JP6391281B2 - 光学検査方法、光学検査装置、および光学部材の製造方法 - Google Patents
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Description
x’=x/n …(1)
y’=y/m …(2)
ただし、これらのアドレス除算では小数点以下は切り捨てるものとする。
B’0=B0+B1+B2 …(3)
となる。なお、単位空間P0中の欠陥候補画素群D0、D1、D2を代表する座標値は例えばこれらの欠陥候補画素群D0、D1、D2の重心座標g0(x0、y0)、g1(x1、y1)、g2(x1、y2)から座標g0’(x’、y’)と求めることができる。
Claims (11)
- 対象物を互いに異なる複数の照明方向から照明し、撮像手段により前記複数の照明方向ごとに撮像して取得した前記対象物の複数の画像に対して制御装置により画像処理を行い、前記対象物の欠陥の有無を判定する光学検査方法において、
前記制御装置が実行する画像処理が、
前記複数の画像に対して、各画素における画素値の最大値を取得して最大値合成画像を生成する第1の画像生成工程と、
前記複数の画像に対して、各画素における画素値の平均値を取得して平均値合成画像を生成する第2の画像生成工程と、
前記最大値合成画像と前記平均値合成画像の対応する画素間の画素値を比較して得られる比較値を各画素の画素値として有する比較画像を生成する第3の画像生成工程と、
前記比較画像から、所定値を超える画素値を有し、かつ、互いに隣接する欠陥候補画素群を抽出する抽出工程と、
抽出した前記欠陥候補画素群の単位空間内における密度に関する情報を取得する密度情報取得工程と、
前記密度情報取得工程で取得した密度に関する情報に応じて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、を含むことを特徴とする光学検査方法。 - 請求項1に記載の光学検査方法において、前記欠陥候補画素群を前記比較画像よりも低解像度な2次元単位空間に写像し、前記2次元単位空間に写像された前記欠陥候補画素群の画素値を累積することにより前記欠陥候補画素群の前記2次元単位空間における密度に対応する密度対応値を取得し、この密度対応値の大小に基づき前記対象物の欠陥の有無を判定することを特徴とする光学検査方法。
- 請求項1または2に記載の光学検査方法の各工程を前記制御装置に実行させるための特徴とする光学検査プログラム。
- 請求項3に記載の光学検査プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 対象物を互いに異なる複数の照明方向から照明し、撮像手段により前記複数の照明方向ごとに撮像して取得した前記対象物の複数の画像に対して制御装置により画像処理を行い、前記対象物の欠陥の有無を判定する光学検査装置において、
前記制御装置は、前記複数の画像の各画素における画素値の最大値および平均値から、それぞれ最大値合成画像および平均値合成画像を生成し、
前記最大値合成画像と前記平均値合成画像の対応する画素間の画素値を比較して得られる比較値を、各画素の画素値として有する比較画像を生成し、
前記比較画像から、所定値を超える画素値を有し、かつ、互いに隣接する欠陥候補画素群を抽出し、前記欠陥候補画素群の単位空間内における密度に関する情報に応じて前記対象物の欠陥の有無を判定することを特徴とする光学検査装置。 - 請求項5に記載の光学検査装置において、前記欠陥候補画素群を前記比較画像よりも低解像度な2次元単位空間に写像し、前記2次元単位空間に写像された前記欠陥候補画素群の画素値を累積することにより前記欠陥候補画素群の前記2次元単位空間における密度に対応する密度対応値を取得し、この密度対応値の大小に基づき前記対象物の欠陥の有無を判定することを特徴とする光学検査装置。
- 光学部材の欠陥判定を行う光学部材の製造方法において、
光学部材を形成する工程と、
前記光学部材を対象物として請求項1または2に記載の光学検査方法の各工程を実行することにより前記光学部材の欠陥判定を行う工程と、
を含むことを特徴とする光学部材の製造方法。 - 対象物を互いに異なる複数の照明方向から照明し、撮像手段により前記複数の照明方向ごとに撮像して取得した前記対象物の複数の画像に対して制御装置により画像処理を行い、前記対象物の欠陥の有無を判定する光学検査方法において、
前記制御装置が、
前記複数の画像から、前記照明方向に対して異方性を有する部位を特定する工程と、
前記異方性を有する部位の単位空間内における密度に関する情報を取得する密度情報取得工程と、
前記密度情報取得工程で取得した密度に関する情報に応じて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、を含むことを特徴とする光学検査方法。 - 請求項8に記載の光学検査方法の各工程を前記制御装置に実行させるための光学検査プログラム。
- 請求項9に記載の光学検査プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 対象物を互いに異なる複数の照明方向から照明し、撮像手段により前記複数の照明方向ごとに撮像して取得した前記対象物の複数の画像に対して制御装置により画像処理を行い、前記対象物の欠陥の有無を判定する光学検査装置において、
前記制御装置は、前記複数の画像から、前記照明方向に対して異方性を有する部位を特定し、前記異方性を有する部位の単位空間内における密度に関する情報を取得する密度情報を取得し、取得した密度に関する情報に応じて前記対象物の欠陥の有無を判定することを特徴とする光学検査装置。
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