JP6344593B2 - 欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
図1において、工程S1に記載の「走査方向」とは、評価工程において後述する「峡谷法」を用いて画素を走査する方向であり、例えば図3乃至図6における矢印A1の方向のことである。
図2(a)(b)に示すように、本発明における評価工程では前述した「峡谷法」が用いられる。図2(a)は、クラックC2(図21(b)参照)を矢印A1の方向に走査する様子を示す。図2(b)において、走査方向の矢印A1は4つの矢印A1a、矢印A1b、矢印A1c、矢印A1dからなる。矢印A1aから順に輝度値を追っていくと、輝度値の高い背景から始まり、おおむねクラックと想定される谷に向けて輝度値が低下して、最も輝度値の低い谷を越えると再び輝度値の高い背景となる。「峡谷法」は、クラックを構成する画素が有する以下の2つの特徴を利用して、「クラックらしさ」の高い画素を抽出する方法である。
次に、選抜工程について説明する。図9(a)(b)(c)は、画像を使用して選抜工程全体のブロック図を示したものである。
次に連結工程について説明する。連結工程の基本の説明として、図12乃至図16を用いて、画像処理における膨張処理、収縮処理、オーブニング処理、クロージング処理の説明を行う。
選抜画素に対する連結工程が終了すると、各方向成分の連結工程により得られた連結結果画像を重ね合わせて合成する。次に各方向成分について得られた連結結果画像に対して、次の修正工程において、サイズ(幅と長さ)、面積(画素数)、あるいは幅と長さの比等の形状特徴量に準拠して定めた閾値に基づいてノイズと判断された画素群を除去する。
K、O 第1隣接画素
C、W 第2隣接画素
A、E、U、Y 第3隣接画素
Claims (5)
- 欠陥検査方法において、
被検査物の表面を撮像して複数の画素を含む撮像画像を入手する工程と、
撮像画像に対して予め定められた複数方向から当該方向用の走査フィルタを用いて走査して、各々の走査方向に関し各画素を注目画素としてその輝度が、走査方向の両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第1隣接画素の輝度より高くなり、かつ走査方向に直交する両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第2隣接画素の輝度が、この第2隣接画素の走査方向の両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第3隣接画素の輝度より高くなる場合に高い評価値を与える工程と、
各々の走査方向に対応する画素の評価値に基づいて、選抜画素を選抜する工程と、
各々の走査方向について選抜画素の連結を行う工程と、
各々の走査方向の選抜画素を合成し、選抜画素のうち所定の形状から外れる選抜画素を取除く工程と、
を備え、
4つの前記第3隣接画素により矩形状に囲まれた複数の画素において、
各注目画素の評価値は、前記矩形状に囲まれた複数の画素に走査フィルタの係数を掛けた合算値となり、
前記矩形状に囲まれた複数の画素のうち、前記注目画素、前記第1隣接画素、前記第2隣接画素および前記第3隣接画素以外の画素の走査フィルタの係数を0とする、
ことを特徴とする欠陥検査方法。 - 欠陥検査方法において、
被検査物の表面を撮像して複数の画素を含む撮像画像を入手する工程と、
撮像画像に対して予め定められた複数方向から当該方向用の走査フィルタを用いて走査して、各々の走査方向に関し各画素を注目画素としてその輝度が、走査方向の両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第1隣接画素の輝度より低くなり、かつ走査方向に直交する両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第2隣接画素の輝度が、この第2隣接画素の走査方向の両側に位置するとともに参照位置が2以上の特定のピクセル数だけ離れた第3隣接画素の輝度より低くなる場合に高い評価値を与える工程と、
各々の走査方向に対応する画素の評価値に基づいて、選抜画素を選抜する工程と、
各々の走査方向について選抜画素の連結を行う工程と、
各々の走査方向の選抜画素を合成し、選抜画素のうち所定の形状から外れる選抜画素を取除く工程と、
を備え、
4つの前記第3隣接画素で矩形状により囲まれた複数の画素において、
各注目画素の評価値は、前記矩形状に囲まれた複数の画素に走査フィルタの係数を掛けた合算値となり、
前記矩形状に囲まれた複数の画素のうち、前記注目画素、前記第1隣接画素、前記第2隣接画素および前記第3隣接画素以外の画素の走査フィルタの係数を0とする、
ことを特徴とする欠陥検査方法。 - 選抜画素を選抜する工程において、第1の閾値より高い評価値をもつ画素を1次選抜画素として選抜し、第1閾値より低い第2閾値より高い評価値をもつ画素を2次選抜画素として選抜し、2次選抜画素のうち1次選抜画素に隣接する画素および当接隣接する画素に更に隣接する画素を1次選抜画素として変更することを特徴とする請求項1または2記載の欠陥検査方法。
- 選抜画素の連結を行なう工程において、膨張処理または収縮処理を実行して選抜画素の連結を行なうことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の欠陥検査方法。
- 複数方向の走査フィルタは、0°方向走査用フィルタ、45°方向走査用フィルタ、90°方向走査用フィルタおよび135°方向走査用フィルタからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の欠陥検査方法。
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