JP6317822B2 - 一自由度磁力防振装置 - Google Patents

Description

本発明は防振装置に属し、特に一自由度磁力防振装置に関わり、受動防振システムの性能改善に用いることができる。

科学技術の不断の発展に伴い、ＩＣ製造設備、高解像度電子顕微鏡、表面粗さ測定機、精密光学設備などを代表とする精密製造設備、精密測定設備がますます広範に利用されるようになり、その精度に対する要求もますます高くなっている。高精度を実現する重要な基礎設備として、防振装置は地盤及び環境振動の精密設備に対する影響を隔離し、振動に敏感な設備に「静かな」動作環境を提供し、精密設備の正常な運転を保証することができる。

従来の受動防振構造は、一般に、剛性コイルバネまたは空気バネであったが、剛性素子であるそれらでは、防振システムの固有周波数における振動を減衰させることができず、外界の励起周波数が防振システムの固有周波数に等しい状況では、防振システムに共振が発生し、負荷の振動振幅値が拡大されて、設備が正常に動作できなくなったり、損壊したりするという悪影響が生じている。減衰器を追加することで防振システムの固有周波数における振幅値の拡大を減少させることはできるが、防振システムの高周波数減衰性能を低下させることになる。よって、一般の受動防振器では、最適な減衰値を選択することにより、固有周波数における伝達率と高周波数伝達率の双方に配慮するしかない。そのため、受動防振システムの性能は、精密防振の要求に到達しないことが多い。

能動及び受動が結合した方式を採用すると、受動防振性能の不足という問題を解決することができる。米国特許ＵＳ５８４４６６４（公開番号）は、空気バネと、スウィング機構と、ボイスコイルモータを含む減振システムを公開しており、減振システム中のセンサが振動信号を検出して制御器に送信し、制御器が制御コマンドを算出してボイスコイルモータに送信し、ボイスコイルモータが制御コマンドに基づいてパワーを出力する。制御アルゴリズムによって実現される出力パワーなので、該出力パワーは固有周波数付近の振動に対してしか減衰せず、かつ高周波数の減衰性能には影響しない。しかし、該減振システムの能動防振性能は要求を満たしているものの、構造が複雑で、エネルギーの供給が必要であり、信頼性は受動防振システムには及ばず、しかもコストが膨大である。

永久磁石材料は広い磁気ヒステリシスループ、高飽和保磁力、高残磁性を有し、磁化されると不変の磁性を保持する材料であり、硬磁性材料とも呼ばれる。永久磁石材料は、高い最大磁気エネルギー積、高い飽和保磁力、高い残留磁束密度、高い残留磁化強度及び高い安定性を有しており、モータ、バルブ、クラクション、操舵機、航空設備などのシーンの各種アクチュエータに幅広く応用されている。磁力機構の中で、永久磁石材料を電磁石と比較すると、次のような長所がある。永久磁石材料は、エネルギー供給を必要とせず、構造が非常に簡潔で、メンテナンスがしやすく、コストが低く、よりユーザに受け入れられやすい。また、永久磁石材料は高い残留磁束密度を有しており、体積が小さくてもかなり大きな磁力を生み出すことができるが、電磁石はドライバの出力の制限を受け、かつ電流が大きい場合は電磁石の発熱も大きいので、長時間の出力パワーを必要とする磁力機構においては、電磁石を選択することは適切ではない。つまり、永久磁石材料は、精密機械の中で、非常に大きな応用の潜在力を持っているのである。

本発明は、既存の能動及び受動結合減振システムにおける構造の複雑さ、エネルギー供給が必要であること、及び信頼性の低さといった問題を解決する一自由度磁力防振装置を提供しており、これを従来の受動防振システムと並列させることにより、受動防振システムの性能を効果的に引き上げることができる。

本発明で提供する一自由度磁力防振装置は、ベースと、上環状永久磁石と、下環状永久磁石と、連接棒と、中心永久磁石とを含み、
前記ベースの上表面には金属導体スリーブが連結されており、前記金属導体スリーブは中空の金属円筒であり、前記ベースは金属導体スリーブの下端面を密閉しており、
前記上環状永久磁石と下環状永久磁石は形状が同じで、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石及び下環状永久磁石は、それぞれ上環状ブッシュ及び下環状ブッシュ内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュは、それぞれ前記金属導体スリーブの内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石、下環状永久磁石及び前記金属導体スリーブを軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石と下環状永久磁石の対向する面の磁極の極性を反対にしており、
前記連接棒の軸線は前記金属導体スリーブの中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石は中空の円環で、連接棒を同心に被せて固接されており、前記連接棒の上端は前記上環状永久磁石の中心孔を貫通し、前記中心永久磁石は前記上環状永久磁石と下環状永久磁石の間に位置して、前記連接棒とともに上環状永久磁石と下環状永久磁石の間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石と上環状永久磁石の対向する面の磁極の極性は反対であり、中心永久磁石と下環状永久磁石の対向する面の磁極の極性は反対であることを特徴とする。

前記一自由度磁力防振装置は、前記金属導体スリーブの内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュの外側面及び下環状ブッシュの外側面がそれぞれ外ネジを有することにより、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュがそれぞれ金属導体スリーブ１の内壁の上端及び下端にネジ接続されていることを特徴とする。

前記一自由度磁力防振装置は、前記ベース、連接棒、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュは非導磁性材料を用いて作成されており、前記金属導体スリーブは導電率の高い金属材料を用いて作成されていることを特徴とする。

本発明で提供する第２の一自由度磁力防振装置は、ベースと、上環状永久磁石と、下環状永久磁石と、連接棒と、中心永久磁石とを含み、
前記ベースの上表面には取付スリーブが連結されており、前記取付スリーブは中空の円筒であり、前記ベースが取付スリーブの下端面を密閉しており、
前記上環状永久磁石と下環状永久磁石は同じ形状で、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石及び下環状永久磁石は、それぞれ上環状ブッシュ及び下環状ブッシュ内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュは、それぞれ前記取付スリーブの内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石、下環状永久磁石及び前記取付スリーブを軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石と下環状永久磁石の対向する面の磁極の極性を反対にしており、
前記上導体板及び下導体板は形状が同じで、いずれも中心ネジ孔を有する円板であり、円板の外形が前記取付スリーブの内径より小さいことにより、取付スリーブの内孔を摺動することができ、
前記連接棒の軸線は前記取付スリーブの中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石は中空の円環で、連接棒の本体に同心に被せられて固接されており、前記連接棒の上端及び下端はそれぞれ前記上環状永久磁石及び下環状永久磁石の中心孔を貫通しており、前記上環状永久磁石の中心孔を貫通する連接棒の上端は外ネジを有し、かつ上導体板の中心ネジ孔とネジ接続されており、前記下環状永久磁石の中心孔を貫通する連接棒の下端は外ネジを有し、かつ下導体板の中心ネジ孔とネジ接続されており、
前記中心永久磁石は前記上環状永久磁石と下環状永久磁石の間に位置して、前記連接棒とともに上環状永久磁石と下環状永久磁石の間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石と上環状永久磁石の対向する面の磁極の極性は反対であり、中心永久磁石と下環状永久磁石の対向する面の磁極の極性は反対であることを特徴とする。

前記一自由度磁力防振装置は、前記取付スリーブの内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュの外側面及び下環状ブッシュの外側面がそれぞれ外ネジを有することにより、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュがそれぞれ取付スリーブの内壁の上端及び下端にネジ接続されていることを特徴とする。

前記一自由度磁力防振装置は、前記ベース、連接棒、上環状ブッシュ及び下環状ブッシュは非導磁性材料を用いて作成され、前記取付スリーブは非金属材料を用いて作成され、前記上導体板及び下導体板は導電率の高い金属材料を用いて作成されていることを特徴とする。

本発明は構造が簡単で、エネルギー供給を必要とせず、かつ信頼性が高く、静磁力と動磁力を生成することができる。静磁力は、永久磁石の異極が相互に引きつけ合うことにより実現され、動磁力は金属導体スリーブと永久磁石の相対運動により生じる渦電流ダンパにより実現される。静磁力の大きさは変位にのみ関係し、本発明の装置が静止している時も磁力は存在するので、一種の剛性力と見なすことができ、渦電流ダンパは相対運動速度にのみ関係し、磁力機構に運動が発生した時だけ存在するので、一種の粘性減衰力と見なすことができる。本発明を、剛性コイルバネや空気バネなどの受動防振構造と並列することで、受動防振システムの高周波数減衰性能に影響を与えることなく、固有周波数における振幅値の拡大を小さくし、元のシステムの受動防振性能を効果的に改善することができる。

図１は、本発明の実施例１の構造概略図である。 図２は、実施例１の応用原理図である。 図３は、図２に示すシステムの効果概略図である。 図４は、本発明の実施例３の構造概略図である。

以下では、図面と実施例を結び付けて、本発明に対してさらなる説明を行う。

図１に示すように、本発明の実施例１は、金属導体スリーブ１と、ベース２と、上環状永久磁石３ａと、下環状永久磁石３ｂと、連接棒５と、中心永久磁石６を含み、前記ベース２の上表面には金属導体スリーブ１が連結されており、前記金属導体スリーブ１は中空の金属円筒であり、前記ベース２が金属導体スリーブ１の下端面を密閉しており、前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂは形状が同じで、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂは、それぞれ上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂ内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂは、それぞれ前記金属導体スリーブ１の内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石３ａ、下環状永久磁石３ｂ及び前記金属導体スリーブ１を軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの対向する面の磁極の極性を反対に、即ちそれぞれをＮ極とＳ極にしており、前記連接棒５の軸線は前記金属導体スリーブ１の中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石６は中空の円環で、連接棒５に同心に被せられて固接されており、前記連接棒５の上端は前記上環状永久磁石３ａの中心孔を貫通し、前記中心永久磁石６は前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間に位置して、前記連接棒５とともに上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石６と上環状永久磁石３ａの対向する面の磁極の極性は反対で、それぞれＳ極とＮ極であり、中心永久磁石６と下環状永久磁石３ｂの対向する面の磁極の極性は反対で、それぞれＮ極とＳ極である。

永久磁石の磁場分布に影響を与えないために、前記ベース２、連接棒５、上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂは、ポリウレタンや有機ガラスなどの高分子複合材料により作成されており、前記金属導体スリーブ１は、導電率の高い金属銅により作成されている。

中心永久磁石６は、上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの磁力吸引を同時に受ける。中心永久磁石６が上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂのちょうど真ん中に位置している場合、上下の磁力吸引力は同じ大きさで方向が逆であり、この時、中心永久磁石６の受ける力は釣り合っている。中心永久磁石６が、片側の上環状永久磁石３ａまたは下環状永久磁石３ｂに偏った場合、その側の上環状永久磁石３ａまたは下環状永久磁石３ｂが中心永久磁石６を引き寄せる。変位に関連するこのような静磁力は、一種のマイナス剛性と見なすことができる。中心永久磁石６と金属導体スリーブ１に相対運動が生じると、金属導体スリーブ１内に渦電流が発生し、渦電流が中心永久磁石６の励起する磁場のアンペア力を受ける。速度に関連するこのような動磁力は、一種の粘性減衰力と見なすことができ、該減衰力は常に相対運動方向と反対である。

図２は、実施例１の応用原理図である。負荷１０は、地盤１１の振動が伝わるのを隔離するように、受動バネ素子９によって支持されている。実施例１の一自由度磁力防振装置１２は、受動バネ素子９と並列されており、その中では、実施例１の連接棒５が負荷１０と連結され、ベース２が地盤１１と連結されている。受動防振システムの静的変形量に影響を与えないために、一自由度磁力防振装置１２と受動バネ素子９を並列させる際に、中心永久磁石６を上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂのちょうど中間に位置決めする。この時、中心永久磁石６の受ける力はゼロなので、受動防振システムの平衡位置が変わることはない。負荷１０が平衡位置の上方にある時、受動バネ素子９は引っ張られた状態にあり、下向きのバネ力が生じる。この時、本発明の一自由度磁力防振装置１２の中では、中間永久磁石６が上環状永久磁石３ａに近付き、上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの合力を受けて上に向かい、受動バネ素子９に生じた下向きのバネ力の一部を相殺する。負荷１０が平衡位置の下方にある時、受動バネ素子９は圧縮された状態にあり、上向きのバネ力が生じる。この時、本発明の一自由度磁力防振装置１２の中では、中間永久磁石６が下環状永久磁石３ｂに近付き、上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの合力を受けて下に向かい、受動バネ素子９に生じた上向きのバネ力の一部を相殺する。全体的に見ると、負荷１０が受けるバネ力が減少するので、受動防振システムの剛性は小さくなる。

図３は、図２に示すシステムの効果概略図である。図３の縦軸はシステムの伝達率、横軸は周波数である。従来の受動防振システムは、高周波数域では地盤の振動を有効に隔離することができるが、固有周波数では比較的大きな振幅の拡大が存在している。しかし、受動防振システムを実施例１と並列すると、固有周波数における伝達率が大幅に小さくなり、かつ高周波数性能は低下していないことがわかる。本発明を実際に応用する場合は、実際の受動防振システムに基づいて本発明のパラメータを設定し、マッチングさせる必要がある。静磁力は上環状永久磁石３ａ、下環状永久磁石３ｂ及び中心永久磁石６の磁場の強さ及びサイズによって決まり、静磁力の大きさは、主にシステムのピーク値周波数に影響する。静磁力が大きすぎると、システムのピーク値周波数が小さくなりすぎ、０Ｈｚに近付くことさえあり、システムの安定性が失われる。動磁力は中間永久磁石６の磁場強度及びサイズと、金属導体スリーブ１のサイズ及び導電率によって決まり、主にシステムピーク値の振幅値の大きさに影響する。動磁力が大きくなるほど、システムピーク値の振幅値が小さくなるので、ユーザは、共振ピーク値に対する要求に基づいて、動磁力の大きさを設定しなければならない。

本発明の実施例２の構造は、図１に示す実施例１と同じであり、異なるのは、前記金属導体スリーブ１の内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュ４ａの外側面と下環状ブッシュ４ｂの外側面がそれぞれ外ネジを有することで、上環状ブッシュ４ａと下環状ブッシュ４ｂをそれぞれ前記金属導体スリーブ１の内壁の上端及び下端にネジ接続している点のみである。

上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間の距離が小さいほど、中心永久磁石６が受ける静磁力は強くなり、そのマイナス剛性度の数値は大きくなる。反対に、上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間の距離が大きくなるほど、中心永久磁石６が受ける静磁力は弱くなり、そのマイナス剛性度の数値は小さくなる。第１実施例と比較すると、第２実施例の長所は、上環状ブッシュ４ａと下環状ブッシュ４ｂの金属導体スリーブ１の内壁上端及び下端における係合位置を変更することにより、上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間の距離を調整し、マイナス剛性度の数値を変更して、マイナス剛性度の数値が受動防振システムのプラス剛性度の数値を超えることにより、システムが安定性を失うことを防止しているという点にある。

図４に示すように、本発明の実施例３は、ベース２と、上環状永久磁石３ａと、下環状永久磁石３ｂと、連接棒５と、中心永久磁石６を含み、前記ベース２の上表面には取付スリーブ８が連結されており、前記取付スリーブ８は中空の円筒であり、前記ベース２が取付スリーブ８の下端面を密閉しており、前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂは同じ形状で、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂは、それぞれ上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂ内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂは、それぞれ前記取付スリーブ８の内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石３ａ、下環状永久磁石３ｂ及び前記取付スリーブ８を軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの対向する面の磁極の極性を反対にしており、前記取付スリーブ８の内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュ４ａの外側面及び下環状ブッシュ４ｂの外側面がそれぞれ外ネジを有していることにより、上環状ブッシュ４ａと下環状ブッシュ４ｂがそれぞれ前記取付スリーブ８の内壁の上端及び下端にネジ接続されており、前記上導体板７ａ及び下導体板７ｂは形状が同じで、いずれも中心ネジ孔を有する円板であり、円板の外形が前記取付スリーブ８の内径より小さいことにより、取付スリーブ８の内孔を摺動することができ、前記連接棒５の軸線は前記取付スリーブ８の中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石６は中空の円環で、連接棒５の本体を同心に被せて固接されており、前記連接棒５の上端及び下端はそれぞれ前記上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂの中心孔を貫通しており、前記上環状永久磁石３ａの中心孔を貫通する連接棒５の上端は外ネジを有し、かつ上導体板７ａの中心ネジ孔とネジ接続されており、前記下環状永久磁石３ｂの中心孔を貫通する連接棒５の下端は外ネジを有し、かつ下導体板７ｂの中心ネジ孔とネジ接続されており、前記中心永久磁石６は前記上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間に位置して、前記連接棒５とともに上環状永久磁石３ａと下環状永久磁石３ｂの間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石６と上環状永久磁石３ａの対向する面の磁極の極性は反対であり、中心永久磁石６と下環状永久磁石３ｂの対向する面の磁極の極性は反対である。

永久磁石の磁場分布に影響を与えないために、ベース２、連接棒５、上環状ブッシュ４ａ及び下環状ブッシュ４ｂは、ポリウレタンや有機ガラスなどの高分子複合材料により作成され、渦電流ダンパの大きさに影響を与えないために、取付スリーブ８はポリウレタンや有機ガラスなどの高分子複合材料を用いて作成され、上導体板７ａ及び下導体板７ｂは導電率の高い金属銅を用いて作成されている。

実施例１、実施例２と比較した場合、実施例３の長所は、中心永久磁石と金属導体スリーブの間の相対運動を、上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂと上導体板７ａ及び下導体板７ｂの間の相対運動に変更したことにより、中心永久磁石６の運動が上導体板７ａと下導体板７ｂの運動を促し、上導体板７ａ及び下導体板７ｂが上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂに相対運動して渦電流ダンパを生じさせているという点にある。

連接棒５上において、上導体板７ａ及び下導体板７ｂと上環状永久磁石３ａ及び下環状永久磁石３ｂの間の距離を変えることにより、様々な応用シーンに応じて動磁力の大きさを調整し、磁力機構の適用性を増加させることができる。

Claims (7)

1. ベース（２）と、上環状永久磁石（３ａ）と、下環状永久磁石（３ｂ）と、連接棒（５）と、中心永久磁石（６）とを含む一自由度磁力防振装置において、
   前記ベース（２）の上表面には金属導体スリーブ（１）が連結されており、前記金属導体スリーブ（１）は中空の金属円筒であり、前記ベース（２）は金属導体スリーブ（１）の下端面を密閉しており、
   前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）は形状が同じで、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石（３ａ）及び下環状永久磁石（３ｂ）は、それぞれ上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）は、それぞれ前記金属導体スリーブ（１）の内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石（３ａ）、下環状永久磁石（３ｂ）及び前記金属導体スリーブ（１）を軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の対向する面の磁極の極性を反対にしており、
   前記連接棒（５）の軸線は前記金属導体スリーブ（１）の中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石（６）は中空の円環で、連接棒（５）を同心に被せて固接されており、前記連接棒（５）の上端は前記上環状永久磁石（３ａ）の中心孔を貫通し、前記中心永久磁石（６）は前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の間に位置して、前記連接棒（５）とともに上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石（６）と上環状永久磁石（３ａ）の対向する面の磁極の極性は反対であり、中心永久磁石（６）と下環状永久磁石（３ｂ）の対向する面の磁極の極性が反対であり、
   前記ベース（２）、連接棒（５）、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）は非導磁性材料を用いて作成されており、前記金属導体スリーブ（１）は導電率の高い金属材料を用いて作成されていることを特徴とする、
   一自由度磁力防振装置。
2. 前記金属導体スリーブ（１）の内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュ（４ａ）の外側面及び下環状ブッシュ（４ｂ）の外側面がそれぞれ外ネジを有することにより、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）がそれぞれ金属導体スリーブ（１）の内壁の上端及び下端にネジ接続されていることを特徴とする、
   請求項１に記載の一自由度磁力防振装置。
3. ベース（２）と、上環状永久磁石（３ａ）と、下環状永久磁石（３ｂ）と、連接棒（５）と、中心永久磁石（６）とを含む一自由度磁力防振装置において、
   前記ベース（２）の上表面には取付スリーブ（８）が連結されており、前記取付スリーブ（８）は中空の円筒であり、前記ベース（２）が取付スリーブ（８）の下端面を密閉しており、
   前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）は同じ形状で、いずれも中空の円環であり、前記上環状永久磁石（３ａ）及び下環状永久磁石（３ｂ）は、それぞれ上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）内に嵌め込まれており、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）は、それぞれ前記取付スリーブ（８）の内壁の上端及び下端に連結され、前記上環状永久磁石（３ａ）、下環状永久磁石（３ｂ）及び前記取付スリーブ（８）を軸方向において同心にするとともに、前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の対向する面の磁極の極性を反対にしており、
   前記一自由度磁力防振装置は更に上導体板（７ａ）及び下導体板（７ｂ）を備え、前記上導体板（７ａ）及び下導体板（７ｂ）は形状が同じで、いずれも中心ネジ孔を有する円板であり、円板の外形が前記取付スリーブ（８）の内径より小さいことにより、取付スリーブ（８）の内孔を摺動することができ、
   前記連接棒（５）の軸線は前記取付スリーブ（８）の中軸線と同軸であり、前記中心永久磁石（６）は中空の円環で、連接棒（５）の本体を同心に被せて固接されており、前記連接棒（５）の上端及び下端はそれぞれ前記上環状永久磁石（３ａ）及び下環状永久磁石（３ｂ）の中心孔を貫通しており、前記上環状永久磁石（３ａ）の中心孔を貫通する連接棒（５）の上端は外ネジを有し、かつ上導体板（７ａ）の中心ネジ孔とネジ接続されており、前記下環状永久磁石（３ｂ）の中心孔を貫通する連接棒（５）の下端は外ネジを有し、かつ下導体板（７ｂ）の中心ネジ孔とネジ接続されており、
   前記中心永久磁石（６）は前記上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の間に位置して、前記連接棒（５）とともに上環状永久磁石（３ａ）と下環状永久磁石（３ｂ）の間を軸方向に運動することができ、中心永久磁石（６）と上環状永久磁石（３ａ）の対向する面の磁極の極性は反対であり、中心永久磁石（６）と下環状永久磁石（３ｂ）の対向する面の磁極の極性が反対であることを特徴とする、
   一自由度磁力防振装置。
4. 前記取付スリーブ（８）の内壁が内ネジを有し、前記上環状ブッシュ（４ａ）の外側面及び下環状ブッシュ（４ｂ）の外側面がそれぞれ外ネジを有することにより、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）がそれぞれ取付スリーブ（８）の内壁の上端及び下端にネジ接続されていることを特徴とする、
   請求項３に記載の一自由度磁力防振装置。
5. 前記ベース（２）、連接棒（５）、上環状ブッシュ（４ａ）及び下環状ブッシュ（４ｂ）は非導磁性材料を用いて作成され、前記取付スリーブ（８）は非金属材料を用いて作成され、前記上導体板（７ａ）及び下導体板（７ｂ）は導電率の高い金属材料を用いて作成されていることを特徴とする、
   請求項３または請求項４に記載の一自由度磁力防振装置。
6. 前記一自由度磁力防振装置は受動防振システムに用いられ、
   前記一自由度磁力防振装置と受動防振構造とが並列して配置されることにより前記受動防振システムを構成することを特徴とする、
   請求項１または３に記載の一自由度磁力防振装置。
7. 前記受動防振構造は剛性コイルバネまたは空気バネであることを特徴とする、
   請求項６に記載の一自由度磁力防振装置。