JP6412952B2 - 走査電子顕微鏡およびその電子軌道調整方法 - Google Patents
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Description
前記電子源から放出される一次電子を試料上に収束する対物レンズと、
前記一次電子を加速して前記対物レンズを通過させる一次電子加速手段と、
前記一次電子を減速して前記試料に照射する一次電子減速手段と、
前記対物レンズによって収束された前記一次電子により生じた前記試料からの二次電子を前記一次電子の光軸外に偏向する二次電子偏向器と、
前記二次電子を分光するための分光器と、
前記分光器を通過した二次電子を検出する検出器と、
前記対物レンズ、前記一次電子加速手段および前記一次電減速手段によって形成されるレンズにより前記二次電子を前記分光器の入口に収束させるように、前記対物レンズ、前記一次電子加速手段および前記一次電減速手段の中の少なくとも一者への印加電圧を制御する制御部と、
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡とする。
前記検出器で得られる前記二次電子のスペクトルの信号雑音比が最大となるように前記対物レンズの励磁電流、前記一次電子加速手段および前記一次電減速手段への印加電圧を設定することを特徴とする電子軌道調整方法とする。
前記電子源から放出される一次電子を試料上に収束する対物レンズと、
前記一次電子を加速して前記対物レンズを通過させる一次電子加速手段と、
前記一次電子を減速して前記試料に照射する一次電子減速手段と、
前記対物レンズによって収束された前記一次電子により生じた前記試料からの二次電子を前記一次電子の光軸外に偏向する二次電子偏向器と、
前記二次電子を分光するための分光器と、
前記分光器を通過した前記二次電子を検出する第一の検出器と、
前記二次電子の前記分光器の入射スリットへの照射によって生じる三次電子を検出する第二の検出器と、
前記二次電子を前記入射スリット上で走査するように前記二次電子偏向器への印加電圧を制御し、前記第二の検出器によって検出された前記三次電子の検出信号を用い前記入射スリットの走査像を得るための制御部と、
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡とする。
前記一次電子加速手段に電圧を印加する第1の工程と、
前記二次電子偏向器で前記二次電子を前記分光器側へ偏向させる第2の工程と、
前記三次電子を前記第二の検出器で検出し、前記分光器の入射スリットの走査像を取得する第3の工程と、
前記走査像の鮮鋭度を算出する第4の工程と、
前記第1の工程から前記第4の工程を繰り返す工程と、
最も鮮鋭度が高くなる前記一次電子加速手段の電圧を、前記一次電子加速手段への印加電圧として設定する工程と、を有することを特徴とする電子軌道調整方法とする。
本発明の第一の実施例について、図1から図3を用いて説明する。図1は本実施例に係るSEMの構成を示す図である。図1において、電子源101で生成された一次電子102は、二次電子偏向器103を通過した後、一次電子を加速するためのブースター電極104および対物レンズ105を通過し試料106に照射される。ここで、ブースター電極104にはブースター電源107より正極性の電圧が印加されており、ブースター電極104で生じる電場のうち、試料側端部に形成される電場は、対物レンズ105によって生じる磁場に重畳されている構成とする。以下、ブースター電源107より印加する電圧をVb(>0)とする。
本発明の第二の実施例について、図4から図6を用いて説明する。なお、第一の実施例に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情が無い限り本実施例にも適用することができる。
本発明の第三の実施例について、図7から図11を用いて説明する。なお、第一又は第二の実施例に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情が無い限り本実施例にも適用することができる。
Claims (9)
- 電子源と、
前記電子源から放出される一次電子を試料上に収束する対物レンズと、
前記一次電子を加速して前記対物レンズを通過させる一次電子加速手段と、
前記一次電子を減速して前記試料に照射する一次電子減速手段と、
前記対物レンズによって収束された前記一次電子により生じた前記試料からの二次電子を前記一次電子の光軸外に偏向する二次電子偏向器と、
前記二次電子を分光するための分光器と、
前記分光器を通過した前記二次電子を検出する第一の検出器と、
前記二次電子の前記分光器の入射スリットへの照射によって生じる三次電子を検出する第二の検出器と、
前記二次電子を前記入射スリット上で走査するように前記二次電子偏向器への印加電圧を制御し、前記第二の検出器によって検出された前記三次電子の検出信号を用い前記入射スリットの走査像を得るための制御部と、
を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記入射スリットの走査像の鮮鋭度を算出する処理部を更に有し、
前記制御部は、最も鮮鋭な前記入射スリットの走査像が得られるように前記一次電子加速手段および前記一次電子減速手段への印加電圧を設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記一次電子を偏向させるための偏向器と、
前記一次電子の光軸を挟んで前記分光器と反対側に配置され前記二次電子を衝突させるための変換板と、を更に有し、
前記第二の検出器は、前記二次電子の前記変換板への照射によって生じる三次電子の検出にも用いられ、
前記制御部は、前記試料の走査像を得る場合は前記二次電子を前記変換板側に偏向するように、前記試料の二次電子スペクトルを得る場合には前記二次電子を前記分光器側に偏向するように、前記二次電子偏向器への印加電圧を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記制御部は、前記対物レンズ、前記一次電子加速手段および前記一次電子減速手段によって形成されるレンズにより前記二次電子を前記分光器の入口に収束させるように、前記対物レンズ、前記一次電子加速手段および前記一次電子減速手段の中の少なくとも一者への印加電圧を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の走査電子顕微鏡において、
表示された前記試料の走査像における任意の点を指定し、指定した前記任意の点に前記一次電子を照射して得られる二次電子スペクトルを表示する表示部を更に有することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料の走査像の鮮鋭度と前記入射スリットの走査像の鮮鋭度とを算出する処理部を有し、
前記制御部は、最も鮮鋭な前記試料の走査像が得られる前記対物レンズの励磁電流値と、 最も鮮鋭な前記入射スリットの走査像が得られる前記一次電子加速手段もしくは前記一次電子減速手段に印加する電圧値を算出し、前記励磁電流値および前記電圧値を出力することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の走査電子顕微鏡において、
前記試料の走査像の鮮鋭度と前記入射スリットの走査像の鮮鋭度とを算出する処理部を有し、
前記制御部は、最も鮮鋭な前記試料の走査像が得られる前記一次電子加速手段もしくは前記一次電子減速手段に印加する電圧値と、最も鮮鋭な前記入射スリットの走査像が得られる前記対物レンズの励磁電流値を算出し、前記励磁電流値および前記電圧値を出力することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡において、
前記一次電子を偏向させるための偏向器と、
前記一次電子の光軸を挟んで前記分光器と反対側に前記二次電子を検出するための第三の検出器とを有し、
前記制御部は、前記試料の走査像を得る場合は前記二次電子を前記第三の検出器側に偏向するように、前記試料の二次電子スペクトルを得る場合は前記二次電子を前記分光器側に偏向するように、前記二次電子偏向器への印加電圧を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査電子顕微鏡における電子軌道調整方法において、
前記一次電子加速手段に電圧を印加する第1の工程と、
前記二次電子偏向器で前記二次電子を前記分光器側へ偏向させる第2の工程と、
前記三次電子を前記第二の検出器で検出し、前記分光器の入射スリットの走査像を取得する第3の工程と、
前記走査像の鮮鋭度を算出する第4の工程と、
前記第1の工程から前記第4の工程を繰り返す工程と、
最も鮮鋭度が高くなる前記一次電子加速手段の電圧を、前記一次電子加速手段への印加電圧として設定する工程と、を有することを特徴とする電子軌道調整方法。
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