JP6331078B2 - 水封式真空ポンプを用いた減圧装置 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明によれば、被減圧部からの排気路に、蒸気凝縮用熱交換器と水封式真空ポンプとを順に備える場合、真空ポンプ内の封水温度(または真空ポンプへの給水温度)と、蒸気凝縮用熱交換器よりも下流の圧力とに基づき、リークバルブの開度を調整することで、キャビテーションの発生を確実に防止することができる。
2 処理槽(被減圧部)
3 減圧手段
4 復圧手段
5 排気路
6 蒸気凝縮用熱交換器
7 逆止弁
8 水封式真空ポンプ(8a:給水口、8b:吸気口、8c:排気口)
9 熱交給水路
10 熱交排水路
11 熱交給水弁
12 封水給水路
13 封水給水弁
14 共通管路
15 給気路
16 エアフィルタ
17 真空解除弁
18 減圧装置
19 リークバルブ
20 封水温度センサ
21 圧力センサ
22 排出路
Claims (3)
- 被減圧部の気体を外部へ吸引排出する水封式真空ポンプと、
この水封式真空ポンプ内の封水または前記水封式真空ポンプへの給水の温度を検出する封水温度センサと、
開度調整可能な弁から構成され、前記被減圧部から前記水封式真空ポンプへの排気路に外気を流入可能なリークバルブと、
前記排気路の圧力を検出する圧力センサと、
前記封水温度センサの検出温度における飽和蒸気圧力よりも設定圧力だけ高い圧力に、前記圧力センサの検出圧力がなるように、前記リークバルブの開度を調整する制御器とを備え、
前記排気路には、前記被減圧部の側から、蒸気凝縮用熱交換器と前記水封式真空ポンプとが順に設けられ、
前記圧力センサは、前記被減圧部から前記水封式真空ポンプへの前記排気路の内、前記蒸気凝縮用熱交換器よりも下流に設けられる
ことを特徴とする水封式真空ポンプを用いた減圧装置。 - 前記封水温度センサは、前記真空ポンプに設けられる
ことを特徴とする請求項1に記載の水封式真空ポンプを用いた減圧装置。 - 真空冷却機、真空解凍機または真空含浸装置の減圧系統に用いられる
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の水封式真空ポンプを用いた減圧装置。
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