JP6408561B2 - 集積アンテナ用ホーン様延長部 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体集積回路に形成されたアンテナアセンブリを含むモジュールに関する。該モジュールは、例えばレーダ装置を機能的に構成する要素となり得る。
アナログ及びデジタル集積回路(IC)は、通常、シリコン、GaAs、GaN及びSiGeの加工、処理により設計及び製造され、BiCMOS又はCMOS型であり得る。これらのICは、例えば8又は12インチのウエハで大量生産されることが可能である。ウエハは、製造後にICをそれぞれ分離するために、通常は切断によって個片化される。
ダイシング工程は、ダイヤモンドソーがウエハを切断する比較的困難な工程である。シリコンがかなりもろいことから、亀裂が比較的生じやすく、電子回路構造へと拡がり得る。そして、電子回路構造には不具合が生じ得り、所望の条件で動作されることが不可能になるか、又はさらにまったく動作不可能になる。電子回路構造に形成される亀裂を防ぐ標準的な方法は、回路構造のまわりに「シールリング」を配置することである。シールリングは、電子回路構造のまわりに配置される、(概ね)全体がドープされた層及び金属層からなるリングである。また窒化ケイ素は、通常、シリコンに侵入する湿気を防止するために、回路構造全体の上部に最終層として配置される(外部に電気的に接続されることが必要なときのバンプパッド及びボンドパッドは除く)。窒化ケイ素層もかなりもろいので(ガラスと類似する)、シールリングは、これもICに入る亀裂を防止するために窒化ケイ素において開口部を有する。
つまり、シールリングは、高い信頼性及び生産性を実現するため、シリコンチップの大量生産工程において不可欠の部品である。
シリコンにRF電子装置を集積化することで、シリコン上にアンテナを適用するという提案が浮上してきた。アンテナは、電気エネルギーを電磁エネルギーに変換するために、またその反対の変換をおこなうために、あらゆる電子設備機器(GSM(登録商標)、GPS、DECT、Bluetooth(登録商標)から、レーダシステムまで)において使用される。しかし、これらのアンテナがシールリング内に配置されるとき、シールリングはアンテナの電磁場を小さくし得る。このため、放射効率が低減され、アンテナの放射パターンに影響を与える。一部のシリコン上のアンテナ設計では、シールリングを除いて、製造工程における要件が単純に無視されており、低い生産性若しくは信頼性の問題、又は適用からしばらく経った後の故障を生じる。その他の設計では、特別な製造後処理のアンテナが適用されるので、費用を全体的に増加させる。
現代のIC工程では、エッチング工程の再現性及びバックエンドの処理に用いられる化学機械研磨のため、所定のシリコン領域に対して最小限及び最大限に金属を使用することが要求される。通常は、最小限の寸法の構造が用いられる所定の金属充填(タイリングと呼称される)は、全体の性能をさほど損ねることなく金属密度の要件を満たす。
アンテナがシリコン上に配置されるとき、DC電圧、出力電力及び整合が測定されることができないのでテストは問題になる。
上述の問題が解決されるとき、アンテナは完成されたレーダと共に集積化されることが可能である。アンテナがシリコン上で集積化されないとしても、その一式としては、「モジュール」全体が単一のデバイスとして考えられる。アンテナは、通常、ラムダ/4又はラムダ/2に近似するサイズを有し、ラムダは材料又はフリースペースにおける波長である。60GHzでは、フリースペースの波長は5mmであり、つまりアンテナは材料の比誘電率未決定で1.25mm以下であり得る。
単一のアンテナは、±60度程の方位角と±60度程の仰角であり得る、比較的広い放射パターンを有する。一部の適用において、このビーム幅はあまりに広い。狭いビーム幅はアンテナアレイ、つまり、各アンテナが適切な位相及び振幅で駆動される、列、行、又はマトリックスにおける複数のアンテナにより実現可能である。これは、シリコン上でおこなわれることが可能であるが、新規設計(通常は、さらなるアンテナに対応するためにより大きいシリコン領域になる)、及び新規の高価なマスクセットが必要とされる。市場において、少量で多数の適用がおこなわれる場合に、規模の経済の効果を得ることは困難であり得る。シリコンを製造後に放射パターンを規定することができる、安価、大量生産可能で、自動配列される構造が実現され得るとより好ましい。
パラボラディッシュアンテナ及びホーンアンテナは、明確に設定された利得及び(狭い)ビーム幅を提供することで知られる。だが、電磁波を導波管又はホーンアンテナに放射するために、重量があり高価である特別な放射器が用いられる。また、満足のいく性能を得るため、導波管はホーンアンテナにアライメントされる必要がある。
比較的安価で大量生産に適した、集積アンテナの所望の放射パターンを取得することを可能にする解決手法が必要とされている。
本発明の一態様によると、無線周波数アセンブリが提供され、該無線周波数アセンブリは、
‐半導体集積回路に形成され、電磁信号の送信及び電磁信号の受信の機能のうちの少なくとも1つを実行するように設けられたアンテナアセンブリを含むモジュールと、
‐該モジュールに適合された基部、及びモジュールに適合されるときにアンテナアセンブリを取り囲む入力開口部を有する延長ホーン形状部分を含むホーン様構造とを含む。
基部は、モジュールの外周と合致する内周を含んでもよい。
基部は、モジュールの縁部分と係合するL型形状の縁部を含んでもよい。
延長ホーン形状部分の入力開口部に取り囲まれるアンテナアセンブリは、種々のアンテナを含んでもよい。
アンテナは、入力開口部に関して、中心ではないところに配置されてもよい。
アンテナアセンブリは、少なくとも1つの送信アンテナと少なくとも1つの受信アンテナとを含んでもよい。
アンテナアセンブリは、到来方向(angle of arrival)測定のために種々の受信アンテナを含んでもよい。
さらに、シールリングが電磁場に顕著に影響を与えることを回避するための解決手法と、集積アンテナを備える無線周波数モジュールをテストするための解決手法とが提供される。
図1は、集積アンテナを備える集積回路の概略的上面図である。 図2は、アンテナのベース近傍の集積回路の部分の斜視図である。 図3は、集積回路の該部分の半透過である別の斜視図である。 図4は、集積回路の該部分の半透過であるさらに別の斜視図である。 図5は、集積回路が包埋されたモジュール上に設置されたホーン様構造を含むレーダアセンブリの概略的断面図である。 図6は、レーダアセンブリの概略的上面図である。 図7は、ホーン様構造の入力開口部が示された、図1の完全版である。 図8は、取得された到来方向(angle of arrival)測定の結果の模式図である。 図9aは、1つのホーン様構造の概略的斜視図であり、図9bは、図9aに示されるホーン様構造の測定された放射パターンの模式図である。 図10aは、1つのホーン様構造の概略的斜視図であり、図10bは、図10aに示されるホーン様構造の測定された放射パターンの模式図である。 図11aは、1つのホーン様構造の概略的斜視図であり、図11bは、図11aに示されるホーン様構造の測定された放射パターンの模式図である。
図1は、集積回路(IC)100の実施例を示す。図1は、集積回路100の概略的上面図であり、集積回路100は3つのアンテナ101、102、及び103を含む。第1アンテナ101は、集積回路100の一方の側に近接して配置され、第2アンテナ102及び第3アンテナ103は、集積回路100の対向側に近接して配置される。集積回路100は、アナログ回路及びデジタル回路を含み得る電子回路104を含む。
集積回路100は、内シールリング105と外シールリング106との2つのシールリングをさらに含む。これらのシールリング105、106は、本明細書に前述されたようにダイシング工程において電子回路104に亀裂が入ることを防止する。内シールリング105は、全体が金属製の層と組み合わせられた全体がドープされた層を含んでもよい。また、外シールリング106は、全体がドープされた層と全体が金属製の層とを含んでもよい。図1の実施例では、内シールリング105及び外シールリング106は重なり合わない。代替的な実施形態では、そのようなシールリングは、集積回路100の少なくとも一方の側に沿って部分的に重なり合ってもよい。
第1アンテナ101は、左側ボンドパッド及び右側ボンドパッドである2つの隣接する側のボンドパッドを備えた中央ボンドパッド111に連結される。同様に、第2アンテナ102は、左側ボンドパッド及び右側ボンドパッドである2つの隣接する側のボンドパッドを備えた中央ボンドパッド112に連結される。第3アンテナ103は、左側ボンドパッド及び右側ボンドパッドである2つの隣接する側のボンドパッドを備えた中央ボンドパッド113に連結される。前述の隣接する側のボンドパッドは、信号及び内シールリング105と連結されてもよい。一部の適用では、アンテナ周囲の領域において金属層を避けることは有効であり得る。図1は、3つのアンテナ101、102、及び103の周囲のそのような領域を、矩形の破線によって示す。
内シールリング105は、第1アンテナ101のベースに近接した開口部121を含む。開口部121は、上部金属層及び上部金属層と関連するビア層とへと延び、該層は内シールリング105の部分を形成する。第1アンテナ101と中央ボンドパッド111との接続部は、内シールリング105のこの開口部121を通過する。内シールリング105は、第2アンテナ102のベース及び第3アンテナ103のベースにそれぞれ隣接する同様の開口部122及び123を含む。
図1に示される集積回路100は、例えば、周波数変調連続波(FMCW)レーダ装置などのレーダ装置を機能的に形成してもよい。FMCWレーダ装置では、送信機及び受信機が共に作動される。よって、アンテナを含む、送信機と受信機との分離は重要である。分離が不十分である場合、特に検出範囲について、レーダ性能を大きく損ねる。図1では、第1アンテナ101は、例えば送信アンテナであってよい。そして、第2アンテナ102及び第3アンテナ103は、受信アンテナであってよい。この構成において、送信アンテナと受信アンテナとの分離は、満足のいくレーダ性能には十分であり得る。2つの受信アンテナ、第2アンテナ102及び第3アンテナ103の使用により、レーダモード設定において反射の到来方向が測定可能になる。
集積回路100は、例えば国際公開第2014/049088号に記載されているように、モジュール140に包埋されてもよい。これは、本明細書において特に詳細に後述される。
図2は、第1アンテナ101のベース近傍の集積回路100の部分を詳細に示す。図2において、この集積回路の部分の斜視図が示される。図2は、左側ボンドパッドと右側ボンドパッドとが内シールリング105と連結されることを明確に示す。さらに、図2では、内シールリングの部分を形成する上部金属層の開口部を含む内シールリング105の開口部121が明確に示されている。図2は、さらに、第1アンテナ101に隣接するタイリング領域209及び210を示す。これらのタイリング領域209及び210は、所望の利用範囲内で、この層において金属の存在を確実にする金属層に形成されたパッチを含む。
図3は、集積回路100に関する部分の、半透過であり外側から内側への方向における別の斜視図である。第1アンテナ101は、上部金属層に形成されたパスによって中央ボンドパッド111と電気的に接続される。電気的接続はDC又はACであり得るということが言及される必要がある。また、内シールリング105の開口部121は明確に可視化されている。さらに、図3は、集積回路100を被覆する窒化層における開口部307を示す。さらに図3は、第1アンテナ101を中央ボンドパッド111と電気的に接続する上部金属層におけるパスの下に配置される種々の層308の積層を内シールリング105が含むことを示す。内シールリング105内のこれらの層308は、本実施例において開口部121から影響を受けない。
図4は、集積回路100に関する部分の、半透過であり内側から外側への方向におけるさらに別の斜視図を示す。
テストをする目的でいくつかの手法が考慮され得る。第1の手法は、対象の信号がその上に存在する、ボンドパッド若しくはバンプパッド、又はそのようなパッドの組合せを追加することである。標準的な集積回路のテスト方法は、これらのパッドにプローブを配置するように用いられてもよい。従って、DCレベルが測定され、また、例えば周波数、振幅、電力及びスプリアス成分などの無線周波数信号特性が測定されることが可能である。しかしながら、無線周波数測定はアンテナ放射によって影響され得る。この影響は、基準測定結果を確立し、実際の測定結果と基準測定結果を相関させることによって説明される。故に、被テストデバイスの機能及び性能が測定されることが可能である。
第2の手法は、集積回路100にオンチップの測定回路を提供することである。DC電圧は、オンチップのアナログからデジタルへの変換器で測定されることができる。好ましくは、無線周波数の性能が不利な影響を受けることを防ぐために、適切な絶縁回路が提供される。無線周波数信号の周波数は、周波数を測定できる周波数分周信号を供給するオンチップの周波数分周器によって、非直接的に測定されることが可能である。出力電力はオンチップの電力センサによって測定されることができる。そのような電力センサは広い帯域幅を有し得る。電力センサの帯域幅内の任意のスプリアス成分が測定されることができ得る。回路に対するアンテナの適合性は、アンテナによって反射された電力をオンチップで測定することによって測定されることが可能である。
第1アンテナ101、第2アンテナ102及び第3アンテナ103などの集積アンテナは、例えば±60度の比較的広域の放射パターンを有する。また、より狭い放射パターンが望まれ得る。これは集積アンテナのアレイによって原理的に達成されることができるが、比較的費用のかかる解決手法である。ミリメートルの波長範囲の電磁信号用集積アンテナは比較的大きい。つまり、比較的大きい集積回路領域が集積アンテナの形成において必要とされる。図1に示される実施例では、101、102及び103の3つのアンテナは、電子回路104が占める領域と同様のサイズの領域を既に占有している。
比較的狭い放射パターンを得るための、費用に対してより効果が高い解決手法は、集積アンテナを備える集積回路に、又はそのような集積回路が包埋されたモジュールに、ホーン様構造を配置することである。ホーン様構造は、好ましくは、いずれか適用される集積回路又はモジュールに適合する基部を含む。基部は、いずれか適用される集積回路又はモジュールの外周に適合する内周を備えてもよい。ホーン様構造の延長ホーン形状部分は基部に関して配置されるので、延長ホーン形状部分は集積アンテナ関して適切に配置されるか、又はホーン様構造はいずれか適用される集積回路又はモジュールに設置される。
図5は、集積回路100が包埋されたモジュール140に設置されたホーン様構造1010を含むレーダアセンブリ1000を示す。図5は、アセンブリ1000の概略的断面図を示す。モジュール140は、集積回路100を被覆するエポキシ層1008を含む。モジュール140は基板1009をさらに含み、基板上には例えば接着によって集積回路100が設置される。基板1009は、例えばプリント回路基板の形態であってよい。結合線は、集積回路100と基板1009とを電気的に連結してもよい。モジュール140は、例えばはんだ付けによって主要なプリント回路基板1006に設置されてもよい。
ホーン様構造は基部1010及び延長ホーン形状部分1012を含む。基部1011はモジュール140に適合する。基部は、モジュールの外周と適合する内周を含んでもよい。より具体的には、基部1011は、図5に示されるように、モジュール140の端部と係合するL字形状の端部を含んでもよい。
モジュール140の寸法は、例えば50μmの範囲内で変化し得る。基部は、適切に合致することを確実にするために、これらの許容値に対応するように設計される。ホーン様構造の延長ホーン形状部分は、本明細書において後に記載されるように、基部1011に対して適切に配置される。つまり、図5は、消費者向けなどの大量生産製品に必要とされる、自動アライメント及び頑強性を可能にする手法を提示する。
ホーン様構造1010は、例えばねじ1003及び1004によってプリント回路基板1006に設置されてもよい。レーダアセンブリ1000は、延長ホーン形状部分1012の上部のフランジにおいて、ねじ1001及び1002によって筐体に取り付けられてもよい。ねじ1001〜1004の代わりに、クリップ又はその他の任意の適切な締結要素が用いられてもよい。
図6は、概略的上面図を提示することにより、レーダアセンブリ1000をさらに表す。図5の概略的断面図は、図6に示されるB−B’線に沿う断面に相当することが言及される。モジュール140は点線で表される。図6は、延長ホーン形状部分1012がモジュール140に面する入力開口部1020を有することを表す。入力開口部1020はモジュール140よりも小さくてもよいが、101、102及び103の3つのアンテナが存在する領域よりも好ましくは大きい必要がある。つまり、入力開口部1020は、101、102及び103の3つのアンテナを取り囲む。
図7は、点線によって形成される矩形130が図6に示される延長ホーン形状部分1012の入力開口部1020に相当する、図1の完全版である。実施例として、モジュール140が7×7mmの寸法を有すると考えると、入力開口部は、この実施例では例えば5×5mmであり得る。外シールリング106は集積回路100の周縁として考えられ、例えば3×3mmであり得る。
図6では、101、102及び103の3つのアンテナが、延長ホーン形状部分の入力開口部の正確な中心というより、中心からいくらか離れて配置されることが見て取れる。驚くべきことに、これは性能に大きく影響を与えない。例えば、到来方向は、2つの受信アンテナである第2アンテナ102及び第3アンテナ103によって、十分な正確性をもって測定されることができる。非中心の集積アンテナは、特に以下の一般原則が見受けられる場合に、十分な性能を提供できることが分かってきた。集積アンテナは、少なくともλ/2である入力開口部の最も近接する境界に対して距離を有し、λは対象の波長、一般に前述のレーダ装置が動作する波長を表す。
図8は、ホーン様構造を備えた集積回路によって取得された到来方向(angle of arrival)測定の結果を示す。より具体的には、図8は、加法定理で取得されるモノパルスレーダ特性を示す。図8において、垂直軸901は差パターンを表し、水平軸902は反射が受信された角度を表す。曲線903は測定された特性を表す。曲線904は理論に基づいて算出された理論上の特性を表す。つまり、図8は、複数の集積アンテナが図5及び図6に記載されるようなホーン様構造の開口端部内に配置されるレーダアセンブリで、到来方向を測定することが実行可能であることを示す。
本明細書に上述された手法の有利な点は、図1に示されるもののように、同一の集積回路をもとにして広範な種々の異なる放射パターンを得ることが可能であることである。所望の放射パターンは、特定の寸法を有し形状づけられた延長ホーン形状部分を有するホーン様構造を集積回路に配置することによって得ることができる。延長ホーン形状部分は、所望の放射パターンが取得されるように寸法を決められ、形状づけられる。ホーンアンテナの理論では、最大アンテナ利得からの3dBの低下によって特徴づけることができるビーム幅は、延長ホーン形状部分の幅に対応するアンテナ開口に依存する。より具体的に、これらのパラメータであるアンテナ開口とビーム幅との積は一定である。これは方位角と仰角にも適用される。
従って、所望の放射パターンは、適切な開口を有するホーン様延長部を集積回路に配置することによって得ることができる。つまり、特定の放射パターンのために集積回路を設計する必要はない。さらに、図5及び図6に示されるもののように、レーダアセンブリの放射パターンを変化させることは比較的容易である。ホーン様延長部を他のホーン様延長部に置き換えることも差し支えない。本明細書に上述された手法は、所望の放射パターンを取得するためにアンテナアレイに全面的に依存するよりも費用においてより効果が高い。さらに、ホーン様構造に基づく手法は、ケーブル接続アセンブリから導波管アセンブリへの信号を変換するために通常は用いられる、いわゆる放射器の必要性をなくす。ホーン様構造はそのような放射器の機能上の置き換えとなると考えることができる。
図9a、図10a、及び11aは、図1に記載されるもののような集積アンテナを備えた、集積回路に配置され得るいくつかのホーン様構造を示す。図9b、図10b、及び図11bは、図9a、図10a、及び図11aにそれぞれ示されるホーン様構造の測定放射図を示す。図9b、図10b、及び図11bにおいて、曲線601、701、及び801は方位角方向における放射パターンをそれぞれ表し、曲線602、702、及び802は仰角方向における放射パターンをそれぞれ表す。これらの図は、異なるホーン様構造から異なる放射パターンが得られることを明らかに示し、さらに、前述のパラメータであるアンテナ開口とビーム幅との積が一定であることを裏付ける。
図5及び図6に示される、並びに図9a、図10a、及び図11aに示されるようなホーン様構造の製造に、数多くの種々の材料が適している。例えば、ホーン様構造は標準的なエポキシ銅張板FR4で製造されてもよい。種々の組合せにおける金属、プラスチックや、金属で被覆されたプラスチックや、金属、プラスチック及び金属で被覆されたプラスチックを含む3Dプリント形態、金属テープ又は金属溶射を有するプラスチックなど、他の種々の材料も適している。また、純粋なプラスチックも、適切な設計及び比誘電率を有する場合に適し得る。
ホーン様構造は開放されていてよい、つまり任意の充填材を有しなくてもよい。しかしながら、ホーン様構造は絶縁材料で充填されてもよい。事実、ホーン様構造は絶縁材料によるホーン形状のブロックを含んでもよい。そのようなホーン形状のブロックの表面には、例えば溶射によって金属被覆が施されていてもよい。絶縁充填材料は、レンズ様構造を形成する特定の形状を有することが可能である。これは、例えば特定の方向への比較的狭いビームなどの、所望の放射パターンの取得に有利になり得る。
頑強性は、一方でホーン様構造の、他方で集積回路を含むモジュールの、重量と寸法との組合せ次第であることが言及される必要がある。例えば、図5に示されるモジュールは1g未満の重量を有し得る。ホーン様構造は同様の重量を有してもよい。
本明細書に上述される図面に関する詳細な説明は、特許請求の範囲において規定される本発明及び追加的特性を描出するのみである。本発明は、数多くの種々の態様において適用されることが可能である。これを示すため、いくつかの変形が簡易的に言及される。
本発明は、電磁信号の送信若しくは受信、又はその両方に関する種々の多くの製品又は方法に適用され得る。レーダの適用は単なる実施例である。その他の実施例として、本発明は集積回路に形成されるアンテナを含み得る通信装置に適用されてもよい。
ホーン様構造は、本明細書に前述される実施例のように、必ずしも矩形形状を有する必要はない。例として、ホーン様構造は、円形、楕円形、六角形、若しくは八角形の形状、又はその他のタイプの角を有する形状を備えてもよい。
ホーン様構造は、前述される実施例のように、必ずしも3つの集積アンテナを取り囲む必要はない。原理的に、ホーン様構造は任意の数の集積アンテナを取り囲み得る。ホーン様構造はアンテナアレイを取り囲んでもよい。また、ホーン様構造に取り囲まれたアンテナアレイによって、ビーム操作も可能である。
本出願において提示される解決手法は、種々の偏波、つまり水平、垂直、円又はこれらの偏波の任意の組合せに利用可能である。ホーン様構造の背面部への挿入物は偏波を変調させるために用いられることが可能である。
ホーン様構造は、例えば、標準的なプラスチック成型や3Dプリントを用いて、又はさらに手によって、数多くの異なる方法で製造されることが可能である。
本明細書に上述される記載は、図面に関する詳細な説明が本発明を限定するというよりも描出するということを示す。本発明は、添付の特許請求の範囲内である多数の代替形において適用されることが可能である。特許請求の範囲と同等の意味及び範囲内にあるすべての変更はその範囲内に含まれる。特許請求の範囲におけるいずれの参照符号も特許請求の範囲を限定するものとして理解されるべきではない。また、用語「含む」とは、特許請求の範囲に記載されるもの以外のその他の構成要素又は段階の存在を排除するものではない。構成要素又は段階に関して単数で表される用語は、そのような構成要素又は段階の複数の存在を排除するものではない。それぞれの従属請求項がぞれぞれ追加の特性を規定するという事実は、特許請求の範囲に反映されるもの以外の追加特性の組合せを排除するものではない。

Claims (13)

  1. 無線周波数アセンブリ(1000)であって、
    磁信号の送信及び電磁信号の受信の機能のうちの少なくとも1つを実行するように半導体集積回路(100)に形成されたアンテナアセンブリ(101、102、103)を含むモジュール(140)と、
    前記モジュール(140)が設置される面を有するプリント回路基板(1006)と、
    ホーン様構造(1010)とを備え、
    前記ホーン様構造(1010)は、
    前記ホーン様構造を前記プリント回路基板の前記面に設置するための締結要素(1003、1004)を備えた前記プリント回路基板の前記モジュールが設置された前記面へと延長され、前記モジュールに適合される基部(1011)と、
    前記ホーン様構造が前記モジュールに適合され、且つ前記プリント回路基板に設置さ
    れるときに前記アンテナアセンブリを取り囲む入力開口部(1020)を有する、延長ホーン形状部分(1012)とを含む、無線周波数アセンブリ。
  2. 前記基部(1011)は、前記モジュール(140)の外周と合致する内周を含む、請求項1に記載の無線周波数アセンブリ。
  3. 前記基部(1011)は、前記モジュール(140)の縁部分と係合するL型形状の縁部を含む、請求項2に記載の無線周波数アセンブリ。
  4. 前記延長ホーン形状部分(1012)の前記入力開口部(1020)に取り囲まれる前記アンテナアセンブリ(101、102、103)は、複数のアンテナを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  5. 前記アンテナは、前記入力開口部(1020)の中心ではないところに配置される、請求項4に記載の無線周波数アセンブリ。
  6. 前記アンテナアセンブリ(101、102、103)は、少なくとも1つの送信アンテナ(101)と少なくとも1つの受信アンテナ(102、103)とを含む、請求項4又は5のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  7. 前記アンテナアセンブリ(101、102、103)は、到来方向(angle of
    arrival)の測定のために複数の受信アンテナ(102、103)を含む、請求項4〜6のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  8. 前記ホーン様構造(1010)は金属製である、請求項1〜7のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  9. 前記ホーン様構造(1010)はプラスチック製であり、金属で被覆される、請求項1〜7のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  10. 前記ホーン様構造(1010)は、フランジ、補強リブ、及び設置孔のうちの少なくとも1つを含む、請求項1〜9のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  11. 前記ホーン様構造(1010)は、誘電体材料で充填され、レンズ様の形状を有する、請求項1〜10のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  12. プリント回路基板(1009)と、
    前記プリント回路基板に設置された半導体集積回路(100)のマトリックスと、
    前記半導体集積回路の上部に取り付けられたホーン様構造(1010)のマトリックスとを含む、請求項1〜11のいずれかに記載の無線周波数アセンブリ。
  13. 請求項1〜12のいずれかに記載の無線周波数アセンブリを含むレーダシステム。
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