JP6356562B2 - 流路部材 - Google Patents
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Description
前記領域と同心円状の囲撓溝を有したものであることにより、領域外における未接合部が少なく、密閉性に優れる。
う。)内に流路4を備えるものである。なお、流路4の外周の内接円が領域5であり、図1においては、色調を異ならせて示している。
して炭化硼素(B4C)粉末、炭素粉末あるいは酸化アルミニウム(Al2O3)粉末、酸化イットリウム(Y2O3)粉末を準備し、所定量秤量した後、秤量後の粉末を所定量の溶媒(水)とともにボールミルなどの粉砕機に投入して平均粒径2μm以下となるように整粒する。その後さらにポリエチレングリコール,ポリエチレンオキサイド等のバインダーを適量添加してスラリーとした後、このスラリーをスプレードライヤーを用いて噴霧造粒することにより炭化珪素質顆粒を得る。
径1μm以下)を準備し、所定量秤量した後、攪拌ミルを用いて混合粉末とする。そして、この混合粉末にアルミナボール、有機溶剤(イソプロピルアルコールなど)を適量加えたものを円筒プラスチック容器中に入れ、回転装置を用いて8時間以上回転させ混合する
。
部材3の接合面同士を貼り合わせ、所定の圧力で加圧した後、窒素雰囲気中1200〜1500℃にて0.5〜3時間保持して熱処理することで本実施形態の流路部材1,10を得ることがで
きる。
出周波数500MHzの条件で測定し、得られたチャートを確認することによって未接合部
を確認することができる。また、全接合面積をA、チャートによって確認された未接合部の面積をBとし、B/A×100の式により計算すれば、接合面積率を算出することができ
る。
2:第1部材
3:第2部材
4:流路
5:中心から0.6Aの半径寸法の領域(領域)
6:囲繞溝
7:流入口
8:流出口
Claims (3)
- 接合面に形成された流路を備える円盤状のセラミック接合体からなり、該セラミック接合体における中心からの半径寸法をAとしたとき、前記中心から0.6Aの半径寸法の領域内に前記流路を備え、接合面における前記領域外のみに、前記領域と同心円状の囲繞溝を有していることを特徴とする流路部材。
- 異なる同心円状の前記囲繞溝を複数有していることを特徴とする請求項1に記載の流路部材。
- 半径の最も小さい前記囲繞溝を第1の囲繞溝、半径が2番目に小さい前記囲繞溝を第2の囲繞溝とし、前記領域の外周と前記第1の囲繞溝の内周との間隔をX、前記第1の囲繞溝の外周と前記第2の囲繞溝の内周との間隔をYとしたとき、Y/Xが0.8〜1.2の範囲内であることを特徴とする請求項2に記載の流路部材。
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JP2014196861A JP6356562B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | 流路部材 |
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JP2014196861A JP6356562B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | 流路部材 |
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JP2016069197A JP2016069197A (ja) | 2016-05-09 |
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- 2014-09-26 JP JP2014196861A patent/JP6356562B2/ja active Active
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