JP6402595B2 - Transport system - Google Patents
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Description
本発明は、搬送システムに関する。 The present invention relates to a transport system.
従来の搬送システムとして、例えば、特許文献1に記載されたシステムが知られている。特許文献1に記載の搬送システムは、搬送車と、搬送情報に基づき搬送車を制御する制御装置と、を有している。制御装置は、搬送した時間を示す実績時間情報と搬送情報とが関連づけられた情報である搬送実績情報を蓄積する蓄積部と、物品を受け取ることができない搬送先を示す不可情報を取得する不可情報取得部と、不可情報に対応する搬送情報を特定する情報特定部と、不可情報に対応する搬送実績情報を抽出し、抽出された実績時間情報に基づき搬送実績情報を順位付けする順位作成部と、順位に従い決定される一つの搬送実績情報に含まれる起点情報を終点情報とする代替情報を作成する代替情報作成部と、代替情報作成部により作成された代替情報を搬送車に送出する搬送情報送出部と、を備える。
As a conventional transport system, for example, a system described in
上記のような搬送システムは、例えば、半導体や液晶パネル等の製造工場に設置される。製造工場においては、搬送システムによって半導体ウェハや液晶パネルの基材等の物品が搬送される。このような製造工場では、生産効率の向上が求められており、その実現のために、処理装置の稼働効率の向上が求められている。 Such a transport system is installed in a manufacturing factory for semiconductors, liquid crystal panels, and the like, for example. In the manufacturing factory, articles such as semiconductor wafers and liquid crystal panel substrates are transported by the transport system. In such a manufacturing factory, improvement in production efficiency is required, and in order to realize this, improvement in operation efficiency of the processing apparatus is required.
本発明は、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the conveyance system which can aim at the improvement of the operating efficiency of a processing apparatus.
本発明に係る搬送システムは、物品の搬送元、物品の搬送先、及び、物品が一時的に保管される保管部の間で物品を搬送する搬送装置を備える搬送システムであって、搬送先及び保管部のそれぞれは、複数設けられており、搬送元から搬送先への物品の搬送に関する搬送情報を記憶し、搬送情報に基づいて、搬送元から各搬送先への物品の搬送の割合をそれぞれ取得する搬送割合取得部と、搬送割合取得部によって取得された搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する判定部と、判定部によって搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された保管部に物品を搬送するように搬送装置を制御する制御部と、を備える。 A transport system according to the present invention is a transport system including a transport source that transports an article between a transport source of the article, a transport destination of the article, and a storage unit in which the article is temporarily stored. Each of the storage units is provided in a plurality, and stores conveyance information related to the conveyance of the article from the conveyance source to the conveyance destination. Based on the conveyance information, the ratio of the conveyance of the article from the conveyance source to each conveyance destination is stored. A conveyance ratio acquisition unit to be acquired, a determination unit that determines whether the conveyance ratio acquired by the conveyance ratio acquisition unit is equal to or greater than a predetermined threshold, and the determination unit determines that the conveyance ratio is equal to or greater than a predetermined threshold. A control unit that controls the transport device so as to transport the article to a storage unit disposed in the vicinity of the transport destination in the transport ratio.
この搬送システムでは、搬送元から各搬送先への物品の搬送の割合を取得し、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。搬送システムでは、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された保管部に物品を搬送するように搬送装置を制御する。このように、搬送割合に基づいて、物品が搬送される搬送先を予め設定(予測)して、その搬送先の近傍の保管部に物品を保管することにより、搬送指令が出たときに、搬送先に物品を迅速に搬送することができる。したがって、搬送システムでは、搬送時間の短縮化を図ることがでる。これにより、搬送先が処理装置である場合、処理装置において物品(例えば、被処理物等)の搬送待ちの状態が短縮される。その結果、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。 In this conveyance system, the ratio of conveyance of articles from the conveyance source to each conveyance destination is acquired, and it is determined whether or not the conveyance ratio is equal to or greater than a predetermined threshold value. In the transport system, when it is determined that the transport ratio is equal to or greater than a predetermined threshold, the transport device is controlled so that the article is transported to a storage unit disposed near the transport destination in the transport ratio. Thus, based on the transport ratio, by setting (predicting) a transport destination where the article is transported in advance and storing the article in a storage unit near the transport destination, when a transport command is issued, Articles can be quickly conveyed to a conveyance destination. Therefore, in the transfer system, the transfer time can be shortened. As a result, when the transport destination is the processing apparatus, the waiting state for transporting an article (for example, an object to be processed) in the processing apparatus is shortened. As a result, the operating efficiency of the processing apparatus can be improved.
一実施形態においては、搬送先は、物品が入出庫されるポートを有する処理装置であり、物品は、処理装置によって処理される被処理物を収容する収容体であり、保管部は、各処理装置を含むエリア毎に区分けして配置された棚であり、制御部は、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における処理装置を含むエリアに配置され且つ収容体が収容されていない棚の中から、当該処理装置に対しての搬送時間が最短である棚に収容体を搬送するように搬送装置を制御してもよい。これにより、処理装置に対して収容体(被処理物)を迅速に搬送することができるため、処理装置の稼働率の向上を図ることができる。 In one embodiment, the transport destination is a processing apparatus having a port where goods are loaded and unloaded, and the articles are containers that store workpieces to be processed by the processing apparatus. If the control unit determines that the transport ratio is equal to or greater than a predetermined threshold, the control unit is disposed in the area including the processing device at the transport ratio and includes a container. The transport apparatus may be controlled so that the container is transported from the shelves in which the container is not stored to the shelf having the shortest transport time for the processing apparatus. Thereby, since a container (to-be-processed object) can be conveyed rapidly with respect to a processing apparatus, the operation rate of a processing apparatus can be improved.
一実施形態においては、搬送割合取得部は、記憶されている搬送情報において、最新の搬送情報から所定時間内又は所定の情報量内の搬送情報を所定時間毎に取得して、当該搬送情報に基づいて搬送割合を取得してもよい。このように、新しい搬送情報に基づいて搬送割合を取得することにより、現在の状況に適した搬送が可能となる。 In one embodiment, the conveyance ratio acquisition unit acquires conveyance information within a predetermined time or within a predetermined amount of information from the latest conveyance information in the stored conveyance information every predetermined time, and uses the conveyance information as the conveyance information. You may acquire a conveyance ratio based on it. As described above, by acquiring the transport ratio based on the new transport information, it is possible to perform transport suitable for the current situation.
本発明によれば、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the operating efficiency of the processing apparatus.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same or equivalent elements will be denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
図1は、一実施形態に係る搬送システムを含むインライン設備の構成を示す図である。図2は、インライン設備を上から見た図である。図1及び図2に示されるように、インライン設備1は、MES(Manufacturing Execution System)3と、処理装置(搬送元、搬送先)5A,5B,5Cと、ラック7と、搬送システム9と、を備えている。インライン設備1は、例えば、液晶パネルを製造する設備であり、所定の空間を囲い且つクリーンな状態が維持されている建物内に設けられている。以下の説明では、インライン設備1において液晶パネルを製造する形態を一例に説明する。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an inline facility including a transfer system according to an embodiment. FIG. 2 is a view of the inline facility as viewed from above. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
MES3は、インライン設備1を含む工場の様々な情報を統括して管理する統合生産情報システムである。MES3は、処理装置5A,5B,5C及び後述するMCS10の情報管理を行う。MES3は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read OnlyMemory)、RAM(Random Access Memory)、ハードディスクなどで構成されている。MES3と処理装置5A〜5C及びMCS10とは、無線又は有線により、互いに通信可能とされている。
The MES 3 is an integrated production information system that manages and manages various pieces of information of the factory including the
処理装置5A,5B,5Cは、例えば液晶パネルの製造に係る処理を行う装置であり、インライン設備1に複数設置されている。処理装置5A,5B,5Cは、それぞれ実施される処理が異なっている。各処理装置5A,5B,5Cのそれぞれは、複数台ずつ設置されていてもよい(図2では、それぞれ2台ずつ設けられている)。処理装置5A,5B,5Cは、後述するスタッカクレーン12の走行方向に沿って複数配置されている。すなわち、インライン設備1では、一方向に延在するラインに沿って処理装置5A,5B,5Cが配置されている。本実施形態では、処理装置5A,5B,5Cは、スタッカクレーン12の走行方向から見て、左右方向のいずれか一方側に配置されている。同じ処理を行う処理装置5A,5A(5B,5B、5C,5C)は、例えば並んで配置されている。処理装置5A,5B,5Cは、カセットCを入庫及び出庫するポート5aを有している。
The
ラック7は、カセットCを一時的に保管する棚である。すなわち、ラック7は、搬送元から搬送先にカセットCが搬送される場合に、搬送元と搬送先との間でカセットCを一時的に保管する。図2に示されるように、ラック7は、スタッカクレーン12の走行路を挟んで対向すると共に、スタッカクレーン12の走行方向に沿って複数配置されている。図3に示されるように、ラック7は、カセットCを収容する複数の棚部(保管部)7aを有している。棚部7aは、高さ方向において複数設けられている。処理装置5A,5B,5Cが配置されている位置に設置されたラック7においては、棚部7aが処理装置5A,5B,5Cの上方に設けられている。
The
ラック7の棚部7aは、処理装置5A,5B,5C毎にそれぞれ区分けして配置されている。具体的には、図2に示されるように、棚部7aは、処理装置5Aを含むエリアA1と、処理装置5Bを含むエリアA2と、処理装置5Cを含むエリアA3と、に区分けして配置されている。
The
搬送システム9は、MCS(Material Control System)10と、スタッカクレーン(搬送装置)12と、スタッカクレーンコントローラ14と、を備えている。搬送システム9では、処理装置5A,5B,5C、棚部7a及びポート8(後述)に対して物品の搬送を行う。本実施形態では、搬送システム9は、処理装置5A,5B,5Cにおいて処理される液晶パネルの基材(被処理物)Bが収容されたカセットC(収容体、図3参照)を搬送する。MCS10及びスタッカクレーンコントローラ14は、例えば、CPU、ROM、RAM、ハードディスクなどで構成されている。MCS10とスタッカクレーンコントローラ14とは、無線又は有線により、互いに通信可能とされている。MCS10は、スタッカクレーンコントローラ14の上位コントローラである。
The transport system 9 includes an MCS (Material Control System) 10, a stacker crane (transport device) 12, and a
MCS10は、液晶パネルの製造スケジュールに基づいてカセットCの搬送スケジュールを作成し、搬送スケジュールに基づいて、スタッカクレーンコントローラ14に搬送指令を送出して指示を行う搬送指示装置である。MCS10は、スタッカクレーンコントローラ14などの工程間搬送設備とMES3との間に設けられ、MES3からの各種指示をスタッカクレーンコントローラ14に適時伝達し、このスタッカクレーンコントローラ14からの報告をまとめてMES3に伝達する機能を有する。MCS10から送出される搬送指令には、例えば、処理装置5A,5B,5Cからラック7の棚部7aに特定のカセットCを搬送する指示が含まれる。この搬送指令においては、ラック7における棚部7aの詳細なアドレスは設定されていない。すなわち、MCS10から送出される搬送指令においては、棚部7aにカセットCを搬送することは示されているものの、棚部7aの詳細な収納位置については設定されていない。
The
スタッカクレーン12は、カセットCを搬送する。スタッカクレーン12は、インライン設備1の床に敷設されたレールRに沿って走行する。スタッカクレーン12は、ポート8、処理装置5A,5B,5C、及び、棚部7aの間でカセットCを搬送する。ポート8は、インライン設備1においてカセットCの入出庫を行う部分であり、第1ポート8aと、第2ポート8bと、を有している。第1ポート8aは、インライン設備1の外部から内部にカセットCを入庫する。第2ポート8bは、インライン設備1の内部から外部にカセットCを出庫する。第1ポート8a及び第2ポート8bは、例えばコンベアを有しており、コンベアによってカセットCを入庫又は出庫する。
The
スタッカクレーン12は、ポート8と棚部7aとの間、ポート8と処理装置5A,5B,5Cとの間、棚部7aと処理装置5A,5B,5Cとの間、処理装置5A,5B,5Cと処理装置5A,5B,5Cとの間でカセットCの搬送を行う。インライン設備1においては、例えば、処理装置5A、処理装置5B及び処理装置5Cのこの順番で処理が実施される。スタッカクレーン12は、例えば、第1ポート8aから入庫されたカセットCを棚部7aに搬送し、処理装置5Aにおいて処理可能な状態となった場合には、カセットCを処理装置5Aに搬送する。スタッカクレーン12は、当該処理装置5Aにおいて処理が終了した場合、処理装置5Bにおいて処理が可能な状態でない場合には、カセットCをラック7の棚部7aに搬送する。そして、スタッカクレーン12は、当該処理装置5Bにおいて処理可能な状態となった場合には、一時的に保管されたカセットCを処理装置5Bに搬送する。このようなスタッカクレーン12の動作は、スタッカクレーンコントローラ14によって制御される。なお、図2では、スタッカクレーン12を1台だけ示しているが、搬送システム9には、複数のスタッカクレーン12が設けられていてもよい。
The
スタッカクレーンコントローラ14は、スタッカクレーン12の動作を制御する。スタッカクレーン12は、MCS10から送出された搬送指令を受け取ると、搬送指令に基づいてカセットCを搬送するように、スタッカクレーン12を制御する。
The
図4は、スタッカクレーンコントローラの構成を示すブロック図である。図4に示されるように、スタッカクレーンコントローラ14は、記憶部(搬送割合取得部)20と、搬送割合取得部22と、判定部24と、制御部26と、を備えている。スタッカクレーンコントローラ14により実施される制御は、例えば、ROM及びRAMにより構成される記憶部に格納されているプログラムがRAM上にロードされてCPUで実行されることにより実現される。
FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the stacker crane controller. As shown in FIG. 4, the
記憶部20は、スタッカクレーン12による搬送元から搬送先へのカセットCの搬送に関する搬送情報(ログ)を記憶する。記憶部20は、例えば、過去7日分の搬送情報を記憶する。詳細には、記憶部20は、1日経過毎に、記憶している最古の1日分の搬送情報を消去し、過去7日分の搬送情報を記憶する。記憶部20は、MCS10から送出された搬送指令から、搬送元を示す情報と搬送先を示す情報とを取得し、これらの情報を搬送情報として記憶する。
The
搬送割合取得部22は、搬送元から搬送先への搬送割合を取得する。詳細には、本実施形態では、搬送割合取得部22は、搬送元から各処理装置5A,5B,5CへのカセットCの搬送割合を取得する。搬送元には、第1ポート8a、処理装置5A,5B,5Cがなり得る。搬送割合取得部22は、記憶部20に記憶されている搬送情報から、搬送元から各処理装置5A,5B,5CにカセットCが搬送されるまでの搬送経緯(搬送履歴)を取得して、処理装置5A,5B,5CへのカセットCの搬送割合を取得する。詳細には、搬送割合取得部22は、第1ポート8aと処理装置5A、処理装置5Aと処理装置5B、処理装置5Aと処理装置5C、処理装置5Bと処理装置5Cとの間の搬送経路を取得して、搬送割合を取得する。
The conveyance ratio acquisition unit 22 acquires a conveyance ratio from the conveyance source to the conveyance destination. In detail, in this embodiment, the conveyance ratio acquisition part 22 acquires the conveyance ratio of the cassette C to each
具体的には、搬送割合取得部22は、例えば、処理装置5AからのカセットCの搬送経緯を取得し、処理装置5Aから処理装置5B、及び、処理装置5Aから処理装置5CへのカセットCの搬送割合を取得する。処理装置5Aから処理装置5BにカセットCが搬送される場合には、例えば、最初に、処理装置5Aからラック7(棚部7a)にカセットCが搬送され、次に、ラック7から処理装置5BにカセットCが搬送される。同様に、処理装置5Aから処理装置5CにカセットCが搬送される場合には、例えば、最初に、処理装置5Aからラック7にカセットCが搬送され、次に、ラック7から処理装置5CにカセットCが搬送される。なお、処理装置5Aから処理装置5B(処理装置5C)にカセットCが直接搬送される場合もあり得る。
Specifically, the transfer rate acquisition unit 22 acquires the transfer history of the cassette C from the
搬送割合取得部22は、カセットCの搬送経緯に基づいて、処理装置5Aから処理装置5B、及び、処理装置5Aから処理装置5CへのカセットCの搬送割合を取得する。本実施形態では、搬送割合取得部22おいて取得された搬送割合が、処理装置5Aから処理装置5Bへは80%、処理装置5Aから処理装置5Cへは20%である場合を一例として説明する。
The conveyance ratio acquisition unit 22 acquires the conveyance ratio of the cassette C from the
搬送割合取得部22は、所定時間毎に記憶部20から搬送情報を取得して、搬送割合を取得する。このとき、搬送割合取得部22は、記憶部20から搬送情報を取得する時、すなわち記憶部20に記憶されている最新の搬送情報から所定の時間(日数)内に記憶部20に記憶された搬送情報を抽出して、搬送割合を取得する。なお、搬送割合取得部22は、最新の搬送情報から所定の情報量内において記憶部20に記憶された搬送情報を抽出して、搬送割合を取得してもよい。搬送割合取得部22は、取得した搬送割合を示す搬送割合情報を判定部24に出力する。
The conveyance ratio acquisition unit 22 acquires conveyance information from the
判定部24は、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。所定の閾値は、適宜設定されればよいが、例えば、80%に設定されている。判定部24は、搬送割合取得部22から出力された搬送割合情報を受け取ると、搬送割合情報が示す搬送割合が所定の閾値(80%)以上であるか否かを判定する。判定部24は、判定結果を示す判定情報を制御部26に出力する。
The
制御部26は、スタッカクレーン12の動作を制御する。制御部26は、カセットCの搬送先(棚部7a)を設定し、当該搬送先にカセットCを搬送するようにスタッカクレーン12を制御する。制御部26は、MCS10から送出された搬送指令を受け取った場合、判定部24から出力された判定情報に基づいて、カセットCの搬送先である棚部7aの収納位置(アドレス)を設定する。
The
具体的には、制御部26は、判定情報において所定の閾値以上であると判定されている搬送割合における搬送先(処理装置5A,5B,5C)の近傍(処理装置5A,5B,5Cの属するエリアA1,A2,A3)の棚部7aを搬送先として設定する。搬送先の近傍の棚部7aとは、処理装置5A,5B,5Cに対して最も早い搬送時間で搬送することができる棚部7aを示している。すなわち、制御部26は、例えば、搬送先が処理装置5Bである場合、スタッカクレーン12の走行時間及び昇降時間(旋回時間を含んでもよい)を算出し、エリアA2の空いている棚部7aにおいて、最も早く処理装置5Bに対してカセットCを搬送することができる棚部7aを設定する。制御部26は、設定した棚部7aにカセットCを搬送するように、スタッカクレーン12を制御する。
Specifically, the control unit 26 (near the
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム9では、搬送割合取得部22は、搬送元から各搬送先へのカセットCの搬送の割合を取得し、判定部24は、搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する。搬送システム9では、制御部26は、搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における搬送先の近傍に配置された棚部7aにカセットCを搬送するようにスタッカクレーン12を制御する。このように、搬送割合に基づいて、カセットCが搬送される搬送先を予め設定(予測)して、その搬送先の近傍の棚部7aにカセットCを保管することにより、搬送指令が出たときに、搬送先にカセットCを迅速に搬送することができる。したがって、搬送システム9では、搬送時間の短縮化を図ることができ。これにより、搬送先が処理装置5A〜5Cである場合、処理装置5A〜5CにおいてカセットC(基材B)の搬送待ちの状態が短縮される。その結果、処理装置の稼働効率の向上を図ることができる。
As described above, in the transport system 9 according to the present embodiment, the transport ratio acquisition unit 22 acquires the transport ratio of the cassette C from the transport source to each transport destination, and the
本実施形態では、制御部26は、判定部24によって搬送割合が所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における処理装置5A,5B,5Cを含むエリアA1,A2,A3に配置され且つカセットCが収容されていない棚部7aの中から、当該処理装置5A,5B,5Cに対しての搬送時間が最短である棚部7aにカセットCを搬送するようにスタッカクレーン12を制御する。これにより、処理装置5A,5B,5Cに対してカセットC(基材B)を迅速に搬送することができるため、処理装置5A,5B,5Cの稼働率の向上を図ることができる。
In the present embodiment, when the
本実施形態では、搬送割合取得部22は、記憶部20に記憶されている搬送情報において、最新の搬送情報から所定時間内の搬送情報を所定時間毎に取得して、当該搬送情報に基づいて搬送割合を取得する。このように、新しい搬送情報に基づいて搬送割合を取得することにより、現在の状況に適した搬送が可能となる。
In this embodiment, the conveyance ratio acquisition unit 22 acquires conveyance information within a predetermined time from the latest conveyance information in the conveyance information stored in the
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、搬送システム9がインライン設備1に設置されている形態を一例に説明したが、搬送システム9は他の設備(装置)に適用されてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the said embodiment, although the form in which the conveyance system 9 was installed in the in-
上記実施形態では、インライン設備1において液晶パネルを製造する形態を一例として、搬送システム9においてカセットCを搬送する構成を一例に説明した。しかし、搬送システム9により搬送される物品は他の物であってもよい。
In the above-described embodiment, the configuration in which the liquid crystal panel is manufactured in the
5A,5B,5C…処理装置、5a…ポート、7…ラック(保管部)、7a…棚部(保管部)、9…搬送システム、12…スタッカクレーン(搬送装置)、20…記憶部(搬送割合取得部)、22…搬送割合取得部、24…判定部、26…制御部、A1,A2,A3…エリア、B…基材(被処理物)、C…カセット(物品、収容体)。 5A, 5B, 5C ... processing device, 5a ... port, 7 ... rack (storage unit), 7a ... shelves (storage unit), 9 ... conveyance system, 12 ... stacker crane (conveyance device), 20 ... storage unit (conveyance) (Ratio acquisition part), 22 ... conveyance ratio acquisition part, 24 ... determination part, 26 ... control part, A1, A2, A3 ... area, B ... base material (object to be processed), C ... cassette (article, container).
Claims (3)
前記搬送先及び前記保管部のそれぞれは、複数設けられており、
前記搬送元から前記搬送先への前記物品の搬送に関する搬送情報を記憶し、前記搬送情報に基づいて、前記搬送元から各前記搬送先への前記物品の搬送の割合をそれぞれ取得する搬送割合取得部と、
前記搬送割合取得部によって取得された前記搬送割合が所定の閾値以上であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部によって前記搬送割合が前記所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における前記搬送先の近傍に配置された前記保管部に前記物品を搬送するように前記搬送装置を制御する制御部と、を備える、搬送システム。 A transport system comprising a transport device that transports the article between a transport source of the article, a transport destination of the article, and a storage unit in which the article is temporarily stored,
Each of the transport destination and the storage unit is provided in plural,
Stores conveyance information related to the conveyance of the article from the conveyance source to the conveyance destination, and acquires a conveyance ratio for respectively acquiring a conveyance ratio of the article from the conveyance source to each of the conveyance destinations based on the conveyance information. And
A determination unit that determines whether or not the conveyance ratio acquired by the conveyance ratio acquisition unit is equal to or greater than a predetermined threshold;
When the determination unit determines that the conveyance ratio is equal to or greater than the predetermined threshold, the conveyance device is controlled to convey the article to the storage unit disposed in the vicinity of the conveyance destination at the conveyance ratio. And a control unit.
前記物品は、前記処理装置によって処理される被処理物を収容する収容体であり、
前記保管部は、各前記処理装置を含むエリア毎に区分けして配置された棚であり、
前記制御部は、前記搬送割合が前記所定の閾値以上であると判定された場合、当該搬送割合における前記処理装置を含む前記エリアに配置され且つ前記収容体が収容されていない前記棚の中から、当該処理装置に対しての搬送時間が最短である前記棚に前記収容体を搬送するように前記搬送装置を制御する、請求項1記載の搬送システム。 The transport destination is a processing apparatus having a port where the article is loaded and unloaded,
The article is a container that accommodates an object to be processed by the processing device,
The storage unit is a shelf arranged separately for each area including the processing devices,
When it is determined that the transport ratio is equal to or greater than the predetermined threshold, the control unit is arranged in the area including the processing device at the transport ratio and from the shelf in which the container is not stored. The transfer system according to claim 1, wherein the transfer device is controlled so as to transfer the container to the shelf having the shortest transfer time for the processing device.
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