JP6334076B2 - ナノワイヤーおよびその製造方法、ナノワイヤー分散液ならびに透明導電膜 - Google Patents
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Description
(I)複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する1本のナノワイヤーであって、
ナノワイヤー1本における直径の最大値をA(nm)、最小値をB(nm)とした場合に、前記ナノワイヤーが下記式(1)を満たすことを特徴とするナノワイヤー。
1.5≦A/B≦2.5 (1)
(II)Aが50〜500nmであり、
Bが10〜200nmである、(I)に記載のナノワイヤー。
(III)前記ナノワイヤーが下記式(2)を満たす、(I)に記載のナノワイヤー。
A+B≦350nm (2)
(IV)前記ナノワイヤーが10μm以上40μm以下の長さを有する、(I)〜(III)のいずれかに記載のナノワイヤー。
(V)前記ナノワイヤーが金属ナノワイヤーである、(I)〜(IV)のいずれかに記載のナノワイヤー。
(VI)前記ナノワイヤーがニッケルから構成される、(I)〜(V)のいずれかに記載のナノワイヤー。
(VII)複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する複数のナノワイヤーであって、
(I)〜(VI)のいずれかに記載のナノワイヤーを含む複数のナノワイヤー。
(VIII)複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する複数のナノワイヤーであって、
ナノワイヤー1本における直径の最大値をA(nm)、最小値をB(nm)とした場合に、前記複数のナノワイヤーが下記式(1−1)を満たす複数のナノワイヤー。
1.5≦A/Bの平均値≦2.5 (1−1)
(IX)Aの平均値が50〜500nmであり、
Bの平均値が10〜200nmである、(VII)または(VIII)に記載のナノワイヤー。
(X)前記複数のナノワイヤーが下記式(1−2)および(1−3)を満たす、(VII)〜(IX)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
1.5≦A/Bの最大値≦2.5 (1−2)
1.5≦A/Bの最小値≦2.5 (1−3)
(XI)前記複数のナノワイヤーが下記式(2−1)を満たす、(VII)〜(X)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
A+Bの平均値≦350nm (2−1)
(XII)前記複数のナノワイヤーが下記式(2−2)および(2−3)を満たす、(VII)〜(XI)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
A+Bの最大値≦350nm (2−2)
A+Bの最小値≦350nm (2−3)
(XIII)前記複数のナノワイヤーが10μm以上40μm以下の平均長を有する、(VII)〜(XII)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
(XIV)前記複数のナノワイヤーが金属ナノワイヤーである、(VII)〜(XIII)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
(XV)前記複数のナノワイヤーがニッケルから構成される、(VII)〜(XIV)のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
(XVI)(XIV)または(XV)に記載の複数のナノワイヤーの製造方法であって、
磁場中で金属イオンを還元することを含む、複数のナノワイヤーの製造方法。
(XVII)(VII)〜(XV)のいずれかに記載の複数のナノワイヤーが分散されたナノワイヤー分散液。
(XVIII)(VII)〜(XV)のいずれかに記載の複数のナノワイヤーを含む透明導電膜。
本発明は、複数の粒子、特にナノ粒子、が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する1本のナノワイヤーを提供する。粒子連結形状とは、換言すると、複数の粒子が直列かつ連続的に連結されてなる、全体として線状の形状のことである。両端の粒子はそれぞれ隣接する1つ以上の粒子と連結され、その他の各粒子は隣接する2つ以上の粒子と連結されている。このような粒子連結形状においては通常、連結部分(粒子の境界部分)で凹部を形成し、粒子部分で凸部を形成し、粒子の連結方向(ナノワイヤーの長手方向)において凹部と凸部とが連続的に繰り返されている。一般的にナノワイヤーからなる透明導電膜はナノワイヤーの形状が太い方が導電性は高くなるが、透明性は低下する。他方で、ナノワイヤーの形状が細い方が導電性は低くなるが、透明性は向上する。本発明の粒子連結形状を有するナノワイヤーは、長手方向において、凹凸を繰り返し有することで、凹部が可視光の遮蔽を低減して透明性(光線透過率)のロスを抑制し、凸部が導電性のロスを抑制する。その結果として、全体として高い透明性と高い導電性との両立が達成される。本発明のナノワイヤーは、厳密かつ明確に上記のような粒子連結形状を有さなければならないというわけではなく、ナノワイヤーの長手方向において凹部と凸部とが連続的に繰り返されて、後述のような特定の凹凸の関係を有していればよい。
1.5≦A/B≦2.5 (1)
1.5≦A/B≦2 (1’)
1.55≦A/B≦1.75 (1’’)
A+B≦350nm (2)
80nm≦A+B≦350nm (2’)
100nm≦A+B≦250nm (2’’)
本発明の複数のナノワイヤーは上記したナノワイヤーを含む。ナノワイヤーの形状および寸法は、分散液または透明導電膜中における全てのナノワイヤーについて把握するのは、現実的に不可能である。本発明では、分散液または透明導電膜中の全ナノワイヤーのうちの任意の一部を評価し、上記条件を満たしていれば、透明性および導電性のさらなる向上効果が得られることを確認している。
1.5≦A/Bの平均値≦2.5 (1−1)
1.5≦A/Bの平均値≦2 (1−1’)
1.55≦A/Bの平均値≦1.75 (1−1’’)
1.5≦A/Bの最大値≦2.5 (1−2)
1.55≦A/Bの最大値≦2.2 (1−2’)
1.65≦A/Bの最大値≦1.85 (1−2’’)
1.5≦A/Bの最小値≦2.5 (1−3)
1.5≦A/Bの最小値≦1.9 (1−3’)
1.45≦A/Bの最小値≦1.65 (1−3’’)
A/Bの最小値とは、任意の100本のナノワイヤーについてのA/Bの最小値である。
A+Bの平均値≦350nm (2−1)
80nm≦A+Bの平均値≦350nm (2−1’)
100nm≦A+Bの平均値≦250nm (2−1’’)
A+Bの最大値≦350nm (2−2)
A+Bの最小値≦350nm (2−3)
80nm≦A+Bの最大値≦350nm (2−2’)
80nm≦A+Bの最小値≦350nm (2−3’)
100nm≦A+Bの最大値≦350nm (2−2’’)
80nm≦A+Bの最小値≦250nm (2−3’’)
100nm≦A+Bの最大値≦250nm (2−2’’’)
100nm≦A+Bの最小値≦250nm (2−3’’’)
A+Bの最小値とは、任意の100本のナノワイヤーについてのA+Bの最小値である。
以下、複数のナノワイヤーの製造方法について説明するが、本発明の1本のナノワイヤーも製造できることは明らかである。以下、特記しない限り、ナノワイヤーは複数のナノワイヤーのことである。
本発明は、上記したナノワイヤーが分散された分散液も提供する。分散液中のナノワイヤーの濃度は特に限定されず、分散性のさらなる向上の観点からは、0.01〜2.0質量%程度が好ましい。当該濃度は分散液全量に対する割合である。分散媒としては、特に限定されるものではないが、ナノワイヤー表面に水酸基等の極性基を有するため、エチレングリコール、イソプロパノール等のアルコール類、アセトニトリル、DMSO、DMF等の極性の有機溶媒がより好ましい。
本発明のナノワイヤー分散液を基材に塗布し、乾燥することにより、膜、積層体および配線等を形成することができる。基材としては、例えば、ガラス基板、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、シクロオレフィンフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルムが挙げられる。
支持膜付きグリッド上で乾燥したナノワイヤーを、透過型電子顕微鏡にて60万倍で撮影し、10視野中における任意の100点におけるナノワイヤー径の平均値を計測した。
分散液を支持膜付きグリッド上で乾燥し、得られたナノワイヤーを、透過型電子顕微鏡にて10万〜100万倍程度でナノワイヤーを撮影し、ナノワイヤー1本における直径の最大値、最小値を任意の100本について計測した。その値からナノワイヤー1本ごとのA値、B値、A/B値、A+B値を算出し、結果を表1にまとめた。
分散液を試料台上で乾燥し、得られたナノワイヤーを、走査型電子顕微鏡にて2000〜6000倍で撮影し、ナノワイヤー長を計測した。任意の合計200本のナノワイヤー長から平均長を算出し、結果を表2にまとめた。
得られたナノワイヤー分散液をアプリケーターで、スライドガラス上に塗布し、透過率(塗布量)が異なるナノワイヤー膜を5枚得た。
得られたナノワイヤー膜の表面抵抗値について、三菱化学アナリテック社製抵抗率計MCP−T610で測定した。
透過率については、スライドガラスをブランク値として、波長550nmにおける光線透過率を測定した。従って、透過率はナノワイヤー膜のみの透過率である。
得られた5枚の表面抵抗値と対応する透過率を表3〜表8に記載し、図2〜図7に示した。各表または図に記載されている実施例および比較例は、有意な比較が可能なように、ナノワイヤーの平均径および平均長が略同等の実施例と比較例を組み合わせたものである。
塩化ニッケル六水和物0.25g(1.05mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40g、塩化白金酸六水和物30.7μg(59.4nmol)をエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムと塩化白金酸を溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は10μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
本実施例で作製したナノワイヤーのTEM画像を図1に示す。
塩化ニッケル六水和物0.20g(0.84mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40g、塩化白金酸六水和物30.7μg(59.4nmol)をエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムと塩化白金酸を溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は8.4μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー0.5質量%、ヒドラジン一水和物0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
塩化ニッケル六水和物0.20g(0.84mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40gをエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムを溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は8.4μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
塩化ニッケル六水和物0.20g(0.84mmol)、クエン酸三ナトリウム二水和物50mg(0.17mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40gをエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムを溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は8.4μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
塩化ニッケル六水和物0.20g(0.84mmol)、クエン酸三ナトリウム二水和物100mg(0.34mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40gをエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムを溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は8.4μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
塩化ニッケル六水和物0.25g(1.05mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40g、塩化白金酸六水和物30.7μg(59.4nmol)をエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムと塩化白金酸を溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に100mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は10μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
AGS Material社製の銀ナノワイヤー分散液(Agnws−90)を、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
特開2012−238592号と同様の方法により、磁場を用いることなく金属イオンを還元して、ナノワイヤーを作製した。得られたナノワイヤーは、ナノワイヤー50mgに対して、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、磁石によりナノワイヤーを回収し、得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
塩化ニッケル六水和物0.3g(1.26mmol)をエチレングリコールに添加し、全量で50gとした。この溶液を90℃に加熱し、塩化ニッケルを溶解させた。
一方、水酸化ナトリウム0.40g、塩化白金酸六水和物30.7μg(59.4nmol)をエチレングリコールに添加し、全量で49.9gにした。この溶液を90℃に加熱し、水酸化ナトリウムと塩化白金酸を溶解させた。
各溶液中の化合物がすべて溶解した後、水酸化ナトリウムが含まれる溶液にヒドラジン一水和物0.1gを溶解し、その後、2つの溶液を混合した。
混合した溶液はすぐに、中心に150mTの磁場が印加できる磁気回路に入れ、当該磁場を印加し、90〜95℃に維持したまま15分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。反応溶液中のニッケルイオンの濃度は12.6μmol/gであった。
反応後、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め、取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
国際公開第2015/163258号と同様の方法により、ナノワイヤー分散液を作製した。詳しくは、以下の方法を用いた。
エチレングリコールに、塩化ニッケル六水和物0.40g(1.68mmol)、クエン酸三ナトリウム二水和物50mg(0.17mmol)を溶解した。さらに、水酸化ナトリウム0.32g、第一工業製薬製ピッツコールK120Lの乾燥物3.0g、0.054Mの塩化白金酸水溶液0.92mlを順に溶解し、全量で75gになるようにエチレングリコールを添加した。
一方、エチレングリコールに、水酸化ナトリウム0.10g、クエン酸三ナトリウム二水和物50mg(0.17mmol)を溶解した。さらに、ピッツコールK120Lの乾燥物1.0g、ヒドラジン一水和物1.25gを順に溶解し、その後、全量で25gになるようにエチレングリコールを添加して、還元剤溶液を作製した。
上記2液をいずれも90〜95℃に加熱した後、温度を維持したまま混合し、反応溶液の中心に150mTの磁場を印加し、1時間30分間静置して還元反応を行った。pHは11.5であった。
得られた反応液からナノワイヤーを精製および回収するため、反応液100gをエチレングリコールで10倍に希釈し、ネオジム磁石により、ナノワイヤーを集め取り出すことで精製回収した。回収したナノワイヤーは、エチレングリコール30gと混合し、150℃で3時間加熱した。加熱後、再度磁石により回収することでニッケルナノワイヤーを得た。
得られたナノワイヤーを、ヒドラジン一水和物が含有したイソプロパノールに加え、ナノワイヤー濃度0.5質量%、ヒドラジン一水和物濃度0.5質量%にしたナノワイヤー分散液を作製した。
◎:91%≦T(最良);
○:88%≦T<91%(より良);
△:85%≦T<88%(良)。
Claims (17)
- 複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する1本のナノワイヤーであって、
ナノワイヤー1本における直径の最大値をA(nm)、最小値をB(nm)とし、前記直径の最大値Aが前記1本のナノワイヤーにおいて端から100nm以内の端部ではないところでの直径の最大値である場合に、前記ナノワイヤーが下記式(1)を満たし、
前記ナノワイヤーが金属ナノワイヤーであり、
前記ナノワイヤーが実質的に高分子の層を有さないことを特徴とするナノワイヤー。
1.5≦A/B≦2.5 (1) - Aが50〜500nmであり、
Bが10〜200nmである、請求項1に記載のナノワイヤー。 - 前記ナノワイヤーが下記式(2)を満たす、請求項1または2に記載のナノワイヤー。
A+B≦350nm (2) - 前記ナノワイヤーが10μm以上40μm以下の長さを有する、請求項1〜3のいずれかに記載のナノワイヤー。
- 前記ナノワイヤーがニッケルから構成される、請求項1〜4のいずれかに記載のナノワイヤー。
- 複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する複数のナノワイヤーであって、
前記複数のナノワイヤーが金属ナノワイヤーであり、
請求項1〜5のいずれかに記載のナノワイヤーを含む複数のナノワイヤー。 - 複数の粒子が一次元的に繋がった粒子連結形状を有する複数のナノワイヤーであって、
ナノワイヤー1本における直径の最大値をA(nm)、最小値をB(nm)とし、前記直径の最大値Aが前記1本のナノワイヤーにおいて端から100nm以内の端部ではないところでの直径の最大値である場合に、前記複数のナノワイヤーが下記式(1−1)を満たし、
前記複数のナノワイヤーが金属ナノワイヤーであり、
前記ナノワイヤーが実質的に高分子の層を有さない、複数のナノワイヤー。
1.5≦A/Bの平均値≦2.5 (1−1) - Aの平均値が50〜500nmであり、
Bの平均値が10〜200nmである、請求項6または7に記載のナノワイヤー。 - 前記複数のナノワイヤーが下記式(1−2)および(1−3)を満たす、請求項6〜8のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
1.5≦A/Bの最大値≦2.5 (1−2)
1.5≦A/Bの最小値≦2.5 (1−3) - 前記複数のナノワイヤーが下記式(2−1)を満たす、請求項6〜9のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
A+Bの平均値≦350nm (2−1) - 前記複数のナノワイヤーが下記式(2−2)および(2−3)を満たす、請求項6〜10のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
A+Bの最大値≦350nm (2−2)
A+Bの最小値≦350nm (2−3) - 前記複数のナノワイヤーが10μm以上40μm以下の平均長を有する、請求項6〜11のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
- 前記複数のナノワイヤーがニッケルから構成される、請求項6〜12のいずれかに記載の複数のナノワイヤー。
- 請求項6〜13のいずれかに記載の複数のナノワイヤーの製造方法であって、
磁場中で金属イオンを還元することを含む、複数のナノワイヤーの製造方法。 - 前記還元に還元剤を使用し、
前記還元剤の反応溶液に対する濃度が0.05〜1.0質量%である、請求項14に記載の複数のナノワイヤーの製造方法。 - 請求項6〜13のいずれかに記載の複数のナノワイヤーが分散されたナノワイヤー分散液。
- 請求項6〜13のいずれかに記載の複数のナノワイヤーを含む透明導電膜。
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