JP6401438B2 - 欠陥検査装置及び光学表示デバイスの生産システム - Google Patents

Description

本発明は、欠陥検査装置及び光学表示デバイスの生産システムに関する。

従来、液晶ディスプレイなどの光学表示デバイスを生産する生産システムとして、特許文献１に記載の生産システムが知られている。光学表示デバイスは、液晶パネルなどの光学表示部品に偏光板などの光学部材を貼合してなるものである。光学表示部品と光学部材を貼合する貼合装置の上流側には、光学部材の欠陥検査を行う欠陥検査装置が設けられている。

ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置として、光学部材の一方面側に配置された照明装置と、光学部材の他方面側に配置された撮像装置と、を備えたものが知られている。照明装置としては、光源と、光源からの光を伝送する光ファイバーケーブルと、光ファイバーケーブルによって伝送された光源からの光を導光して光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を備えたものがある。

特許第４３０７５１０号公報

ところで、光学部材の高速検査を実現する上では、光学部材を高速搬送することが重要である。しかし、光学部材を高速搬送すると、撮像装置に入射する光の光量が低下してしまい、欠陥の検出感度が低下してしまう。そのため、多くの光を照射することができる照明装置が要求されている。
このような要求に対応するための手段としては、既存の照明装置に替えて、より多くの光を射出可能な照明装置（例えば高出力レーザー光源を有するもの）を用いることが考えられる。しかし、照明装置を単に高出力のものに交換したのでは、照明装置の分光分布特性が、既存の特性に対して大きくずれてしまう。そうすると、撮像装置の分光感度特性に対して照明装置の分光分布特性が大きくずれてしまう。その結果、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことが困難となるという課題があった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、光学部材を高速搬送しても検出感度が低下することを抑制することが可能な欠陥検査装置、光学表示デバイスの生産システムを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
（１）すなわち、本発明の第一の態様に係る欠陥検査装置は、ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、前記光学部材の一方側に配置された照明装置と、前記光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、前記照明装置は、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、前記複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された前記光源からの光を１本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、前記複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された前記複数の光源からの光を導光して前記光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、前記撮像装置は、前記導光部材から射出されて前記光学部材を透過した光の画像を撮像し、前記導光部材は、前記光学部材の一方側の面と平行に配置され且つ前記光学部材の搬送方向と直交する方向に長手方向を有して延在しており、前記導光部材の長手方向の一方の端部および他方の端部に前記複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルが１つずつ接続され、前記撮像装置は、前記分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有することを特徴とする。

（２）本発明の第一の態様に係る光学表示デバイスの生産システムは、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、前記光学部材を搬送するための搬送装置と、前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する上記（１）に記載の欠陥検査装置と、を含むことを特徴とする。

本発明によれば、光学部材の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、光学部材を高速搬送しても検出感度が低下することを抑制することが可能な欠陥検査装置、光学表示デバイスの生産システムを提供することができる。

本発明の一実施形態のフィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。 フィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。 液晶パネルの平面図である。 偏光フィルムシートの断面図である。 本発明の一実施形態の欠陥検査装置を示す側面図である。 欠陥検査装置の平面図である。 二分岐光ファイバーケーブルの模式図である。 光源の分光分布特性と撮像装置の分光感度特性との関係を説明するための図である。 検査対象を説明するための図である。 検査対象の検査領域を説明するための図である。 座標と光量濃度値との関係を示す図である。 比較例１及び２についてＸ画素数、Ｙ画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値を比較した図である。 検査対象を説明するための図である。 比較例及び実施例について各サンプルにおけるＸ画素数を比較した図である。 比較例及び実施例について各サンプルにおけるＹ画素数を比較した図である。 比較例及び実施例について各サンプルにおける最大濃度値を比較した図である。 比較例及び実施例について各サンプルにおける欠陥画素数を比較した図である。 比較例及び実施例についてＸ画素数、Ｙ画素数、最大濃度値、欠陥画素数を比較した図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。

尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、光学表示部品である液晶パネルの搬送方向をＸ方向としており、液晶パネルの面内においてＸ方向に直交する方向（液晶パネルの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。

以下、本発明の一実施形態の光学表示デバイスの生産システムとして、その一部を構成するフィルム貼合システムについて説明する。
図１及び図２は、本実施形態のフィルム貼合システム１の装置構成を示す側面図である。
フィルム貼合システム１は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合するものである。

なお、本実施形態では、光学表示部品として液晶パネルＰを例示し、光学部材貼合体として、液晶パネルＰの表裏両面に貼合シートＦ５を貼合してなる両面貼合パネルを例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１及び図２に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は液晶パネルＰの製造ラインの一工程として設けられている。フィルム貼合システム１の各部は、電子制御装置としての制御部２により統括制御される。

本実施形態のフィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの搬送方向に対して、液晶パネルＰの姿勢を途中で９０°反転する。フィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの表裏面に、互いに偏光軸を直交する方向に向けた偏光フィルムＦ１を貼り合わせる。

図３は、液晶パネルＰをその液晶層Ｐ３の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルＰは、平面視で長方形状をなす第１基板Ｐ１と、第１基板Ｐ１に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第２基板Ｐ２と、第１基板Ｐ１と第２基板Ｐ２との間に封入された液晶層Ｐ３とを備える。液晶パネルＰは、平面視で第１基板Ｐ１の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層Ｐ３の外周の内側に収まる領域を表示領域Ｐ４とする。

図４は、液晶パネルＰに貼合する光学部材Ｆ１を含む光学シートＦの断面図である。尚、図４においては、便宜上、断面図の各層のハッチングを省略している。
図４に示すように、光学シートＦは、フィルム状の光学部材Ｆ１と、光学部材Ｆ１の一方の面（図では上面）に設けられた粘着層Ｆ２と、粘着層Ｆ２を介して光学部材Ｆ１の一方の面に分離可能に積層されたセパレータＦ３と、光学部材Ｆ１の他方の面（図では下面）に積層された表面保護フィルムＦ４とを有する。光学部材Ｆ１は偏光板として機能し、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。

光学部材Ｆ１は、その一方の面に粘着層Ｆ２を残しつつセパレータＦ３を分離した状態で、液晶パネルＰに粘着層Ｆ２を介して貼合される。以下、光学シートＦからセパレータＦ３を除いた部分を貼合シートＦ５という。

セパレータＦ３は、粘着層Ｆ２から分離されるまでの間に粘着層Ｆ２及び光学部材Ｆ１を保護する。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１とともに液晶パネルＰに貼合される。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１に対して液晶パネルＰと反対側に配置されて光学部材Ｆ１を保護すると共に、所定のタイミングで光学部材Ｆ１から分離される。尚、光学シートＦが表面保護フィルムＦ４を含まない構成であったり、表面保護フィルムＦ４が光学部材Ｆ１から分離されない構成であったりしてもよい。

光学部材Ｆ１は、シート状の偏光子Ｆ６と、偏光子Ｆ６の一方の面に接着剤等で接合される第１フィルムＦ７と、偏光子Ｆ６の他方の面に接着剤等で接合される第２フィルムＦ８とを有する。第１フィルムＦ７及び第２フィルムＦ８は、例えば偏光子Ｆ６を保護する保護フィルムである。

尚、光学部材Ｆ１は、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。前記光学層は、偏光子Ｆ６の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等でもよい。第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材Ｆ１は、第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第１フィルムＦ７を省略した場合、セパレータＦ３を光学部材Ｆ１の一方の面に粘着層Ｆ２を介して貼り合わせてもよい。

次に、本実施形態のフィルム貼合システム１について、詳しく説明する。
図１及び図２に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は、図中右側の液晶パネルＰの搬送方向上流側（＋Ｘ方向側）から図中左側の液晶パネルＰの搬送方向下流側（−Ｘ方向側）に至り、液晶パネルＰを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア３を備えている。

ローラコンベア３は、反転装置（図示略）を境に、上流側コンベアと下流側コンベアとに分かれる。上流側コンベアでは、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の長辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。一方、下流側コンベアでは、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の短辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。この液晶パネルＰの表裏面に対して、帯状の光学シートＦから所定長さに切り出した貼合シートＦ５が貼合される。

本実施形態のフィルム貼合システム１は、第１供給装置７、第１貼合装置１１、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置、検査装置、制御部２を備えている。尚、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置及び検査装置については、便宜上、その図示を省略する。

図１では、フィルム貼合システム１の装置構成として、第１供給装置及び第２供給装置のうち第１供給装置７を挙げて説明する。第２供給装置は、第１供給装置７と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。

図１に示すように、第１供給装置７は、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールＲ１から光学シートＦを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第１供給装置７は、第１搬送装置８、検査前剥離装置１８、第１欠陥検査装置９、検査後貼合装置１９、第１切断装置１０を備えている。

第１搬送装置８は、光学シートＦをその長手方向に沿って搬送する搬送機構である。第１搬送装置８は、ロール保持部８ａと、ニップローラ８ｂと、ガイドローラ８ｃと、アキュムレータ８ｄと、巻き取り部８ｅ（図２参照）と、を有する。

ロール保持部８ａは、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールＲ１を保持すると共に光学シートＦをその長手方向に沿って繰り出す。

ニップローラ８ｂは、原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦを所定の搬送経路に沿って案内するべく光学シートＦを挟みこむ。

ガイドローラ８ｃは、搬送中の光学シートＦの進行方向を搬送経路に沿って変化させる。複数のガイドローラ８ｃのうち少なくとも一つは、テンションローラとして機能する。つまり、搬送中の光学シートＦのテンションを調整するべく可動する。

アキュムレータ８ｄは、光学シートＦが第１切断装置１０で切断される間に、ロール保持部８ａから搬送される光学シートＦの繰り出し量を吸収する。

第１搬送装置８の始点に位置するロール保持部８ａと第１搬送装置８の終点に位置する巻き取り部８ｅ（図２参照）とは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部８ａが光学シートＦをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部８ｅが第１貼合装置１１を経たセパレータＦ３を巻き取る。以下、第１搬送装置８における光学シートＦ（セパレータＦ３）の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。

検査前剥離装置１８は、シート搬送上流側から搬送されてきた光学シートＦから第１セパレータＨ１（セパレータＦ３に相当）を剥離し、ロールに巻き取る構成である。検査前剥離装置１８は、ナイフエッジ１８ａと、巻き取り部１８ｂと、を有する。

ナイフエッジ１８ａは、光学シートＦの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ１８ａは、原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦの第１セパレータＨ１側に摺接するようにこれを巻きかける。ナイフエッジ１８ａは、その先端部に光学シートＦを鋭角に巻きかける。ナイフエッジ１８ａは、その先端部で光学シートＦを鋭角に折り返す際、第１セパレータＨ１から貼合シートＦ５を分離させる。ナイフエッジ１８ａは、この貼合シートＦ５を第１欠陥検査装置９に供給する。

巻き取り部１８ｂは、ナイフエッジ１８ａを経て単独となった第１セパレータＨ１を巻き取り、第１セパレータロールＲ２として保持する。

第１欠陥検査装置９は、第１セパレータＨ１の剥離後の光学シートＦ、すなわち貼合シートＦ５の欠陥検査を行う。第１欠陥検査装置９は、ＣＣＤカメラで撮像された画像データを解析して欠陥の有無を検査し、欠陥がある場合には、その位置座標を算出する。この欠陥の位置座標は、第１切断装置１０によるスキップカットに提供される。尚、第１欠陥検査装置９の詳細については後述する。

検査後貼合装置１９は、欠陥検査後の貼合シートＦ５に、第２セパレータＨ２（セパレータＦ３に相当）を、粘着層Ｆ２を介して貼り合わせる。検査後貼合装置１９は、ロール保持部１９ａと、挟圧ロール１９ｂと、を有する。

ロール保持部１９ａは、帯状の第２セパレータＨ２を巻回した第２セパレータロールＲ３を保持すると共に第２セパレータＨ２をその長手方向に沿って繰り出す。

挟圧ロール１９ｂは、第２セパレータロールＲ３から巻き出した第２セパレータＨ２をシート搬送上流側から搬送される欠陥検査後の貼合シートＦ５の下面（粘着層Ｆ２側の面）に貼合する。挟圧ロール１９ｂは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する（上の貼合ローラは上下する）。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が検査後貼合装置１９の貼合位置となる。前記間隙内には、貼合シートＦ５及び第２セパレータＨ２が重なり合って導入される。これら貼合シートＦ５及び貼合シートＦ５が、挟圧ロール１９ｂに挟圧されつつシート搬送下流側に送り出される。これにより、欠陥検査後の貼合シートＦ５の下面に第２セパレータＨ２が貼合され、光学シートＦが形成される。

第１切断装置１０は、光学シートＦが所定長さ繰り出された際、光学シートＦの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートＦの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。

第１切断装置１０は、光学シートＦの搬送中に働くテンションによって光学シートＦ（セパレータＦ３）が破断しないように（所定の厚さがセパレータＦ３に残るように）、切断刃の進退位置を調整し、粘着層Ｆ２とセパレータＦ３との界面の近傍までハーフカットを施す。尚、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。

ハーフカット後の光学シートＦには、その厚さ方向で光学部材Ｆ１及び表面保護フィルムＦ４が切断されることにより、光学シートＦの幅方向の全幅にわたる切込線が形成される。切込線は、帯状の光学シートＦの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルＰを搬送する貼合工程の場合、複数の切り込み線は光学シートＦの長手方向で等間隔に形成される。光学シートＦは、前記複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートＦにおける長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートＦ５における一つのシート片とされる。

第１切断装置１０は、第１欠陥検査装置９で算出された欠陥の位置座標に基づいて、欠陥部分を避けるように所定サイズに切断する（スキップカット）。欠陥部分を含む切断品は、不良品として後工程で排除される。尚、第１切断装置１０は、欠陥部分を無視して、光学シートＦを連続的に所定サイズに切断してもよい。この場合、貼合シートＦ５と液晶パネルＰとの貼合工程において、欠陥部分を含む切断品を液晶パネルＰに貼り合わせずに除去することができる。

図２では、フィルム貼合システム１の装置構成として、第１貼合装置及び第２貼合装置のうち第１貼合装置１１を挙げて説明する。第２貼合装置は、第１貼合装置１１と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。

図２に示すように、第１貼合装置１１は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５の貼合を行う。第１貼合装置１１は、ナイフエッジ１１ａと、挟圧ロール１１ｂと、を有する。

ナイフエッジ１１ａは、ハーフカットを施した光学シートＦを鋭角に巻きかけてセパレータＦ３から貼合シートＦ５を分離させつつこの貼合シートＦ５を貼合位置に供給する。

挟圧ロール１１ｂは、ナイフエッジ１１ａが光学シートＦから分離させた所定長さの貼合シートＦ５を上流側コンベアにより搬送される液晶パネルＰの上面に貼合する。挟圧ロール１１ｂは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１貼合装置１１の貼合位置となる。前記間隙内には、液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が重なり合って導入される。これら液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が、挟圧ロール１１ｂに挟圧されつつ上流側コンベアのパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルＰの上面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを片面貼合パネルＰ１１という。

巻き取り部８ｅは、ナイフエッジ１１ａを経て単独となった第２セパレータＨ２を巻き取り、第２セパレータロールＲ４として保持する。

反転装置（図示略）は、第１貼合装置１１よりもパネル搬送下流側に設けられて上流側コンベアの終着位置に達した液晶パネルＰを下流側コンベアの始発位置まで搬送する。

反転装置は、第１貼合装置１１を経て上流側コンベアの終着位置に達した片面貼合パネルＰ１１を吸着や挟持等により保持する。反転装置は、片面貼合パネルＰ１１の表裏を反転させる。反転装置は、例えば前記表示領域Ｐ４の長辺と平行に搬送されていた片面貼合パネルＰ１１を表示領域Ｐ４の短辺と平行に搬送されるように方向転換させる。

前記反転は、液晶パネルＰの表裏面に貼合する各光学部材Ｆ１が偏光軸方向を互いに直角に配置するような場合になされる。

尚、単に液晶パネルＰの表裏を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。この場合、第１供給装置７のシート搬送方向と第２供給装置のシート搬送方向とを平面視で互いに直角にして配置すれば、液晶パネルＰの表裏面に互いに偏光軸方向を直角にした光学部材Ｆ１を貼合できる。

第２供給装置は、第１供給装置７と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。第２供給装置は、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールから光学シートＦを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第２供給装置は、図示はしないが、第２搬送装置、検査前剥離装置、第２欠陥検査装置、検査後貼合装置、第２切断装置を備えている。

第２貼合装置は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５の貼合を行う。第２貼合装置は、第１貼合装置１１と同様のナイフエッジと、挟圧ロールと、を有する。

挟圧ロールの一対の貼合ローラ間の間隙内（第２貼合装置の貼合位置）には、片面貼合パネルＰ１１及び貼合シートＦ５が重なり合った状態で導入され、片面貼合パネルＰ１１の上面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを両面貼合パネル（光学部材貼合体）という。

検査装置は、第２貼合装置よりもパネル搬送下流側に設けられている。検査装置は、両面貼合パネルの欠陥（貼合不良等）の有無を検査する。検査対象となる欠陥としては、液晶パネルと貼合シートとを貼合する際の異物や気泡のかみ込み、貼合シートの表面の傷、液晶パネルに内在する配向不良などの欠陥などが挙げられる。

尚、本実施形態においてフィルム貼合システム１の各部を統括制御する電子制御装置としての制御部２は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、ＣＰＵ等の演算処理部と、メモリやハードディスク等の記憶部とを備える。本実施形態の制御部２は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御部２には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御部２は、フィルム貼合システム１の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。

制御部２の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム（ＯＳ）がインストールされている。制御部２の記憶部には、演算処理部にフィルム貼合システム１の各部を制御させることによって、フィルム貼合システム１の各部に光学シートＦを精度よく搬送させるための処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御部２の演算処理部が読み取り可能である。制御部２は、フィルム貼合システム１の各部の制御に要する各種処理を実行するＡＳＩＣ等の論理回路を含んでいてもよい。

記憶部は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念である。記憶部は、機能的には、第１供給装置７、第１貼合装置１１、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置、検査装置の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、その他各種の記憶領域が設定される。

（欠陥検査装置）
次に、本実施形態の欠陥検査装置について詳細に説明する。

図５は、本実施形態の欠陥検査装置を示す側面図である。図２では、欠陥検査装置として、第１欠陥検査装置９、第２欠陥検査装置１４のうち第１欠陥検査装置９を挙げて説明する。第２欠陥検査装置１４は、第１欠陥検査装置９と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。図５において、符号Ｓｆ１は貼合シートＦ５の下面（光学部材の一方側の面）であり、粘着層Ｆ２側の面である。符号Ｓｆ２は貼合シートＦ５の上面（光学部材の他方側の面）であり、表面保護フィルムＦ４側の面である。

図５に示すように、本実施形態の第１欠陥検査装置９は、貼合シートＦ５の下面Ｓｆ１の側に配置された照明装置２０と、貼合シートＦ５の上面Ｓｆ２の側に配置された撮像装置２４と、備えている。

照明装置２０は、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源（例えば本実施形態では、第１光源２１ａ、第２光源２１ｂ、第３光源２１ｃ及び第４光源２１ｄ）と、２本の複数分岐光ファイバーケーブル（例えば本実施形態では、第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａ及び第２の二分岐光ファイバーケーブル２２ｂ）と、導光部材２３と、を備えている。以下の説明においては、第１光源２１ａ、第２光源２１ｂ、第３光源２１ｃ及び第４光源２１ｄを総称して「光源２１」と称することがある。第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａ及び第２の二分岐光ファイバーケーブル２２ｂを総称して「二分岐光ファイバーケーブル２２」と称することがある。

尚、本実施形態では、複数の光源として４つの光源を例示して説明するが、これに限らず、５つ以上の複数の光源を用いてもよい。また、複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルを例示して説明するが、これに限らず、三分岐以上の複数分岐光ファイバーケーブルを用いてもよい。

各光源２１は、各二分岐光ファイバーケーブル２２の分岐部に接続されている。例えば、光源２１としては、メタルハライドランプを用いることができる。例えば、１つの光源２１の出力は１８０Ｗである。尚、１つの光源の出力はこれに限らず、必要に応じて適宜設定可能である。

撮像装置２４は、複数のカメラ（例えば本実施形態では、第１カメラ２４ａ、第２カメラ２４ｂ、第３カメラ２４ｃ、第４カメラ２４ｄ、第５カメラ２４ｅ、第６カメラ２４ｆ、第７カメラ２４ｇ、第８カメラ２４ｈ及び第９カメラ２４ｉ）を備えている。以下の説明においては、第１カメラ２４ａ、第２カメラ２４ｂ、第３カメラ２４ｃ、第４カメラ２４ｄ、第５カメラ２４ｅ、第６カメラ２４ｆ、第７カメラ２４ｇ、第８カメラ２４ｈ及び第９カメラ２４ｉを総称して「カメラ２４ｘ」と称することがある。

尚、本実施形態では、複数のカメラとして９つのカメラを例示して説明するが、これに限らず、８以下又は１０以上の複数のカメラを用いてもよい。

複数のカメラ２４ｘは、Ｙ方向に沿ってライン状に配置されている。カメラ２４ｘの受光面は、貼合シートＦ５を挟んで、照明装置２０の光射出面２０ａ（導光部材２３の貼合シートＦ５側の面）と対向している。カメラ２４ｘは、導光部材２３から射出され貼合シートＦ５を真っ直ぐ透過した光の透過光像を撮像する。

図６は、第１欠陥検査装置９の平面図である。図６では、便宜上、貼合シートＦ５を図示している。

図６に示すように、導光部材２３は、長方形であり、Ｙ方向に沿って長手を有している。導光部材２３は、貼合シートＦ５の下面Ｓｆ１と平行に配置され、且つ、貼合シートＦ５の搬送方向と直交する幅方向に長手方向を有して延在している。導光部材２３は、貼合シートＦ５に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、導光部材２３としては、石英ロッドを用いることができる。

本実施形態では、導光部材２３の長手方向の一方の端部（−Ｙ方向側の端部）に第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａが接続されており、導光部材２３の長手方向の他方の端部（＋Ｙ方向側の端部）に第２の二分岐光ファイバーケーブル２２ｂが接続されている。

尚、本実施形態では、導光部材２３の長手方向の一方の端部及び他方の端部に二分岐光ファイバーケーブル２２が１つずつ接続されているが、これに限らない。例えば、導光部材２３の長手方向の一方の端部のみに二分岐光ファイバーケーブル２２が１つ接続されていてもよい。但し、導光部材２３に対してより多くの光を伝送する観点からは、導光部材２３の長手方向の一方の端部及び他方の端部の両端部に二分岐光ファイバーケーブル２２が１つずつ接続されていることが好ましい。

撮像装置２４も、導光部材２３と同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。例えば、撮像装置２４としては、ラインカメラを用いることができる。撮像装置２４は、＋Ｙ方向側から、第１カメラ２４ａ、第２カメラ２４ｂ、第３カメラ２４ｃ、第４カメラ２４ｄ、第５カメラ２４ｅ、第６カメラ２４ｆ、第７カメラ２４ｇ、第８カメラ２４ｈ及び第９カメラ２４ｉがこの順に配置されて構成されている。カメラ２４ｘは、平面視において導光部材２３と重なる位置に配置されている。各カメラ２４ｘは、Ｙ方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。

図７は、二分岐光ファイバーケーブル２２の模式図である。図７では、二分岐光ファイバーケーブル２２として、第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａ、第２の二分岐光ファイバーケーブル２２ｂのうち第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａを挙げて説明する。第２の二分岐光ファイバーケーブル２２ｂは、第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａと同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。

図７に示すように、第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａは、２つの光源２１の各々に対応した分岐部２２Ｄ（第１分岐部２２Ｄ１及び第２分岐部２２Ｄ２）と、分岐部２２Ｄの基端に一端が接続された本体部２２Ｍと、を有する。第１分岐部２２Ｄ１の先端部には、第１光源２１ａ（図５参照）が接続される。第２分岐部２２Ｄ２の先端部には、第２光源２１ｂ（図５参照）接続される。本体部２２Ｍの他端部には、導光部材２３（図５参照）の一方の端部が接続される。

第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａは、第１分岐部２２Ｄ１に接続された第１光源２１ａ（図５参照）からの光と第２分岐部２２Ｄ２に接続された第２光源２１ｂ（図５参照）からの光とを本体部２２Ｍにおいて一本にまとめて伝送する。第１の二分岐光ファイバーケーブル２２ａによって伝送された第１光源２１ａ及び第２光源２１ｂからの光は、導光部材２３によって導光されて、貼合シートＦ５の下面Ｓｆ１に向けて射出される（図５参照）。

図６に戻り、本実施形態では、２つの二分岐光ファイバーケーブル２２を用い、各二分岐光ファイバーケーブル２２に２つの光源２１が設けられているため、導光部材２３に対しては合計４つの光源２１から射出された光が集約される。

このような構成により、第１欠陥検査装置９は、貼合シートＦ５に対して、下面Ｓｆ１側から光を当て、貼合シートＦ５を透過した光を撮像装置２４で撮像し、この撮像データに基づいて貼合シートＦ５の欠陥の有無を検査する。

図８は、光源２１の分光分布特性と撮像装置２４の分光感度特性との関係を説明するための図である。
分光分布特性の測定装置は、ウシオ電機株式会社製の光源装置「ＬＡ−１８０Ｍｅ」、型式「スペクトロラディオメータ ＵＳＲ−３０Ｄ」を用いる。分光分布特性の測定方法は、光源装置内ランプの最大定格負荷の時、ライトガイドＬＧＢ１−８Ｌ５００を使用し、投光端より１００ｍｍの位置で測定する。

図８（ａ）は光源２１の分光分布特性を示す図である。図８（ａ）は、複数の光源２１の分光分布特性の平均特性を示している。図８（ａ）において、横軸は波長[ｎｍ]、縦軸は相対光出力[％]である。

図８（ａ）に示すように、光源２１は、波長５４５ｎｍにおいて、分光分布特性の相対光出力が最大（相対光出力が１００％）となるピーク波長を有する。

本実施形態では、複数の光源２１は互いに等しい分光分布特性を有する。尚、各光源２１における分光分布特性は、互いに完全に一致していることに限らず、概ね一致していてもよい。

ここで、「概ね一致している」とは、各光源２１の分光分布特性の間で大きなずれが生じない範囲で、各光源２１の分光分布特性が若干異なっていてもよいことを意味する。例えば、第１光源における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を第１のピーク波長Ｖ１とし、第２光源における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を第２のピーク波長Ｖ２としたとき、第１のピーク波長Ｖ１と第２のピーク波長Ｖ２との比Ｖ１／Ｖ２が０．９９以上１．０１以下の範囲であれば、第１のピーク波長Ｖ１と第２のピーク波長Ｖ２とは概ね一致しているといえる。このような範囲であれば、第１光源の分光分布特性と第２光源の分光分布特性との間のずれを十分に抑制することができる。

図８（ｂ）は撮像装置２４の分光感度特性を示す図である。図８（ｂ）は、撮像装置２４を構成する複数のカメラ２４ｘの分光感度特性の平均特性を示している。また、撮像装置２４への供給電源電圧を１２Ｖ、測定周辺環境温度を２５℃としたときの代表的特性を示している。図８（ｂ）において、横軸は波長[ｎｍ]、縦軸は相対分光感度である。

図８（ｂ）に示すように、撮像装置２４は、波長５４５ｎｍにおいて、分光感度特性の相対分光感度が最大となるピーク波長を有する。

図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、撮像装置２４は、光源２１の分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長（５４５ｎｍ）において分光感度が最大（相対分光感度が１．０）となる分光感度特性を有する。尚、撮像装置２４における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源２１における分光分布特性の相対光出力のピーク波長とは、完全に一致していることに限らず、概ね一致していてもよい。

ここで、「概ね一致している」とは、撮像装置２４における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源２１における分光分布特性の相対光出力のピーク波長との間で大きなずれが生じない範囲で、撮像装置２４における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源２１における分光分布特性の相対光出力のピーク波長とが若干異なっていてもよいことを意味する。例えば、撮像装置２４における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長を分光感度ピーク波長Ｖｐとし、光源２１における分光分布特性の相対光出力のピーク波長を分光分布ピーク波長Ｖｑとしたとき、分光感度ピーク波長Ｖｐと分光分布ピーク波長Ｖｑとの比Ｖｐ／Ｖｑが０．９以上１．１以下の範囲であれば、分光感度ピーク波長Ｖｐと分光分布ピーク波長Ｖｑとは概ね一致しているといえる。このような範囲であれば、撮像装置２４における分光感度特性の相対分布感度のピーク波長と光源２１における分光分布特性の相対光出力のピーク波長との間のずれを十分に抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の第１欠陥検査装置９によれば、互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源２１から射出された光が二分岐光ファイバーケーブル２２によって集約されて導光部材２３に伝送され、導光部材２３からは集約された光が貼合シートＦ５の下面Ｓｆ１に向けて射出される。よって、光源２１の分光分布特性を維持しつつ貼合シートＦ５に多くの光を照射することができる。従って、本実施形態によれば、貼合シートＦ５の欠陥検査を精度良く行うことができ、且つ、貼合シートＦ５を高速搬送しても、検出感度が低下することを抑制することができる。

また、導光部材２３の長手方向の一方の端部及び他方の端部に二分岐光ファイバーケーブル２２が１つずつ接続されているため、導光部材２３の長手方向の一方の端部のみに二分岐光ファイバーケーブル２２が１つ接続されている場合に比べて、より多くの光が導光部材２３に伝送され、導光部材２３からはより多くの光が貼合シートＦ５の下面Ｓｆ１に向けて射出される。よって、貼合シートＦ５の欠陥検査をより精度良く行うことができ、且つ、貼合シートＦ５を高速搬送しても、検出感度が低下することを確実に抑制することができる。

仮に、撮像装置の分光感度特性に対して照明装置の分光分布特性が大きくずれると、貼合シートの欠陥検査を精度良く行うことが困難となる。これに対し、本実施形態によれば、撮像装置２４が、分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有するため、貼合シートＦ５の欠陥検査を精度良く行うことが容易となる。

以上、添付図面を参照しながら本実施形態に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

以下、本発明の実施例を示すが、本発明はこれらによって限定されるものではない。

（検査対象）
図９は、検査対象を説明するための図である。
図９に示すように、検査対象（欠陥検査装置を構成するカメラ２４ｘの検査対象）としては、原反ロールから搬送される貼合シートＦ５に対し、擬似欠陥として小さな傷を付けたものを用いた。貼合シートのグレードは、ＳＲＷ８４２ＥＰ８ＧＲ６−ＦＳ／８２−ＬＳ（Ｆ）（１２５０）とした。貼合シートの全長は、１４２ｍとした。

（比較例の条件）
比較例の条件を表１に示す。

表１の「条件」の欄において、「速度」は、貼合シートＦ５の搬送速度である。「閾値」は、欠陥検出を判定するためのパラメータである。例えば、光量設定値が１３０の場合の閾値＋５０は、１８０となる。「光量」は、カメラが受光する光量濃度値を０〜２５５階調で表した値である。「サイクル数」は、カメラのシャッター速度に相当する。
比較例（比較例１及び２）は、二分岐光ファイバーケーブルを使用していない。

図１０は、検査対象の検査領域を説明するための図である。
図１０においては、貼合シートＦ５の搬送方向をＹ方向とし、貼合シートＦ５の搬送方向と直交する幅方向をＸ方向としている。図１０の上段は、検査対象の検査領域における座標と光量濃度値との関係を示している。座標Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｙ４、Ｙ５、Ｙ６、Ｙ７、Ｙ８及びＹ９は、検査対象のＹ座標をシート搬送上流側（−Ｙ方向側）から示したものである。座標Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５、Ｘ６は検査対象のＸ座標をシート幅方向−Ｘ方向側から示したものである。ここでは、検査対象のシート幅方向の端部については検査していないため、座標Ｘ１、Ｘ２及び座標Ｘ７以降は省略している。図１０の下段は、検査対象のうち欠陥領域を示している。

図１０の上段に示すように、閾値を１７５に設定した場合、欠陥として検出される画素数（以下、検出画素数と称することがある）は、Ｙ方向で３画素、Ｘ方向で２画素、重複画素が１画素の合計４画素となる。

これにより、図１０の下段に示すように、４画素の欠陥画素数を含む領域が欠陥領域として判定される。

図１１は、座標と光量濃度値との関係を示す図である。図１１において、横軸は座標（Ｙ座標又はＸ座標）、縦軸は光量濃度値である。図１１では、光量設定値を１２８とし、閾値を１７５としている。

図１１に示すように、Ｙ方向では、Ｙ３、Ｙ４及びＹ５の３つの座標で閾値を超えている。Ｘ方向では、Ｘ４及びＸ５の２つの座標で閾値を超えている。閾値を超えた部分（Ｙ方向で３画素、Ｘ方向で２画素、重複画素が１画素の合計４画素）が欠陥領域として判定される。

表１に戻り、各比較例について説明する。
（比較例１）
比較例１において、貼合シートＦ５の搬送速度は、１２ｍ／ｍｉｎとした。閾値は、光量設定値に対して＋５０とした。光量は、１２８とした。サイクル数は、２４０００とした。
（比較例２）
比較例２において、貼合シートＦ５の搬送速度は、１６ｍ／ｍｉｎとした。閾値は、光量設定値に対して＋５０とした。光量は、１２８とした。サイクル数は、１８０００とした。すなわち、比較例２は、比較例１に対して、貼合シートＦ５の搬送速度を速くし、サイクル数を変更したものである。

（欠陥の検出感度の評価）
比較例１及び２のそれぞれについて、欠陥の検出感度の評価をした。レビューソフトを用いて、Ｘ画素数、Ｙ画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「ＳＣＡＮＴＥＣ」を用いた。
ここで、「Ｘ画素数」は、Ｘ方向において検出された欠陥の画素数である。「Ｙ画素数」は、Ｙ方向において検出された欠陥の画素数である。「欠陥画素数」は、閾値を超えした欠陥の画素数である。「最大濃度値」は、欠陥領域の中での最大の濃度値である。「濃度積算値」は、一定範囲（同一画素数）内の濃度を合計した値である。

上記評価について、結果を図１２及び表２に示す。図１２は、比較例１及び２についてＸ画素数、Ｙ画素数、欠陥画素数、最大濃度値、濃度積算値の測定結果を示す図である。図１２においては、比較例１を基準としている（比較例１＝１００[％]）。

評価の結果、比較例２では比較例１よりも画素数や濃度値が低下することが確認された。すなわち、単に貼合シートＦ５の搬送速度を速くしただけでは、検出感度が低下することが分かった。

本発明者は、二分岐光ファイバーケーブルを使用することによって検出感度の低下を抑制できることを以下の評価により確認した。

（検査対象）
図１３は、検査対象を説明するための図である。
図１３に示すように、検査対象としては、原反ロールから搬送される貼合シートＦ５を用いた。貼合シートＦ５のグレードは、ＴＲＮ０４１ＡＰＳ１−Ｓ／８２−ＳＳＣ（１２５０）とした。貼合シートＦ５の全長は、１５３ｍとした。貼合シートＦ５の搬送方向は、順方向Ｕ１及び逆方向Ｕ２の双方向とした。

（比較例及び実施例の条件）
比較例及び実施例の条件を表３に示す。

表３において、「速度」は、貼合シートＦ５の搬送速度である。「サイクル数」は、カメラのシャッター速度に相当する。「分解能（Ｘ）」はシート搬送方向Ｆ５と直交するシート幅方向の分解能であり、「分解能（Ｙ）」はシート搬送方向の分解能である。「閾値（黒）」は、黒欠陥（透過光を遮断する欠陥）を判定するためのパラメータである。「閾値（白）」は、白欠陥（光抜け欠陥）を判定するためのパラメータである。「欠陥サイズ（Ｓ）」は、１３０μｍ以上１７０μｍ未満の欠陥サイズを検出することである。「欠陥サイズ（Ｍ）」は、１７０μｍ以上２００μｍ未満の欠陥サイズを検出することである。「欠陥サイズ（Ｌ）」は、２００μｍ以上の欠陥サイズを検出することである。
比較例及び実施例のそれぞれにおいて、クロスニコル透過検査をした。比較例及び実施例のそれぞれにおいて、分解能（Ｘ＊Ｙ）、閾値（黒、白）、欠陥サイズ（Ｓ、Ｍ、Ｌ）及びカメラフィルタ（偏光フィルタ）を同じ条件とした。

（比較例）
比較例において、貼合シートＦ５の搬送速度は、１６ｍ／ｍｉｎとした。サイクル数は、２４０００とした。比較例は、二分岐光ファイバーケーブルを使用していない。
（実施例）
実施例において、貼合シートＦ５の搬送速度は、２０ｍ／ｍｉｎとした。サイクル数は、１４４００とした。二分岐光ファイバーケーブルを使用した。二分岐光ファイバーケーブルは、導光部材の長手方向の一方の端部及び他方の端部に１つずつ接続した。

比較例及び実施例のそれぞれについて、クロスニコル透過検査前のカメラ受光光量の実測値を表４に示す。

表４において、カメラＮｏ．（１）〜（９）は、シート幅方向に沿ってライン状に配置された複数のカメラの各々に対応し、上述した複数のカメラ（第１カメラ２４ａ、第２カメラ２４ｂ、第３カメラ２４ｃ、第４カメラ２４ｄ、第５カメラ２４ｅ、第６カメラ２４ｆ、第７カメラ２４ｇ、第８カメラ２４ｈ及び第９カメラ２４ｉ）に相当する。

表４に示すように、比較例と実施例との間で、クロスニコル透過検査前のカメラ受光光量の実測値に大きな差は確認されなかった。

（欠陥の検出個数の評価）
比較例及び実施例のそれぞれについて、欠陥の検出個数の評価をした。レビューソフトを用いて、黒欠陥個数、黒欠陥率、白欠陥個数、白欠陥率を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「ＳＣＡＮＴＥＣ」を用いた。
ここで、「欠陥個数（Ｓ）」は、欠陥サイズが１３０μｍ以上１７０μｍ未満の欠陥の検出個数である。「欠陥個数（Ｍ）」は、欠陥サイズが１７０μｍ以上２００μｍ未満の欠陥の検出個数である。「欠陥個数（Ｌ）」は、欠陥サイズが２００μｍ以上の欠陥の検出個数である。

上記評価について、結果を表５に示す。表５の上段はシート搬送順方向（図１３に示す順方向Ｕ１）の結果であり、表５の下段はシート搬送逆方向（図１３に示す逆方向Ｕ２）の結果である。

評価の結果、比較例と実施例との間では、シート搬送方向順方向Ｕ１、逆方向Ｕ２の各々において、欠陥の検出個数に大きな差は確認されなかった。これにより、二分岐光ファイバーケーブルを使用することにより、貼合シートの搬送速度を速くしても、検出感度の低下を抑制できることが分かった。

（欠陥の検出感度の評価）
比較例及び実施例のそれぞれについて、欠陥の検出感度の評価をした。レビューソフトを用いて、Ｘ欠陥サイズ、Ｘ画素数、Ｙ欠陥サイズ、Ｙ画素数、最大濃度値、最小濃度値、欠陥画素数を測定した。レビューソフトは、長瀬産業株式会社製の「ＳＣＡＮＴＥＣ」を用いた。
また、Ｘ画素数、Ｙ画素数、最大濃度値、欠陥画素数については、比較例の結果Ｄ１に対する実施例の結果Ｄ２の変化率（（Ｄ２／Ｄ１）×１００）[％]を求めた。
ここで、「Ｘ欠陥サイズ」は、Ｘ方向において検出された欠陥のサイズである。「Ｘ画素数」は、Ｘ方向において検出された欠陥の画素数である。「Ｙ欠陥サイズ」は、Ｙ方向において検出された欠陥のサイズである。「Ｙ画素数」は。Ｙ方向において検出された欠陥の画素数である。「最大濃度値」は、欠陥領域の中での最大の濃度値である。「最小濃度値」は、欠陥領域の中での最小の濃度値である。「欠陥画素数」は、閾値を超えした欠陥の画素数である。

評価対象としては、サンプルＡ〜Ｇを用いた。サンプルＡ〜Ｇは、疑似欠陥として主にフィルム表面に付けたキズである。

上記評価について、結果を図１４〜図１８及び表６に示す。
図１４は、比較例及び実施例について各サンプルにおけるＸ画素数を比較した図である。
図１５は、比較例及び実施例について各サンプルにおけるＹ画素数を比較した図である。
図１６は、比較例及び実施例について各サンプルにおける最大濃度値を比較した図である。
図１７は、比較例及び実施例について各サンプルにおける欠陥画素数を比較した図である。
図１８は、比較例及び実施例についてＸ画素数、Ｙ画素数、最大濃度値、欠陥画素数を比較した図である。
図１４〜図１７において、横軸はサンプルの種類である。図１４、図１５及び図１７において、縦軸は画素数である。図１６において、縦軸は濃度値である。図１８においては、比較例を基準としている（比較例＝１００[％]）。

評価の結果、比較例と実施例との間では、Ｘ画素数、Ｙ画素数、最大濃度値、欠陥画素数のそれぞれにおいて大きな差は確認されなかった。これにより、二分岐光ファイバーケーブルを使用することにより、貼合シートの搬送速度を速くしても、検出感度の低下を抑制できることが分かった。

１…フィルム貼合システム（光学表示デバイスの生産システム）、８…第１搬送装置（搬送装置）、９…第１欠陥検査装置（欠陥検査装置）、１１…第１貼合装置（貼合装置）、２０…照明装置、２１…光源、２２…二分岐光ファイバーケーブル（複数分岐光ファイバーケーブル）、２３…導光部材、２４…撮像装置、Ｐ…液晶パネル（光学表示部品）、Ｆ１…光学部材、Ｓｆ１…下面（光学部材の一方側の面）、Ｓｆ２…上面（光学部材の他方側の面）

Claims (2)

1. ライン上を搬送される光学部材の欠陥検査装置であって、
   前記光学部材の一方側に配置された照明装置と、
   前記光学部材の他方側に配置された撮像装置と、を含み、
   前記照明装置は、
   互いに等しい分光分布特性を有する複数の光源と、
   前記複数の光源の各々に対応した分岐部を有し、各分岐部に接続された前記光源からの光を１本にまとめて伝送する複数分岐光ファイバーケーブルと、
   前記複数分岐光ファイバーケーブルによって伝送された前記複数の光源からの光を導光して前記光学部材の一方側の面に向けて射出する導光部材と、を含み、
   前記撮像装置は、前記導光部材から射出されて前記光学部材を透過した光の画像を撮像し、
   前記導光部材は、前記光学部材の一方側の面と平行に配置され且つ前記光学部材の搬送方向と直交する方向に長手方向を有して延在しており、
   前記導光部材の長手方向の一方の端部および他方の端部に前記複数分岐光ファイバーケーブルとして二分岐光ファイバーケーブルが１つずつ接続され、
   前記撮像装置は、前記分光分布特性の相対光出力が最大となるピーク波長と一致する波長において分光感度が最大となる分光感度特性を有する欠陥検査装置。
2. 光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、
   前記光学部材を搬送するための搬送装置と、
   前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、
   前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する請求項１に記載の欠陥検査装置と、
   を含む光学表示デバイスの生産システム。

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