JP6349610B2

JP6349610B2 - 欠陥検査装置

Info

Publication number: JP6349610B2
Application number: JP2014210584A
Authority: JP
Inventors: 正樹布施
Original assignee: 株式会社メック
Priority date: 2014-10-15
Filing date: 2014-10-15
Publication date: 2018-07-04
Anticipated expiration: 2034-10-15
Also published as: JP2016080462A

Description

本発明は、欠陥検査装置に関する。

走行するフィルムに含まれる欠陥を検出するための欠陥検査装置が知られている。また低透過率の検査対象の検査装置にＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを使用した場合は、ブルーミングを防止するため、照明の光が直接、カメラに入力しないように遮光板を使用している（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５−６１９５５号公報

特許文献１に記載の欠陥検査装置では、検査対象の境界位置まで遮光板を移動させて、ＣＣＤカメラのブルーミングの防止ができている。しかしながら、検査対象がフィルムや樹脂板など、シート状の素材である場合、搬送方向と直角方向に部材の撓みが生じ、両側の端部が下方にカール（湾曲）することがある。この場合、検査領域と非検査領域との境界を誤検出してしまうという問題があった。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象の端部がカールしていても、検査領域と非検査領域との境界を誤検出することなく、遮光板を移動させることが可能な欠陥検査装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査装置は、検査対象の一方の主面側から照明するライン状照明装置と、前記ライン状照明装置によって照明された前記検査対象を他方の主面側から撮像するラインセンサと、前記検査対象の非検査領域を透過したライン状照明装置からの光を遮光する、前記検査対象の搬送方向とは垂直方向である幅方向のそれぞれの端部側に設けられた一対の遮光板と、前記一対の遮光板それぞれに取り付けられ、前記検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並び、前記ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または前記第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する第１センサ、第２センサ、第３センサと、前記一対の遮光板それぞれに取り付けられた第１センサ、第２センサ、第３センサの出力の組合せに応じて、前記一対の遮光板それぞれを独立に前記検査対象の幅方向に移動させる遮光板移動制御装置と、を備え、前記遮光板移動制御装置は、前記第２センサの出力が第１信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の非検査領域側から検査領域側に移動させ、前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を移動させず、前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第２信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の検査領域側から非検査領域側に移動させる、ことを特徴とする。

本発明によれば、遮光板移動制御装置は、遮光板に取り付けられ、検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並んでいる第１センサ、第２センサ、第３センサの出力に基づいて、遮光板を移動させる。これにより、検査対象がカールしている場合であっても、検査領域と非検査領域との境界を誤検出することなく、遮光板を移動させることが可能な欠陥検査装置を提供することができる。

本実施形態の装置構成の一例を示すブロック図である。本実施形態の検査対象１を説明するための図である。センサの出力と遮光板移動制御装置１１による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。センサの出力と比較例の遮光板移動制御装置による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。遮光板がない場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。遮光板がある場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
図１は、本実施形態の装置構成の一例を示すブロック図である。欠陥検査装置１００は、ライン状照明装置２、ラインセンサ３、自動遮光板４ａ、自動遮光板４ｂ、ロータリエンコーダ５、シーケンサ６、画像処理装置７、画像処理ＰＣ８、操作ＰＣ９、出力装置１０、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１、センサＡ２、センサＢ２、センサＣ２、及び遮光板移動制御装置１１から構成される。

欠陥検査装置１００の検査対象である検査対象１は、フィルムや樹脂板など、シート状（またはフィルム状）の透光性を有する素材である。検査対象１は、一方向に一定速度で搬送される。図２は、本実施形態の検査対象１を説明するための図である。図２は、検査対象１を搬送方向に対して垂直に切断した場合の断面図を表している。図２（ａ）に示すように、検査対象１は、透明フィルム１−１（非検査領域）と、加工部１−２（検査領域）とから構成される。加工部１−２は、透明フィルム１−１の幅方向（図１、及び図２に示す左右方向であり、搬送方向とは水平面において垂直な方向）端部以外に透過率の低い材料が塗布された領域である。加工部１−２の幅方向の両側に透明フィルム１−１がある。

本実施形態の欠陥検査装置１００は、遮光板を検査対象１の蛇行に合わせて自動追従させ、低透過率の加工部１−２を検査する。特に、遮光板は、図２（ａ）に示したような検査対象１の加工部分の境界（透明フィルム１−１と加工部１−２との境界部分）を自動追従する。さらに、詳細は後述するが、遮光板は、図２（ｂ）に示したような検査対象１の端部がカールした場合であっても、誤検出することなく加工部分の境界を自動追従することができる。

ライン状照明装置２は、検査対象１の一面を、検査対象１の一方の主面側から照明するためのものであり、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明、石英ロッド照明装置、光ファイバ照明装置など、ライン状の発光領域を有する照明装置である。本実施形態では、検査対象１が低透過率のため、ライン状照明装置２として、高輝度なＬＥＤ照明装置が用いられている。ＬＥＤ照明装置の長さは１２０ｍｍ単位で設定することが可能となっている。

ラインセンサ３は、例えばＣＣＤの５０００素子ラインセンサであり、焦点距離ｆが５０ｍｍのレンズを採用している。このラインセンサ３は１台で、１画素あたり０．１ｍｍの分解能の場合、検査対象１の約４５０ｍｍの範囲の画像を読み取ることができる。ただし、この例に限定されず、ラインセンサ３として、例えば、２０４８素子、４０９６素子、８１９２素子等、各種の素子数のものを用いることができ、検査対象１と検出欠陥の種類に応じて適正な素子数のものを選択すればよい。また、図１ではラインセンサ３は１台しか記載していないが、検査対象１の幅と幅分解能により、必要な台数を使用することが望ましい。
ラインセンサ３は、検査対象１の背面側からライン状照明装置２によって照射され、加工部１−２を透過した光を受光することで、検査対象１を他方の主面側から撮像する。

自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂ（一対の遮光板）は、ラインセンサ３が、検査対象１がない範囲、及び透明フィルム１−１の範囲からの高輝度な光を受光しないように遮光するために、検査対象１の上方に取り付けられている。なお、上下方向とは、検査対象１の搬送方向及び幅方向に垂直な方向である。自動遮光板４ａは、図１では検査対象１の幅方向の右側、すなわち検査対象１の端部側に設置される。一方、自動遮光板４ｂは、幅方向の左側、すなわち検査対象１の端部側に設置される。
自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂは、検査対象１の透明フィルム１−１と加工部１−２との境界を自動追従するように矢印の方向に独立に移動し、検査対象１がない範囲、及び透明フィルム１−１の範囲からの高輝度な光をラインセンサ３が受光しないようにする。
ここで、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂの検査対象１との幅方向の位置関係は、以下のように設定される。検査対象１と自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂとの間の上下方向の距離を距離Ｌとする。また、ラインセンサの受光角を受光角θとする。ラインセンサ３の周辺部からの光もれがないように、（Ｌ×tan（θ／２）＋α）分、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂのそれぞれの先端は、検査対象１の加工部１−２と透明フィルム１−１との境界よりも内側に設定される。ラインセンサ３として、焦点距離５０ｍｍのラインセンサ用レンズを採用する場合、θ＝３７°であり、例えば、Ｌ＝１０ｍｍ、α＝２ｍｍとすると、（１０×tan（３７°／２）＋２）＝６ｍｍ（小数点以下は切り上げ）となる。このようにして、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂのそれぞれの先端は、検査対象１の加工部１−２と透明フィルム１−１との境界よりも６ｍｍ内側に設定される。

ロータリエンコーダ５は、検査対象１の走行量に応じたパルスを出力するものである。ロータリエンコーダ５は、分解能パルスを出力し、検査対象１の走行速度が変化しても、流れ分解能を一定にしている。シーケンサ６は、ロータリエンコーダ５から出力されるパルスをカウントすることにより、ラインセンサ３の読み出しのタイミングを制御するためのものである。

画像処理装置７は、シーケンサ６から出力されるパルスに応じて、ラインセンサ３から出力される撮像データを読み取り、所定のライン単位でリアルタイムに欠陥検出処理を実施するものである。画像処理装置７として、例えばメック社製の画像処理装置（型名：ＬＳＣ６００）を用いることができる。画像処理装置７は、前処理部７−１、２値化部７−２、ランレングス符号化部７−３、連結性処理部７−４を備える。

前処理部７−１は、ラインセンサ３から得られる撮像データの補正、強調などを実施するためのものである。前処理部７−１は、例えば、検査対象１の走行速度の変動を補正する速度補正、レンズの歪や照明斑等による画像のばらつきを補正するシェーディング補正等を実施する。
２値化部７−２は、前処理部７−１から出力された画像データを、予め指定された閾値で２値化するものである。２値化部７−２は、例えば明暗に応じて画像を２値化する。
ランレングス符号化部７−３は、２値化データをライン単位で圧縮するものである。
連結性処理部７−４は、圧縮された２値化データの連結性処理を行うものであり、これにより、欠陥の位置、サイズ、座標等の特徴量を抽出する。

画像処理ＰＣ８は、リアルタイムＯＳで制御され、ライン状照明装置２、ラインセンサ３、シーケンサ６などを高速で制御するものである。また、画像処理ＰＣ８は、画像処理装置７から入力された画像データから、欠陥の座標、欠陥のサイズ、欠陥の分類名などを含む欠陥詳細データを生成して操作ＰＣ９に出力する。

操作ＰＣ９は、検査条件の設定、検査中の画面表示、過去の検査結果の確認等を行うためのものであり、ＯＳ（オペレーティングシステム）を搭載したコンピュータである。操作ＰＣ９は、検査中の画面表示として、画像処理ＰＣ８から出力された欠陥詳細データ、リストやマップ、画像などを出力装置１０に表示させる。

出力装置１０は、操作ＰＣ９の処理結果を提示する提示部として機能するものである。また、出力装置１０は、欠陥を検出した場合、警報、表示などにより報知する。ただし、この例に限定されず、出力装置１０による情報の提示形態は任意である。

センサＡ１（第１センサ）、センサＢ１（第２センサ）、センサＣ１（第３センサ）は、幅方向において、検査対象１の加工部１−２から透明フィルム１−１への向きに並ぶように、自動遮光板４ａに取り付けられている。センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、それぞれファイバセンサであり、ライン状照明装置２からの受光量が所定の閾値を超えると出力を第２信号から第１信号へと変化させるセンサである。ここで、第１信号はＯＮ信号であり、第２信号は第１信号とは異なるＯＦＦ信号である。
センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、幅方向に２ｍｍの間隔で配置されている。また、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、センサの寸法が１７×７ｍｍであるため、搬送方向にはずらして配置されている。なお、このセンサの幅方向間隔は、追従精度により適宜選択できるように構成されている。
同様に、センサＡ２（第１センサ）、センサＢ２（第２センサ）、センサＣ２（第３センサ）は、幅方向において、検査対象１の加工部１−２から透明フィルム１−１への向きに並ぶように、自動遮光板４ｂに取り付けられている。

遮光板移動制御装置１１は、自動遮光板４ａに取り付けられたセンサＡ１、センサＢ１、センサＣ１の出力の組合せに応じて、自動遮光板４ａを、検査対象１の搬送方向とは垂直方向である幅方向に移動させる。また、遮光板移動制御装置１１は、自動遮光板４ｂに取り付けられたセンサＡ２、センサＢ２、センサＣ２の出力の組合せに応じて、自動遮光板４ｂを、自動遮光板４ａとは独立に、検査対象１の搬送方向とは垂直方向である幅方向に移動させる。

続いて、遮光板移動制御装置１１が、センサの出力によって、どのように自動遮光板を移動させるかについて図３を参照して説明する。図３は、センサの出力と遮光板移動制御装置１１による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。なお、ここでは、一対の自動遮光板のうちの自動遮光板４ａ、及び自動遮光板４ａに取り付けられたセンサＡ１、センサＢ１、センサＣ１を、遮光板、センサＡ、センサＢ、センサＣとして説明する。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力の組合せが、図３に示すＮｏ−１〜Ｎｏ−４の４通りのいずれにあるかを判定する。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果（センサと検査対象１の位置関係）として、全センサが検査対象１の外側にあると判定する（Ｎｏ−１）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。ここで、内側とは幅方向における透明フィルム１−１（非検査領域側）から加工部１−２（検査領域側）への向きであり、外側とは幅方向における加工部１−２から透明フィルム１−１への向きである。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＡが検査対象１のエッジにあると判定する（Ｎｏ−２）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＢが加工部１−２内に、センサＣが透明フィルム１−１内にあり、すなわち、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する（Ｎｏ−３）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を移動させない。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＦＦの場合、判定結果として、全センサが加工部１−２内にあると判定する（Ｎｏ−４）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を外側に移動させる。

遮光板移動制御装置１１が、センサＡ，センサＢ，センサＣの出力を以上説明したように判定するため、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができる。図４は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。
図４（ａ）は、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮとなる。遮光板移動制御装置１１は、判定結果として、センサＡが検査対象１のエッジにあると判定する。遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。すなわち、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合と同様、遮光板を内側に移動させる。
図４（ｂ）は、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＮとなる。遮光板移動制御装置１１は、判定結果として、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する。遮光板移動制御装置１１は、遮光板を移動させない。

このように、図４（ａ）に示すセンサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが可能となり、図４（ｂ）に示すセンサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが可能となった。すなわち、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、図４（ｂ）に示すセンサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができる。これにより、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができるようになった。

この効果を明らかにするため、センサがセンサＡ、センサＢの２つしかない場合の遮光板移動制御装置を比較例として説明する。図５は、センサの出力と比較例の遮光板移動制御装置による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。なお、自動遮光板４ａ、センサＡ１、センサＢ１を遮光板、センサＡ、センサＢとして説明する。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡ、センサＢの出力の組合せが、図５に示すＮｏ−１〜Ｎｏ−３の３通りのいずれにあるかを判定する。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮの場合、判定結果として、全センサが検査対象１の外側にあると判定する（Ｎｏ−１）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を内側に移動させる。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＡが加工部１−２内に、センサＢが透明フィルム１−１内にあり、すなわち、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する（Ｎｏ−２）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を移動させない。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦの場合、判定結果として、両センサが加工部１−２内にあると判定する（Ｎｏ−３）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を外側に移動させる。

比較例の遮光板移動制御装置が、センサＡ，センサＢの出力を以上説明したように判定するため、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができなくなる。図６は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。
図６は、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮとなる。比較例の遮光板移動制御装置は、判定結果として、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する。比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を移動させない。

このため、図６に示すセンサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが不可能であり、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが不可能である。すなわち、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができない。そのため、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができなかった。
一方、図３及び図４を用いて説明したように、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力により判定する場合、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが可能となり、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが可能である。すなわち、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力により判定する場合、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができる。これにより、欠陥検査装置１００では、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができるようになる効果がある。

欠陥検査装置１００を使用して、低透過率の検査対象を検査する場合の、ラインセンサ３（カメラ）の出力波形がどのような波形になるかを説明する。図７は、遮光板がない場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。図８は、遮光板がある場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。図７及び図８においては、縦軸にラインセンサ３が出力する画像データを、横軸は検査対象１のエッジ（周辺）からの幅方向の距離を示す。
図７に示す様に、遮光板がない場合は、ラインセンサ３の飽和レベルを超える輝度の光が入射し、周辺のカメラ出力が変化する。つまり、ラインセンサ３が出力する画像データによって表される画像のブルーミングを防止できない。一方、図８に示す様に、本発明の自動遮光板を使用した検査では、図７とは異なり安定したカメラ出力が得られる。すなわち、ラインセンサ３が出力する画像データによって表される画像のブルーミングを防止できる。なお、図８の矢印の位置が遮光板の先端の位置である。
このように、本実施形態の欠陥検査装置１００は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、検査対象の境界位置まで遮光板を移動させて、ＣＣＤカメラのブルーミングの防止ができていることがわかる。

以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。
例えば、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂの外側にリミットセンサを配置してもよい。リミットセンサは、検査対象１が誤って自動遮光板よりも外側に移動することを防止するためのセンサである。検査対象１が、リミットセンサが検出する位置まで移動してきた場合には、異常があるものと判定して自動遮光板を外側に退避して検査を終了する構成としてもよい。また、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、ライン状照明装置２からの受光量が所定の閾値を超えると出力を第２信号から第１信号へと変化させるセンサである。ここで、第１信号はＯＮ信号であり、第２信号は第１信号とは異なるＯＦＦ信号であると説明したが、第１信号がＯＦＦ信号であり、第２信号がＯＮ信号であってもよい。センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する。

１：検査対象、１−１：透明フィルム、１−２：加工部、２：ライン状照明装置、３：ラインセンサ、４ａ，４ｂ：自動遮光板、５：ロータリエンコーダ、６：シーケンサ、７：画像処理装置、７−１：前処理部、７−２：２値化部、７−３：ランラングス符号化部、７−４：連結性処理部、８：画像処理ＰＣ、９：操作ＰＣ、１０：出力装置、１１：遮光板移動制御装置、１００：欠陥検査装置、Ａ，Ａ１，Ａ２，Ｂ，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ，Ｃ１，Ｃ２…センサ

Claims

検査対象の一方の主面側から照明するライン状照明装置と、
前記ライン状照明装置によって照明された前記検査対象を他方の主面側から撮像するラインセンサと、
前記検査対象の非検査領域を透過したライン状照明装置からの光を遮光する、前記検査対象の搬送方向とは垂直方向である幅方向のそれぞれの端部側に設けられた一対の遮光板と、
前記一対の遮光板それぞれに取り付けられ、前記検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並び、前記ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または前記第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する第１センサ、第２センサ、第３センサと、
前記一対の遮光板それぞれに取り付けられた第１センサ、第２センサ、第３センサの出力の組合せに応じて、前記一対の遮光板それぞれを独立に前記検査対象の幅方向に移動させる遮光板移動制御装置と、
を備え、
前記遮光板移動制御装置は、
前記第２センサの出力が第１信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の非検査領域側から検査領域側に移動させ、
前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を移動させず、
前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第２信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の検査領域側から非検査領域側に移動させる、
ことを特徴とする欠陥検査装置。