JP6420998B2 - 電子銃装置 - Google Patents
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Description
一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、電子源から電子を放出させるための負の高電位が印加される高圧電極に接続されて高圧電極を支持する絶縁性支持部材と、
絶縁性支持部材の外表面のうち、高圧電極と前記所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜と、
を備えたことを特徴とする。
加速電圧が印加され、電子を放出するカソードと、
加速電圧の負電位よりも負側に大きい電位が印加されるウェネルト電極と、
一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、ウェネルト電極に接続されてウェネルト電極を支持する絶縁性支持部材と、
絶縁性支持部材の外表面のうち、ウェネルト電極と所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜と、
を備えたことを特徴とする。
加速電圧が印加され、電子を放出するカソードと、
前記加速電圧の負電位よりも負側に大きい電位が印加されるウェネルト電極と、
一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、電子源から電子を放出させるための負の高電位が印加される前記ウェネルト電極への配線を支持する絶縁性支持部材と、
絶縁性支持部材の外表面のうち、配線と所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。ここでは、電子ビーム装置の一例として、電子ビーム描画装置を示している。図1において、描画装置100は、描画部150と制御部160を備えている。描画装置100は、電子ビーム描画装置の一例である。特に、可変成形型(VSB方式)の描画装置の一例である。描画部150は、電子銃装置104と電子鏡筒102と描画室103を備えている。電子銃装置104は、電子鏡筒102上に配置される。また、電子鏡筒102は、描画室103上に配置される。電子銃装置104内には、電子銃201が配置される。電子鏡筒102内には、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、主偏向器208及び副偏向器209が配置されている。描画室103内には、XYステージ105が配置される。XYステージ105上には、描画時には描画対象となるマスク等の試料101が配置される。試料101には、半導体装置を製造する際の露光用マスクが含まれる。また、試料101には、レジストが塗布された、まだ何も描画されていないマスクブランクスが含まれる。
(1) R=ρ(L2+L4)/S
(2) I=V・S/{ρ(L2+L4)}
(3) (L2+L4)>I’・ρ/(V・S)
(4) L3=L1−(L2+L4)
実施の形態1では、円筒状のサポート部材の一端と他端との間で高電圧Vを絶縁し、サポート部材の外周側面(曲面)が沿面放電の生じ得る面とする場合を示したが、サポート部材の絶縁方向はこれに限るものではない。実施の形態2では、他の場合について説明する。描画装置100の構成は図1と同様である。また、以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態1と同様である。
実施の形態1では、本体302の外周側面の一部の1つの領域に金属膜306を形成する場合を示したがこれに限るものではない。実施の形態3では、本体302の外周側面のうち、複数の領域に金属膜306を形成する場合について説明する。描画装置100の構成は図1と同様である。また、以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態1と同様である。
実施の形態1では、上述したL1からL4の関係が満たされれば、金属膜306を形成する位置を特に指定していない場合を示したが、実施の形態4では、特に、位置を指定する場合について説明する。描画装置100の構成は図1と同様である。また、以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態1と同様である。
50 筺体
54 アノード電極
56 ウェネルト電極
58 固定部材
59 ヒータ
60 電子銃電源
62 加速電圧電源
64 ウェネルト用電源
66 ヒータ用電源
70 電流計
100 描画装置
101,340 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
104 電子銃装置
105 XYステージ
110 制御回路
120 高圧電源回路
150 描画部
160 制御部
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203,410 第1のアパーチャ
204 投影レンズ
205 偏向器
206,420 第2のアパーチャ
207 対物レンズ
208 主偏向器
209 副偏向器
300,310,320 サポート部材
302,312,322 本体
304,324 取り付け金具
305,306,307,316,326 金属膜
330 電子線
411 開口
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
Claims (3)
- 加速電圧が印加され、電子を放出するカソードと、
前記加速電圧の負電位よりも負側に大きい電位が印加されるウェネルト電極と、
一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、前記ウェネルト電極に接続されて前記ウェネルト電極を支持する絶縁性支持部材と、
前記絶縁性支持部材の外表面のうち、前記ウェネルト電極と前記所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜と、
を備えたことを特徴とする電子銃装置。 - 前記絶縁性支持部材の端部には、前記ウェネルト電極に接触することによって前記加速電圧よりも負側に大きい電圧が印加されることを特徴とする請求項1記載の電子銃装置。
- 加速電圧が印加され、電子を放出するカソードと、
前記加速電圧の負電位よりも負側に大きい電位が印加されるウェネルト電極と、
一端がグランド電位の所定の部材に接続され、他端が、電子源から電子を放出させるための負の高電位が印加される前記ウェネルト電極への配線を支持する絶縁性支持部材と、
前記絶縁性支持部材の外表面のうち、前記配線と前記所定の部材とに接しない一部の領域に形成された金属膜と、
を備えたことを特徴とする電子銃装置。
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