-06-30 2014-06-30 Heat treatment apparatus and heat treatment method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014134006A JP6425433B2 (en) 2014-06-30 2014-06-30 Heat treatment apparatus and heat treatment method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016011447A JP2016011447A (en) 2016-01-21
JP6425433B2 true JP6425433B2 (en) 2018-11-21

Family

ID=55228353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014134006A Active JP6425433B2 (en) 2014-06-30 2014-06-30 Heat treatment apparatus and heat treatment method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6425433B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101851258B1 (en) 2016-12-02 2018-04-24 주식회사 포스코 Heat treatment equipment and control method thereof

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63286697A (en) * 1987-05-20 1988-11-24 黒崎炉工業株式会社 Rotary hearth type elevator type furnace
JP3526980B2 (en) * 1995-08-16 2004-05-17 株式会社アルバック Vacuum / gas atmosphere heat treatment furnace
JP3894405B2 (en) * 1999-10-07 2007-03-22 株式会社アルバック Vacuum heat treatment equipment
JP2007010205A (en) * 2005-06-29 2007-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Microwave baking furnace
JP2011052297A (en) * 2009-09-03 2011-03-17 Daido Steel Co Ltd Heat treatment apparatus
JP5470471B2 (en) * 2010-11-10 2014-04-16 株式会社Ｉｈｉ Transport device and transport heat treatment system

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016011447A (en) 2016-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101569000B (en) Substrate heat-treating apparatus, and substrate heat-treating method
JP3955340B2 (en) High-temperature and high-pressure gas processing equipment
US10009961B2 (en) Local temperature control of susceptor heater for increase of temperature uniformity
JP2015141994A (en) Support mechanism and substrate processing apparatus
WO2018061145A1 (en) Substrate processing device, vibration detection system, and program
JP6336231B1 (en) Vacuum processing equipment
JP6425433B2 (en) Heat treatment apparatus and heat treatment method
JP2003197721A (en) Elevating/lowering pin for supporting substrate and multichamber film deposition device using it
JP5491261B2 (en) Substrate holder, vertical heat treatment apparatus, and heat treatment method
JP5686918B1 (en) Heat treatment equipment
JP6554387B2 (en) Substrate cooling method in load lock apparatus, substrate transfer method, and load lock apparatus
JP2015050341A (en) Substrate processing apparatus and maintenance method
JP2014162650A (en) Production apparatus of glass molding and production method of glass molding
JP6325936B2 (en) Heat treatment equipment
WO2014115722A1 (en) Method for manufacturing and system for manufacturing glass molded body
JP2003185344A (en) Heat-treating furnace
JP6556074B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP6184718B2 (en) Heat treatment furnace
JP5770042B2 (en) Heat treatment equipment
KR101623011B1 (en) Heating device and heating method
JP2007258439A (en) Heat treating plate
JP6403959B2 (en) Carburizing and quenching equipment
JP2015229776A (en) Film deposition apparatus, film deposition method, and storage medium
JP2002356705A (en) Vacuum furnace
TWI751404B (en) Substrate treating apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180417

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180601

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181016

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181023

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6425433

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250