JP6366216B2 - Tem画像化用の薄い試料を作製する方法 - Google Patents
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Description
704 SEMビーム
704 電子ビーム・カラム
706 FIB
706 集束イオン・ビーム・カラム
708 標本室
709 ポンプ・システム
710 電子源
718 加工物
722 走査型電子顕微鏡電源/制御ユニット
724 可動ステージ
738 システム・コントローラ
740 監視装置
756 FIB電源/制御ユニット
Claims (14)
- TEM分析用の試料を作製する方法であって、
関心のフィーチャを含む試料切片をバルク基板から少なくとも部分的に形成するステップと、
荷電粒子ビームを使用して前記試料の第1の側面を薄くして第1の試料面を露出させるステップと、
露出させた前記第1の試料面に、ビーム誘起付着を使用して材料の層を付着させるステップであって、前記試料の前記第1の側面を薄くして試料面を露出させる動作とこの露出させた試料面に材料の層を付着させる動作とが、同時に行われるステップであり、前記ビーム誘起付着は前記荷電粒子ビームの存在下で前記試料の前記第1の側面に前駆体ガスを導くことを含み、前記材料の層は前記荷電粒子ビームの影響下で前記試料の前記第1の側面に吸着した前記前駆体ガスの分子の解離によって形成される、ステップと、
前記試料の第2の側面を薄くするステップと、
付着させた前記材料の少なくとも一部を除去するステップと
を含む方法。 - 露出させた前記第2の試料面に材料の層を付着させるステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記試料の第1の側面を薄くする前記ステップと、露出させた前記第1の試料面に材料の層を付着させる前記ステップとを、所望の最終試料面が露出するまで繰り返すステップをさらに含む、請求項1または2に記載の方法。
- 粒子ビーム・システムを使用して前記試料を作製する、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 集束イオン・ビーム・システムを使用して前記試料を作製する、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- TEM分析用の試料を作製する方法であって、
粒子ビーム・システムの真空室に試料を装填するステップと、
荷電粒子ビーム・ミリングによって、関心のフィーチャを含む試料切片をバルク基板から少なくとも部分的に分離するステップと、
荷電粒子ビームを使用して前記試料の第1の側面を薄くして、第1の試料面を露出させるステップと、
露出させた前記第1の試料面に、ビーム誘起付着を使用して材料の層を付着させるステップであって、前記試料の前記第1の側面を薄くして試料面を露出させる動作とこの露出させた試料面に材料の層を付着させる動作とが、同時に行われるステップであり、前記ビーム誘起付着は前記荷電粒子ビームの存在下で前記試料の前記第1の側面に前駆体ガスを導くことを含み、前記材料の層は前記荷電粒子ビームの影響下で前記試料の前記第1の側面に吸着した前記前駆体ガスの分子の解離によって形成される、ステップと、
前記試料の第2の側面を前記粒子ビームを使用して薄くして、第2の試料面を露出させるステップと、
露出させた前記第2の試料面に、ビーム誘起付着を使用して材料の層を付着させるステップと
を含む方法。 - 付着させた前記材料の少なくとも一部を除去するステップをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 付着させた前記材料の少なくとも一部を除去する前記ステップが、付着させた前記材料の少なくとも一部を、イオン・ビーム・ミリングを使用せずに除去するステップを含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 付着させた前記材料の少なくとも一部を除去する前記ステップが、付着させた前記材料の少なくとも一部を、ガス支援エッチングによって除去するステップを含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 付着させた前記材料の少なくとも一部を除去する前記ステップが、前記試料を前記真空室から取り出した後に、付着させた前記材料の少なくとも一部を除去するステップを含む、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- コンピュータ・プログラムを含むように構成されたコンピュータ可読の非一時的記憶媒体であって、そのように構成された前記記憶媒体によって、コンピュータが、荷電粒子ビーム・システムを、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法のステップを実行するように制御する、記憶媒体。
- 前記試料の側面を薄くして試料面を露出させる前記ステップと、露出させた前記試料面に材料の層を付着させる前記ステップとを同時に実行する、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 最終的なTEM試料の厚さが30nm以下である、請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。
- 付着させた前記材料が、TEM試料の画像化を著しく妨害しない、請求項1から13のいずれか一項に記載の方法。
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