JP6397213B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
2 搬送部
10 X線検出器
51 X線ラインセンサ
71 フォトダイオード
72 フォトダイオードアレイ
73 基板
74 基板支持部材
74a 基板支持部
74b 基板支持部材側結合部
74c 基板支持部材側基板挟持部
75 シンチレータ
76 シンチレータ支持部材
76a シンチレータ支持部
76b シンチレータ支持部材側結合部
76c シンチレータ支持部材側基板挟持部
77 接着剤
78 スペーサー
79 第1ボルト
80 第2ボルト
81 第1ボルト挿入孔
82 第2ボルト挿入孔
W 被検査物
Claims (5)
- X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線ラインセンサ(51)と、
前記X線発生器のX線発生中に被検査物(W)を搬送方向に搬送して前記X線発生器と前記X線ラインセンサとの間を通過させる搬送部(2)と、を備えるX線検査装置において、
前記X線ラインセンサは、
複数のフォトダイオード(71)が直線状に並べられてなるフォトダイオードアレイ(72)と、
前記フォトダイオードアレイが上面に実装される基板(73)と、
前記基板を下方から支持する基板支持部(74a)を有する基板支持部材(74)と、
前記フォトダイオードアレイの上方に配置され、X線を光に変換するシンチレータ(75)と、
X線を透過する材料からなり前記シンチレータを上方から支持するシンチレータ支持部(76a)を有するシンチレータ支持部材(76)と、を備え、
前記基板支持部材は前記シンチレータ支持部材と結合する基板支持部材側結合部(74b)および前記基板を挟持する基板側基板挟持部(74c)を有するとともに、前記シンチレータ支持部材は前記基板支持部材と結合するシンチレータ支持部材側結合部(76b)および前記基板を挟持するシンチレータ支持部材側基板挟持部(76c)を有し、
前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合し、前記基板側基板挟持部と前記シンチレータ支持部材側基板挟持部とを結合して、前記基板を挟持することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に接着剤を設けることなく、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイおよび前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とするX線検査装置。 - 前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部との同一部位に、第1ボルト(79)が挿入される第1ボルト挿入孔(81)がそれぞれ前記フォトダイオードアレイの幅方向に並んで複数形成され、
前記基板支持部材側基板挟持部、前記シンチレータ支持部材側基板挟持部および前記基板の同一部位に、第2ボルト(80)が挿入される第2ボルト挿入孔(82)がそれぞれ形成され、
前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部は、前記第1ボルトの締結により結合され、前記基板側基板挟持部と前記シンチレータ支持部材側基板挟持部は、前記第2ボルトの締結により、前記基板を共締めした状態で結合されることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記シンチレータ支持部は、透明または黒色のPEEK樹脂またはPET樹脂からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線ラインセンサ(51)と、
前記X線発生器のX線発生中に被検査物(W)を搬送方向に搬送して前記X線発生器と前記X線ラインセンサとの間を通過させる搬送部(2)と、を備えるX線検査装置において、
前記X線ラインセンサは、
複数のフォトダイオード(71)が直線状に並べられてなるフォトダイオードアレイ(72)と、
前記フォトダイオードアレイが上面に実装される基板(73)と、
前記基板を下方から支持する基板支持部(74a)を有する基板支持部材(74)と、
前記フォトダイオードアレイの上方に配置され、X線を光に変換するシンチレータ(75)と、
X線を透過する材料からなり前記シンチレータを上方から接着剤(77)により支持するシンチレータ支持部(76a)を有するシンチレータ支持部材(76)と、を備え、
前記基板支持部材は前記シンチレータ支持部材と結合する基板支持部材側結合部(74b)を有するとともに、前記シンチレータ支持部材は前記基板支持部材と結合するシンチレータ支持部材側結合部(76b)を有し、
前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に隙間が形成されるとともに、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイ、前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とするX線検査装置。 - 前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部との間に所定厚さのスペーサー(78)が介装され、
前記基板支持部材側結合部と前記シンチレータ支持部材側結合部とを結合することで、前記フォトダイオードアレイと前記シンチレータとの間に前記所定厚さに応じた隙間が形成されるとともに、前記基板支持部と前記シンチレータ支持部との間に前記基板、前記フォトダイオードアレイ、前記シンチレータが変位不能に位置決めされることを特徴とする請求項4に記載のX線検査装置。
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JP2014089816A JP6397213B2 (ja) | 2014-04-24 | 2014-04-24 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014089816A JP6397213B2 (ja) | 2014-04-24 | 2014-04-24 | X線検査装置 |
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JP2015210097A JP2015210097A (ja) | 2015-11-24 |
JP6397213B2 true JP6397213B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2014089816A Active JP6397213B2 (ja) | 2014-04-24 | 2014-04-24 | X線検査装置 |
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- 2014-04-24 JP JP2014089816A patent/JP6397213B2/ja active Active
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