JP6338017B2 - 吸引装置 - Google Patents
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Description
吸引孔と第1通気孔に連通する吐出孔とを有するポンプと、
開口部を有するとともに、開口部、吸引孔、及び第3通気孔に連通する閉鎖空間をバルブ及びポンプとともに形成する筐体と、を備える。
ダイヤフラムは、第1領域の圧力が第2領域の圧力よりも高い場合、流路を第1形態に切り替え、第1領域の圧力が第2領域の圧力よりも低い場合、流路を第2形態に切り替えることが好ましい。
ダイヤフラムは、第4通気孔を有し、
ダイヤフラムは、ダイヤフラムにおける第4通気孔の周囲が第1弁座に接触するとともにダイヤフラムの一部が第2弁座に接触した状態で、弁箱に固定されていることが好ましい。
なお、前述の実施形態では気体として空気を用いているが、これに限るものではなく、当該気体は、空気以外の気体にも適用できる。
10…圧電ポンプ
17…外筐体
18…ノズル
24…吐出孔
31…通気路
36…ポンプ室
37…天板
38…側板
39…振動板
40…圧電素子
42…キャップ
45…通気孔
52…突出部
53…吸引孔
55A…切欠き
56A…ネジ穴
61…中央部
62…突出部
63,72…外部端子
70…電極導通用板
73…内部端子
80、280、380…筐体
81…上筐体
82…下筐体
83…開口部
84、89、284、384…閉鎖空間
85、285…吸着パッド
95…対象物
100、200、300…吸引装置
101…バルブ
111…第1通気孔
112…第2通気孔
113…第3通気孔
120…ダイヤフラム
121…第4通気孔
126…連通路
131…第1下バルブ室
132…第2下バルブ室
133…第1上バルブ室
134…第2上バルブ室
136…連通路
138、139…弁座
151…第1シール材
152…第2シール材
160…逆止弁
170…排気弁
190…弁箱
191…上弁筐体
192…下弁筐体
283…開口部
286…チューブ
289…孔部
Claims (6)
- 第1通気孔、第2通気孔、及び第3通気孔が形成されている弁箱と、前記弁箱に固定され、前記弁箱内に流路を形成するダイヤフラムと、を有するバルブと、
吸引孔と前記第1通気孔に連通する吐出孔とを有するポンプと、
開口部を有するとともに、前記開口部、前記吸引孔、及び前記第3通気孔に連通する閉鎖空間を前記バルブ及び前記ポンプとともに形成する筐体と、を備え、
前記第2通気孔および前記開口部は前記筐体の外部と連通し、
前記ダイヤフラムは、前記第1通気孔の圧力及び前記第2通気孔の圧力に基づいて前記流路を、前記第1通気孔及び前記第2通気孔が連通し、前記第2通気孔及び前記第3通気孔が連通しない第1形態と、前記第1通気孔及び前記第2通気孔が連通せず、前記第2通気孔及び前記第3通気孔が連通する第2形態と、に切り替える、吸引装置。 - 前記ダイヤフラムは、前記第1通気孔に連通する第1領域と前記第2通気孔に連通する第2領域とを前記弁箱内に形成し、
前記ダイヤフラムは、前記第1領域の圧力が前記第2領域の圧力よりも高い場合、前記流路を前記第1形態に切り替え、前記第1領域の圧力が前記第2領域の圧力よりも低い場合、前記流路を前記第2形態に切り替える、請求項1に記載の吸引装置。 - 前記弁箱は、前記第1領域において前記ダイヤフラム側へ突出する第1弁座と、前記第2領域において前記第3通気孔の周囲から前記ダイヤフラム側へ突出する第2弁座と、を有し、
前記ダイヤフラムは、第4通気孔を有し、
前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムにおける前記第4通気孔の周囲が前記第1弁座に接触するとともに前記ダイヤフラムの一部が前記第2弁座に接触した状態で、前記弁箱に固定されている、請求項2に記載の吸引装置。 - 前記開口部には、吸着パッドが装着されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 前記ポンプは、前記吸引孔と前記吐出孔とが常時連通した構造を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 前記ポンプは、圧電体を有し、前記圧電体の伸縮によってポンピングを行う、請求項1から5のいずれか1項に記載の吸引装置。
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