JP6376027B2 - 炭化珪素単結晶の製造装置 - Google Patents
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Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
以下、本開示の実施形態(以下「本実施形態」と記す。)について説明するが、本実施形態はこれらに限定されるものではない。
図1は、本実施形態に係る炭化珪素単結晶の製造装置の構成の一例を示す概略断面図である。図1に示されるように炭化珪素単結晶の製造装置100(以下、単に「製造装置100」とも記す。)は、チャンバ6を備える。チャンバ6には、ガス導入口7およびガス排気口8が設けられている。ガス排気口8には、排気ポンプ9が接続されている。
次に上記の炭化珪素単結晶の製造装置を用いたバルク単結晶の製造方法について説明する。図3は、当該製造方法の概略を示すフローチャートである。図3に示されるように、当該製造方法は、準備工程(S01)および結晶成長工程(S02)を備える。各工程はこの順序で実行される。以下、各工程について説明する。
準備工程では、先ず上記で説明した炭化珪素単結晶の製造装置100が準備される。すなわち図1に示されるように、上面5aと、上面5aに向き合う底面5bと、上面5aおよび底面5bの間に介在する筒状の内壁5cとを有する黒鉛製の坩堝5を備え、内壁5cの少なくとも一部が珪素を含有する、炭化珪素単結晶の製造装置100が準備される。内壁に珪素を含有させる方法は特に限定されない。一例として、たとえば珪素を含有するガスを内壁に接触させることが考えられる。この場合、内壁近傍の細孔に珪素が吸着し、内壁が珪素を含有することになる。珪素を含有するガスとしては、たとえばシラン(SiH4)ガス等が挙げられる。
結晶成長工程では、坩堝5内で炭化珪素のバルク単結晶13を成長させる。
2b 第2抵抗ヒータ
2c 第3抵抗ヒータ
3 台座
4 収容部
5 坩堝
5a 上面
5b 底面
5c 内壁
5c1 第一領域
5c2 第二領域
6 チャンバ
7 ガス導入口
8 ガス排気口
9 排気ポンプ
10 断熱材
11 種結晶
12 固体原料
13 バルク単結晶
100 製造装置
D 延在方向
Claims (5)
- 上面と、前記上面に向き合う底面と、前記上面および前記底面の間に介在する筒状の内壁とを有する黒鉛製の坩堝を備え、
前記内壁の少なくとも一部は、珪素を含有し、
前記坩堝を加熱するための黒鉛製の抵抗ヒータをさらに備え、
前記抵抗ヒータの少なくとも一部は、珪素を含有する、炭化珪素単結晶の製造装置。 - 前記坩堝は、前記内壁の延在方向の一断面において、前記内壁の中間点より前記上面側に位置する第一領域と、前記内壁の前記中間点より前記底面側に位置する第二領域とを含み、
前記第一領域および前記第二領域のそれぞれは、珪素を含有する、請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。 - 前記第一領域における珪素濃度は、前記第二領域における珪素濃度より高い、請求項2に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
- 前記第一領域における珪素濃度は、前記第二領域における珪素濃度より低い、請求項2に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
- 断熱材をさらに備え、
前記抵抗ヒータは、前記坩堝と前記断熱材との間に配置されている、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造装置。
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