JP6390119B2 - センサユニット、並びに分析装置、及び分析方法 - Google Patents
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Description
BOD測定では、例えば、バクテリアを用いて5日間を要するという問題がある。COD測定では酸化剤を用いて化学的に酸化させるため30分間から2時間程度で測定が終わり自動測定も可能であるが、毒性の高い廃液が発生するという問題がある。
開示のセンサユニットは、
有機物質と無機物質とを区別して測定する分析に用いられるセンサユニットであって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化し、前記被測定物質が接触される物質感応センサと、
前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射光源と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制手段と、
を有する。
有機物質と無機物質とを区別して測定する分析方法であって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化する物質感応センサに前記被測定物質を接触させる接触工程と、
前記物質感応センサの振動周波数の測定における所定の時間に前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制工程と、
を含む。
開示の分析装置によると、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、微量物質測定において、有機物質と無機物質とを区別し、かつ高い精度で測定できる。
開示の分析方法によると、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、微量物質測定において、有機物質と無機物質とを区別し、かつ高い精度で測定できる。
開示のセンサユニットは、物質感応センサと、紫外線照射光源と、温度変化抑制手段とを少なくとも有し、更に必要に応じて、その他の手段を有する。
前記センサユニットは、被測定物質に含有される有機物質と無機物質とを区別して測定する分析に用いられる。
前記有機物質としては、例えば、揮発性有機化合物(VOC)などが挙げられる。
前記無機物質としては、例えば、窒素酸化物(NOx)、硫黄酸化物(SOx)などが挙げられる。
前記有機物質の具体例としては、例えば、ベンゼン、ホルムアルデヒド、ジェオスミン、フェノール類、アルコール類、ケトン類、アセトニトリルなどが挙げられる。
前記物質感応センサとしては、光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化し、前記被測定物質が接触されるセンサであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、圧電体結晶、前記圧電体結晶の主面に設けられたセンサ電極、及び前記センサ電極の表面に光触媒アパタイトを含有する光触媒層を有する物質感応センサ(以下、「QCMセンサ」と称することがある。)、並びに光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有するカンチレバーが好ましい。
前記光触媒アパタイトとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、チタンアパタイトなどが挙げられる。
前記チタンアパタイトとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、チタンと、アルカリ土類金属とを含有するアパタイトなどが挙げられる。前記アルカリ土類金属としては、例えば、カルシウム、ストロンチウムなどが挙げられる。
前記チタンアパタイトとしては、具体的には、例えば、カルシウムヒドロキシアパタイト〔Ca10(PO4)6(OH)2〕のCa原子の一つがTi原子に置き換わったものなどが挙げられる。
前記QCMセンサとしては、圧電体結晶、前記圧電体結晶の主面に設けられたセンサ電極、及び前記センサ電極の表面に光触媒アパタイトを含有する光触媒層を有するセンサであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記カンチレバーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、その材質としては、例えば、シリコン、窒化シリコン、水晶、石英ガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラスなどが挙げられる。
前記紫外線照射光源としては、前記物質感応センサに紫外線を照射する光源であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、GaN系紫外線LEDなどが挙げられる。
前記紫外線照射光源の波長は、光触媒アパタイトの種類に応じて適宜選択すればよい。
前記紫外線照射光源の出力としては、例えば、10mW〜100mWなどが挙げられる。
前記温度変化抑制手段としては、前記物質感応センサの温度変化を抑制する手段であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、物質感応センサ被覆手段、エネルギー線照射光源が好ましい。
前記物質感応センサ被覆手段としては、前記物質感応センサと前記紫外線照射光源との間を区切る側壁を有し被測定物質を含有する測定試料が入る空間を有しつつ前記物質感応センサを覆う手段であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、石英容器、ガラス容器、プラスチック容器などが挙げられる。
前記エネルギー線照射光源としては、前記物質感応センサにエネルギー線を照射する光源であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。前記エネルギー線としては、例えば、紫外線よりも長波長のエネルギー線などが挙げられる。前記紫外線よりも長波長のエネルギー線としては、例えば、可視光線、赤外線などが挙げられる。前記エネルギー線照射光源としては、例えば、可視光LED、赤外線LEDなどが挙げられる。前記可視光線、前記赤外線の波長としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
開示の分析装置は、開示の前記センサユニットと、周波数カウンターとを少なくとも有し、更に必要に応じて、その他の手段を有する。
前記周波数カウンターとしては、前記物質感応センサの振動周波数を計測する手段であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記その他の手段としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、電源回路手段、中央制御手段などが挙げられる。
開示の分析方法は、接触工程と、紫外線照射工程と、温度変化抑制工程とを少なくとも含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。
前記分析方法は、被測定物質に含有される有機物質と無機物質とを区別して測定する方法である。
前記接触工程としては、物質感応センサに被測定物質を接触させる工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記紫外線照射工程としては、前記物質感応センサの振動周波数の測定における所定の時間に前記物質感応センサに紫外線を照射する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記センサユニットにおける前記紫外線照射光源を用いて行うことができる。
前記物質感応センサに紫外線を照射する時間としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
前記温度変化抑制工程としては、前記物質感応センサの温度変化を抑制する工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記物質感応センサと前記紫外線照射光源との間を区切る側壁を有し前記被測定物質を含有する測定試料が入る空間を有しつつ前記物質感応センサを覆う物質感応センサ被覆手段により行われることが好ましい。また、前記温度変化抑制工程は、エネルギー線照射光源により前記物質感応センサにエネルギー線を照射することにより行われることが好ましい。
図1に、センサユニットの一例の概略図を示す。図1に示すセンサユニットは、圧電体結晶1、圧電体結晶1の主面に設けられたセンサ電極2、及びセンサ電極2の表面に光触媒アパタイトを含有する光触媒層3を有する物質感応センサと、2つの紫外線照射光源4と、温度変化抑制手段としての石英容器5とを有する。石英容器5は、被測定物質が入る空間を有しつつ、物質感応センサを覆っている。
図2は、分析のフローの一例を示すチャートである。まず、被測定物質を含有する液体の測定試料を石英容器5内に入れ、前記被測定物質を物質感応センサに吸着させる。十分に吸着させた後、不図示の周波数カウンターを用いて、物質感応センサの振動周波数の測定を開始する。測定開始後、所定の時間に達したときに前記物質感応センサに紫外線照射を行う。その際、振動周波数の測定は、連続して行ってもよいし、所定の時間ごとに行ってもよい。そして、振動周波数が一定になったら、紫外線の照射を停止する。振動周波数が一定にならない場合には、振動周波数が一定になるまで紫外線の照射を継続する。紫外線の照射を停止した後に、有機物質、無機物質それぞれの吸着量を算出し、分析を終了する。
(1)一定量の試料を石英容器に入れる。
(2)十分な時間をおいて、試料に含まれる被測定物質をセンサに全て吸着させる(センサの振動周波数が一定になるまで待つ)。
ここで、試料を石英容器に入れた直後と、センサの振動周波数が一定になった後との振動周波数変化が、有機物質及び無機物質の総量となる。
(3)センサに紫外線を照射する。
(4)十分な時間をおいて、センサに吸着した被測定物質中の有機物質を分解脱離させる(センサの振動周波数が一定になるまで待つ)。
ここで、紫外光照射前と、センサの振動周波数が一定になった後との振動周波数変化が、有機物質の量となる。有機物質及び無機物質の総量から有機物質の量を差し引いたものが、無機物質の量となる。
(5)上記(4)において求めた「有機物質の量」、及び「無機物質の量」を、上記(1)の試料の「一定量」でそれぞれ除することにより、試料中のそれぞれの濃度を求める。
(1)試料を石英容器に入れる。
(2)一定時間おいて、試料に含まれる被測定物質をセンサに吸着させた後、石英容器から試料を排出して溶媒と入れ替える(吸着を停止する)。
ここで、試料を石英容器に入れた直後と、一定時間後との振動周波数変化が、有機物質及び無機物質の総量となる。
(3)センサに紫外線を照射する。
(4)十分な時間をおいて、センサに吸着した被測定物質中の有機物質を分解脱離させる(センサの振動周波数が一定になるまで待つ)。
ここで、紫外光照射前と、センサの振動周波数が一定になった後との振動周波数変化が、有機物質の量となる。有機物質及び無機物質の総量から有機物質の量を差し引いたものが、無機物質の量となる。
(5)既知濃度の溶液を用いて本手順と同様の手段により別途あらかじめ求めておいた被測定物質濃度、及び吸着時間と吸着された有機物質あるいは無機物質の量との関係を用いて、試料中の有機物質あるいは無機物質の濃度を求める。
また、物質感応センサは温度が変化すると振動周波数が変動し、測定誤差を生じやすいが、上記態様においては、石英容器を用い液体の測定試料を物質感応センサに接触させているため、紫外線照射による物質感応センサの温度上昇を抑制でき、温度変化による測定誤差を防ぐことができる。
図4に示すセンサユニットは、物質感応センサとしてカンチレバー6を用いており、その表面には、光触媒層3が設けられている。カンチレバー6は、カンチレバー支持体8により支持されており、カンチレバー6のカンチレバー支持体8側の端部には、カンチレバー6の振動を検知するピエゾ抵抗体7が備えられている。カンチレバー支持体8には、カンチレバー6を振動させるピエゾ振動子9が備えられている。その他の構成は、図1と同様である。
図4に示すセンサユニットでは、ピエゾ振動子9によりカンチレバー6が振動する。カンチレバー6に物質が吸着していると、その吸着量により、カンチレバー6の振動周波数が変化する。そのため、カンチレバー6の振動周波数をピエゾ抵抗体7で測定することで、被測定物質を定量できる。また、上述したように、物質感応センサへ紫外線を照射することにより、光触媒層の光触媒作用を利用して、開示のセンサユニットは、被測定物質に含有される有機物質と無機物質とを区別して測定できる。
図5に示すセンサユニットは、物質感応センサとしてカンチレバー6を用いており、その先端部には探針10が設けられており、探針10の表面には光触媒層3が設けられている。その他の構成は、図4と同様である。
図5に示すセンサユニットでは、ピエゾ振動子9によりカンチレバー6が振動する。カンチレバー6に物質が吸着していると、その吸着量により、カンチレバー6の振動周波数が変化する。そのため、カンチレバー6の振動周波数をピエゾ抵抗体7で測定することで、被測定物質を定量できる。また、上述したように、物質感応センサへ紫外線を照射することにより、光触媒層の光触媒作用を利用して、開示のセンサユニットは、被測定物質に含有される有機物質と無機物質とを区別して測定できる。
また、図1に示す水晶振動子マイクロバランスを用いた態様と比較して、少量の試料で測定することが可能になる。
図6は、開示のセンサユニットの他の一例を示す概略図である。
図6に示すセンサユニットは、圧電体結晶1、圧電体結晶1の主面に設けられたセンサ電極2、及びセンサ電極2の表面に光触媒アパタイトを含有する光触媒層3を有する物質感応センサと、2つの紫外線照射光源4と、温度変化抑制手段としての2つの赤外線照射光源11とを有する。
赤外線照射光源11からの赤外線の照射量は、紫外線照射光源4から紫外線を照射したときの物質感応センサの温度変化に応じて、適宜選択することができる。
例えば、図6に示すセンサユニットを用いて、図2に示す分析フローを行う場合、紫外線照射を開始すると、物質感応センサが温度上昇する。そこで、紫外線照射を行う前に、予め赤外線照射を行っておき、途中で紫外線照射に切り替える、又は両者を併用して適宜照射することにより、分析時の物質感応センサの温度変化を抑制できる。
(付記1) 有機物質と無機物質とを区別して測定する分析に用いられるセンサユニットであって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化し、被測定物質が接触される物質感応センサと、
前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射光源と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制手段と、
を有することを特徴とするセンサユニット。
(付記2) 物質感応センサが、圧電体結晶、前記圧電体結晶の主面に設けられたセンサ電極、及び前記センサ電極の光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有する物質感応センサである付記1に記載のセンサユニット。
(付記3) 物質感応センサが、光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有するカンチレバーである付記1に記載のセンサユニット。
(付記4) 温度変化抑制手段が、物質感応センサと紫外線照射光源との間を区切る側壁を有し被測定物質が入る空間を有しつつ前記物質感応センサを覆う物質感応センサ被覆手段である付記1から3のいずれかに記載のセンサユニット。
(付記5) 温度変化抑制手段が、エネルギー線照射光源である付記1から3のいずれかに記載のセンサユニット。
(付記6) 光触媒アパタイトが、チタンアパタイトである付記1から5のいずれかに記載のセンサユニット。
(付記7) チタンアパタイトが、チタンと、アルカリ土類金属とを含有するアパタイトである付記6に記載のセンサユニット。
(付記8) アルカリ土類金属が、カルシウム及びストロンチウムの少なくともいずれかである付記7に記載のセンサユニット。
(付記9) 付記1から8のいずれかに記載のセンサユニットと、物質感応センサの振動周波数を計測する周波数カウンターとを有することを特徴とする分析装置。
(付記10) 更に電源回路手段と、中央制御手段とを有する付記9に記載の分析装置。
(付記11) 有機物質と無機物質とを区別して測定する分析方法であって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化する物質感応センサに前記被測定物質を接触させる接触工程と、
前記物質感応センサの振動周波数の測定における所定の時間に前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制工程と、
を含むことを特徴とする分析方法。
(付記12) 温度変化抑制工程が、物質感応センサと紫外線照射光源との間を区切る側壁を有し被測定物質が入る空間を有しつつ前記物質感応センサを覆う物質感応センサ被覆手段により行われる付記11に記載の分析方法。
(付記13) 温度変化抑制工程が、エネルギー線照射光源により物質感応センサにエネルギー線を照射することにより行われる付記11に記載の分析方法。
2 センサ電極
3 光触媒層
4 紫外線照射光源
5 石英容器
6 カンチレバー
7 ピエゾ抵抗体
8 カンチレバー支持体
9 ピエゾ振動子
10 探針
11 赤外線照射光源
Claims (3)
- 有機物質と無機物質とを区別して測定する分析に用いられるセンサユニットであって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化し、前記被測定物質が接触される物質感応センサと、
前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射光源と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制手段と、
を有し、
前記温度変化抑制手段が、エネルギー線照射光源であることを特徴とするセンサユニット。 - 請求項1に記載のセンサユニットと、物質感応センサの振動周波数を計測する周波数カウンターとを有することを特徴とする分析装置。
- 有機物質と無機物質とを区別して測定する分析方法であって、
光触媒アパタイトを含有する光触媒層を表面に有し、被測定物質の付着量によって振動周波数が変化する物質感応センサに前記被測定物質を接触させる接触工程と、
前記物質感応センサの振動周波数の測定における所定の時間に前記物質感応センサに紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記物質感応センサの温度変化を抑制する温度変化抑制工程と、
を含み、
前記温度変化抑制工程が、エネルギー線照射光源により前記物質感応センサにエネルギー線を照射することにより行われることを特徴とする分析方法。
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