JP6343471B2 - Magnetron and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、マグネトロン及びその製造方法に関するものであり、特に、マグネトロンの冷却構造及びその製造方法に係るものである。 The present invention relates to a magnetron and a manufacturing method thereof, and more particularly to a magnetron cooling structure and a manufacturing method thereof.
従来、一般的なマグネトロンは、発振部の上下に磁石が設けられ、その周りをヨークが囲って磁気回路を形成している。さらに発振部の下方には入力部と、この入力部に接続されるフィルターが設けられ、さらにこれらを覆うようにシールドボックスが設けられている。 Conventionally, in a general magnetron, magnets are provided above and below an oscillating portion, and a yoke surrounds it to form a magnetic circuit. Further, an input unit and a filter connected to the input unit are provided below the oscillation unit, and a shield box is provided so as to cover them.
マグネトロンは、その動作時に、発振部の特に陽極が高温になる為、空冷又は液冷などによる強制冷却が必要である。そこで、図６（Ａ）に示すように、家庭用の電子レンジなどに搭載される比較的低出力のマグネトロンでは、空冷による冷却構造として空冷フィンからなるラジエータ１００が発振部１０１の陽極円筒１０２の外周に圧入されている。
The magnetron needs to be forcibly cooled by air cooling or liquid cooling because the anode of the oscillating portion, particularly the anode, becomes hot during its operation. Therefore, as shown in FIG. 6A, in a relatively low-power magnetron mounted in a home microwave oven or the like, a
一方で、工業用や業務用などのマグネトロンのように大出力のものだと、空冷での強制冷却では冷却性能が十分ではない為、液冷による強制冷却を行う場合が多い。また、例えば、クリーンルーム内で使用される用途のマグネトロンでは、空冷での強制冷却自体が問題となる為、液冷による強制冷却を行う場合が多い。 On the other hand, if the output is large, such as industrial or commercial magnetrons, forced cooling by air cooling is not sufficient in cooling performance, so forced cooling by liquid cooling is often performed. For example, in a magnetron for use in a clean room, forced cooling by air cooling itself becomes a problem, so forced cooling by liquid cooling is often performed.
液冷の場合、その冷却構造には幾つかのタイプがあり、例えば図６（Ｂ）に示すように、冷却水が通る流通管路が内部に形成された冷却ブロック１１０を、陽極円筒１１１の外周に接触させるようにして組み込んだものがある。また、例えば図６（Ｃ）に示すように、冷却水が通る冷却パイプ１２０を、陽極円筒１２１の外周に巻き付けてロー付けで固定したものがある。さらに、例えば図６（Ｄ）に示すように、陽極円筒１３０の外周に冷却ジャケット１３１を形成して、この陽極円筒１３０と冷却ジャケット１３１との間に設けられる隙間に冷却水を通すようにしたものがある（例えば、特許文献１乃至３参照）。
In the case of liquid cooling, there are several types of cooling structures. For example, as shown in FIG. 6 (B), a cooling block 110 in which a flow channel through which cooling water passes is formed inside an
ところで、従来の液冷の冷却構造のうち、冷却ブロックを設けるタイプや、冷却パイプを巻き付けるタイプの場合、陽極円筒に冷却水が直接触れず、間に冷却ブロックや冷却パイプが介在する為、陽極円筒に冷却水が直接触れる冷却ジャケットを設けるタイプと比べて、冷却性能が落ちる。 By the way, in the conventional liquid cooling type cooling structure type in which the cooling block is provided or the type in which the cooling pipe is wound, the cooling water or the cooling pipe is interposed between the anode cylinder and the cooling water or the cooling pipe. Compared with the type in which a cooling jacket is provided in which the cooling water directly touches the cylinder, the cooling performance is lowered.
ゆえに、冷却性能を考えれば、液冷の冷却構造としては、冷却ジャケットを設けるタイプを採用することが望ましい。 Therefore, considering the cooling performance, it is desirable to adopt a type in which a cooling jacket is provided as the liquid cooling structure.
一方で、冷却ジャケットを設けるタイプの場合、陽極円筒と冷却ジャケットとの間に冷却水を通す為の隙間（すなわち流路）を設けつつ冷却水が漏洩しないようにこの流路を密閉（流路の入出口は除く）する必要がある。この為、従来の冷却ジャケットを設けるタイプでは、例えば、陽極円筒にベインをロー付けして陽極部を生成する工程で、同時に陽極円筒に冷却ジャケットをロー付けするようになっていた。 On the other hand, in the case of a type in which a cooling jacket is provided, the flow path is sealed (flow path) so that the cooling water does not leak while providing a gap (that is, a flow path) for passing cooling water between the anode cylinder and the cooling jacket. Except for entrances and exits. For this reason, in the conventional type in which the cooling jacket is provided, for example, in the step of brazing the anode cylinder to produce the anode portion, the cooling jacket is brazed to the anode cylinder at the same time.
しかしながら、ロー付けの為のロー材は高価である為、このように陽極円筒に冷却ジャケットをロー付けすると、例えば、一般的な溶接を行う場合と比して材料コストが高くつく。また、このように陽極部の生成時に陽極円筒に冷却ジャケットを取り付けてしまうと、その後、発振部内を真空にする為の排気によって流路内に付着した酸化膜を取り除くときに、流路が既に入出口以外密閉されている為、酸化膜の除去に非常に手間がかかり、結果として、製造コストが高くついてしまう。 However, since the brazing material for brazing is expensive, if the cooling jacket is brazed to the anode cylinder in this way, for example, the material cost is high compared with the case of performing general welding. In addition, if the cooling jacket is attached to the anode cylinder during the generation of the anode part in this way, the flow path has already been removed when the oxide film adhering to the flow path is removed by the exhaust for evacuating the inside of the oscillation part. Since it is hermetically sealed except for the inlet / outlet, it takes much time to remove the oxide film, resulting in high manufacturing costs.
このように、従来の冷却ジャケットを設けるタイプの冷却構造では、冷却性能は高いものの、コストが高くつくという問題があった。 As described above, the cooling structure of the type provided with the conventional cooling jacket has a problem that the cooling performance is high but the cost is high.
そこで、本発明は、上記課題を解決する為になされたものであり、コストを抑えつつ良好な冷却性能を得ることのできるマグネトロン及びその製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a magnetron capable of obtaining good cooling performance while suppressing cost and a method for manufacturing the same.
上記目的を達成する為に、本発明の実施の形態に係るマグネトロンは、中心軸に沿って延びる円筒状の陽極円筒と、前記陽極円筒の前記中心軸方向の一端部の内側と溶接される第１の金属封着体と、前記陽極円筒の前記中心軸方向の他端部の内側と溶接される第２の金属封着体と、前記陽極円筒の前記中心軸方向の両端部の外側と溶接され、当該陽極円筒の外周との間に当該陽極円筒を冷却する為の液体が通る流路を形成する冷却ジャケットとを具備し、前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの一端部と前記陽極円筒の一端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなるとともに、前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなる、ことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a magnetron according to an embodiment of the present invention is welded to a cylindrical anode cylinder extending along a central axis and an inner side of one end portion of the anode cylinder in the central axis direction. 1 metal sealing body, a second metal sealing body welded to the inner side of the other end portion of the anode cylinder in the central axis direction, and a welded outer side of both end portions of the anode cylinder in the central axis direction. And a cooling jacket that forms a flow path through which a liquid for cooling the anode cylinder passes between the outer periphery of the anode cylinder and the inner side of the one end of the anode cylinder and the first metal seal A welded portion with a body, and a welded portion between one end of the cooling jacket and an outer side of the one end of the anode cylinder have the same welding direction, and an inner side of the other end of the anode cylinder and the first 2 and the other end of the cooling jacket A welding portion between the outer other end of the anode cylinder, the welding direction is in the same structure, characterized in that.
また、本発明の実施の形態に係るマグネトロンの製造方法は、中心軸に沿って延びる円筒状の陽極円筒の前記中心軸方向の一端部の内側と、第１の金属封着体とを溶接するとともに、前記陽極円筒の前記中心軸方向の他端部の内側と第２の金属封着体とを溶接する第１の溶接工程と、前記第１の溶接工程の後に、前記陽極円筒の前記中心軸方向の両端部の外側と、当該陽極円筒の外周との間に当該陽極円筒を冷却する為の液体が通る流路を形成する冷却ジャケットとを溶接する第２の溶接工程とを具備し、前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの一端部と前記陽極円筒の一端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなるとともに、前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなり、前記第２の溶接工程では、前記第１の溶接工程で行う前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接と同じ溶接方向で、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接を行うとともに、前記第１の溶接工程で行う前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接と同じ溶接方向で、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接を行う、ことを特徴とする。 In the magnetron manufacturing method according to the embodiment of the present invention, the inner side of the one end portion in the central axis direction of the cylindrical anode cylinder extending along the central axis is welded to the first metal sealing body. And a first welding step of welding the inner side of the other end of the anode cylinder in the central axis direction and a second metal sealing body, and the center of the anode cylinder after the first welding step. A second welding step of welding a cooling jacket that forms a flow path through which a liquid for cooling the anode cylinder passes between the outside of both ends in the axial direction and the outer periphery of the anode cylinder; A welded portion between the inner side of one end of the anode cylinder and the first metal sealing body, and a welded portion between the one end of the cooling jacket and the outer side of the one end of the anode cylinder have the same welding direction. And the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal The welded portion with the adherend, and the welded portion between the other end of the cooling jacket and the outside of the other end of the anode cylinder have the same welding direction. In the second welding step, The other end of the cooling jacket and the outer side of the other end of the anode cylinder in the same welding direction as the inner side of the one end of the anode cylinder and the first metal sealing body performed in the welding step 1; And the other end of the cooling jacket in the same welding direction as the welding of the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal sealing body performed in the first welding step. It welds with the outer side of the other end part of an anode cylinder, It is characterized by the above-mentioned.
本発明の実施の形態によれば、陽極円筒と冷却ジャケットとの接合を、陽極円筒と第１及び第２の金属封着体との接合と同じ溶接にしたことで、ロー材を用いて接合する場合と比べて材料コストを抑えることができる。また、陽極円筒と冷却ジャケットとの接合がロー付けではない為、陽極部の生成時に、陽極円筒に冷却ジャケットを接合する必要がなく、排気後に、露出している陽極円筒の外周面に付着している酸化膜を取り除いてから陽極円筒に冷却ジャケットを接合すれば良いので、従来と比して酸化膜を取り除く工程を簡略化することができ、製造コストを抑えることができる。 According to the embodiment of the present invention, the joining of the anode cylinder and the cooling jacket is the same welding as the joining of the anode cylinder and the first and second metal sealing bodies, so that the joining is performed using the brazing material. Compared to the case, the material cost can be reduced. In addition, since the joining of the anode cylinder and the cooling jacket is not brazed, it is not necessary to join the cooling jacket to the anode cylinder when the anode part is generated, and it adheres to the exposed outer peripheral surface of the anode cylinder after exhaust. Since the cooling jacket may be joined to the anode cylinder after removing the oxide film, the process of removing the oxide film can be simplified as compared with the conventional case, and the manufacturing cost can be reduced.
さらに、陽極円筒の一端部分と第１の金属封着体との溶接部分が、陽極円筒の第１の突出部と冷却ジャケットとの溶接部分と、溶接方向が同じ構造でなり、前記陽極円筒の他端部分と前記第２の金属封着体との溶接部分が、前記陽極円筒の第２の突出部と前記冷却ジャケットとの溶接部分と、溶接方向が同じ構造でなる為、陽極円筒を第１及び第２の金属封着体に溶接するときと同じ溶接設備を用いて、同じ溶接方向から、陽極円筒に冷却ジャケットを溶接することができるので、一段と製造コストを抑えることができる。 Further, the welded portion between the one end portion of the anode cylinder and the first metal sealing body has the same welding direction as that of the welded portion between the first projecting portion of the anode cylinder and the cooling jacket. Since the welded portion between the other end portion and the second metal sealing body has the same welding direction as the welded portion between the second projecting portion of the anode cylinder and the cooling jacket, Since the cooling jacket can be welded to the anode cylinder from the same welding direction using the same welding equipment as when welding the first and second metal seals, the manufacturing cost can be further reduced.
かくして、コストを抑えつつ良好な冷却性能を得ることのできるマグネトロン及びその製造方法を提供できる。 Thus, it is possible to provide a magnetron capable of obtaining good cooling performance while suppressing costs and a manufacturing method thereof.
本発明に係るマグネトロンの一実施の形態を、図面を参照して説明する。尚、以下の実施の形態は、単なる例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。 An embodiment of a magnetron according to the present invention will be described with reference to the drawings. The following embodiment is merely an example, and the present invention is not limited to this.
［第１の実施の形態］
まず、第１の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態のマグネトロン１の概略を示す縦断面図である。
[First Embodiment]
First, the first embodiment will be described. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an outline of a magnetron 1 of the present embodiment.
マグネトロン１は、マグネトロン本体２と、フィルターボックス３とを有している。マグネトロン本体２は、マイクロ波を発振する発振部４と、発振部４に電力を供給する入力部５と、発振部４によって発振されたマイクロ波をマグネトロン本体２外に取り出す出力部６とで構成され、発振部４の管軸ｍ方向の一端側に入力部５が設けられ、他端側に出力部６が設けられている。発振部４と、入力部５及び出力部６は、管軸ｍ方向に延びる筒状の鉄でなる金属封着体７及び８によって、真空気密に接合されている。
The magnetron 1 has a magnetron body 2 and a
尚、管軸ｍは、マグネトロン本体２の中心軸である。また、以下の説明では、マグネトロン本体２の管軸ｍ方向の一端側を下端側及び入力側と定義すると共に、他端側を上端側及び出力側と定義する。 The tube axis m is the central axis of the magnetron body 2. In the following description, one end side of the magnetron body 2 in the tube axis m direction is defined as a lower end side and an input side, and the other end side is defined as an upper end side and an output side.
発振部４は、陽極部９と陰極部１０とで構成され、陽極部９は、管軸ｍ方向に延びる円筒状の銅でなる陽極円筒１１と、この陽極円筒１１の内周面から管軸ｍに向かって突出する複数個のベイン１２とを有している。ベイン１２は、ロー付けにより陽極円筒１１に固定されている。この発振部４は、詳しくは後述するが、陽極円筒１１の上下両端部の内側と金属封着体７、８の最外周部とが気密に溶接されることで、入力部５及び出力部６と真空気密に接合されるようになっている。
The oscillating unit 4 includes an
陰極部１０は、フィラメント１３と、一対のエンドハット１４、１５と、陰極センターリード１６と、陰極サイドリード１７とを有している。フィラメント１３は、管軸ｍ上に配設されていて、エンドハット１４、１５は、フィラメント１３の上下両端部に設けられている。
The
陰極センターリード１６は、上端がエンドハット１４に固定され、当該エンドハット１４を介してフィラメント１３と接続されている。陰極サイドリード１７は、上端がエンドハット１５に固定され、当該エンドハット１５を介してフィラメント１３と接続されている。また、陰極センターリード１６と陰極サイドリード１７は、それぞれその下端が、マグネトロン本体２の下端側に位置する入力部５に向かって延びている。
The upper end of the
ベイン１２は、その先端である遊端が、フィラメント１３との間に所定の間隔を保つように配設されている。ベイン１２の遊端とフィラメント１３との間に形成される環状空間が作用空間となっている。
The
陽極円筒１１の上端側と下端側には、内周側に、略漏斗状（略すり鉢状）の一対のポールピース１８、１９が、作用空間を管軸ｍ方向（すなわち上下方向）に挟んで対向して設けられている。ポールピース１８、１９は、詳しくは後述するが、陽極円筒１１の上下両端部の内側と、金属封着体７、８の最外周部との間で挟持されて、陽極円筒１１と金属封着体７、８との溶接によってこれらに固定されている。
A pair of generally funnel-shaped (substantially mortar-shaped)
陽極円筒１１の下端側に設けられている入力側のポールピース１９の下方には、フィラメント印加用電流及びマグネトロン駆動用高電圧を供給する為の入力部５が設けられている。入力部５は、フィルターボックス３に覆われていて、陰極センターリード１６及び陰極サイドリード１７を保持するセラミックステム２０を有している。
Below the input
また、陽極円筒１１の上端側に設けられている出力側のポールピース１８の上方には、マイクロ波を伝送し放射する為のアンテナリード２１を有する出力部６が設けられている。
An
出力部６は、アンテナリード２１と、絶縁筒２２と、排気管２３とを有している。排気管２３は、絶縁筒２２の上端に接合されている。アンテナリード２１は、下端が複数のベイン１２のうちの１つに接続され、上端が管軸ｍに沿って上方へと延び、絶縁筒２２内を通り排気管２３に挟持され固定されている。
The
入力側のポールピース１９の下方と出力側のポールピース１８の上方には、金属封着体７、８の外側に、一対のフェライトでなる環状永久磁石２４、２５が、陽極円筒１１を管軸ｍ方向（すなわち上下方向）に挟んで対向して設けられている。
Below the input
陽極円筒１１と、環状永久磁石２４、２５は、枠状ヨーク２６、２７により覆われている。環状永久磁石２４、２５は、ポールピース１８、１９と対向する面とポールピース１８、１９とが磁気的に結合されると共に、その反対側の面と枠状ヨーク２６、２７とが磁気的に結合されることにより形成された磁気回路によって、ベイン１２とフィラメント１３との間の作用空間に磁界を供給している。
The
さらに、図１にくわえて図２に示すように、マグネトロン１は、陽極円筒１１の外側に、陽極円筒１１の外周との間に冷却水が通る流路を形成する円筒状の冷却ジャケット３０が焼嵌されている。この冷却ジャケット３０は、銅でなり、詳しくは後述するが、その上下両端部の内側と、陽極円筒１１の上下両端部の外周から管軸ｍ方向と直交する水平方向（陽極円筒１１の径方向）に突出する円環状のビード３１、３２とが気密に溶接されることで、陽極円筒１１の外周との間に密閉された流路を形成するようになっている。
Further, as shown in FIG. 2 in addition to FIG. 1, the magnetron 1 has a
また、陽極円筒１１の外周には、上側のビード３１と下側のビード３２との間の中央にもう１本ビード３３が設けられていて、これにより、流路が上側の流路と下側の流路とに分けられている。さらに、中央のビード３３は、その一部が上下方向に切り欠かれていることにより、この切り欠き部分で、上側の流路と下側の流路とが繋がっている。
Further, on the outer periphery of the
また、冷却ジャケット３０には、その上部に、上側の流路と繋がる管状の入口部３４が設けられているとともに、その下部に、下側の流路と繋がる管状の出口部３５が設けられている。
The cooling
そして、実際、マグネトロン１の動作時、冷却ジャケット３０の入口部３４から、上側の流路、そして下側の流路へと冷却水が流れ、このとき陽極円筒１１の外周に直接冷却水が触れることで陽極円筒１１が冷却され、その後、温まった冷却水が、下側の流路から出口部３５へと流れて出口部３５から外に排出される。
Actually, when the magnetron 1 is in operation, the cooling water flows from the
このように、マグネトロン１は、冷却性能が高い冷却ジャケット３０を設けるタイプの冷却構造を有している。マグネトロン１の構成の概略は、以上のようになっている。
Thus, the magnetron 1 has a type of cooling structure in which the cooling
次に、図３（Ａ）及び（Ｂ）を用いて、陽極円筒１１と金属封着体７、８との溶接部分の構造、及び陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との溶接部分の構造と、これらの溶接方法について、詳しく説明する。
Next, using FIGS. 3A and 3B, the structure of the welded portion between the
まず、陽極円筒１１と第１の金属封着体としての金属封着体８及び第２の金属封着体としての金属封着体７との溶接部分の構造と、その溶接方法について説明する。尚、陽極円筒１１と金属封着体７との溶接部分の構造とその溶接方法と、陽極円筒１１と金属封着体８との溶接部分の構造とその溶接方法は同一である為、ここでは、陽極円筒１１と金属封着体８との溶接部分の構造とその溶接方法について説明することとする。
First, the structure of the welded portion between the
陽極円筒１１は、出力側となる上端部４０の内側に、円環状の段差４１が設けられていて、この段差４１よりも先端側の部分がこの段差４１よりも中央側の部分より薄く形成されている。出力側の金属封着体８は、水平部分の最外周部４２が、出力側のポールピース１８側（すなわち下側）に折り曲げられ下側に延びている。
The
出力側のポールピース１８は、最外周部の金属封着体８と対向する側に、円環状の段差４３が形成されていて、この段差４３に出力側の金属封着体８の最外周部４２が嵌合され、この最外周部４２と、陽極円筒１１の段差４１との間で管軸ｍ方向（すなわち上下方向）に挟持される。
The output
図３（Ａ）に示すように、陽極円筒１１の上端部４０は、溶接される前、段差４１との間でポールピース１８を挟持している金属封着体８の水平部分よりも上方に所定量だけ突出するようになっている。そして、溶接時、この上端部４０の外側から、矢印Ａで示す斜めの溶接方向に電極５０を当ててアークを発生させＴＩＧ（Tungsten Inert Gas）溶接を行うことで、陽極円筒１１の上端部４０が金属封着体８の上に被さるように溶けて金属封着体８と溶接される。尚、本実施の形態の場合、矢印Ａで示す斜めの溶接方向は、陽極円筒１１の上端部４０の外側から内側へ向かう方向であり、管軸ｍ方向（上下方向）と直交する水平方向に対して２０度の角度を持つ方向であるとする。
As shown in FIG. 3 (A), the
このＴＩＧ溶接を、陽極円筒１１の上端部４０の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の内側に出力側の金属封着体８が気密に溶接される。また、陽極円筒１１の入力側でも、同様のＴＩＧ溶接を、陽極円筒１１の下端部の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の内側に入力側の金属封着体７が気密に接合される。このようにして、陽極円筒１１と金属封着体７、８とが溶接されるようになっている。
This TIG welding is performed over the entire circumference of the
次に、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との溶接部分の構造と、その溶接方法について説明する。尚、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０は、上側と下側の２箇所で溶接されるが、どちらも、溶接部分の構造及び溶接方法については同じである。
Next, the structure of the welded portion between the
冷却ジャケット３０は、上端部６０及び下端部６１の内側に、円環状の段差６２、６３が設けられていて、この段差６２、６３よりも先端側の部分がこの段差６２と６３の間の部分より薄く形成されている。
The cooling
そして、この冷却ジャケット３０は、陽極円筒１１の外周から突出する第１のビードとしての上側のビード３１が上側の段差６２に当接するとともに、第２のビードとしての下側のビード３２が下側の段差６３に当接するようにして、上側のビード３１と下側のビード３２との間で挟持される。
The cooling
図３（Ａ）に示すように、冷却ジャケット３０の上端部６０は、溶接される前、上側のビード３１よりも上方に所定量だけ突出するようになっている。ここで、冷却ジャケット３０の上側の段差６２より先端側の部分は、その厚さ及び突出量が、陽極円筒１１の上側の段差４１より先端側の部分の厚さ及び突出量と同一になっている。
As shown in FIG. 3A, the
つまり、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分の構造は、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分の構造と同一形状であり、溶接方法も同一となっている。よって、図３（Ｂ）に示すように、冷却ジャケット３０の上端部６０と、陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接時、冷却ジャケット３０の上端部６０の外側から、矢印Ａで示す斜めの溶接方向に電極５０を当ててアークを発生させＴＩＧ溶接を行うことで、冷却ジャケット３０の上端部６０が陽極円筒１１の上側のビード３１の上に被さるように溶けて陽極円筒１１と溶接される。
That is, the structure of the welded portion between the
このＴＩＧ溶接を、冷却ジャケット３０の上端部６０の全周に亘って行う。また、冷却ジャケット３０の下端側でも、同様のＴＩＧ溶接を、冷却ジャケット３０の下端部６１の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の外側に冷却ジャケット３０が気密に接合される。このようにして、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０とが溶接されるようになっている。
This TIG welding is performed over the entire circumference of the
実際の陽極部９の生成から冷却ジャケット３０の取り付けまでの主な工程としては、陽極円筒１１にベイン１２をロー付けするなどして陽極部９を生成した後、陽極円筒１１と金属封着体７、８とを上述の溶接方法で溶接することで、発振部４と入力部５及び出力部６とを気密に接合する。その後、発振部４内を真空にする為の排気を行う。次に、排気時の加熱によって陽極円筒１１の外周面に形成された酸化膜を除去する。その後、陽極円筒１１と金属封着体７、８とを溶接したときと同一の溶接方法で、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０とを溶接する。
The main steps from the actual generation of the
ここまで説明したように、第１の実施の形態のマグネトロン１では、陽極円筒１１に冷却ジャケット３０を接合するタイプの冷却構造を採用したことにより、他のタイプと比べて良好な冷却性能を得ることができる。そのうえで、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との接合を、陽極円筒１１と金属封着体７、８との接合と同じ溶接にしたことで、高価なロー材を用いて接合する場合と比べて材料コストを抑えることができる。
As described so far, in the magnetron 1 according to the first embodiment, a cooling structure of a type in which the cooling
また、マグネトロン１では、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との接合が、陽極部９を生成するときに用いるロー付けではない為、陽極部９の生成時に、陽極円筒１１に冷却ジャケット３０をロー付けする必要がなく、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との溶接を排気後の工程とすることができる。
In the magnetron 1, the joining of the
この為、排気時には、陽極円筒１１の外側に冷却ジャケット３０がまだ接合されていない状態であることから、陽極円筒１１を直接加熱して排気することができ、これにより、従来と比べて迅速に発振部４内の真空度を所定の値へ到達させることができる、もしくは、従来と比べて発振部４内の真空度をより高くすることができる。
For this reason, since the cooling
さらに、排気後には、露出している陽極円筒１１の外周面にしか酸化膜が付着しない為、ホーニング処理やサンドブラスト処理などの表面処理を行うだけで簡単に酸化膜を除去することができ、従来のように密閉された流路の中に付着した酸化膜を除去する場合と比べて、酸化膜を取り除く工程を大幅に簡略化することができる。
Further, after the exhaust, the oxide film adheres only to the exposed outer peripheral surface of the
また、このように、排気前の工程では、陽極円筒１１に冷却ジャケット３０が取り付けられていない為、例えば、陽極円筒１１に金属封着体７、８を溶接するときなどに、冷却ジャケット３０が邪魔にならず、排気前の製造工程を簡易化することができる。
Further, in this way, since the cooling
このように、第１の実施の形態のマグネトロン１では、従来と比して酸化膜を取り除く工程を簡略化することができると共に、排気前の製造工程を簡易化することができるので、従来と比して、製造コストを抑えることができる。 Thus, in the magnetron 1 according to the first embodiment, the process of removing the oxide film can be simplified as compared with the conventional case, and the manufacturing process before exhaust can be simplified. In comparison, the manufacturing cost can be reduced.
さらに、第１の実施の形態のマグネトロン１では、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分が、陽極円筒１１の上側のビード３１と冷却ジャケット３０の上端部６０との溶接部分と、構造、溶接方向及び溶接種類が同じでなる為、陽極円筒１１と金属封着体８とを溶接するときと同じ溶接設備を用いて、電極５０の角度は変えずに、高さと水平方向の位置を調整するだけで、陽極円筒１１の上側のビード３１と冷却ジャケット３０の上端部６０とを溶接することができる。
Furthermore, in the magnetron 1 of the first embodiment, the welded portion between the
また、同様に、陽極円筒１１の下端部と金属封着体７との溶接部分が、陽極円筒１１の下側のビード３２と冷却ジャケット３０の下端部６１との溶接部分と、構造、溶接方向及び溶接種類が同じでなる為、陽極円筒１１と金属封着体７とを溶接するときと同じ溶接設備を用いて、電極５０の角度は変えずに、高さと水平方向の位置を調整するだけで、陽極円筒１１の下側のビード３２と冷却ジャケット３０の下端部６１とを溶接することができる。よって、第１の実施の形態のマグネトロン１では、溶接設備の調整が最小限で済み、一段と製造コストを抑えることができる。
Similarly, the welded portion between the lower end portion of the
このように、第１の実施の形態のマグネトロン１では、材料コストや製造コストを抑えつつ良好な冷却性能を得ることができる。 As described above, in the magnetron 1 of the first embodiment, it is possible to obtain a good cooling performance while suppressing the material cost and the manufacturing cost.
尚、この第１の実施の形態では、溶接により溶ける部分の材質（銅）と厚さを、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分と、陽極円筒１１の上側のビード３１と冷却ジャケット３０の上端部６０との溶接部分とで同一とすることで、溶接電流などの条件も同一とすることができ、より迅速且つ容易に、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０とを溶接することができるようにもなっている。
In the first embodiment, the material (copper) and the thickness of the portion that is melted by welding are set to the welded portion between the
［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について説明する。この第２の実施の形態は、第１の実施の形態とは、溶接部分の構造と溶接方向が異なる実施の形体であり、それ以外の部分については、第１の実施の形態と同様の為、第１の実施の形態の説明を援用する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. The second embodiment is an embodiment in which the structure of the welded portion and the welding direction are different from those of the first embodiment, and the other portions are the same as in the first embodiment. The description of the first embodiment is incorporated.
図４及び図５に、第２の実施の形態による、陽極円筒１１と金属封着体７、８との溶接部分の構造、及び陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との溶接部分の構造を示す。
4 and 5 show the structure of the welded portion between the
まず、陽極円筒１１と金属封着体７、８との溶接部分の構造と、その溶接方法について説明する。尚、陽極円筒１１と金属封着体７との溶接部分の構造とその溶接方法と、陽極円筒１１と金属封着体８との溶接部分の構造とその溶接方法は同一である為、ここでは、陽極円筒１１と金属封着体８との溶接部分の構造とその溶接方法について説明することとする。
First, the structure of the welded part between the
図５（Ａ）に示すように、陽極円筒１１は、第１の実施の形態と同様、出力側となる上端部４０の内側に、円環状の段差４１が設けられていて、この段差４１よりも先端側の部分がこの段差４１よりも中央側の部分より薄く形成されている。出力側の金属封着体８は、最外周部４２が、第１の実施の形態とは反体側（すなわち上側）に折り曲げられ上側に延びている。
As shown in FIG. 5A, the
出力側のポールピース１８は、第１の実施の形態とは異なり、円環状の段差が無く、単純に、金属封着体８の最外周部４２と、陽極円筒１１の段差４１との間で管軸ｍ方向（すなわち上下方向）に挟持される。
Unlike the first embodiment, the
陽極円筒１１の上端部４０と、金属封着体８の最外周部４２は、溶接される前、それぞれ、金属封着体８の水平部分よりも上方に同量だけ円環状に突出していて、この突出部分がそれぞれ同じ厚さでなり、且つそれぞれの上端面が揃うように水平方向（陽極円筒１１の径方向）に重ねられている。つまり、陽極円筒１１の上端部４０と、金属封着体８の最外周部４２との溶接部分は、所謂へり継手形状となっている。
The
そして、溶接時、このような溶接部分の真上から、矢印Ｂで示す溶接方向に電極５０を当ててＴＩＧ溶接を行うことで、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８の最外周部４２とが溶けて溶接される。尚、本実施の形態の場合、矢印Ｂで示す溶接方向は、管軸ｍ方向（上下方向）と平行な鉛直下方であるとする。
At the time of welding, the
このＴＩＧ溶接を、陽極円筒１１の上端部４０の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の内側に出力側の金属封着体８が気密に溶接される。また、陽極円筒１１の入力側でも、同様のＴＩＧ溶接を、陽極円筒１１の下端部の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の内側に入力側の金属封着体７が気密に接合される。このようにして、陽極円筒１１と金属封着体７、８とが溶接されるようになっている。
This TIG welding is performed over the entire circumference of the
次に、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０との溶接部分の構造と、その溶接方法について説明する。尚、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０は、上側と下側の２箇所で溶接されるが、どちらも、溶接部分の構造及び溶接方法については同じである。
Next, the structure of the welded portion between the
陽極円筒１１は、第１の実施の形態とは異なり、上側のビード３１の最外周部に、金属封着体８の最外周部４２と同様の方向（すなわち上側）に延びる円環状の突出部７０が形成されている。同様に、下側のビード３１の最外周部にも、金属封着体７の最外周部と同様の方向（すなわち下側）に延びる円環状の突出部７１が形成されている。
Unlike the first embodiment, the
冷却ジャケット３０は、第１の実施の形態と同様、上端部６０と下端部６１の内側に、円環状の段差６２、６３が設けられていて、この段差６２、６３よりも先端側の部分がこの段差６２と６３の間の部分より薄く形成されている。
As in the first embodiment, the cooling
そして、この冷却ジャケット３０は、陽極円筒１１の外周から突出する上側のビード３１が上側の段差６２に当接するとともに、下側のビード３２が下側の段差６３に当接するようにして、上側のビード３１と下側のビード３２との間で挟持される。
The cooling
冷却ジャケット３０の上端部６０と、陽極円筒１１の上側のビード３１の突出部７０は、溶接される前、それぞれ、上側のビード３１の水平部分よりも上方に同量だけ突出していて、この突出部分がそれぞれ同じ厚さでなり、それぞれの上端面が揃うように水平方向に重ねられている。つまり、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分も、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８の最外周部４２との溶接部分と同じへり継手形状となっている。ここで、冷却ジャケット３０の上端部６０の厚さ及び突出量は、陽極円筒１１の上端部４０の厚さ及び突出量と同一になっていて、さらに陽極円筒１１の上側のビード３１の突出部７０の厚さ及び突出量は、金属封着体８の最外周部４２の厚さ及び突出量と同一になっている。
The
つまり、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分の構造は、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分の構造と同一であり、溶接方法も同一となっている。よって、図５（Ｂ）に示すように、冷却ジャケット３０の上端部６０と、陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接時、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分の真上から、矢印Ｂで示す溶接方向に電極５０を当ててアークを発生させＴＩＧ溶接を行うことで、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１の突出部７０とが溶けて溶接される。
That is, the structure of the welded portion between the
このＴＩＧ溶接を、冷却ジャケット３０の上端部６０の全周に亘って行う。また、冷却ジャケット３０の下端側でも、同様のＴＩＧ溶接を、冷却ジャケット３０の下端部６１の全周に亘って行う。これにより、陽極円筒１１の外側に冷却ジャケット３０が気密に接合される。このようにして、陽極円筒１１と冷却ジャケット３０とが溶接されるようになっている。
This TIG welding is performed over the entire circumference of the
このように、第２の実施の形態のマグネトロン１では、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分と、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分を、ともに溶接方向及び溶接方法（ＴＩＧ溶接）が同じでなるへり継手形状の構造とした。これにより、この第２の実施の形態でも、陽極円筒１１と金属封着体８とを溶接するときと同じ溶接設備を用いて、電極５０の角度は変えずに、高さと水平方向の位置を調整するだけで、陽極円筒１１の上側のビード３１と冷却ジャケット３０の上端部６０とを溶接することができるので、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
As described above, in the magnetron 1 according to the second embodiment, the welded portion between the
尚、この第２の実施の形態では、溶接により溶ける部分の厚さは、陽極円筒１１の上端部６０と金属封着体８との溶接部分と、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分とで同一であるものの、溶接により溶ける部分の材質は異なっている。
In the second embodiment, the thickness of the portion melted by welding is such that the
つまり、銅でなる陽極円筒１１の上端部４０と鉄でなる金属封着体８との溶接により溶ける部分の材質は、銅と鉄であり、銅でなる冷却ジャケット３０の上端部６０と銅でなる陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接により溶ける部分の材質は、銅と銅である。
That is, the material of the part melted by welding between the
このように溶ける部分の材質の組み合わせが異なっていると、溶接電流などの条件が異なってしまうので、例えば、冷却ジャケット３０の材質を鉄にして、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接による溶ける部分の材質の組み合わせと、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接により溶ける部分の材質の組み合わせを、ともに銅と鉄にして、溶接電量などの条件が同じとなるようにしてもよい。また、例えば、金属封着体８の材質を銅にして、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接による溶ける部分の材質の組み合わせと、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接により溶ける部分の材質の組み合わせを、ともに銅と銅にして、溶接電量などの条件が同じとなるようにしてもよい。また、上述した第１及び第２の実施の形態では、溶接部分の両者（例えば陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８の最外周部４２）の厚さを同じにしたが、両者の厚さを適宜変えるようにしてもよい。
If the material combination of the melted parts is different, conditions such as the welding current are different. For example, the material of the cooling
［変形例］
尚、上述した第１及び第２の実施の形態では、溶接方法としてＴＩＧ溶接を用いたが、これに限らず、陽極円筒１１の全周に亘って連続して溶接が可能で、気密に接合できる溶接方法であれば、電子ビーム溶接などの他の溶接方法を用いるようにしてもよい。
[Modification]
In the first and second embodiments described above, TIG welding is used as the welding method. However, the present invention is not limited to this, and welding can be continuously performed over the entire circumference of the
また、上述した第２の実施の形態では、陽極円筒１１と金属封着体７、８との溶接部分の構造と、冷却ジャケット３０と陽極円筒１１との溶接部分の構造を、ともにへり継手形状の構造としたが、これに限らず、要は、少なくとも、これら２箇所の溶接部分の構造が、同じ溶接方向（すなわち電極５０の向きが同じ）で溶接可能な構造であればよい。第１の実施の形態についても同様である。
Moreover, in 2nd Embodiment mentioned above, the structure of the welding part of the
さらに、上述した第１の実施の形態では、溶接により溶ける部分の厚さを、陽極円筒１１の上端部４０と金属封着体８との溶接部分と、冷却ジャケット３０の上端部６０と陽極円筒１１の上側のビード３１との溶接部分とで同一にしたが、これに限らず、上述したように、少なくとも溶接方向が同じであれば、溶接により溶ける部分の厚さは異なっていてもよい。ただし、厚さが異なる場合、溶接電流などの条件を変える必要がでてくることは言うまでもない。
Furthermore, in the first embodiment described above, the thickness of the portion that is melted by welding is set such that the
さらに、上述した第１及び第２の実施の形態では、冷却ジャケット３０の流路の構造として、上側の流路と下側の流路とが、冷却ジャケット３０の中央のビード３３に設けられた切り欠きによって繋がる構造としたが、これに限らず、例えば、上側から下側に向かって螺旋状に下る構造としてもよく、またこれら以外の構造であってもよい。
Furthermore, in the first and second embodiments described above, as the flow path structure of the cooling
１…………マグネトロン、４、１０１……発振部、５……入力部、６……出力部、７、８……金属封着体、１１、１０２、１１１、１２１、１３０……陽極円筒、１８、１９……ポールピース、３０、１３１……冷却ジャケット、３１、３２、３３……ビード、５０……電極。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ......... Magnetron, 4, 101 ... Oscillation part, 5 ... Input part, 6 ... Output part, 7, 8 ... Metal sealing body, 11, 102, 111, 121, 130 ... Anode cylinder , 18, 19 ... pole piece, 30, 131 ... cooling jacket, 31, 32, 33 ... bead, 50 ... electrode.
Claims (7)
前記陽極円筒の前記中心軸方向の一端部の内側と溶接される第１の金属封着体と、
前記陽極円筒の前記中心軸方向の他端部の内側と溶接される第２の金属封着体と、
前記陽極円筒の前記中心軸方向の両端部の外側と溶接され、当該陽極円筒の外周との間に当該陽極円筒を冷却する為の液体が通る流路を形成する冷却ジャケットとを
具備し、
前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの一端部と前記陽極円筒の一端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなるとともに、前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなる
ことを特徴とするマグネトロン。 A cylindrical anode cylinder extending along the central axis;
A first metal sealing body welded to the inside of the one end portion in the central axis direction of the anode cylinder;
A second metal sealing body welded to the inside of the other end portion in the central axis direction of the anode cylinder;
A cooling jacket that is welded to the outside of both ends in the central axis direction of the anode cylinder and forms a flow path through which a liquid for cooling the anode cylinder passes between the outer periphery of the anode cylinder;
A welded portion between the inner side of one end of the anode cylinder and the first metal sealing body, and a welded portion between the one end of the cooling jacket and the outer side of the one end of the anode cylinder have the same welding direction. A welded portion between the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal sealing body, and a welded portion between the other end of the cooling jacket and the outside of the other end of the anode cylinder. However, the magnetron is characterized by having the same welding direction.
前記冷却ジャケットの前記中心軸方向の一端部の内側と、前記陽極円筒の第１のビードが溶接されるとともに、前記冷却ジャケットの前記中心軸方向の他端部の内側と、前記陽極円筒の第２のビードが溶接される
ことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。 On the outer periphery of the anode cylinder, an annular first bead protruding along the outer periphery is provided on one end side in the central axis direction, and along the outer periphery on the other end side in the central axis direction. An annular second bead projecting
The inner side of one end portion of the cooling jacket in the central axis direction, the first bead of the anode cylinder are welded, the inner side of the other end portion of the cooling jacket in the central axis direction, and the first end of the anode cylinder. The magnetron according to claim 1, wherein two beads are welded.
前記陽極円筒は、
前記中心軸方向の一端部が、前記第１の金属封着体の最外周部よりも前記中心軸方向に突出していて、当該一端部に対して、外側から内側へと向かう溶接方向で溶接用の電極が当てられることにより、当該一端部が溶けて、前記第１の金属封着体の最外周部に溶接され、また、前記中心軸方向の他端部が、前記第１の金属封着体の最外周部よりも前記中心軸方向に突出していて、当該他端部に対して、外側から内側へと向かう溶接方向で溶接用の電極が当てられることにより、当該他端部が溶けて、前記第１の金属封着体の最外周部に溶接され、
前記冷却ジャケットは、
前記中心軸方向の一端部が、前記陽極円筒の第１のビードよりも前記中心軸方向に突出していて、当該一端部に対して、外側から内側へと向かう溶接方向で溶接用の電極が当てられることにより、当該一端部が溶けて、前記陽極円筒の第１のビードに溶接され、また、前記中心軸方向の他端部が、前記陽極円筒の第２のビードよりも前記中心軸方向に突出していて、当該他端部に対して、外側から内側へと向かう溶接方向で溶接用の電極が当てられることにより、当該他端部が溶けて、前記第陽極円筒の第２のビードに溶接される、
ことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。 Each of the first metal sealing body and the second metal sealing body has an outermost peripheral portion welded to the inside of the one end portion and the inside of the other end portion in the central axis direction of the anode cylinder,
The anode cylinder is
One end portion in the central axis direction protrudes in the central axis direction from the outermost peripheral portion of the first metal sealing body, and welding is performed in a welding direction from the outside toward the inside with respect to the one end portion. The one end is melted and welded to the outermost peripheral portion of the first metal sealing body, and the other end in the central axis direction is the first metal sealing. It protrudes in the direction of the central axis from the outermost peripheral part of the body, and the other end is melted by applying a welding electrode in the welding direction from the outside to the inside with respect to the other end. , Welded to the outermost periphery of the first metal sealing body,
The cooling jacket is
One end portion in the central axis direction protrudes in the central axis direction from the first bead of the anode cylinder, and an electrode for welding is applied to the one end portion in a welding direction from the outside toward the inside. The one end portion melts and is welded to the first bead of the anode cylinder, and the other end portion in the central axis direction is closer to the central axis direction than the second bead of the anode cylinder. It protrudes and the electrode for welding is applied to the other end portion in the welding direction from the outside to the inside, so that the other end portion is melted and welded to the second bead of the first anode cylinder. To be
The magnetron according to claim 1.
ことを特徴とする請求項３に記載のマグネトロン。 The magnetron according to claim 3, wherein the anode cylinder and the cooling jacket are made of the same material.
ことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。 After the first metal sealing body and the second metal sealing body are welded to the inside of the one end portion and the inside of the other end portion in the central axis direction of the anode cylinder, the inside of the anode cylinder 2. The magnetron according to claim 1, wherein evacuation to vacuum is performed, and then the anode cylinder and the cooling jacket are welded.
ことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。 The welded portion between the inner side of the one end portion of the anode cylinder and the first metal sealing body, and the welded portion between the one end portion of the cooling jacket and the outer side of the one end portion of the anode cylinder are welded. It has a structure with the same edge joint shape, a welded portion between the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal sealing body, the other end of the cooling jacket, and the other end of the anode cylinder. 2. The magnetron according to claim 1, wherein the welded portion with the outer side of the magnet has a structure of an edge joint shape having the same welding direction.
前記第１の溶接工程の後に、前記陽極円筒の前記中心軸方向の両端部の外側と、当該陽極円筒の外周との間に当該陽極円筒を冷却する為の液体が通る流路を形成する冷却ジャケットとを溶接する第２の溶接工程と
を具備し、
前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの一端部と前記陽極円筒の一端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなるとともに、前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接部分と、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接部分とが、溶接方向が同じ構造でなり、
前記第２の溶接工程では、前記第１の溶接工程で行う前記陽極円筒の一端部の内側と前記第１の金属封着体との溶接と同じ溶接方向で、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接を行うとともに、前記第１の溶接工程で行う前記陽極円筒の他端部の内側と前記第２の金属封着体との溶接と同じ溶接方向で、前記冷却ジャケットの他端部と前記陽極円筒の他端部の外側との溶接を行う
ことを特徴とするマグネトロンの製造方法。 A cylindrical anode cylinder extending along the central axis welds the inner side of the one end portion in the central axis direction and the first metal sealing body, and the inner side of the other end portion of the anode cylinder in the central axis direction. A first welding step of welding the second metal sealing body and
Cooling that forms a flow path through which the liquid for cooling the anode cylinder passes between the outside of both ends in the central axis direction of the anode cylinder and the outer periphery of the anode cylinder after the first welding step. A second welding process for welding the jacket,
A welded portion between the inner side of one end of the anode cylinder and the first metal sealing body, and a welded portion between the one end of the cooling jacket and the outer side of the one end of the anode cylinder have the same welding direction. A welded portion between the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal sealing body, and a welded portion between the other end of the cooling jacket and the outside of the other end of the anode cylinder. However, the welding direction is the same structure,
In the second welding step, the other end portion of the cooling jacket has the same welding direction as the inner side of the one end portion of the anode cylinder and the first metal sealing body performed in the first welding step. While welding with the outside of the other end of the anode cylinder, and in the same welding direction as the welding of the inside of the other end of the anode cylinder and the second metal sealing body performed in the first welding step. A method of manufacturing a magnetron, comprising performing welding between the other end of the cooling jacket and the outside of the other end of the anode cylinder.
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