JP6338368B2 - パターンの光学像の評価方法 - Google Patents
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- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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Description
+NILS許容値/(NILS最小値+0.001)
+位置シフト誤差RGx、RGyの最小値/位置シフト誤差許容値
+焦点深度許容値/(焦点深度Fの最小値+0.001)
・・・・(1)
NILS許容値:1.5
位置シフト誤差許容値:5nm
焦点深度許容値:70nm
とした。
着目する危険パターンの座標(X、Y)は、
X=Xf+X1
Y=Yf+Y1
と同定できる。別の危険パターンの座標についても同様に同定できる。これをマスク全面で行う事により、危険パターン全部のデータベースができる。これらの危険パターンについて、光学像を評価する(S109)。光学像を計算する範囲は、パターンの光近接効果の影響があるため、着目する危険パターンの周囲K・λ/NA(2≦K≦20)の領域を、シミュレータの計算領域に含めるようにリソグラフィ検証を行う。Kの値は着目するパターンの寸法や要求される精度などにより、取りうる値が変わる。逐次領域を変更してはシミュレーションを繰り返し、危険パターンのリソグラフィ検証を行う。このときの評価指標として、スタンダードセルのマスク変数と照明変数の最適化を行った時と同じ評価指標を用いた。なお、着目する危険パターンの計算エリアを効率的に設定するために、複数の危険パターンが同一の計算領域に入るように領域を設定してもよい。また、危険セルとその周辺部分を含めたシミュレーションを繰り返す事で行っても良い。
Claims (11)
- マスクのパターンの光学像をコンピュータを用いて評価する方法であって、
セル単体のパターンの光学像の評価値を計算する計算ステップと、
前記セル単体のパターンのうち、前記計算ステップにおいて計算された前記評価値が第1許容範囲にない特定パターンを特定する特定ステップと、
前記特定パターンを含む、複数のセルのパターンのデータを取得する取得ステップと、
前記特定パターンを含む複数のセルのパターンを配置することによりマスクのパターンを作成する作成ステップと、
該作成されたマスクのパターンのうち前記特定パターンの光学像を評価する評価ステップとを有することを特徴とする方法。 - 前記特定パターンのうち、前記評価ステップにおいて評価された光学像の評価値が第2許容範囲にないパターンを補正するステップを有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2許容範囲は前記第1許容範囲より大きいことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記特定ステップにおいて特定された前記特定パターンの前記セルにおける位置を記憶部に記憶するステップを有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の方法。
- 前記評価ステップにおいて、前記マスクにおける前記セルの位置と、記憶された前記特定パターンの前記セルにおける位置とを用いて、前記マスクのパターンのうち前記特定パターンの位置を求め、求められた位置を含む領域のパターンの光学像を評価することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の方法。
- 前記複数のセルは、各セルによって互いに異なる前記特定パターンを含むことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の方法。
- 前記特定パターンを含む複数のセルのパターンを配置することにより第1マスクのパターンを作成するステップと、
前記第1マスクのパターンのうち、前記特定パターンの光学像を評価するステップと、前記特定パターンを含む複数のセルのパターンを配置することにより、前記第1マスクのパターンとは異なる第2マスクのパターンを作成するステップと、
前記第2マスクのパターンのうち、前記特定パターンの光学像を評価するステップと、を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の方法。 - 前記計算ステップの前に、前記セル単体のパターンに光近接効果補正を行うステップを有し、
前記計算ステップにおいて、前記光近接効果補正がされたパターンの光学像の評価値を計算することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記セルのパターンは、ラインアンドスペースのパターンをカットまたは接続するための、矩形状のパターン要素で構成されるパターンであることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の方法。
- コンピュータに請求項1乃至9の何れか1項に記載の方法を実行させるプログラム。
- 請求項1乃至9の何れか1項に記載の方法を実行する情報処理装置。
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