JP6367025B2

JP6367025B2 - Positioning device

Info

Publication number: JP6367025B2
Application number: JP2014140530A
Authority: JP
Inventors: 高田　声一; 声一高田
Original assignee: NTN Corp
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 2014-07-08
Filing date: 2014-07-08
Publication date: 2018-08-01
Anticipated expiration: 2034-07-08
Also published as: JP2016017570A; WO2016006528A1

Description

この発明は、ねじ軸に対するナットの相対的な回転運動を当該ねじ軸に対する当該ナットの相対的な直線運動に変換し、当該ねじ軸に対して当該ナットが目的の位置で停止すると、ブレーキ力によって当該位置に保持可能な位置決め装置に関する。 The present invention converts the relative rotational motion of the nut with respect to the screw shaft into the relative linear motion of the nut with respect to the screw shaft, and when the nut stops at a target position with respect to the screw shaft, The present invention relates to a positioning device that can be held at the position.

この種の位置決め装置は、ロボット、工作機等に備わる二体の一方を他方に対して相対的に直線移動させる目的で使用されている。その二体の一方に、ねじ軸又はナットの一方が固定され、他方に、ねじ軸又はナットの他方が固定される。ねじ軸及びナットは、すべりねじ又はボールねじ（以下、「送りねじ」と総称する。）になっている。位置決め装置は、ナットを回転させるためのアクチュエータを備えている。そのアクチュエータとして、従来から超音波モータが採用されている（特許文献１、２）。 This type of positioning device is used for the purpose of linearly moving one of two bodies of a robot, a machine tool or the like relative to the other. One of the screw shaft or nut is fixed to one of the two bodies, and the other of the screw shaft or nut is fixed to the other. The screw shaft and the nut are a slide screw or a ball screw (hereinafter collectively referred to as “feed screw”). The positioning device includes an actuator for rotating the nut. As the actuator, an ultrasonic motor has been conventionally used (Patent Documents 1 and 2).

中でも、複合振動子型ステータを用いた特許文献２の位置決め装置は、高出力化が可能で、低速回転も可能である。ステータの停止時には、ステータを出力側へ押し付ける予圧力がブレーキ力となるため、ナットを目的位置に保つことができる。このように、複合振動子型ステータを採用すると、減速機や電磁ブレーキの組み込みが不要となり、簡素な構造の位置決め装置にすることができる。また、特許文献２の位置決め装置は、ロータ部を径方向に支持するベアリングの外部にステータを配置しているため、ベアリングが超音波モータからの摩耗粉の影響を受け難く、ベアリングの損傷防止にも有利なものである。 Among them, the positioning device of Patent Document 2 using the composite vibrator type stator can increase the output and can also rotate at a low speed. When the stator is stopped, the pre-pressure that presses the stator to the output side becomes the braking force, so that the nut can be kept at the target position. As described above, when the composite vibrator type stator is employed, it is not necessary to incorporate a reduction gear or an electromagnetic brake, and a positioning device having a simple structure can be obtained. In addition, since the positioning device of Patent Document 2 has a stator arranged outside the bearing that supports the rotor portion in the radial direction, the bearing is not easily affected by wear powder from the ultrasonic motor, and prevents damage to the bearing. Is also advantageous.

特許第４１３７４７９号公報Japanese Patent No. 4137479 特開平６−１１３５７０号公報JP-A-6-113570

しかしながら、特許文献２の位置決め装置は、ケースの内側にステータ、ナット等を収容し、ステータでナットを直接に駆動し、ステータの節部をベアリング、円環板、支持用の固定ボルトを用いてケース端面に連結した構造となっている。このため、特許文献２の位置決め装置には、送りねじの送り速度やねじ軸の大きさ等を変更するとき、ナット寸法の変更に伴い、ステータとナットの接触位置や、ステータの連結先であるケース端面位置について変更を要することがあり、こうなると、送りねじ以外の変更部品が多くなってしまう。 However, the positioning device of Patent Document 2 accommodates a stator, a nut, and the like inside a case, directly drives the nut with the stator, and uses a bearing, an annular plate, and a fixing bolt for supporting the joint of the stator. The structure is connected to the end face of the case. For this reason, in the positioning device of Patent Document 2, when changing the feed speed of the feed screw, the size of the screw shaft, and the like, the contact position between the stator and the nut and the connection destination of the stator are associated with the change in the nut size. The case end face position may need to be changed, and in this case, there will be many changed parts other than the feed screw.

そこで、この発明が解決しようとする課題は、複合振動子型ステータで駆動する送りねじの変更に対応し易い位置決め装置を提供することである。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a positioning device that can easily cope with a change of a feed screw driven by a composite vibrator type stator.

上記の課題を達成するため、この発明は、ねじ軸に対するナットの相対的な回転運動を当該ねじ軸に対する当該ナットの相対的な直線運動に変換し、当該ねじ軸に対して当該ナットが目的の位置で停止すると、ブレーキ力によって当該位置に保持可能な位置決め装置において、前記ナットに連結された内輪、前記内輪を取り囲む外輪、並びに前記内輪及び前記外輪間で転がる転動体を有する転がり軸受と、前記外輪に連結され、前記内輪を介して前記ナットに駆動力を与える複合振動子型ステータと、を備える構成を採用した。 In order to achieve the above object, the present invention converts the relative rotational movement of the nut with respect to the screw shaft into the relative linear motion of the nut with respect to the screw shaft, and the nut is intended for the screw shaft. In a positioning device that can be held at that position by braking force, a rolling bearing having an inner ring connected to the nut, an outer ring surrounding the inner ring, and a rolling element that rolls between the inner ring and the outer ring, and A configuration including a composite vibrator type stator that is connected to an outer ring and applies a driving force to the nut via the inner ring is adopted.

ステータを転がり軸受の外輪に連結し、ナットを内輪に連結すると、ステータとナットが転がり軸受を介して連結される。このため、内輪を介してステータの駆動力をナットに与えることが可能になる。すなわち、内輪及びステータ間の入力経路は、内輪及びナット間の出力経路から独立している。このため、入力経路を変更することなく、送りねじを変更することが可能である。また、入力経路の変更が不要であれば、内輪及びステータの位置関係の変更がなく、内輪と共に転がり軸受を構成する外輪とステータとの連結構造についても変更が不要である。したがって、上記構成によれば、内輪に連結する出力側部品のみの変更で送りねじの変更に対応することが可能である。なお、出力側部品とは、ステータが生み出す駆動力によって内輪と一体に回転させられる部品のことをいう。 When the stator is connected to the outer ring of the rolling bearing and the nut is connected to the inner ring, the stator and the nut are connected via the rolling bearing. For this reason, the driving force of the stator can be applied to the nut via the inner ring. That is, the input path between the inner ring and the stator is independent of the output path between the inner ring and the nut. For this reason, it is possible to change a lead screw, without changing an input path. Further, if there is no need to change the input path, there is no change in the positional relationship between the inner ring and the stator, and there is no need to change the connection structure between the outer ring and the stator that constitute the rolling bearing together with the inner ring. Therefore, according to the said structure, it is possible to respond | correspond to the change of a feed screw only by the change of the output side components connected with an inner ring | wheel. The output side component refers to a component that is rotated integrally with the inner ring by a driving force generated by the stator.

この発明においては、前記内輪に連結され、前記内輪の回転運動を物理信号に変換するエンコーダと、前記外輪に連結され、前記物理信号を出力信号に変換するセンサ回路と、
をさらに備え、前記ステータは、前記転がり軸受を境とした軸方向一方側に配置され、前記エンコーダ及び前記センサ回路は、前記転がり軸受を境とした軸方向他方側に配置されていることが好ましい。このようにすると、転がり軸受にステータ及び回転センサ（エンコーダ及びセンサ回路）をユニット化し、ステータで駆動する内輪の回転運動を出力信号に変換し、その出力信号に基づいてステータの制御を行うことが可能になる。これにより、送りねじの正確な送りが可能になる。 In the present invention, an encoder that is connected to the inner ring and converts the rotational motion of the inner ring into a physical signal, a sensor circuit that is connected to the outer ring and converts the physical signal into an output signal,
Preferably, the stator is disposed on one side in the axial direction with the rolling bearing as a boundary, and the encoder and the sensor circuit are disposed on the other side in the axial direction with the rolling bearing as a boundary. . In this way, the stator and the rotation sensor (encoder and sensor circuit) are unitized in the rolling bearing, the rotational motion of the inner ring driven by the stator is converted into an output signal, and the stator is controlled based on the output signal. It becomes possible. As a result, the feed screw can be accurately fed.

また、前記転がり軸受は、クロスローラ軸受になっていることが好ましい。前記外輪に前記ステータを連結し、前記内輪をステータで直接に駆動すると、前記転がり軸受は、ステータ由来の複雑な荷重を同時に受けることになる。クロスローラ軸受は、内外輪間に円筒ころを直交配列で組み込んだ軸受なので、様々な方向の荷重を同時に受けつつコンパクト化を図ることが可能、という特徴をもっている。したがって、この発明において、転がり軸受にクロスローラ軸受を採用すると、複雑な荷重に対応しつつ転がり軸受の寸法を抑え、位置決め装置のコンパクト化を図ることができる。 Moreover, it is preferable that the rolling bearing is a cross roller bearing. When the stator is connected to the outer ring and the inner ring is directly driven by the stator, the rolling bearing simultaneously receives a complicated load derived from the stator. Since the cross roller bearing is a bearing in which cylindrical rollers are assembled in an orthogonal arrangement between the inner and outer rings, it has a feature that it can be made compact while receiving loads in various directions at the same time. Therefore, in this invention, when a cross roller bearing is adopted as the rolling bearing, the size of the rolling bearing can be suppressed while accommodating a complicated load, and the positioning device can be made compact.

前記ナット及び前記ねじ軸は、すべりねじ又はボールねじとして設けられている。出力側部品及びねじ軸を変更することで、転がり軸受及びステータを変更することなく送りねじの形式を切り替えることが可能である。 The nut and the screw shaft are provided as a slide screw or a ball screw. By changing the output side part and the screw shaft, it is possible to switch the feed screw type without changing the rolling bearing and the stator.

また、この発明においては、前記内輪にねじ込む取付けボルトをさらに備え、前記ナットは、前記取付けボルトを用いた締結によって前記内輪に連結されているとよい。このようにナットをボルト締結で内輪に連結しておけば、出力側部品を変更する場合に、内輪の雌ねじ部を利用して仕様の異なる出力側部品を内輪に連結することができる。 Moreover, in this invention, it is further provided with the attachment bolt screwed into the said inner ring | wheel, and the said nut is good to be connected with the said inner ring | wheel by the fastening using the said attachment bolt. If the nut is connected to the inner ring by bolt fastening in this way, when changing the output side part, the output side part having different specifications can be connected to the inner ring using the female thread portion of the inner ring.

例えば、前記ナット及び前記内輪間に介在するスペーサをさらに備える場合、前記ナット及び前記スペーサは、前記締結によって前記内輪に連結することができる。 For example, when the spacer further interposed between the nut and the inner ring, the nut and the spacer can be connected to the inner ring by the fastening.

また、この発明においては、前記外輪に軸方向一方側から突き当る予圧用ナットと、前記予圧用ナットにねじ込む予圧用ボルトと、前記予圧用ナットの内側で前記ステータ及び前記予圧用ボルトによって軸方向に圧縮された予圧用ばねと、前記ステータを周方向に回り止めすると共に径方向に支持する係止片と、前記外輪にねじ込む固定ボルトと、をさらに備え、前記予圧用ナット及び前記係止片は、前記固定ボルトによって前記外輪に締結されていることが好ましい。予圧用ばねの圧縮量の調整により、ステータを内輪に押し付ける予圧力（ステータ停止時にブレーキ力となる）を調整することができる。係止片がステータを回り止めするため、ステータによる内輪駆動を実現することができる。また、予圧用ナット及び係止片を固定ボルトで外輪に締結すれば、予圧用ばね及び予圧用ボルトを介してステータの軸方向位置を所定に定めると共に、係止片によってステータの径方向位置も所定に定めることができる。すなわち、複合振動子型ステータに必須の回り止め及び予圧構造のみでステータを外輪に連結することができる。 In the present invention, the preload nut that abuts against the outer ring from one side in the axial direction, the preload bolt that is screwed into the preload nut, the stator and the preload bolt inside the preload nut are axially moved in the axial direction. A preload spring that is compressed into a circumferential direction, a locking piece that stops the stator in the circumferential direction and supports the stator in the radial direction, and a fixing bolt that is screwed into the outer ring, and the preloading nut and the locking piece Is preferably fastened to the outer ring by the fixing bolt. By adjusting the compression amount of the preload spring, it is possible to adjust the preload (which becomes a braking force when the stator is stopped) that presses the stator against the inner ring. Since the locking piece prevents the stator from rotating, the inner ring drive by the stator can be realized. Further, if the preloading nut and the locking piece are fastened to the outer ring with a fixing bolt, the axial position of the stator is determined in a predetermined manner via the preloading spring and the preloading bolt, and the radial position of the stator is also set by the locking piece. It can be determined in advance. In other words, the stator can be connected to the outer ring only by the detent and preload structure essential for the composite vibrator type stator.

この発明は、上記構成の採用により、内輪に連結する出力側部品のみの変更で送りねじの変更に対応することが可能なため、送りねじの変更に対応し易い位置決め装置を提供することができる。 According to the present invention, by adopting the above configuration, it is possible to cope with the change of the feed screw by changing only the output side component connected to the inner ring. Therefore, it is possible to provide a positioning device that can easily cope with the change of the feed screw. .

第１実施形態に係る位置決め装置の全体構成を示す縦断正面図1 is a longitudinal front view showing the overall configuration of the positioning device according to the first embodiment. 図１のＩＩ−ＩＩ線の部分断面図Partial sectional view taken along line II-II in FIG. 図１の送りねじをボールねじに変更した例を示す縦断正面図Longitudinal front view showing an example in which the lead screw in FIG. 1 is changed to a ball screw

以下、この発明の一例としての第１実施形態を添付図面の図１、図２に基づいて説明する。 A first embodiment as an example of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 of the accompanying drawings.

第１実施形態に係る位置決め装置は、ねじ軸１０と、ナット２０と、転がり軸受３０と、複合振動子型ステータ４０と、予圧連結手段５０と、回転センサ６０とを備える。 The positioning device according to the first embodiment includes a screw shaft 10, a nut 20, a rolling bearing 30, a composite vibrator type stator 40, a preload connection means 50, and a rotation sensor 60.

ねじ軸１０及びナット２０は、ねじ軸１０に対するナット２０の相対的な回転運動をねじ軸１０に対するナット２０の相対的な直線運動に変換する送りねじとして機能する。ねじ軸１０の中心軸線に沿った方向が「軸方向」に相当し、その軸方向に直角な方向が「径方向」に相当する。 The screw shaft 10 and the nut 20 function as a feed screw that converts the relative rotational motion of the nut 20 with respect to the screw shaft 10 into the relative linear motion of the nut 20 with respect to the screw shaft 10. The direction along the central axis of the screw shaft 10 corresponds to the “axial direction”, and the direction perpendicular to the axial direction corresponds to the “radial direction”.

ねじ軸１０は、ＪＩＳ規定のメートル台形ねじを外周に形成した雄ねじ部品になっている。ナット２０は、ねじ軸１０に対応の台形ねじを内周に形成した雌ねじ部品になっている。ねじ軸１０及びナット２０は、互いの台形ねじで直接に螺合するすべりねじとして設けられている。 The screw shaft 10 is a male screw part in which a JIS-standard metric trapezoidal screw is formed on the outer periphery. The nut 20 is a female screw part in which a trapezoidal screw corresponding to the screw shaft 10 is formed on the inner periphery. The screw shaft 10 and the nut 20 are provided as slide screws that are directly screwed together with each other's trapezoidal screws.

転がり軸受３０は、ナット２０に連結された内輪３１と、内輪３１を取り囲む外輪３２と、内輪３１及び外輪３２間で転がる複数の転動体３３とを有する。転がり軸受３０は、前述のすべりねじのナット２０を径方向及び軸方向に支持する。 The rolling bearing 30 includes an inner ring 31 connected to the nut 20, an outer ring 32 surrounding the inner ring 31, and a plurality of rolling elements 33 that roll between the inner ring 31 and the outer ring 32. The rolling bearing 30 supports the nut 20 of the aforementioned slide screw in the radial direction and the axial direction.

転がり軸受３０は、クロスローラ軸受になっている。すなわち、転動体３３は、円筒ころからなる。内輪３１及び外輪３２は、それぞれＶ溝状の軌道を形成する環状体からなる。内輪３１及び外輪３２は、同心円状に配置されている。複数の転動体３３は、内輪３１及び外輪３２の軌道間に介在する。これら転動体３３は、周方向に交互に９０°異なる向きで配置されている。このように、クロスローラ軸受として設けられた転がり軸受３０は、内外輪３１、３２間に円筒ころからなる転動体３３を直交配列で組み込んでいるので、円筒ころの優れた負荷性能によって軸方向荷重、径方向荷重、モーメント荷重などの様々な方向の荷重を同時に受けることが可能なため、コンパクト化を図ることができる。ひいては、位置決め装置のコンパクト化を図ることができる。 The rolling bearing 30 is a cross roller bearing. That is, the rolling element 33 consists of cylindrical rollers. The inner ring 31 and the outer ring 32 are each formed of an annular body that forms a V-groove-shaped track. The inner ring 31 and the outer ring 32 are arranged concentrically. The plurality of rolling elements 33 are interposed between the races of the inner ring 31 and the outer ring 32. These rolling elements 33 are arranged in different directions by 90 ° alternately in the circumferential direction. In this way, the rolling bearing 30 provided as a cross roller bearing incorporates rolling elements 33 made of cylindrical rollers between the inner and outer rings 31 and 32 in an orthogonal arrangement. Since it is possible to simultaneously receive loads in various directions such as radial loads and moment loads, it is possible to achieve compactness. As a result, the positioning device can be made compact.

内輪３１は、ナット２０に形成された第１軸受座部２０ａに嵌合されている。第１軸受座部２０ａは、ナット２０の軸方向一方側の端部外周に形成されている。内輪３１を第１軸受座部２０ａに軸方向一方側から軸方向他方側に向かって嵌合することによって、ナット２０に対する内輪３１の軸方向位置及び径方向位置を仮決めすることが可能となっている。 The inner ring 31 is fitted in a first bearing seat portion 20 a formed on the nut 20. The first bearing seat portion 20 a is formed on the outer periphery of the end portion on one axial side of the nut 20. By fitting the inner ring 31 to the first bearing seat portion 20a from the one axial side to the other axial side, the axial position and radial position of the inner ring 31 with respect to the nut 20 can be provisionally determined. ing.

なお、転動体３３の周方向間隔を保つ手段（図示省略）として、保持器又はセパレータを適宜に採用することができる。また、内輪３１、外輪３２は、剛性に優れている点を考慮し、軌道全部を形成した１個の環状部品からなるものを採用している。内輪３１、外輪３２は、剛性に問題がない場合、適宜、複数の環状部品で軌道を形成する分割型の軌道輪に変更してもよい。 Note that a cage or a separator can be appropriately employed as means (not shown) for maintaining the circumferential interval of the rolling elements 33. In consideration of the excellent rigidity, the inner ring 31 and the outer ring 32 are composed of one annular part that forms the entire track. If there is no problem in rigidity, the inner ring 31 and the outer ring 32 may be appropriately changed to a split type ring that forms a track with a plurality of annular parts.

ステータ４０は、軸方向の振動と周方向の振動を組み合わせることによって回転方向の駆動力のみをステータ４０と直接に接触するロータに与える。ステータ４０は、連結予圧手段５０によって外輪３２に連結されている。 The stator 40 applies only the rotational driving force to the rotor that is in direct contact with the stator 40 by combining axial vibration and circumferential vibration. The stator 40 is connected to the outer ring 32 by a connection preload means 50.

ステータ４０は、ステータヘッド４２と、節部４３と、第１圧電素子４４と、第２圧電素子４５と、ステータボトム４６とを有する。 The stator 40 includes a stator head 42, a node 43, a first piezoelectric element 44, a second piezoelectric element 45, and a stator bottom 46.

中空ボルト４１は、ねじ軸１０を軸方向に挿通可能な中空軸状の雄ねじ部品になっている。中空ボルト４１は、内輪３１から軸方向一方側へ離れたところに配置される。ステータヘッド４２は、中空ボルト４１よりも軸方向他方側へ突出しており、その突出端部で内輪３１の側面に軸方向一方側から軸方向他方側に向かって押し付けられている。この押し付けは、予圧連結手段５０によって実現されている。 The hollow bolt 41 is a hollow shaft-shaped male screw component that can be inserted through the screw shaft 10 in the axial direction. The hollow bolt 41 is disposed away from the inner ring 31 toward the one axial side. The stator head 42 protrudes from the hollow bolt 41 to the other side in the axial direction, and is pressed against the side surface of the inner ring 31 from one axial direction to the other axial direction at the protruding end. This pressing is realized by the preload connecting means 50.

節部４３は、ステータヘッド４２と共に第１圧電素子４４を軸方向に挟持している。第１圧電素子４４は、軸方向に振動する。また、節部４３は、ステータボトム４６と共に第２圧電素子４５を軸方向に挟持している。 The joint 43 holds the first piezoelectric element 44 in the axial direction together with the stator head 42. The first piezoelectric element 44 vibrates in the axial direction. In addition, the node portion 43 holds the second piezoelectric element 45 in the axial direction together with the stator bottom 46.

ステータボトム４６は、第２圧電素子４５を中空ボルト４１に対して抜け止めする。第２圧電素子４５は、周方向に振動する。第１圧電素子４４、第２圧電素子４５は、それぞれ高周波電流を発生する電源装置（図示省略）に接続される。第１圧電素子４４、第２圧電素子４５にそれぞれ所定の交流電圧が印加されることにより、第１圧電素子４４、第２圧電素子４５の振動が組み合わされ、ステータヘッド４２から、ロータとして設けられた内輪３１の側面へ回転方向の駆動力のみが与えられる。このようにステータ４０が駆動するとき、第１圧電素子４４及び第２圧電素子４５間に介在する節部４３は、振動モードの節部になる。このようなステータ４０は、一般に、ボルト締めランジュバン型複合振動子と称されている。 The stator bottom 46 prevents the second piezoelectric element 45 from coming off from the hollow bolt 41. The second piezoelectric element 45 vibrates in the circumferential direction. The first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 are each connected to a power supply device (not shown) that generates a high-frequency current. By applying predetermined alternating voltages to the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45, the vibrations of the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 are combined and provided from the stator head 42 as a rotor. Only the driving force in the rotational direction is applied to the side surface of the inner ring 31. Thus, when the stator 40 is driven, the node 43 interposed between the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 becomes a node in the vibration mode. Such a stator 40 is generally called a bolted Langevin type composite vibrator.

なお、第１圧電素子４４、第２圧電素子４５は、それぞれ中空ボルト４１を取り囲む環状体になっている。また、ステータヘッド４２、節部４３、ステータボトム４６は、それぞれ中空ボルト４１に対応の雌ねじ部品になっているため、中空ボルト４１に螺着することができる。節部４３は、中空ボルト４１の一部として形成してもよい。また、内輪３１とステータ４０間に摩擦部材等の他部材を介在させ、内輪３１を間接的に駆動するようにしてもよい。 The first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 are each an annular body surrounding the hollow bolt 41. Further, since the stator head 42, the joint 43, and the stator bottom 46 are female screw parts corresponding to the hollow bolt 41, they can be screwed onto the hollow bolt 41. The node 43 may be formed as a part of the hollow bolt 41. Further, another member such as a friction member may be interposed between the inner ring 31 and the stator 40 to drive the inner ring 31 indirectly.

予圧連結手段５０は、ステータ４０を外輪３２に連結すると共に、ステータ４０を内輪３１に押し付ける。 The preload connecting means 50 connects the stator 40 to the outer ring 32 and presses the stator 40 against the inner ring 31.

予圧連結手段５０は、予圧用ナット５１と、予圧用ボルト５２と、予圧用ばね５３と、係止片５４と、固定ボルト５５とを有する。 The preload connection means 50 includes a preload nut 51, a preload bolt 52, a preload spring 53, a locking piece 54, and a fixing bolt 55.

予圧用ナット５１は、外輪３２の側面に軸方向一方側から軸方向他方側に向かって突き当る雌ねじ部品になっている。ステータヘッド４２は、予圧用ナット５１の内側で外径を部分的に拡大したばね受け部４２ａを有する。予圧用ばね５３は、ステータ４０及び予圧用ナット５１間の環状空間に挿入可能なコイルばねになっている。予圧用ボルト５２は、予圧用ナット５１に対応の雄ねじ部品になっている。予圧用ばね５３は、ステータ４０及び予圧用ナット５１間の環状空間に軸方向一方側から軸方向他方側に向かって挿入することにより、ばね受け部４２ａに軸方向に突き当る状態となる。この状態で予圧用ナット５１にねじ込む予圧用ボルト５２により、予圧用ばね５３は、軸方向一方側から軸方向他方側に向かって圧縮される。このようにステータ４０と予圧用ボルト５２によって軸方向に圧縮された予圧用ばね５３は、ステータ４０を内輪３１の側面に軸方向一方側から軸方向他方側に向かって押し付ける予圧力を発生している。第１圧電素子４４及び第２圧電素子４５が振動しないステータ４０の停止状態において、その予圧力は、内輪３１を停止させるブレーキ力として作用する。予圧用ばね５３の圧縮量を予圧用ボルト５２のねじ込み量で調整すれば、ステータ４０を内輪３１に押し付ける予圧力（ブレーキ力）を調整することができる。 The preload nut 51 is a female screw component that abuts against the side surface of the outer ring 32 from one axial side to the other axial side. The stator head 42 has a spring receiving portion 42 a whose outer diameter is partially enlarged inside the preload nut 51. The preload spring 53 is a coil spring that can be inserted into the annular space between the stator 40 and the preload nut 51. The preload bolt 52 is a male screw component corresponding to the preload nut 51. By inserting the preload spring 53 into the annular space between the stator 40 and the preload nut 51 from the one axial side toward the other axial side, the preload spring 53 comes into contact with the spring receiving portion 42a in the axial direction. In this state, the preloading spring 53 is screwed into the preloading nut 51 and the preloading spring 53 is compressed from one axial side toward the other axial side. Thus, the preload spring 53 compressed in the axial direction by the stator 40 and the preload bolt 52 generates a preload that presses the stator 40 against the side surface of the inner ring 31 from one axial direction to the other axial direction. Yes. In a stopped state of the stator 40 where the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 do not vibrate, the preload acts as a braking force that stops the inner ring 31. If the compression amount of the preload spring 53 is adjusted by the screwing amount of the preload bolt 52, the preload (braking force) for pressing the stator 40 against the inner ring 31 can be adjusted.

固定ボルト５５は、外輪３２に形成された第１雌ねじ部３２ａに対応の雄ねじ部品になっている。第１雌ねじ部３２ａは、軸方向一方側から軸方向他方側に向かって形成されている。予圧用ナット５１及び係止片５４は、固定ボルト５５を軸方向一方側から軸方向他方側に向かって挿通し、さらに第１雌ねじ部３２ａにねじ込む締結によって、外輪３２に連結されている。この連結状態において、係止片５４は、ステータ４０を周方向に回り止めすると共に径方向に支持する。 The fixing bolt 55 is a male screw component corresponding to the first female screw portion 32 a formed on the outer ring 32. The first female thread portion 32a is formed from one axial side to the other axial side. The preload nut 51 and the locking piece 54 are connected to the outer ring 32 by fastening through which the fixing bolt 55 is inserted from the one axial side to the other axial side and screwed into the first female screw portion 32a. In this connected state, the locking piece 54 stops the stator 40 in the circumferential direction and supports it in the radial direction.

より具体的に述べると、係止片５４は、節部４３に向かって径方向に突出した先端部５４ａを有する。節部４３は、先端部５４ａと周方向両側に係合可能な係止受け部４３ａを有する。係止受け部４３ａは、図１、図２に示すように、軸方向に沿った溝状に形成されている。節部４３の係止受け部４３ａ以外の外周部分は、係止片５４の内周部分と円弧状で径方向に重なっている。この重なり領域、係止受け部４３ａ及び先端部５４ａは、周方向等配に存在している。これら重なり領域により、係止片５４によるステータ４０の径方向支持が実現されている。なお、複合振動子型のステータ４０においては、ステータ４０を回り止めしなければ、内輪３１に駆動力を有効に与えることができない。このため、ステータ４０において振動モードの節部となる節部４３でステータ４０の回り止めを行うことが必須である。 More specifically, the locking piece 54 has a distal end portion 54 a that protrudes in the radial direction toward the node portion 43. The node portion 43 has a distal end portion 54a and a latch receiving portion 43a that can be engaged with both sides in the circumferential direction. As shown in FIGS. 1 and 2, the latch receiving portion 43 a is formed in a groove shape along the axial direction. The outer peripheral portion of the node portion 43 other than the locking receiving portion 43a is arcuately overlapped with the inner peripheral portion of the locking piece 54 in the radial direction. The overlapping region, the locking receiving portion 43a, and the distal end portion 54a are present in the circumferential direction. Due to these overlapping regions, radial support of the stator 40 by the locking pieces 54 is realized. In the composite vibrator type stator 40, the driving force cannot be effectively applied to the inner ring 31 unless the stator 40 is prevented from rotating. For this reason, it is indispensable to prevent the stator 40 from rotating at the node 43 that is the node of the vibration mode in the stator 40.

予圧用ナット５１及び係止片５４を固定ボルト５５で外輪３２に締結すれば、予圧用ばね５３及び予圧用ボルト５２を介してステータ４０の軸方向位置を所定に定めると共に、係止片５４によってステータ４０の径方向位置も所定に定めることができる。すなわち、ステータ４０に必須の回り止め及び予圧構造のみでステータ４０を外輪３２に連結することができる。なお、固定ボルト５５は、周方向等配で複数個所に設けられている。 When the preload nut 51 and the locking piece 54 are fastened to the outer ring 32 by the fixing bolt 55, the axial position of the stator 40 is determined in a predetermined manner via the preloading spring 53 and the preloading bolt 52, and the locking piece 54 The radial position of the stator 40 can also be predetermined. In other words, the stator 40 can be connected to the outer ring 32 with only the detent and preload structure essential for the stator 40. The fixing bolts 55 are provided at a plurality of locations in the circumferential direction.

上述のように予圧連結手段５０によってステータ４０を外輪３２に連結すると、ステータ４０は、転がり軸受３０を境とした軸方向一方側に配置されている状態となる。この状態で、内輪３１及び中空ボルト４１は、同一の中心軸線上に配置されている。転がり軸受３０の軸受穴の内径と中空ボルト４１の内径とが一致しているので、ねじ軸１０の外径は、中空ボルト４１の内径の範囲内で変更することが可能である。なお、軸受穴の内径は、内輪３１に形成された円筒状の内径面の直径である。中空ボルト４１の内径は、中空ボルト４１の軸方向全長に亘って円筒状に形成された内径面の直径である。 When the stator 40 is connected to the outer ring 32 by the preload connecting means 50 as described above, the stator 40 is placed on one side in the axial direction with the rolling bearing 30 as a boundary. In this state, the inner ring 31 and the hollow bolt 41 are disposed on the same central axis. Since the inner diameter of the bearing hole of the rolling bearing 30 matches the inner diameter of the hollow bolt 41, the outer diameter of the screw shaft 10 can be changed within the range of the inner diameter of the hollow bolt 41. The inner diameter of the bearing hole is the diameter of a cylindrical inner diameter surface formed in the inner ring 31. The inner diameter of the hollow bolt 41 is the diameter of the inner diameter surface formed in a cylindrical shape over the entire axial length of the hollow bolt 41.

回転センサ６０は、内輪３１の回転運動を出力信号に変換する。この出力信号に基づいて第１圧電素子４４、第２圧電素子４５の電圧印加制御を行うことが可能である。 The rotation sensor 60 converts the rotational motion of the inner ring 31 into an output signal. Based on this output signal, voltage application control of the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 can be performed.

回転センサ６０は、エンコーダ６１と、エンコーダホルダ６２と、取付けボルト６３と、センサ回路６４と、センサホルダ６５と、ホルダ固定ボルト６６とを有する。 The rotation sensor 60 includes an encoder 61, an encoder holder 62, a mounting bolt 63, a sensor circuit 64, a sensor holder 65, and a holder fixing bolt 66.

エンコーダ６１は、Ｓ極とＮ極を周方向に交互に有する磁気エンコーダになっており、軸回りの回転運動を磁気的な物理信号に変換する。エンコーダ６１は、エンコーダホルダ６２に固定されている。エンコーダホルダ６２は、エンコーダ６１の変形を防止する環状部品になっている。 The encoder 61 is a magnetic encoder having S poles and N poles alternately in the circumferential direction, and converts the rotational movement around the axis into a magnetic physical signal. The encoder 61 is fixed to the encoder holder 62. The encoder holder 62 is an annular part that prevents deformation of the encoder 61.

エンコーダホルダ６２には、軸方向に貫通した第１ボルト通し穴６２ａが形成されている。内輪３１には、雌ねじ部３１ａが、軸方向他方側から軸方向一方側に向かって形成されている。ナット２０の軸方向他方側の端部には、軸方向に貫通した第２ボルト通し穴２０ｂが形成されている。内輪３１が第１軸受座部２０ａに嵌合されている状態で、第２ボルト通し穴２０ｂ、雌ねじ部３１ａ及び第１ボルト通し穴６２ａは、軸方向に連通する。取付けボルト６３は、雌ねじ部３１ａに対応の雄ねじ部品になっている。ナット２０及びエンコーダホルダ６２は、取付けボルト６３を軸方向他方側から軸方向一方側に向かって第１ボルト通し穴６２ａ、第２ボルト通し穴２０ｂに通し、さらに雌ねじ部３１ａにねじ込む締結によって、内輪３１に連結されている。これにより、エンコーダ６１、ナット２０及び内輪３１は、内輪３１をステータ４０で駆動することによって一体に回転することになる。なお、取付けボルト６３は、周方向等配で複数個所に設けられている。 The encoder holder 62 is formed with a first bolt through hole 62a penetrating in the axial direction. The inner ring 31 is formed with a female thread portion 31a from the other side in the axial direction toward one side in the axial direction. A second bolt through hole 20b penetrating in the axial direction is formed at the end of the nut 20 on the other side in the axial direction. In a state where the inner ring 31 is fitted to the first bearing seat portion 20a, the second bolt through hole 20b, the female screw portion 31a, and the first bolt through hole 62a communicate in the axial direction. The mounting bolt 63 is a male screw component corresponding to the female screw portion 31a. The nut 20 and the encoder holder 62 are fastened by passing the mounting bolt 63 through the first bolt through hole 62a and the second bolt through hole 20b from the other side in the axial direction toward the one side in the axial direction, and further screwed into the female thread portion 31a. 31 is connected. As a result, the encoder 61, the nut 20, and the inner ring 31 rotate together by driving the inner ring 31 with the stator 40. The mounting bolts 63 are provided at a plurality of locations in the circumferential direction.

センサ回路６４は、前述の磁気的な物理信号を電気的な信号に変換する。センサ回路６４は、磁気センサを回路基板に実装したものとなっている。回路基板には、磁気センサの出力を所定の出力信号に整える信号処理回路、電源回路、配線接続端子といった適宜の回路要素が設けられる。センサ回路６４は、センサホルダ６５に固定されている。 The sensor circuit 64 converts the magnetic physical signal described above into an electrical signal. The sensor circuit 64 has a magnetic sensor mounted on a circuit board. The circuit board is provided with appropriate circuit elements such as a signal processing circuit for adjusting the output of the magnetic sensor to a predetermined output signal, a power supply circuit, and a wiring connection terminal. The sensor circuit 64 is fixed to the sensor holder 65.

センサホルダ６５は、センサ回路６４の変形を防止する環状部品になっている。センサホルダ６５には、外輪３２に嵌合する第２軸受座部６５ａが形成されている。センサホルダ６５を第２軸受座部６５ａに軸方向他方側から軸方向一方側に向かって嵌合することによって、外輪３２に対するセンサホルダ６５の軸方向位置及び径方向位置を仮決めすることが可能となっている。 The sensor holder 65 is an annular part that prevents deformation of the sensor circuit 64. The sensor holder 65 is formed with a second bearing seat 65 a that fits into the outer ring 32. By fitting the sensor holder 65 to the second bearing seat 65a from the other side in the axial direction toward one side in the axial direction, it is possible to temporarily determine the axial position and the radial position of the sensor holder 65 with respect to the outer ring 32. It has become.

また、センサホルダ６５には、この位置決め装置を搬送装置、旋盤等の他装置に取り付けるために使用可能な取付穴６５ｂが形成されている。予圧連結手段５０は、外輪３２の外径（転がり軸受３０の軸受外径）以下の外径に設定されており、取付穴６５ｂの使用を阻害しない。 The sensor holder 65 is provided with an attachment hole 65b that can be used to attach the positioning device to another device such as a transport device or a lathe. The preload coupling means 50 is set to an outer diameter equal to or smaller than the outer diameter of the outer ring 32 (the bearing outer diameter of the rolling bearing 30), and does not hinder the use of the mounting hole 65b.

また、センサホルダ６５には、軸方向に貫通した第３ボルト通し穴６５ｃが形成されている。外輪３２には、軸方向他方側から軸方向一方側に向かって第２雌ねじ部３２ｂが形成されている。外輪３２が第２軸受座部６５ａに嵌合されている状態で、第３ボルト通し穴６５ｃ及び第２雌ねじ部３２ｂは、軸方向に連通する。ホルダ固定ボルト６６は、第２雌ねじ部３２ｂに対応の雄ねじ部品になっている。センサホルダ６５は、ホルダ固定ボルト６６を軸方向他方側から軸方向一方側に向かって第３ボルト通し穴６５ｃに通し、さらに第２雌ねじ部３２ｂにねじ込む締結によって、外輪３２に連結されている。これにより、センサ回路６４は、外輪３２に対する内輪３１の回転運動を出力信号に変換することが可能となる。なお、ホルダ固定ボルト６６は、周方向等配で複数個所に設けられている。第１雌ねじ部３２ａ及び第２雌ねじ部３２ｂは、外輪３２を軸方向に貫通した穴の内壁面に加工した例を図示したが、周方向に位相の異なった配置で形成することも可能である。 The sensor holder 65 has a third bolt through hole 65c penetrating in the axial direction. The outer ring 32 is formed with a second female thread portion 32b from the other side in the axial direction toward one side in the axial direction. In a state where the outer ring 32 is fitted to the second bearing seat portion 65a, the third bolt through hole 65c and the second female screw portion 32b communicate in the axial direction. The holder fixing bolt 66 is a male screw component corresponding to the second female screw portion 32b. The sensor holder 65 is connected to the outer ring 32 by fastening in which the holder fixing bolt 66 is passed through the third bolt through hole 65c from the other side in the axial direction toward the one side in the axial direction and further screwed into the second female screw portion 32b. Thereby, the sensor circuit 64 can convert the rotational motion of the inner ring 31 relative to the outer ring 32 into an output signal. The holder fixing bolts 66 are provided at a plurality of locations in the circumferential direction. The first female screw portion 32a and the second female screw portion 32b are illustrated as examples in which the outer ring 32 is processed into the inner wall surface of a hole penetrating in the axial direction. .

上述のようにエンコーダ６１、センサ回路６４を対応の内輪３１、外輪３２に連結すると、エンコーダ６１及びセンサ回路６４は、転がり軸受３０を境とした軸方向他方側に配置されている状態となる。この配置状態で、ナット２０、回転センサ６０は、内輪３１及び外輪３２から軸方向一方側へ食み出ておらず、ステータ４０や予圧連結手段５０と接触しない。 As described above, when the encoder 61 and the sensor circuit 64 are connected to the corresponding inner ring 31 and outer ring 32, the encoder 61 and the sensor circuit 64 are arranged on the other side in the axial direction with the rolling bearing 30 as a boundary. In this arrangement state, the nut 20 and the rotation sensor 60 do not protrude from the inner ring 31 and the outer ring 32 to one side in the axial direction, and do not come into contact with the stator 40 or the preload connecting means 50.

また、上述ようにエンコーダ６１、センサ回路６４を対応の内輪３１、外輪３２に連結すると、内輪３１と一体に回転するエンコーダ６１は、ステータ４０で駆動する内輪３１の回転運動を物理信号に変換し、内輪３１に対して静止する外輪３２と一体化されたセンサ回路６４は、その物理信号を出力信号に変換することができる。したがって、この位置決め装置は、その出力信号に基づいてステータ４０の第１圧電素子４４、第２圧電素子４５の制御を行い、送りねじの正確な送りが可能である。 When the encoder 61 and the sensor circuit 64 are connected to the corresponding inner ring 31 and outer ring 32 as described above, the encoder 61 that rotates integrally with the inner ring 31 converts the rotational motion of the inner ring 31 driven by the stator 40 into a physical signal. The sensor circuit 64 integrated with the outer ring 32 stationary with respect to the inner ring 31 can convert the physical signal into an output signal. Therefore, this positioning device controls the first piezoelectric element 44 and the second piezoelectric element 45 of the stator 40 based on the output signal, and can accurately feed the feed screw.

上述のようにステータ４０を転がり軸受３０の外輪３２に予圧連結手段５０で連結し、ナット２０を内輪３１に取付けボルト６３で連結すると、ステータ４０とナット２０が転がり軸受３０を介して連結される。このため、内輪３１を介してステータ４０の駆動力をナット２０に与えることが可能になる。すなわち、内輪３１及びナット２０間の出力経路は、取付けボルト６３と、軸受座部２０ａ及び内輪３１の嵌め合い面とによって構成されている。一方、内輪３１及びステータ４０間の入力経路は、ステータヘッド４２と、内輪３１の軸方向一方側の側面とによって構成されているので、前述の出力経路から独立している。このため、第１実施形態に係る位置決め装置は、前述の入力経路及び予圧連結手段５０を変更することなく、内輪３１に連結する出力側部品のみの変更で、送りねじ（ねじ軸１０、ナット２０）の変更に対応することが可能である。 As described above, when the stator 40 is connected to the outer ring 32 of the rolling bearing 30 by the preload connecting means 50 and the nut 20 is connected to the inner ring 31 by the mounting bolt 63, the stator 40 and the nut 20 are connected via the rolling bearing 30. . For this reason, the driving force of the stator 40 can be applied to the nut 20 via the inner ring 31. That is, the output path between the inner ring 31 and the nut 20 is constituted by the mounting bolt 63 and the fitting surface of the bearing seat 20a and the inner ring 31. On the other hand, the input path between the inner ring 31 and the stator 40 is constituted by the stator head 42 and the side surface on the one axial side of the inner ring 31 and is therefore independent of the aforementioned output path. For this reason, the positioning device according to the first embodiment can change the feed screw (screw shaft 10, nut 20) by changing only the output side component connected to the inner ring 31 without changing the input path and the preload connecting means 50 described above. ).

図１のすべりねじから、送り速度の異なるボールねじへ変更した例を図３に示す。図３のボールねじは、ねじ軸７０及びナット８０の螺旋溝間にボール（図示省略）を循環可能に介在させたものであり、例えば、特許文献２に開示された構造のものを採用することができる。ボールねじへの変更に伴い、ねじ軸７０及びナット８０が小径化されている。転がり軸受３０、ステータ４０及び予圧連結手段５０は、図１のものから変更がない。 FIG. 3 shows an example in which the slide screw in FIG. 1 is changed to a ball screw having a different feed rate. The ball screw shown in FIG. 3 has a ball (not shown) interposed between the screw shaft 70 and the spiral groove of the nut 80 in a circulating manner. For example, the ball screw having the structure disclosed in Patent Document 2 is adopted. Can do. Along with the change to the ball screw, the screw shaft 70 and the nut 80 are reduced in diameter. The rolling bearing 30, the stator 40, and the preload connecting means 50 are not changed from those in FIG.

第１実施形態においては、内輪３１の雌ねじ部３１ａを利用して仕様の異なる出力側部品を内輪３１に連結することができる。図３の変更例では、エンコーダホルダ９０が、ナット８０及び内輪３１間に介在するスペーサになっている。エンコーダホルダ９０は、エンコーダ６１及びセンサ回路６４間の磁気ギャップを図１と同じに維持可能な形状に変更されている。ナット８０及びエンコーダホルダ（スペーサ）９０は、取付けボルト６３を内輪３１の雌ねじ部３１ａにねじ込む締結によって内輪３１に連結することができる。このように、第１実施形態によれば、送りねじの変更に対応し易い位置決め装置を提供することができる。この発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載に基づく技術的思想の範囲内での全ての変更を含むものである。 In the first embodiment, output side parts having different specifications can be connected to the inner ring 31 using the female thread portion 31 a of the inner ring 31. In the modified example of FIG. 3, the encoder holder 90 is a spacer interposed between the nut 80 and the inner ring 31. The encoder holder 90 is changed to a shape that can maintain the magnetic gap between the encoder 61 and the sensor circuit 64 as in FIG. The nut 80 and the encoder holder (spacer) 90 can be connected to the inner ring 31 by fastening by screwing the mounting bolt 63 into the female thread portion 31 a of the inner ring 31. Thus, according to the first embodiment, it is possible to provide a positioning device that can easily cope with a change in the feed screw. The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes all modifications within the scope of the technical idea based on the description of the scope of claims.

１０ねじ軸
２０ナット
３０転がり軸受
３１内輪
３１ａ雌ねじ部
３２外輪
３２ａ第１雌ねじ部
３２ｂ第２雌ねじ部
３３転動体
４０ステータ
４１中空ボルト
４２ステータヘッド
４３節部
４４第１圧電素子
４５第２圧電素子
４６ステータボトム
５０予圧連結手段
５１予圧用ナット
５２予圧用ボルト
５３予圧用ばね
５４係止片
５５固定ボルト
６０回転センサ
６１エンコーダ
６２エンコーダホルダ
６３取付けボルト
６４センサ回路
６５センサホルダ
７０ねじ軸
８０ナット
９０エンコーダホルダ（スペーサ） DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Screw shaft 20 Nut 30 Rolling bearing 31 Inner ring 31a Female thread part 32 Outer ring 32a First female thread part 32b Second female thread part 33 Rolling element 40 Stator 41 Hollow bolt 42 Stator head 43 Node 44 First piezoelectric element 45 Second piezoelectric element 46 Stator bottom 50 Preload connection means 51 Preload nut 52 Preload bolt 53 Preload spring 54 Locking piece 55 Fixing bolt 60 Rotating sensor 61 Encoder 62 Encoder holder 63 Mounting bolt 64 Sensor circuit 65 Sensor holder 70 Screw shaft 80 Nut 90 Encoder holder (Spacer)

Claims

ねじ軸に対するナットの相対的な回転運動を当該ねじ軸に対する当該ナットの相対的な直線運動に変換し、当該ねじ軸に対して当該ナットが目的の位置で停止すると、ブレーキ力によって当該位置に保持可能な位置決め装置において、
前記ナットに連結された内輪、前記内輪を取り囲む外輪、並びに前記内輪及び前記外輪間で転がる転動体を有する転がり軸受と、
前記外輪に連結され、前記内輪を介して前記ナットに駆動力を与える複合振動子型ステータと、
前記外輪に軸方向一方側から突き当る予圧用ナットと、
前記予圧用ナットにねじ込む予圧用ボルトと、
前記予圧用ナットの内側で前記ステータ及び前記予圧用ボルトによって軸方向に圧縮された予圧用ばねと、
前記ステータを周方向に回り止めすると共に径方向に支持する係止片と、
前記外輪にねじ込む固定ボルトと、
を備え、
前記予圧用ナット及び前記係止片は、前記固定ボルトによって前記外輪に締結されていることを特徴とする位置決め装置。 The relative rotational movement of the nut with respect to the screw shaft is converted into the relative linear motion of the nut with respect to the screw shaft, and when the nut stops at the target position with respect to the screw shaft, it is held at the position by the braking force. In a possible positioning device,
A rolling bearing having an inner ring coupled to the nut, an outer ring surrounding the inner ring, and rolling elements that roll between the inner ring and the outer ring;
A composite vibrator type stator that is connected to the outer ring and applies a driving force to the nut via the inner ring;
A preload nut that abuts against the outer ring from one side in the axial direction;
A preload bolt to be screwed into the preload nut;
A preload spring axially compressed by the stator and the preload bolt inside the preload nut;
A locking piece for locking the stator in the circumferential direction and supporting the stator in the radial direction;
A fixing bolt screwed into the outer ring;
Equipped with a,
The positioning device according to claim 1, wherein the preload nut and the locking piece are fastened to the outer ring by the fixing bolt .

前記内輪に連結され、前記内輪の回転運動を物理信号に変換するエンコーダと、
前記外輪に連結され、前記物理信号を出力信号に変換するセンサ回路と、
をさらに備え、
前記ステータは、前記転がり軸受を境とした軸方向一方側に配置され、前記エンコーダ及び前記センサ回路は、前記転がり軸受を境とした軸方向他方側に配置されている請求項１に記載の位置決め装置。 An encoder connected to the inner ring and converting the rotational movement of the inner ring into a physical signal;
A sensor circuit connected to the outer ring and converting the physical signal into an output signal;
Further comprising
The positioning according to claim 1, wherein the stator is disposed on one axial side with respect to the rolling bearing, and the encoder and the sensor circuit are disposed on the other axial side with respect to the rolling bearing. apparatus.

前記転がり軸受は、クロスローラ軸受になっている請求項１又は２に記載の位置決め装置。 The positioning device according to claim 1, wherein the rolling bearing is a cross roller bearing.

前記ナット及び前記ねじ軸は、すべりねじ又はボールねじになっている請求項１から３のいずれかに記載の位置決め装置。 The positioning device according to claim 1, wherein the nut and the screw shaft are a slide screw or a ball screw.

前記内輪にねじ込む取付けボルトをさらに備え、
前記ナットは、前記取付けボルトを用いた締結によって前記内輪に連結されている請求項１から４のいずれか１項に記載の位置決め装置。 A mounting bolt that is screwed into the inner ring;
The positioning device according to claim 1, wherein the nut is coupled to the inner ring by fastening using the mounting bolt.

前記ナット及び前記内輪間に介在するスペーサをさらに備え、
前記ナット及び前記スペーサは、前記締結によって前記内輪に連結されている請求項５に記載の位置決め装置。 A spacer interposed between the nut and the inner ring;
The positioning device according to claim 5, wherein the nut and the spacer are connected to the inner ring by the fastening.